JPH05241010A - カラーフィルタの残査除去方法および装置 - Google Patents
カラーフィルタの残査除去方法および装置Info
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- JPH05241010A JPH05241010A JP4443092A JP4443092A JPH05241010A JP H05241010 A JPH05241010 A JP H05241010A JP 4443092 A JP4443092 A JP 4443092A JP 4443092 A JP4443092 A JP 4443092A JP H05241010 A JPH05241010 A JP H05241010A
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】着色層形成用感材の残査を確実に除去すると共
にその再付着を防止する。 【構成】着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光お
よび現像して形成されるカラーフィルタの製造におい
て、基板１の搬送方向に直角に配設される液貯留部２０
に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部２０内
に気泡を発生させ、液貯留部２０と基板１との隙間から
流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板１上に残留
する着色層形成用感材の残査を除去する。
にその再付着を防止する。 【構成】着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光お
よび現像して形成されるカラーフィルタの製造におい
て、基板１の搬送方向に直角に配設される液貯留部２０
に、高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部２０内
に気泡を発生させ、液貯留部２０と基板１との隙間から
流出させ、気泡の破裂と液の流速により基板１上に残留
する着色層形成用感材の残査を除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置、カラー
液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタを製造する
工程において、現像工程において生じる着色層形成用感
材、特に顔料を感光性樹脂に分散させた着色層形成用感
材の残査を除去する方法および装置に関する。
液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタを製造する
工程において、現像工程において生じる着色層形成用感
材、特に顔料を感光性樹脂に分散させた着色層形成用感
材の残査を除去する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図２によりカラーフィルタの製造
方法の１例について説明する。ガラス等の透明基板１上
に線幅６０μｍ、ピッチ２００μｍ程度のストライブ状
パターンからなるブラック遮光層２を形成する（Ａ）。
このブラック遮光層は設けなくてもよい。次に、ブラッ
ク遮光層２の上から、１色目、例えばレッドの水溶性着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いレッドパターン層３を形成し
（Ｂ）、２色目以降は、例えば、グリーン、ブルーの着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いグリーン、ブルーのパターン層
４、５を形成する（Ｃ、Ｄ）。次に、物理化学的保護、
表面の整面化、平坦化を目的として、カラーパターン層
の上に保護膜層６を形成する（Ｅ）。さらに、保護膜層
６の上に透明電極層７を形成して、カラーフィルタを製
造する（Ｆ）。
方法の１例について説明する。ガラス等の透明基板１上
に線幅６０μｍ、ピッチ２００μｍ程度のストライブ状
パターンからなるブラック遮光層２を形成する（Ａ）。
このブラック遮光層は設けなくてもよい。次に、ブラッ
ク遮光層２の上から、１色目、例えばレッドの水溶性着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いレッドパターン層３を形成し
（Ｂ）、２色目以降は、例えば、グリーン、ブルーの着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いグリーン、ブルーのパターン層
４、５を形成する（Ｃ、Ｄ）。次に、物理化学的保護、
表面の整面化、平坦化を目的として、カラーパターン層
の上に保護膜層６を形成する（Ｅ）。さらに、保護膜層
６の上に透明電極層７を形成して、カラーフィルタを製
造する（Ｆ）。
【０００３】上記カラーパターンの製造行程のうち現像
工程においては、従来、スプレー現像、スピン現像、デ
ィップ現像、ハイプレッシャー現像等の現像方法によ
り、カラーパターンの不要部分である着色層形成用感材
の残査を剥すようにして除去している。
工程においては、従来、スプレー現像、スピン現像、デ
ィップ現像、ハイプレッシャー現像等の現像方法によ
り、カラーパターンの不要部分である着色層形成用感材
の残査を剥すようにして除去している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の現像方法においては、現像終了後、図３Ａに示すよ
