JPH05243441A - 放熱装置 - Google Patents
放熱装置Info
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- JPH05243441A JPH05243441A JP4045781A JP4578192A JPH05243441A JP H05243441 A JPH05243441 A JP H05243441A JP 4045781 A JP4045781 A JP 4045781A JP 4578192 A JP4578192 A JP 4578192A JP H05243441 A JPH05243441 A JP H05243441A
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- JP
- Japan
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- heat dissipation
- heat
- pipe
- dissipation device
- dissipation plate
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
- H10W40/70—Fillings or auxiliary members in containers or in encapsulations for thermal protection or control
- H10W40/73—Fillings or auxiliary members in containers or in encapsulations for thermal protection or control for cooling by change of state
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
- F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
- F28D15/0275—Arrangements for coupling heat-pipes together or with other structures, e.g. with base blocks; Heat pipe cores
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/4935—Heat exchanger or boiler making
- Y10T29/49353—Heat pipe device making
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 優れた放熱特性を有する放熱装置を提供す
る。 【構成】 放熱装置10は、受熱面となる平らな底面1
2と、上面13と、柱14とを有する放熱プレート11
を備える。柱14は、放熱プレート11の上面13に一
体的に接続されて上方に突出して延びる突出ベース部1
5と、突出ベース部15の穴に挿入されたパイプ16
と、パイプ16の上方部分に固定して取付けられたフィ
ン19と、パイプ16内に入れられた熱媒体としての作
動流体17とを備える。
る。 【構成】 放熱装置10は、受熱面となる平らな底面1
2と、上面13と、柱14とを有する放熱プレート11
を備える。柱14は、放熱プレート11の上面13に一
体的に接続されて上方に突出して延びる突出ベース部1
5と、突出ベース部15の穴に挿入されたパイプ16
と、パイプ16の上方部分に固定して取付けられたフィ
ン19と、パイプ16内に入れられた熱媒体としての作
動流体17とを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路パッ
ケージなどの電子部品の熱を大気中に放散させるための
放熱装置に関するものである。
ケージなどの電子部品の熱を大気中に放散させるための
放熱装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ等の電子装置用集積回路で
は、近年ますます高速応答性および高集積化が要求され
ている。それに伴い、集積回路の消費電力密度が増大
し、電子部品の動作時の温度も高くなってきている。そ
のため、電子部品を冷却させるために、ヒートシンクな
どの放熱装置が使用されている。
