JPH05248678A - エアシャワ装置 - Google Patents
エアシャワ装置Info
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- JPH05248678A JPH05248678A JP4956692A JP4956692A JPH05248678A JP H05248678 A JPH05248678 A JP H05248678A JP 4956692 A JP4956692 A JP 4956692A JP 4956692 A JP4956692 A JP 4956692A JP H05248678 A JPH05248678 A JP H05248678A
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- air shower
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームに入室する被清浄体に対する
高度の清浄度と、特に人に対する快適性を保持するエア
シャワ装置を提供する。 【構成】エアシャワ室２を通過する被清浄体Ａが、エア
カーテン流Ｃとノズル８からのエアジェット流Ｂを連続
的に浴びるように、ノズル８、プレフィルタ５、第１送
風機４、第１フィルタ３、ダクト６、第２送風機９、第
２フィルタ１０を経由するミキシング循環流路を形成
し、クーリングユニット４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒ
ータ４８などを組合せた空調装置によって、被清浄体Ａ
に対し快適な条件で清浄化を行なう。
高度の清浄度と、特に人に対する快適性を保持するエア
シャワ装置を提供する。 【構成】エアシャワ室２を通過する被清浄体Ａが、エア
カーテン流Ｃとノズル８からのエアジェット流Ｂを連続
的に浴びるように、ノズル８、プレフィルタ５、第１送
風機４、第１フィルタ３、ダクト６、第２送風機９、第
２フィルタ１０を経由するミキシング循環流路を形成
し、クーリングユニット４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒ
ータ４８などを組合せた空調装置によって、被清浄体Ａ
に対し快適な条件で清浄化を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの前段
に設けられるエアシャワ装置に関するものである。
に設けられるエアシャワ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のエアシャワ装置は、特開昭６３−
１０３３６号公報に開示されているように、じん埃の除
去を主体とするもので、空気調和（温度、湿度）に加え
てガス濃度、臭気のコントロールを併せて実施している
ものはない。
１０３３６号公報に開示されているように、じん埃の除
去を主体とするもので、空気調和（温度、湿度）に加え
てガス濃度、臭気のコントロールを併せて実施している
ものはない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】クリーンルームまたは
じん埃管理室のような空気調和（以下空調と記す）を施
した空間（以後空調空間と呼ぶ）とエアシャワ装置とを
連絡する空間の温度が低いときは、低温のエアジェット
流によって人体に不快感を与えることが多い。本発明
は、このような不快感をなくすと共に、従来除去不可能
とされた湿気、ガス、臭気などが外空間から前記空調空
間に持込まれるのを防止し空調を行なうエアシャワ装置
を提供することを目的としている。
じん埃管理室のような空気調和（以下空調と記す）を施
した空間（以後空調空間と呼ぶ）とエアシャワ装置とを
連絡する空間の温度が低いときは、低温のエアジェット
流によって人体に不快感を与えることが多い。本発明
は、このような不快感をなくすと共に、従来除去不可能
とされた湿気、ガス、臭気などが外空間から前記空調空
間に持込まれるのを防止し空調を行なうエアシャワ装置
を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段は、エアシャワ室と、該エアシャワ室内に清浄な
エアカーテン流を形成する手段と、前記エアシャワ室内
に清浄なエアジェット流を形成する手段を備えたエアシ
ャワ装置において、前記エアカーテン流とエアジェット