うに、カラーパターン層３以外の部分に残査８が残って
しまい、カラーフィルタの透過率が低下し、また、ハイ
プレッシャー現像においては、図３Ｂに示すように、カ
ラーパターン層３に剥離部９が生じてしまうという問題
を有している。
来の現像方法においては、現像終了後、図３Ａに示すよ
うに、カラーパターン層３以外の部分に残査８が残って
しまい、カラーフィルタの透過率が低下し、また、ハイ
プレッシャー現像においては、図３Ｂに示すように、カ
ラーパターン層３に剥離部９が生じてしまうという問題
を有している。
【０００５】さらに、いずれの現像方法においても、現
像槽内で高圧水を噴射するため、着色層形成用感材の残
査が現像槽の内壁に跳ね返ってカラーパターン上に再付
着してしまい、その結果、その後の工程で保護膜層を形
成すると、その部分に突起部が形成され、カラーフィル
タの表面に設けられる液晶セル内の液晶の配向を阻害し
たり、液晶セルギャップ異常の原因になって表示する映
像の欠陥になり、カラーフィルタを使用した製品が不良
になってしまうという問題を有している。
像槽内で高圧水を噴射するため、着色層形成用感材の残
査が現像槽の内壁に跳ね返ってカラーパターン上に再付
着してしまい、その結果、その後の工程で保護膜層を形
成すると、その部分に突起部が形成され、カラーフィル
タの表面に設けられる液晶セル内の液晶の配向を阻害し
たり、液晶セルギャップ異常の原因になって表示する映
像の欠陥になり、カラーフィルタを使用した製品が不良
になってしまうという問題を有している。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、着色層形成用感材の残査を確実に除去するとともに
その再付着を防止することができるカラーフィルタの残
査除去方法および装置を提供することを目的とする。
て、着色層形成用感材の残査を確実に除去するとともに
その再付着を防止することができるカラーフィルタの残
査除去方法および装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明のカラ
ーフィルタの残査除去方法は、着色層形成用感材を基板
に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフ
ィルタの製造において、基板１の搬送方向に直角に配設
される液貯留部２０に、高圧噴射現像液とエアを噴射さ
せて液貯留部２０内に気泡を発生させ、液貯留部２０と
基板１との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速に
より基板１上に残留する着色層形成用感材の残査を除去
することを特徴とする。
ーフィルタの残査除去方法は、着色層形成用感材を基板
に塗布した後、露光および現像して形成されるカラーフ
ィルタの製造において、基板１の搬送方向に直角に配設
される液貯留部２０に、高圧噴射現像液とエアを噴射さ
せて液貯留部２０内に気泡を発生させ、液貯留部２０と
基板１との隙間から流出させ、気泡の破裂と液の流速に
より基板１上に残留する着色層形成用感材の残査を除去
することを特徴とする。
【０００８】また、本発明のカラーフィルタの残査除去
装置は、基板１の搬送方向に直角に配設されるハウジン
グ１９と、ハウジング１９の下部に形成される液貯留部
２０と、ハウジング１９内に同軸的に配置される高圧噴
射管２１と、高圧噴射管２１の下部に形成されるノズル
部２２と、高圧噴射管２１内に同軸的に配置される現像
液供給管２３と、高圧噴射管２１に接続されるエア供給
管２５とを備えることを特徴とする。なお、上記構成に
付加した番号は、理解を容易にするために図面と対比さ
せるためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定
されるものではない。
装置は、基板１の搬送方向に直角に配設されるハウジン
グ１９と、ハウジング１９の下部に形成される液貯留部
２０と、ハウジング１９内に同軸的に配置される高圧噴
射管２１と、高圧噴射管２１の下部に形成されるノズル
部２２と、高圧噴射管２１内に同軸的に配置される現像
液供給管２３と、高圧噴射管２１に接続されるエア供給
管２５とを備えることを特徴とする。なお、上記構成に
付加した番号は、理解を容易にするために図面と対比さ
せるためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定
されるものではない。
【０００９】
【作用】本発明においては、例えば図１に示すように、
現像槽１２で現像された基板１は、コンベア１１により
残査除去槽１３内に搬入され、残査除去装置１７の液貯
留部２０が基板１により塞がれると、ポンプ２７により
液タンク２９内の現像液が、フィルタ２６、液供給管２
３を経て高圧噴射管２１に供給されるとともに、エア供
給管２５からエアが吸引される。高圧噴射管２１内のエ
アが混合した液は、ノズル部２２から液貯留部２０に噴
射、衝突し、液貯留部２０内に気泡を発生させる。液貯
留部２０内の液は気泡と共に、液貯留部２０と基板１と
の隙間から流出し、このとき、気泡の破裂と液の流速に
より基板１上に残留する残査が除去される。
現像槽１２で現像された基板１は、コンベア１１により
残査除去槽１３内に搬入され、残査除去装置１７の液貯
留部２０が基板１により塞がれると、ポンプ２７により