は、近年ますます高速応答性および高集積化が要求され
ている。それに伴い、集積回路の消費電力密度が増大
し、電子部品の動作時の温度も高くなってきている。そ
のため、電子部品を冷却させるために、ヒートシンクな
どの放熱装置が使用されている。
【0003】図11は、半導体集積回路パッケージ1の
上に載せられた従来の放熱装置2を図示している。放熱
装置2は、半導体集積回路パッケージ1の上面に面接触
する薄い直方体形状のベースプレート3と、放熱装置の
表面積を増大させるためにベースプレート3の上面に立
てられた多数のピン4とを備える。放熱装置2の材質は
典型的にはアルミニウムである。半導体集積回路パッケ
ージ1の熱は放熱装置2に伝達され、放熱装置2の表面
から大気中に放散される。
上に載せられた従来の放熱装置2を図示している。放熱
装置2は、半導体集積回路パッケージ1の上面に面接触
する薄い直方体形状のベースプレート3と、放熱装置の
表面積を増大させるためにベースプレート3の上面に立
てられた多数のピン4とを備える。放熱装置2の材質は
典型的にはアルミニウムである。半導体集積回路パッケ
ージ1の熱は放熱装置2に伝達され、放熱装置2の表面
から大気中に放散される。
【0004】図12は、従来のピンタイプの放熱装置5
を図示している。この放熱装置5は、半導体集積回路パ
ッケージの上面に面接触する円形のベースプレート6
と、放熱装置の表面積を増大させるためにベースプレー
ト6の上面に立てられた複数のフィン7とを備える。こ
のタイプの放熱装置5の材質も、典型的には、アルミニ
ウムである。
を図示している。この放熱装置5は、半導体集積回路パ
ッケージの上面に面接触する円形のベースプレート6
と、放熱装置の表面積を増大させるためにベースプレー
ト6の上面に立てられた複数のフィン7とを備える。こ
のタイプの放熱装置5の材質も、典型的には、アルミニ
ウムである。
【0005】図11および図12に示したような従来の
放熱装置では、その表面積を増加させることによって放
熱効果を高めるようにしているが、高速応答性および高
集積化が要求されている近年の電子部品に対しては、満
足すべき成果を上げていない。
放熱装置では、その表面積を増加させることによって放
熱効果を高めるようにしているが、高速応答性および高
集積化が要求されている近年の電子部品に対しては、満
足すべき成果を上げていない。
【0006】電子部品を冷却する放熱装置の他の例とし
て、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、パ
イプの両端を閉じて作った密閉容器の内部を減圧し、作
動流体と呼ばれる水やアルコールなどの熱媒体を少量封
入することによって得られる。ヒートパイプの加熱部分
では液体が蒸気となり、この蒸気は加熱部分から離れた
ところに移動してそこで放熱して液体となる。この液体
は、毛細管現象により加熱部に戻る。この作用の繰り返
しで熱を加熱部より放熱部に伝える。
て、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、パ
イプの両端を閉じて作った密閉容器の内部を減圧し、作
動流体と呼ばれる水やアルコールなどの熱媒体を少量封
入することによって得られる。ヒートパイプの加熱部分
では液体が蒸気となり、この蒸気は加熱部分から離れた
ところに移動してそこで放熱して液体となる。この液体
は、毛細管現象により加熱部に戻る。この作用の繰り返
しで熱を加熱部より放熱部に伝える。
【0007】半導体集積回路パッケージなどの電子部品
を冷却するために、電子部品の上面にヒートパイプが載
せられる。ヒートパイプは、電子部品と線状に接触する
ため、電子部品からヒートパイプへの熱伝達効率の点で
劣る。
を冷却するために、電子部品の上面にヒートパイプが載
せられる。ヒートパイプは、電子部品と線状に接触する
ため、電子部品からヒートパイプへの熱伝達効率の点で
劣る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、従
来の放熱装置よりも優れた放熱特性を有する放熱装置を
提供することである。
来の放熱装置よりも優れた放熱特性を有する放熱装置を
提供することである。
【0009】この発明の他の目的は、電子部品からの受
熱面積を大きくしたヒートパイプを備えた放熱装置を提
供することである。
熱面積を大きくしたヒートパイプを備えた放熱装置を提
供することである。
【0010】この発明のさらに他の目的は、ヒートパイ