流を混合して循環させる流路と、前記エアシャワ室内の
温度の調整手段を設けることによって達成される。
の手段は、エアシャワ室と、該エアシャワ室内に清浄な
エアカーテン流を形成する手段と、前記エアシャワ室内
に清浄なエアジェット流を形成する手段を備えたエアシ
ャワ装置において、前記エアカーテン流とエアジェット
流を混合して循環させる流路と、前記エアシャワ室内の
温度の調整手段を設けることによって達成される。
【０００５】
【作用】エアカーテン流とエアジェット流と混合して循
環させる流路は、エアカーテン流とエアジェット流とを
ほぼ等温になるように調整して不快感を減少させる。温
度調整手段は、エアカーテンとエアジェットの温度を人
体に快適な温度に調整する。これによりエアシャワ室内
の環境は快適状態に保持される。
環させる流路は、エアカーテン流とエアジェット流とを
ほぼ等温になるように調整して不快感を減少させる。温
度調整手段は、エアカーテンとエアジェットの温度を人
体に快適な温度に調整する。これによりエアシャワ室内
の環境は快適状態に保持される。
【０００６】
【実施例】本発明に係るエアシャワ装置を実施例に基づ
いて説明する。 〔第１実施例〕本発明の第１実施例を図１により説明す
る。本発明のエアシャワ室２は、図１に示す基本構成を
備えている。すなわち、エアシャワ室２は、外郭を構成
する装置本体１内に設けられ、ダクト６、エアジェット
チャンバ７を付設すると共に、第１フィルタ３、プレフ
ィルタ５、第２フィルタ１０、整流板１１、第１送風機
４、第２送風機９などの構成要素備えている。図中Ａは
被清浄体（具体的には入室者及び搬入物）である。エア
シャワ室２内の空気流は、エアジェット気流Ｂ、エアカ
ーテン流Ｃからなり、エアカーテン流Ｃは第２送風機
９、第２フィルタ１０、整流板１１を経て被清浄体Ａの
上方から吹き出され、エアジェット流Ｂは、第１フィル
タ３、第１送風機４を経て複数個のノズル８から被清浄
体Ａに向かって側方から噴出される。上記の基本構成に
対して、本発明のエアシャワ装置は、例えば、空調用の
クーリングユニット４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒータ
４８などが付設されている。
いて説明する。 〔第１実施例〕本発明の第１実施例を図１により説明す
る。本発明のエアシャワ室２は、図１に示す基本構成を
備えている。すなわち、エアシャワ室２は、外郭を構成
する装置本体１内に設けられ、ダクト６、エアジェット
チャンバ７を付設すると共に、第１フィルタ３、プレフ
ィルタ５、第２フィルタ１０、整流板１１、第１送風機
４、第２送風機９などの構成要素備えている。図中Ａは
被清浄体（具体的には入室者及び搬入物）である。エア
シャワ室２内の空気流は、エアジェット気流Ｂ、エアカ
ーテン流Ｃからなり、エアカーテン流Ｃは第２送風機
９、第２フィルタ１０、整流板１１を経て被清浄体Ａの
上方から吹き出され、エアジェット流Ｂは、第１フィル
タ３、第１送風機４を経て複数個のノズル８から被清浄
体Ａに向かって側方から噴出される。上記の基本構成に
対して、本発明のエアシャワ装置は、例えば、空調用の
クーリングユニット４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒータ
４８などが付設されている。
【０００７】上記構成によるエアシャワ装置の作用と機
能を図１により説明する。エアシャワ室２を通過する被
清浄体Ａが、上方からのエアカーテン流Ｃとノズル８に
よる両側からのエアジェット流Ｂを連続的に浴びるよう
に、ノズル８、プレフィルタ５、第１フィルタ３、第１
送風機４を順次経由する循環流路、及び整流板１１プレ
フィルタ５、ダクト６、第２送風機９、第２フィルタ１
０を経由する循環流路が形成される。クーリングユニッ
ト４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒータ４８などの組合せ
によって被清浄体Ａに対し好ましい温度条件での清浄化
がなされ、また図示しないが、エアコンの併設による温
湿度調整された空気の導入、または、ガス濃度の検知、
芳香の発散により快適な環境下でのエアシャワ室が得ら
れる。
能を図１により説明する。エアシャワ室２を通過する被
清浄体Ａが、上方からのエアカーテン流Ｃとノズル８に
よる両側からのエアジェット流Ｂを連続的に浴びるよう
に、ノズル８、プレフィルタ５、第１フィルタ３、第１