液タンク２９内の現像液が、フィルタ２６、液供給管２
３を経て高圧噴射管２１に供給されるとともに、エア供
給管２５からエアが吸引される。高圧噴射管２１内のエ
アが混合した液は、ノズル部２２から液貯留部２０に噴
射、衝突し、液貯留部２０内に気泡を発生させる。液貯
留部２０内の液は気泡と共に、液貯留部２０と基板１と
の隙間から流出し、このとき、気泡の破裂と液の流速に
より基板１上に残留する残査が除去される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明の残査除去装置の１実施例を示す
構成図である。
明する。図１は本発明の残査除去装置の１実施例を示す
構成図である。
【００１１】基板１を搬送するコンベア１１上には、現
像槽１２および残査除去槽１３が配設される。現像槽１
２には、給水管１５ａ、１５ｂ、１５ｃに接続される低
圧スプレー装置１６を設け、温現像液を基板１の上下方
向から噴射し、着色層形成用感材の上層部を大部分除去
し、排水管１５ｄより排出する。
像槽１２および残査除去槽１３が配設される。現像槽１
２には、給水管１５ａ、１５ｂ、１５ｃに接続される低
圧スプレー装置１６を設け、温現像液を基板１の上下方
向から噴射し、着色層形成用感材の上層部を大部分除去
し、排水管１５ｄより排出する。
【００１２】残査除去槽１３内には残査除去装置１７が
配設される。残査除去装置１７は、基板１の搬送方向に
直角方向にわたり設けられるハウジング１９と、ハウジ
ング１９の下部に形成される液貯留部２０と、ハウジン
グ１９内に同軸的に配置される高圧噴射管２１と、高圧
噴射管２１の下部に形成されるノズル部２２と、高圧噴
射管２１内に同軸的に配置される現像液供給管２３と、
高圧噴射管２１に接続されるエア供給管２５とを備え、
現像液供給管２３は、フィルタ２６、ポンプ２７を経て
現像液タンク２９に接続される。
配設される。残査除去装置１７は、基板１の搬送方向に
直角方向にわたり設けられるハウジング１９と、ハウジ
ング１９の下部に形成される液貯留部２０と、ハウジン
グ１９内に同軸的に配置される高圧噴射管２１と、高圧
噴射管２１の下部に形成されるノズル部２２と、高圧噴
射管２１内に同軸的に配置される現像液供給管２３と、
高圧噴射管２１に接続されるエア供給管２５とを備え、
現像液供給管２３は、フィルタ２６、ポンプ２７を経て
現像液タンク２９に接続される。
【００１３】上記構成からなる本発明の作用について説
明する。現像槽１２で現像された基板１は、コンベア１
１により残査除去槽１３内に搬入され、残査除去装置１
７の液貯留部２０が基板１により塞がれると、ポンプ２
７により液タンク２９内の現像液が、フィルタ２６、現
像液供給管２３を経て高圧噴射管２１に供給されるとと
もに、エア供給管２５からエアが吸引される。高圧噴射
管２１内のエアが混合した液は、ノズル部２２から液貯
留部２０に噴射、衝突し、液貯留部２０内に気泡を発生
させる。液貯留部２０内の液は気泡と共に、液貯留部２
０と基板１との僅かの隙間（１ｍｍ程度）から流出し、
このとき、気泡の破裂と液の流速により基板１上に残留
する残査が除去される。
明する。現像槽１２で現像された基板１は、コンベア１
１により残査除去槽１３内に搬入され、残査除去装置１
７の液貯留部２０が基板１により塞がれると、ポンプ２
７により液タンク２９内の現像液が、フィルタ２６、現
像液供給管２３を経て高圧噴射管２１に供給されるとと
もに、エア供給管２５からエアが吸引される。高圧噴射
管２１内のエアが混合した液は、ノズル部２２から液貯
留部２０に噴射、衝突し、液貯留部２０内に気泡を発生
させる。液貯留部２０内の液は気泡と共に、液貯留部２
０と基板１との僅かの隙間（１ｍｍ程度）から流出し、
このとき、気泡の破裂と液の流速により基板１上に残留
する残査が除去される。
【００１４】本発明が適用される着色層形成用感材は、
現像液に溶け難く低圧の現像液では剥がれ難い性質を有
するもので、その組成割合（重量％）の例を下記に示
す。
現像液に溶け難く低圧の現像液では剥がれ難い性質を有
するもので、その組成割合（重量％）の例を下記に示
す。
【００１５】 赤色：ピラゾロンレッド（赤色顔料） …１０ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …８５ 緑色：リオノールグリーン２Ｙ−３０１（緑色顔料） … ９ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …８６ 青色：ファストゲンブルー（青色顔料） … ３ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …９２ この例の着色層形成用感材では、現像液として水を使用
するが、その他の感材を使用する場合には、感材に適し
た現像液、例えばアルカリ現像液や各種溶剤等を使用す
ることができる。
するが、その他の感材を使用する場合には、感材に適し
た現像液、例えばアルカリ現像液や各種溶剤等を使用す
ることができる。
【００１６】表１は、従来のスプレー現像と、本発明の
残査除去装置を用いた実験結果を示している。
残査除去装置を用いた実験結果を示している。
【００１７】
【表１】
【００１８】上記の実験結果によれば、光透過率（残査
の除去率）は、従来のスプレー現像と比較して向上さ
れ、とくに実施例１の条件下で効果があることが判明し
た。
の除去率）は、従来のスプレー現像と比較して向上さ
れ、とくに実施例１の条件下で効果があることが判明し