プとしての機能を有することに加えて、放熱のための表
面積を増加させた放熱装置を提供することである。
プとしての機能を有することに加えて、放熱のための表
面積を増加させた放熱装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段およびその作用効果】この
発明に従った放熱装置は、受熱面となる平らな底面と、
上面と、上面から上方に突出して延びる柱とを有する放
熱プレートを備える。柱は、その内部に、ヒートパイプ
として機能する蒸気および液体循環用の通路を有してい
る。
発明に従った放熱装置は、受熱面となる平らな底面と、
上面と、上面から上方に突出して延びる柱とを有する放
熱プレートを備える。柱は、その内部に、ヒートパイプ
として機能する蒸気および液体循環用の通路を有してい
る。
【0012】放熱プレートが上方に突出して延びる柱を
有しているので、放熱プレートの表面積は増加し、放熱
効果が高められる。放熱プレートの底面は、電子部品の
上面に面接触する。したがって、電子部品からの熱は効
率よく放熱プレートに伝達される。電子部品から伝達さ
れた熱によって、放熱プレート全体が加熱される。ヒー
トパイプとして機能する蒸気および液体循環用の通路
は、放熱プレートの柱の内部に形成されているので、通
路を規定する内壁面全体が加熱される。通路内に封入さ
れる作動流体は、頻繁に蒸発・凝縮を繰り返す。放熱部
で凝縮した液体は、通路を規定する内壁面を通って加熱
部に戻る。こうして、この発明によれば、受熱効率およ
び放熱特性の優れたヒートパイプ構造を有する放熱装置
が得られる。
有しているので、放熱プレートの表面積は増加し、放熱
効果が高められる。放熱プレートの底面は、電子部品の
上面に面接触する。したがって、電子部品からの熱は効
率よく放熱プレートに伝達される。電子部品から伝達さ
れた熱によって、放熱プレート全体が加熱される。ヒー
トパイプとして機能する蒸気および液体循環用の通路
は、放熱プレートの柱の内部に形成されているので、通
路を規定する内壁面全体が加熱される。通路内に封入さ
れる作動流体は、頻繁に蒸発・凝縮を繰り返す。放熱部
で凝縮した液体は、通路を規定する内壁面を通って加熱
部に戻る。こうして、この発明によれば、受熱効率およ
び放熱特性の優れたヒートパイプ構造を有する放熱装置
が得られる。
【0013】放熱効果を高めるために、好ましくは、柱
はマトリックス状に複数個形成される。
はマトリックス状に複数個形成される。
【0014】1つの実施例では、柱は、突出ベース部
と、パイプと、作動流体とを備える。突出ベース部は、
放熱プレートの上面に一体的に接続されて上方に突出し
て延びる。突出ベース部内には、その上端面から放熱プ
レートの底面近くにまで延びる穴が形成される。パイプ
は、その下方部分が突出ベース部の穴に挿入され、その
上方部分が突出ベース部の上端面を越えてさらに上方に
突出している。このパイプは、気密封止されている。作
動流体は、気密封止されたパイプ内に入れられた熱媒体
である。
と、パイプと、作動流体とを備える。突出ベース部は、
放熱プレートの上面に一体的に接続されて上方に突出し
て延びる。突出ベース部内には、その上端面から放熱プ
レートの底面近くにまで延びる穴が形成される。パイプ
は、その下方部分が突出ベース部の穴に挿入され、その
上方部分が突出ベース部の上端面を越えてさらに上方に
突出している。このパイプは、気密封止されている。作
動流体は、気密封止されたパイプ内に入れられた熱媒体
である。
【0015】好ましい実施例では、柱は、優れた放熱特
性を発揮するめたに、パイプの上方部分に取付けられた
複数個のフィンを備える。
性を発揮するめたに、パイプの上方部分に取付けられた
複数個のフィンを備える。
【0016】この発明の他の実施例では、柱は、放熱プ
レートの底面に対して傾斜した角度で延びている。この
ことを実現する1つの例として、放熱プレートの上面
は、底面に対して傾斜した角度で延びる傾斜面を有し、
柱は、この傾斜面から突出して延びる。柱を放熱プレー
トの底面に対して傾斜した角度で延びるように形成する
ことにより、放熱装置がどのような状態で電子部品の上
に置かれても、ヒートパイプとして機能する通路を、放
熱部から加熱部に向かって下方に傾斜した状態で位置さ
せることができるようになる。たとえば、受熱面となる
放熱プレートの底面が鉛直方向に位置したとしても、ヒ
ートパイプの放熱部を加熱部よりも上方に位置させるこ
とができる。したがって、放熱部で凝縮した液体は、ス
ムーズに加熱部にまで戻る。
レートの底面に対して傾斜した角度で延びている。この
ことを実現する1つの例として、放熱プレートの上面
は、底面に対して傾斜した角度で延びる傾斜面を有し、
柱は、この傾斜面から突出して延びる。柱を放熱プレー
トの底面に対して傾斜した角度で延びるように形成する
ことにより、放熱装置がどのような状態で電子部品の上
に置かれても、ヒートパイプとして機能する通路を、放
熱部から加熱部に向かって下方に傾斜した状態で位置さ
せることができるようになる。たとえば、受熱面となる
放熱プレートの底面が鉛直方向に位置したとしても、ヒ
ートパイプの放熱部を加熱部よりも上方に位置させるこ
とができる。したがって、放熱部で凝縮した液体は、ス
ムーズに加熱部にまで戻る。
【0017】
【実施例】図1〜図3に示すこの発明の一実施例である
放熱装置10は、アルミニウム製の放熱プレート11を
備える。放熱プレート11は、底面12と、上面13
と、上面13から上方に突出して延びる柱14とを有す
る。放熱プレート11の底面12は、半導体集積回路パ
ッケージなどの電子部品と面接触する受熱面となる。電
子部品から放熱プレート11への熱伝達を効率よくする
ために、放熱プレート11の底面12は、良好な平面度
を持つように研摩加工される。図2に示すように、柱1
4は、マトリックス状に複数個形成される。
放熱装置10は、アルミニウム製の放熱プレート11を
備える。放熱プレート11は、底面12と、上面13
と、上面13から上方に突出して延びる柱14とを有す
る。放熱プレート11の底面12は、半導体集積回路パ
ッケージなどの電子部品と面接触する受熱面となる。電
子部品から放熱プレート11への熱伝達を効率よくする
ために、放熱プレート11の底面12は、良好な平面度
を持つように研摩加工される。図2に示すように、柱1
4は、マトリックス状に複数個形成される。
【0018】図2のA−Aに沿う断面図を示す図4を参
照して、柱14の具体的構造を説明する。柱14は、放
熱プレート11の上面13に一体的に接続されて上方に
突出して延びる突出ベース部15を備える。突出ベース
部15は、その上端面から放熱プレート11の底面12
の近くにまで延びる穴15aを有する。突出ベース部1
5の穴15a内には、銅製のパイプ16が挿入されてい
る。パイプ16の上方部分は、突出ベース部15の上端
面を越えてさらに上方に突出している。パイプ16の上
端および下端は気密封止される。パイプ16を気密封止
するのに先立ち、パイプ内は減圧され、さらにパイプ内
に熱媒体となる適量の作動流体17が入れられる。作動
流体17は、パイプ16内の空間に対して15〜18%
の容積を占める量だけ入れられる。
照して、柱14の具体的構造を説明する。柱14は、放
熱プレート11の上面13に一体的に接続されて上方に
突出して延びる突出ベース部15を備える。突出ベース
部15は、その上端面から放熱プレート11の底面12
の近くにまで延びる穴15aを有する。突出ベース部1
5の穴15a内には、銅製のパイプ16が挿入されてい
る。パイプ16の上方部分は、突出ベース部15の上端
面を越えてさらに上方に突出している。パイプ16の上
端および下端は気密封止される。パイプ16を気密封止
するのに先立ち、パイプ内は減圧され、さらにパイプ内
に熱媒体となる適量の作動流体17が入れられる。作動
流体17は、パイプ16内の空間に対して15〜18%
の容積を占める量だけ入れられる。
【0019】パイプ16の上方部分には、複数のフィン
19を有するスリーブ18が固定して取付けられてい
る。この実施例では、フィンの平面形状は円形である。
19を有するスリーブ18が固定して取付けられてい
る。この実施例では、フィンの平面形状は円形である。
【0020】図4には、半導体集積回路パッケージ1が
想像線で図示されている。放熱プレート11の底面12
は半導体集積回路パッケージ1の上面に面接触し、半導
体集積回路パッケージ1からの熱を受取る。放熱プレー
ト11が加熱されていない状態では、パイプ16内に入
れられた作動流体17は液体であり、パイプ16の下方
部分に位置している。放熱装置10が半導体集積回路パ
ッケージ1の上面に置かれて加熱されると、パイプ16
も穴15aを規定する内壁面からの熱伝導によって加熱
される。その結果、作動流体17は蒸気となり、パイプ
16の上端に向かって流れる。パイプ16の上方部分に
は複数のフィン19が固定して取付けられているので、
これらのフィンを介して熱は大気中に放散される。
想像線で図示されている。放熱プレート11の底面12
は半導体集積回路パッケージ1の上面に面接触し、半導
体集積回路パッケージ1からの熱を受取る。放熱プレー
ト11が加熱されていない状態では、パイプ16内に入
れられた作動流体17は液体であり、パイプ16の下方
部分に位置している。放熱装置10が半導体集積回路パ
ッケージ1の上面に置かれて加熱されると、パイプ16
も穴15aを規定する内壁面からの熱伝導によって加熱
される。その結果、作動流体17は蒸気となり、パイプ
16の上端に向かって流れる。パイプ16の上方部分に
は複数のフィン19が固定して取付けられているので、
これらのフィンを介して熱は大気中に放散される。
【0021】蒸気となった作動流体は放熱部、すなわち
パイプ16の上方部分で放熱して液体となる。この液体
は、下方に流れて加熱部にまで戻る。液体は、放熱部か
ら加熱部へ戻る間、パイプ16から熱を奪い、加熱部で
再度蒸発する。このような蒸発・凝縮の繰り返しによっ
て放熱装置の放熱効果を高める。
パイプ16の上方部分で放熱して液体となる。この液体
は、下方に流れて加熱部にまで戻る。液体は、放熱部か
ら加熱部へ戻る間、パイプ16から熱を奪い、加熱部で
再度蒸発する。このような蒸発・凝縮の繰り返しによっ
て放熱装置の放熱効果を高める。
【0022】図1〜図4に示した実施例では、放熱プレ
ート11が突出ベース部15を有しているので、放熱の
ための表面積が大きい。それに加えて、作動流体17が
蒸発、凝縮を繰り返すことによって放熱特性を向上させ
ている。さらに、パイプ16の上方部分に複数のフィン
を設けることによって、優れた放熱効果が発揮される。
ート11が突出ベース部15を有しているので、放熱の
ための表面積が大きい。それに加えて、作動流体17が
蒸発、凝縮を繰り返すことによって放熱特性を向上させ
ている。さらに、パイプ16の上方部分に複数のフィン
を設けることによって、優れた放熱効果が発揮される。
【0023】図1〜図4に示した実施例では、フィン1
9の平面形状が円形であるので、平面的に隣接する4個
のフィン19の間にスペース20が形成される。スペー
ス20内の空気は加熱され、その結果上方に移動して大
気中に放散される。この加熱空気の移動に伴い、スペー
ス20内の圧力は減少する。その結果、隣接する突出ベ
ース部15間の隙間を通して大気中の冷気がスペース2
0内に入り込む。フィン19の平面形状を円形にするこ
とによって、上述のような空気の対流を生じさせること
ができる。空気の対流によって、放熱装置10の放熱特
性は高められる。
9の平面形状が円形であるので、平面的に隣接する4個
のフィン19の間にスペース20が形成される。スペー
ス20内の空気は加熱され、その結果上方に移動して大
気中に放散される。この加熱空気の移動に伴い、スペー
ス20内の圧力は減少する。その結果、隣接する突出ベ
ース部15間の隙間を通して大気中の冷気がスペース2
0内に入り込む。フィン19の平面形状を円形にするこ
とによって、上述のような空気の対流を生じさせること
ができる。空気の対流によって、放熱装置10の放熱特
性は高められる。
【0024】図5は、この発明の他の実施例を示す平面
図である。図5に示す放熱装置21が図1に示した放熱
装置10と異なっているのは、フィン22の平面形状が
四角形であるということである。フィン22の形状を四
角形とすれば、フィンの放熱面積を増加させることがで
きる。
図である。図5に示す放熱装置21が図1に示した放熱
装置10と異なっているのは、フィン22の平面形状が
四角形であるということである。フィン22の形状を四
角形とすれば、フィンの放熱面積を増加させることがで
きる。
【0025】図6は、放熱装置の製造工程を順に示して
いる。図6(a)に示すように、まず鋳造によって放熱
プレート30を作る。放熱プレート30は、突出部31
を有している。また、突出部31には、貫通穴32が設
けられている。
いる。図6(a)に示すように、まず鋳造によって放熱
プレート30を作る。放熱プレート30は、突出部31
を有している。また、突出部31には、貫通穴32が設
けられている。
【0026】次に、図6(b)に示すように、内部に作
動流体を有する気密封止されたパイプ33を放熱プレー
ト30の穴32内に挿入する。パイプ33の下方部分に
は、封止部材35が充填されている。また、パイプ33
の上方部分には、フィン付きスリーブ34が固定して取
付けられている。図示するように、パイプ33の下方部
分は放熱プレート30の底面から突出するようにされ、
その状態でパイプ33は銀ペーストを用いて放熱プレー
ト30の貫通穴32内に密着固定される。
動流体を有する気密封止されたパイプ33を放熱プレー
ト30の穴32内に挿入する。パイプ33の下方部分に
は、封止部材35が充填されている。また、パイプ33
の上方部分には、フィン付きスリーブ34が固定して取
付けられている。図示するように、パイプ33の下方部
分は放熱プレート30の底面から突出するようにされ、
その状態でパイプ33は銀ペーストを用いて放熱プレー
ト30の貫通穴32内に密着固定される。
【0027】次に、図6(c)に示すように、放熱プレ
ート30の底面を研摩加工することによって、パイプ3
3の突出部分を取除くとともに、放熱プレート30の底
面を平らに仕上げる。
ート30の底面を研摩加工することによって、パイプ3
3の突出部分を取除くとともに、放熱プレート30の底
面を平らに仕上げる。
【0028】図7および図8は、この発明のさらに他の
実施例を示している。図示する放熱装置40では、柱4
3が、放熱プレート41の底面に対して傾斜した角度で
延びている。図示するように、放熱プレート41の上面
は鋸歯状に形成され、傾斜面42を連ねた形態になって
いる。柱43は、放熱プレート41の傾斜面42から突
出して延びる。
実施例を示している。図示する放熱装置40では、柱4
3が、放熱プレート41の底面に対して傾斜した角度で
延びている。図示するように、放熱プレート41の上面
は鋸歯状に形成され、傾斜面42を連ねた形態になって
いる。柱43は、放熱プレート41の傾斜面42から突
出して延びる。
【0029】図7に示した放熱装置40は、受熱面とな
る底面が鉛直方向に位置するように設置されたときで
も、熱媒体としての作動流体が効率よく蒸発・凝縮を繰
り返すことができるように構成したものである。たとえ
ば、図9に示すように、放熱装置40が半導体集積回路
パッケージ1上に置かれたとき、受熱面となる底面が鉛
直方向に位置したとする。この場合であっても、柱43
の先端部分をその下端よりも常に高いところに維持する
ことができる。したがって、柱43内に入れられている
作動流体が柱43の先端部分で凝縮して液体となったと
き、その液体は重力によって加熱部にまで戻ることがで
きる。
る底面が鉛直方向に位置するように設置されたときで
も、熱媒体としての作動流体が効率よく蒸発・凝縮を繰
り返すことができるように構成したものである。たとえ
ば、図9に示すように、放熱装置40が半導体集積回路
パッケージ1上に置かれたとき、受熱面となる底面が鉛
直方向に位置したとする。この場合であっても、柱43
の先端部分をその下端よりも常に高いところに維持する
ことができる。したがって、柱43内に入れられている
作動流体が柱43の先端部分で凝縮して液体となったと
き、その液体は重力によって加熱部にまで戻ることがで
きる。
【0030】図10は、この発明のさらに他の実施例を
示している。図示する放熱装置50は、複数の突出ベー
ス部51を上面に有する放熱プレート52を備える。各
突出ベース部51内には垂直通路53が形成されてい
る。図示するように、各垂直通路53は、放熱プレート
52の底面に対して平行に延びる水平通路54を介して
連絡されている。通路53,54の開口端部は気密封止
される。通路53,54内には熱媒体としての作動流体
が適量入れられる。前述した実施例と異なり、図10に
示した実施例では、パイプを用いる代わりに、放熱プレ
ート52内に直接ヒートパイプとして機能する通路を形
成している。また、各垂直通路53は、互いに連通して
いる。
示している。図示する放熱装置50は、複数の突出ベー
ス部51を上面に有する放熱プレート52を備える。各
突出ベース部51内には垂直通路53が形成されてい
る。図示するように、各垂直通路53は、放熱プレート
52の底面に対して平行に延びる水平通路54を介して
連絡されている。通路53,54の開口端部は気密封止
される。通路53,54内には熱媒体としての作動流体
が適量入れられる。前述した実施例と異なり、図10に
示した実施例では、パイプを用いる代わりに、放熱プレ
ート52内に直接ヒートパイプとして機能する通路を形
成している。また、各垂直通路53は、互いに連通して
いる。
【0031】以上、いくつかの実施例を用いてこの発明
を説明したが、本発明は図示された実施例に限定される
ものではない。この発明の均等の範囲内において種々の
修正や変形が可能である。
を説明したが、本発明は図示された実施例に限定される
ものではない。この発明の均等の範囲内において種々の
修正や変形が可能である。
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1に示した放熱装置の平面図である。
【図3】図1に示した放熱装置の正面図である。
【図4】図2の線A−Aに沿って見た断面図である。
【図5】この発明の他の実施例を示す平面図である。
【図6】放熱装置を製造する工程の一例を順に示す図で
ある。
ある。
【図7】本発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図8】図7の放熱装置の側面図である。
【図9】図7に示した放熱装置が半導体集積回路パッケ
ージ上に取付けられている状態を示す図である。
ージ上に取付けられている状態を示す図である。
【図10】本発明のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。
る。
【図11】従来の放熱装置の一例を示す斜視図である。
【図12】従来の放熱装置の他の例を示す斜視図であ
る。
る。
10 放熱装置 11 放熱プレート 12 底面 13 上面 14 柱 15 突出ベース部 15a 穴 16 パイプ 17 作動流体 18 スリーブ 19 フィン 20 スペース
Claims (6)
- 【請求項1】 受熱面となる平らな底面と、上面と、上
面から上方に突出して延びる柱とを有する放熱プレート
を備え、 前記柱は、その内部に、ヒートパイプとして機能する蒸
気および液体循環用の通路を有している、放熱装置。 - 【請求項2】 前記柱は、マトリックス状に複数個形成
されている、請求項1に記載の放熱装置。 - 【請求項3】 前記柱は、 前記放熱プレートの上面に一体的に接続されて上方に突
出して延び、その上端面から前記放熱プレートの底面近
くにまで延びる穴を有する突出ベース部と、 その下方部分が前記突出ベース部の穴に挿入され、その
上方部分が前記ベース部の上端面を越えてさらに上方に
突出している気密封止されたパイプと、 前記パイプ内に入れられた熱媒体としての作動流体と、 を備える、請求項1または2に記載の放熱装置。 - 【請求項4】 前記柱は、前記パイプの上方部分に取付
けられた複数個のフィンをさらに備える、請求項3に記
載の放熱装置。 - 【請求項5】 前記柱は、前記放熱プレートの底面に対
して傾斜した角度で延びている、請求項1〜4のいずれ
かに記載の放熱装置。 - 【請求項6】 前記放熱プレートの上面は、底面に対し
て傾斜した角度で延びる傾斜面を有し、 前記柱は、前記傾斜面から突出して延びている、請求項
5に記載の放熱装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045781A JPH05243441A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 放熱装置 |
| US08/025,030 US5396947A (en) | 1992-03-03 | 1993-03-01 | Radiating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045781A JPH05243441A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 放熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05243441A true JPH05243441A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12728835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4045781A Pending JPH05243441A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 放熱装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5396947A (ja) |
| JP (1) | JPH05243441A (ja) |
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