送風機４を順次経由する循環流路、及び整流板１１プレ
フィルタ５、ダクト６、第２送風機９、第２フィルタ１
０を経由する循環流路が形成される。クーリングユニッ
ト４１、ヒータ４２、遠赤外線ヒータ４８などの組合せ
によって被清浄体Ａに対し好ましい温度条件での清浄化
がなされ、また図示しないが、エアコンの併設による温
湿度調整された空気の導入、または、ガス濃度の検知、
芳香の発散により快適な環境下でのエアシャワ室が得ら
れる。
【０００８】〔第２実施例〕本発明の第２実施例を図２
により説明する。図２は本発明のエアシャワ装置の第２
実施例を示す横断面図であって、エアシャワ室２は第１
実施例の基本構成に準じており、外郭を構成する装置本
体１内にエアシャワ室２、ダクト６、エアジェットチャ
ンバ７、第１フィルタ３、第２フィルタ１０、第１送風
機４、第２送風機９、ノズル８などを収容しており、エ
アシャワ室２内の空気流は、エアジェット気流Ｂ、エア
カーテン流Ｃからなり、エアカーテン流Ｃは第２送風機
９、第２フィルタ１０、整流板１１を経て被清浄体Ａの
上方から吹き出され、エアジェット流Ｂは、第１フィル
タ３、第１送風機４を経て複数個のノズル８から被清浄
体Ａに向かって側方から噴出される。本実施例ではエア
ジェットチャンバ７内にクーリングユニット４１とヒー
タ４２を設け、ノズル８の作動時にのみクーリングユニ
ット４１、ヒータ４２を稼動させエアジェット流Ｂから
噴出する空気のみを対象に温度調節を行ない省エネルギ
ー化を図っている。またヒータ４２、クーリングユニッ
ト４１の微力運転によりエアジェットチャンバ７内にエ
ネルギを蓄積し、ノズル８の初期立上がり動作時に強力
に温度調節された清浄空気をエアジェット流Ｂとして供
給することにより、被清浄体Ａの入室者に対する環境の
快適化を図っている。本実施例におけるエアカーテン流
とエアジェット流を混合して循環させる流路とは例え
ば、本実施例に示すプレフィルタ５から第１フィルタ３
に至る流路およびプレフィルタ５からダクト６に至る流
路であり、この部分でエアカーテンの気流とエアジェッ
ト気流が混合され、両者の温度がほぼ等しくなる。
により説明する。図２は本発明のエアシャワ装置の第２
実施例を示す横断面図であって、エアシャワ室２は第１
実施例の基本構成に準じており、外郭を構成する装置本
体１内にエアシャワ室２、ダクト６、エアジェットチャ
ンバ７、第１フィルタ３、第２フィルタ１０、第１送風
機４、第２送風機９、ノズル８などを収容しており、エ
アシャワ室２内の空気流は、エアジェット気流Ｂ、エア
カーテン流Ｃからなり、エアカーテン流Ｃは第２送風機
９、第２フィルタ１０、整流板１１を経て被清浄体Ａの
上方から吹き出され、エアジェット流Ｂは、第１フィル
タ３、第１送風機４を経て複数個のノズル８から被清浄
体Ａに向かって側方から噴出される。本実施例ではエア
ジェットチャンバ７内にクーリングユニット４１とヒー
タ４２を設け、ノズル８の作動時にのみクーリングユニ
ット４１、ヒータ４２を稼動させエアジェット流Ｂから
噴出する空気のみを対象に温度調節を行ない省エネルギ
ー化を図っている。またヒータ４２、クーリングユニッ
ト４１の微力運転によりエアジェットチャンバ７内にエ
ネルギを蓄積し、ノズル８の初期立上がり動作時に強力
に温度調節された清浄空気をエアジェット流Ｂとして供
給することにより、被清浄体Ａの入室者に対する環境の
快適化を図っている。本実施例におけるエアカーテン流
とエアジェット流を混合して循環させる流路とは例え
ば、本実施例に示すプレフィルタ５から第１フィルタ３
に至る流路およびプレフィルタ５からダクト６に至る流
路であり、この部分でエアカーテンの気流とエアジェッ
ト気流が混合され、両者の温度がほぼ等しくなる。
【０００９】〔第３実施例〕本発明の第３実施例を図３
により説明する。図３は本発明の第３実施例を示す横断
面図であって、外郭を構成する装置本体１内にエアシャ
ワ室２、ダクト６、エアジェットチャンバ７、第１フィ
ルタ３、第２フィルタ１０、第１送風機４、第２送風機
９、ノズル８などを収容する構成は図２と同様である。
第２実施例と異なるのは、エアジェットチャンバ７内に
クーリングユニット４１とヒータ４２に配置せず、ダク
ト６の上方部、すなわちエアカーテン流Ｃの上流にヒー
タ４２、クーリングユニット４１を設けた点であるが、
通常、エアカーテン流Ｃはエアジェット流Ｂよりも長時