た。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光お
よび現像して形成されるカラーフィルタの製造におい
て、基板の搬送方向に直角に配設される液貯留部に、高
圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部内に気泡を発
生させ、これを液貯留部と基板との隙間から流出させ、
気泡の破裂と液の流速により基板上に残留する着色層形
成用感材の残査を除去するようにしたため、カラーパタ
ーン層に剥離部を生じさせることなく、着色層形成用感
材の残査を確実に除去するとともにその再付着を防止す
ることができる。
よれば、着色層形成用感材を基板に塗布した後、露光お
よび現像して形成されるカラーフィルタの製造におい
て、基板の搬送方向に直角に配設される液貯留部に、高
圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部内に気泡を発
生させ、これを液貯留部と基板との隙間から流出させ、
気泡の破裂と液の流速により基板上に残留する着色層形
成用感材の残査を除去するようにしたため、カラーパタ
ーン層に剥離部を生じさせることなく、着色層形成用感
材の残査を確実に除去するとともにその再付着を防止す
ることができる。
【図１】本発明のカラーフィルタの残査除去装置の１実
施例を示す構成図
施例を示す構成図
【図２】カラーフィルタの製造方法を説明するための拡
大断面図
大断面図
【図３】本発明の課題を説明するためのカラーフィルタ
の拡大断面図
の拡大断面図
１…基板、１１…コンベア、１２…現像槽、１３…残査
除去槽 １７…残査除去装置、１９…ハウジング、２０…液貯留
部、２１…高圧噴射管 ２２…ノズル部、２３…現像液供給管、２５…エア供給
管、２６…フィルタ ２７…ポンプ、２９…現像液タンク
除去槽 １７…残査除去装置、１９…ハウジング、２０…液貯留
部、２１…高圧噴射管 ２２…ノズル部、２３…現像液供給管、２５…エア供給
管、２６…フィルタ ２７…ポンプ、２９…現像液タンク
Claims (2)
- 【請求項１】着色層形成用感材を基板に塗布した後、露
光および現像して形成されるカラーフィルタの製造にお
いて、基板の搬送方向に直角に配設される液貯留部に、
高圧噴射現像液とエアを噴射させて液貯留部内に気泡を
発生させ、これを液貯留部と基板との隙間から流出さ
せ、気泡の破裂と液の流速により基板上に残留する着色
層形成用感材の残査を除去することを特徴とするカラー
フィルタの残査除去方法。 - 【請求項２】基板の搬送方向に直角に配設されるハウジ
ングと、ハウジングの下部に形成される液貯留部と、前
記ハウジング内に同軸的に配置される高圧噴射管と、該
高圧噴射管の下部に形成されるノズル部と、前記高圧噴
射管内に同軸的に配置される現像液供給管と、前記高圧
噴射管に接続されるエア供給管とを備えることを特徴と
するカラーフィルタの残査除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4443092A JP3091786B2 (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4443092A JP3091786B2 (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05241010A true JPH05241010A (ja) | 1993-09-21 |
| JP3091786B2 JP3091786B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=12691279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4443092A Expired - Fee Related JP3091786B2 (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3091786B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002372778A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 |
| JP2003057813A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-28 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 |
-
1992
- 1992-03-02 JP JP4443092A patent/JP3091786B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002372778A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 |
| JP2003057813A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-28 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3091786B2 (ja) | 2000-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |