JPH05248891A - 誘導センサ用の評価回路 - Google Patents
誘導センサ用の評価回路Info
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- JPH05248891A JPH05248891A JP34018692A JP34018692A JPH05248891A JP H05248891 A JPH05248891 A JP H05248891A JP 34018692 A JP34018692 A JP 34018692A JP 34018692 A JP34018692 A JP 34018692A JP H05248891 A JPH05248891 A JP H05248891A
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- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V3/00—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation
- G01V3/08—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices
- G01V3/10—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices using induction coils
- G01V3/101—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices using induction coils by measuring the impedance of the search coil; by measuring features of a resonant circuit comprising the search coil
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の回路装置の欠点を解消し、付加的な温
度センサを用いることなしに特に簡単で非常に正確な温
度補償が可能となるような誘導センサ用の評価回路を提
供すること。 【構成】 整流器を同期整流器として構成し、該同期整
流器には発振器のクロック信号を供給し、該クロック信
号の位相位置を、誘導された電圧の位相位置に対してコ
イルの抵抗値とインダクタンスを別個に測定し得るよう
に選定する。
度センサを用いることなしに特に簡単で非常に正確な温
度補償が可能となるような誘導センサ用の評価回路を提
供すること。 【構成】 整流器を同期整流器として構成し、該同期整
流器には発振器のクロック信号を供給し、該クロック信
号の位相位置を、誘導された電圧の位相位置に対してコ
イルの抵抗値とインダクタンスを別個に測定し得るよう
に選定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも1つのコイ
ルと発振器と整流器とを有する誘導センサ用の、例えば
集積化された、懸架装置における衝撃による変位量セン
サ(Einfederwegsensor)用の評価回
路であって、前記コイルのインダクタンスは測定すべき
特性量に依存するものであり、前記発振器の出力信号は
前記コイルの入力側に供給されており、さらに前記整流
器には誘導された電圧が供給される、評価回路に関す
る。
ルと発振器と整流器とを有する誘導センサ用の、例えば
集積化された、懸架装置における衝撃による変位量セン
サ(Einfederwegsensor)用の評価回
路であって、前記コイルのインダクタンスは測定すべき
特性量に依存するものであり、前記発振器の出力信号は
前記コイルの入力側に供給されており、さらに前記整流
器には誘導された電圧が供給される、評価回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】調節移動距離を測定するために1つ又は
複数のコイルを有する誘導センサを用いることは周知で
ある。このコイルの電気特性は測定量、例えば移動量に
依存して変化する。電子評価回路を用いてコイルの電気
特性の変化が検出され、後処理の簡単な信号に変換され
る。
複数のコイルを有する誘導センサを用いることは周知で
ある。このコイルの電気特性は測定量、例えば移動量に
依存して変化する。電子評価回路を用いてコイルの電気
特性の変化が検出され、後処理の簡単な信号に変換され
る。
【0003】誘導型距離センサにおいて用いられ、移動
距離に依存して直流電圧が生成される測定回路がDE−
OS3927833号から公知である。この回路では交
流電圧がコイルに印加されている。このコイルのインダ
クタンスは移動距離に依存して変化する。さらに該コイ
ルにおいて降下する電圧の振幅及び位相が測定される。
距離に依存して直流電圧が生成される測定回路がDE−
OS3927833号から公知である。この回路では交
流電圧がコイルに印加されている。このコイルのインダ
クタンスは移動距離に依存して変化する。さらに該コイ
ルにおいて降下する電圧の振幅及び位相が測定される。
【0004】測定精度を高めるために2つの発振器が設
けられており、この発振器は同じ周波数の2つの交流電
圧を発生する。この2つの交流電圧は相互に180度位
相がずらされている。この場合第2の交流電圧は調整可
能な振幅を有している。しかしながらこの振幅はコイル