間、時には連続して流すため、これによりエアカーテン
流Ｃに空調を施すことで、エアシャワ室２内の温度を概
ね一定値にコントロールして保持することができる。
により説明する。図３は本発明の第３実施例を示す横断
面図であって、外郭を構成する装置本体１内にエアシャ
ワ室２、ダクト６、エアジェットチャンバ７、第１フィ
ルタ３、第２フィルタ１０、第１送風機４、第２送風機
９、ノズル８などを収容する構成は図２と同様である。
第２実施例と異なるのは、エアジェットチャンバ７内に
クーリングユニット４１とヒータ４２に配置せず、ダク
ト６の上方部、すなわちエアカーテン流Ｃの上流にヒー
タ４２、クーリングユニット４１を設けた点であるが、
通常、エアカーテン流Ｃはエアジェット流Ｂよりも長時
間、時には連続して流すため、これによりエアカーテン
流Ｃに空調を施すことで、エアシャワ室２内の温度を概
ね一定値にコントロールして保持することができる。
【００１０】〔第４実施例〕本発明の第４実施例を図４
により説明する。図４は本発明の第４実施例を示す横断
面図であって、エアシャワ室２自体の構成は第２実施例
に準ずるが、エアジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃの共
通ダクト６内にエアコン４０を設けた点に特徴を有し、
エアコン４０により、冷暖房の両方または一方を稼動し
てエアジェット流Ｂ及びエアカーテン流Ｃを形成し、さ
らにエアジェット流Ｂ用のチャンバ７内にはヒータ４２
だけが設置され、エアシャワ室２内の温度コントロール
を行なう構成である。エアジェット流Ｂは２５〜３５ｍ
／ｓの速い風速のためエアジェット流Ｂを受けた被清浄
体Ａの人間の体感温度が低下する。そこでエアジェット
流Ｂ用にヒータ４２を設け、エアジェット流Ｂの温度を
必要に応じて上昇させるものである。エアコン４０は、
エアカーテン流Ｃ用第２送風機９、エアジェット流Ｂ用
第１送風機４の両方または一方と連動しており、各送風
機の運転を検出し、風量に応じて冷暖房の能力をコント
ロールする。これらにより効率良くエアコン４０を稼動
させることができる。
により説明する。図４は本発明の第４実施例を示す横断
面図であって、エアシャワ室２自体の構成は第２実施例
に準ずるが、エアジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃの共
通ダクト６内にエアコン４０を設けた点に特徴を有し、
エアコン４０により、冷暖房の両方または一方を稼動し
てエアジェット流Ｂ及びエアカーテン流Ｃを形成し、さ
らにエアジェット流Ｂ用のチャンバ７内にはヒータ４２
だけが設置され、エアシャワ室２内の温度コントロール
を行なう構成である。エアジェット流Ｂは２５〜３５ｍ
／ｓの速い風速のためエアジェット流Ｂを受けた被清浄
体Ａの人間の体感温度が低下する。そこでエアジェット
流Ｂ用にヒータ４２を設け、エアジェット流Ｂの温度を
必要に応じて上昇させるものである。エアコン４０は、
エアカーテン流Ｃ用第２送風機９、エアジェット流Ｂ用
第１送風機４の両方または一方と連動しており、各送風
機の運転を検出し、風量に応じて冷暖房の能力をコント
ロールする。これらにより効率良くエアコン４０を稼動
させることができる。
【００１１】〔第５実施例〕本発明の第５実施例を図５
（ａ）、（ｂ）により説明する。図５（ａ）は本発明の
第５の実施例を示す横断面図、図５（ｂ）は本実施例の
側断面図であって、第２実施例に準ずる構成のエアシャ
ワ室２内からクーリングユニット４１とヒータ４２を割
愛すると共に、クリーンルームに通ずる空気取込口１２
を設けたものである。クリーンルーム内は、通常、空調
により温湿度がコントロールされているが、本実施例で
はこの空調された空気をエアシャワ室２内に設けた空気
取込口１２からエアシャワ室２内に導入するもので、ク
リーンルーム側の空調能力はエアシャワ室２よりはるか
に大きいため、エアシャワ装置用に空調設備を増設する
必要がなくなり、省エネルギー化が図られエアシャワ装
置を低原価で提供することができる。
（ａ）、（ｂ）により説明する。図５（ａ）は本発明の
第５の実施例を示す横断面図、図５（ｂ）は本実施例の
側断面図であって、第２実施例に準ずる構成のエアシャ
ワ室２内からクーリングユニット４１とヒータ４２を割
愛すると共に、クリーンルームに通ずる空気取込口１２
を設けたものである。クリーンルーム内は、通常、空調
により温湿度がコントロールされているが、本実施例で
はこの空調された空気をエアシャワ室２内に設けた空気
取込口１２からエアシャワ室２内に導入するもので、ク
リーンルーム側の空調能力はエアシャワ室２よりはるか
に大きいため、エアシャワ装置用に空調設備を増設する
必要がなくなり、省エネルギー化が図られエアシャワ装
置を低原価で提供することができる。
【００１２】〔第６実施例〕本発明の第６実施例を図６
により説明する。図６は、本発明の第６実施例を示す配
置図であって、エアシャワ室２と隣接する冷蔵室を排熱
ダクト６６によって連結したエアシャワ装置である。エ
アシャワ室２自体の構成は図３に準ずるものとする。冷
蔵室を冷却するための冷凍機の排熱用として室外機４０
ａを冷蔵室外に設け、冷凍機からの排熱をエアシャワ室
２内に導入して、エアシャワ気流Ｃまたはエアジェット
流Ｂを暖房するもので、排熱の利用による省エネルギー
化が図られる。排熱ダクト６６は第２送風機９の吸込口
と連通するように接続される。但し、冷凍機からの排熱
温度条件によってはヒータ４２は省くこともあり得る。
により説明する。図６は、本発明の第６実施例を示す配
置図であって、エアシャワ室２と隣接する冷蔵室を排熱
ダクト６６によって連結したエアシャワ装置である。エ
アシャワ室２自体の構成は図３に準ずるものとする。冷
蔵室を冷却するための冷凍機の排熱用として室外機４０
ａを冷蔵室外に設け、冷凍機からの排熱をエアシャワ室
２内に導入して、エアシャワ気流Ｃまたはエアジェット
流Ｂを暖房するもので、排熱の利用による省エネルギー
化が図られる。排熱ダクト６６は第２送風機９の吸込口
と連通するように接続される。但し、冷凍機からの排熱
温度条件によってはヒータ４２は省くこともあり得る。
【００１３】〔第７実施例〕本発明の第７実施例を図７
により説明する。図７は本発明の第７実施例を示す横断
面図であって、本実施例は図４に示した第４実施例の変
形型である。エアコン４０は、室外機４９ａを含め全装
置をエアシャワ装置内に内設したものであり、このた
め、室外機４０ａからの排熱は排風機４３により室外放
出するように構成した点は図４と相違している。本実施
例では、室外機４０ａもシャワ装置に内設されているた
め、本来のエアコン４０の配管は既設されているから、
室外機４０ａとの配管が必要でなく容易に現地工事を実
施するに好適である。空調条件によっては、図４のヒー
タ４２は省くこともあり得る。
により説明する。図７は本発明の第７実施例を示す横断
面図であって、本実施例は図４に示した第４実施例の変
形型である。エアコン４０は、室外機４９ａを含め全装
置をエアシャワ装置内に内設したものであり、このた
め、室外機４０ａからの排熱は排風機４３により室外放
出するように構成した点は図４と相違している。本実施
例では、室外機４０ａもシャワ装置に内設されているた
め、本来のエアコン４０の配管は既設されているから、
室外機４０ａとの配管が必要でなく容易に現地工事を実
施するに好適である。空調条件によっては、図４のヒー
タ４２は省くこともあり得る。
【００１４】〔第８実施例〕本発明の第８実施例を図８
により説明する。図８は本発明の第８実施例を示す横断
面図である。エアシャワ室２の一般構造は第１実施例の
通りである。本実施例は、エアシャワ室２のエアシャワ
装置の機構部Ｐとは別に空調ユニット部Ｑを設けた点に
特徴があり、空調ユニット部Ｑ内に温度、湿度、ガス濃
度をコントロールする空調ユニット４５を設けている。
これにより、エアジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃの動
作、不動作に拘らず、エアシャワ室２内をきめ細かくコ
ントロールすることができる。また、エアジェット流
Ｂ、エアカーテン流Ｃは、第１フィルタ３、第２フィル
タ１０以外に、ガス分解またはガス吸着用の第３フィル
タ３ａ、３ｂを設けエアジェット流Ｂ、エアカーテン流
Ｃに対してじん埃以外の空調も包括して総合的にコント
ロールすることができる。また、エアシャワ室２内に芳
香発生器５０を備え、エアシャワ室２を利用する作業者
のリラックスに有効な手段を提供することができる。
により説明する。図８は本発明の第８実施例を示す横断
面図である。エアシャワ室２の一般構造は第１実施例の
通りである。本実施例は、エアシャワ室２のエアシャワ
装置の機構部Ｐとは別に空調ユニット部Ｑを設けた点に
特徴があり、空調ユニット部Ｑ内に温度、湿度、ガス濃
度をコントロールする空調ユニット４５を設けている。
これにより、エアジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃの動
作、不動作に拘らず、エアシャワ室２内をきめ細かくコ
ントロールすることができる。また、エアジェット流
Ｂ、エアカーテン流Ｃは、第１フィルタ３、第２フィル
タ１０以外に、ガス分解またはガス吸着用の第３フィル
タ３ａ、３ｂを設けエアジェット流Ｂ、エアカーテン流
Ｃに対してじん埃以外の空調も包括して総合的にコント
ロールすることができる。また、エアシャワ室２内に芳
香発生器５０を備え、エアシャワ室２を利用する作業者
のリラックスに有効な手段を提供することができる。
【００１５】〔第９実施例〕本発明の第９実施例を図９
により説明する。図９は本発明の第９の実施例を示す横
断面図である。エアシャワ室２の一般構造は第１実施例
の通りである。本実施例は、エアシャワ室２内にペルチ
エ素子利用の冷暖房パネル４６、コントローラ４７を設
け、エアシャワ室２内を直接空調するものであり、エア
ジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃとは別ルートでエアシ
ャワ室２内を空調することができる。
により説明する。図９は本発明の第９の実施例を示す横
断面図である。エアシャワ室２の一般構造は第１実施例
の通りである。本実施例は、エアシャワ室２内にペルチ
エ素子利用の冷暖房パネル４６、コントローラ４７を設
け、エアシャワ室２内を直接空調するものであり、エア
ジェット流Ｂ、エアカーテン流Ｃとは別ルートでエアシ
ャワ室２内を空調することができる。
【００１６】〔第１０実施例〕本発明の第１０実施例を
図１０により説明する。図１０は本発明の第１０実施例
を示す横断面図である。エアシャワ室２の一般構造は第
１実施例に準ずるものとする。本実施例はエアシャワ室
２内に遠赤外線ヒータ４８を設け直接作業者に暖房を与
えるものであり、図１０ではクーリングユニット４１、
ヒータ４２を省いたものが示されている。
図１０により説明する。図１０は本発明の第１０実施例
を示す横断面図である。エアシャワ室２の一般構造は第
１実施例に準ずるものとする。本実施例はエアシャワ室
２内に遠赤外線ヒータ４８を設け直接作業者に暖房を与
えるものであり、図１０ではクーリングユニット４１、
ヒータ４２を省いたものが示されている。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、上記各実施例に示す設備を組
合せて、エアシャワ室内に対する空調を実施することに
より、最適なエアシャワ流とエアジェット流を形成する
ことができクリーンルームに入室する被清浄体に対する
高度の清浄度を保持すると共に特に人に対する快適性を
高めることができた。
合せて、エアシャワ室内に対する空調を実施することに
より、最適なエアシャワ流とエアジェット流を形成する
ことができクリーンルームに入室する被清浄体に対する
高度の清浄度を保持すると共に特に人に対する快適性を
高めることができた。
【図１】本発明に係るエアシャワ装置の第１実施例の断
面図である。
面図である。
【図２】本発明に係るエアシャワ装置の第２実施例の断
面図である。
面図である。
【図３】本発明に係るエアシャワ装置の第３実施例の断
面図である。
面図である。
【図４】本発明に係るエアシャワ装置の第４実施例の断
面図である。
面図である。
【図５】本発明に係るエアシャワ装置の第５実施例の横
断面図（ａ）、側断面図（ｂ）である。
断面図（ａ）、側断面図（ｂ）である。
【図６】本発明に係るエアシャワ装置の第６実施例の断
面図である。
面図である。
【図７】本発明に係るエアシャワ装置の第７実施例の断
面図である。
面図である。
【図８】本発明に係るエアシャワ装置の第８実施例の断
面図である。
面図である。
【図９】本発明に係るエアシャワ装置の第９実施例の断
面図である。
面図である。
【図１０】本発明に係るエアシャワ装置の第１０実施例
の断面図である。
の断面図である。
１…装置本体 ２…エアシャワ室 ３…第１フィルタ ３ａ、３ｂ…第３フィルタ ４…第１送風機 ５…プレフィルタ ６…ダクト ７…チャンバ ８
…ノズル ９…第２送風機 １０…第２フィルタ １１
…整流板 １２…空気取入口 ４０…エアコン ４１…クーリングユニット ４２…ヒータ ４３…排風機 ４５…空調ユニット ４６…ペルチェ素子冷房パ
ネル ４７…コントローラ ４８…遠赤外線ヒータ ５０…芳香発生器 ６６…排熱ダクト Ａ…被清浄体 Ｂ…エアジェット気流 Ｃ…
エアカーテン流
…ノズル ９…第２送風機 １０…第２フィルタ １１
…整流板 １２…空気取入口 ４０…エアコン ４１…クーリングユニット ４２…ヒータ ４３…排風機 ４５…空調ユニット ４６…ペルチェ素子冷房パ
ネル ４７…コントローラ ４８…遠赤外線ヒータ ５０…芳香発生器 ６６…排熱ダクト Ａ…被清浄体 Ｂ…エアジェット気流 Ｃ…
エアカーテン流
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木 克人 新潟県北蒲原郡中条町大字富岡46番１号 株式会社日立製作所中条工場内 (72)発明者 高橋 耕造 新潟県北蒲原郡中条町大字富岡46番１号 株式会社日立製作所中条工場内
Claims (5)
- 【請求項１】 エアシャワ室と、該エアシャワ室内に清
浄なエアカーテン流を形成する手段と、前記エアシャワ
室内に清浄なエアジェット流を形成する手段を備えたエ
アシャワ装置において、 前記エアカーテン流とエアジェット流を混合して循環さ
せる流路と、 前記エアシャワ室内の温度の調整手段を備えたことを特
徴とするエアシャワ装置。 - 【請求項２】 前記調整手段は、前記エアシャワ室外か
ら温湿度調整された空気を導入して温度調整するよう構
成されたことを特徴とする請求項１記載のエアシャワ装
置。 - 【請求項３】 前記調整手段は、発熱装置もしくは吸塵
装置の少なくともいずれか一方であることを特徴とする
請求項１記載のエアシャワ装置。 - 【請求項４】 前記エアシャワ室内のガス濃度検知手段
または吸着手段を備えたことを特徴とする請求項１記載
のエアシャワ装置。 - 【請求項５】 芳香発生器を備えたことを特徴とする請
求項１記載のエアシャワ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4956692A JPH05248678A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | エアシャワ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4956692A JPH05248678A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | エアシャワ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05248678A true JPH05248678A (ja) | 1993-09-24 |
Family
ID=12834758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4956692A Pending JPH05248678A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | エアシャワ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05248678A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346419A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Nippon Muki Co Ltd | エアシャワーブース |
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| KR101498117B1 (ko) * | 2010-12-07 | 2015-03-04 | 케이에프티 가부시키가이샤 | 실내환경 조정 시스템 |
| CN106140768A (zh) * | 2016-08-15 | 2016-11-23 | 泉州市汉威机械制造有限公司 | 一种粉尘收集处理装置 |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP4956692A patent/JPH05248678A/ja active Pending
Cited By (10)
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