のインダクタンスに最終的に依存する。そのため振幅
と、コイルの既知のインダクタンスとの関係性から正確
な位置の検出が可能である。しかしながら公知の測定回
路では温度補償を可能にするような手段は何も設けられ
ていない。
けられており、この発振器は同じ周波数の2つの交流電
圧を発生する。この2つの交流電圧は相互に180度位
相がずらされている。この場合第2の交流電圧は調整可
能な振幅を有している。しかしながらこの振幅はコイル
のインダクタンスに最終的に依存する。そのため振幅
と、コイルの既知のインダクタンスとの関係性から正確
な位置の検出が可能である。しかしながら公知の測定回
路では温度補償を可能にするような手段は何も設けられ
ていない。
【0005】付加的な温度測定回路を有する誘導型距離
測定部のための回路装置はDE−OS3910597号
から公知である。この公知回路装置では温度測定回路に
よりコイルのオーム抵抗値が検出される。このオーム抵
抗値は温度に依存しており、前記温度測定回路はオーム
抵抗値をマイクロコンピュータに供給する。マイクロコ
ンピュータは測定された抵抗値から補償データを算出す
る。この補償データにより移動距離の検出の際に求めら
れたデータの補正が可能になる。
測定部のための回路装置はDE−OS3910597号
から公知である。この公知回路装置では温度測定回路に
よりコイルのオーム抵抗値が検出される。このオーム抵
抗値は温度に依存しており、前記温度測定回路はオーム
抵抗値をマイクロコンピュータに供給する。マイクロコ
ンピュータは測定された抵抗値から補償データを算出す
る。この補償データにより移動距離の検出の際に求めら
れたデータの補正が可能になる。
【0006】前記の公知回路装置の欠点は、コイルの抵
抗値とインダクタンスが交互に測定され、測定結果が相
互間で誤って計算されてしまうことである。それに対し
て当該測定を同時に行うことは不可能である。
抗値とインダクタンスが交互に測定され、測定結果が相
互間で誤って計算されてしまうことである。それに対し
て当該測定を同時に行うことは不可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来の回路装置の欠点を解消し、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ非常に正
確な温度補償が可能となるような誘導センサ用の評価回
路を提供することである。
する課題は、従来の回路装置の欠点を解消し、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ非常に正
確な温度補償が可能となるような誘導センサ用の評価回
路を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、整流器は同期整流器であり、該同期整流器には発振
器からクロック信号が供給され、該クロック信号の位相
位置は、誘導された電圧の位相位置に対し、コイルの抵
抗値とインダクタンスを別個に測定し得るように選定さ
れるように構成されて解決される。
り、整流器は同期整流器であり、該同期整流器には発振
器からクロック信号が供給され、該クロック信号の位相
位置は、誘導された電圧の位相位置に対し、コイルの抵
抗値とインダクタンスを別個に測定し得るように選定さ
れるように構成されて解決される。
【0009】本発明の請求項1の特徴部分による誘導セ
ンサ用の評価回路は次のような利点を有する。すなわち
付加的な温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ
非常に正確な温度補償が可能になることである。
ンサ用の評価回路は次のような利点を有する。すなわち
付加的な温度センサを用いることなしに特に簡単でかつ
非常に正確な温度補償が可能になることである。
【0010】この利点は制御された出力電圧が同期整流
器に供給されることにより達成される。この同期整流器
自体は正弦波発振器のクロックパルスによって制御され
る。
器に供給されることにより達成される。この同期整流器
自体は正弦波発振器のクロックパルスによって制御され
る。
【0011】同期整流器を用いることによりコイルの交
流抵抗値が測定され、位相位置が検出されることによっ
て特に簡単な温度補償が可能になる。
流抵抗値が測定され、位相位置が検出されることによっ
て特に簡単な温度補償が可能になる。
【0012】コイルのインダクタンスも複素抵抗値の実
部も温度依存特性を有し、さらに測定量にも依存するた
め、2つの成分を適当な手法で相互に加算又は減算する
ことにより、温度補償の達成が可能になる。
部も温度依存特性を有し、さらに測定量にも依存するた
め、2つの成分を適当な手法で相互に加算又は減算する
ことにより、温度補償の達成が可能になる。
【0013】特に有利には、同期整流器の制御の際の位
相位置を相応に選択することにより加算又は減算を特に
簡単な手法で達成することができる。
相位置を相応に選択することにより加算又は減算を特に
簡単な手法で達成することができる。
【0014】また本発明の評価回路を、集積化された変
位量センサを関連して使用することが特に有利であるこ
とがわかった。なぜならばそのようなセンサでは通常必
要となる第2の補償用コイル並びに付加的な温度センサ
が省略され得るからである。
位量センサを関連して使用することが特に有利であるこ
とがわかった。なぜならばそのようなセンサでは通常必
要となる第2の補償用コイル並びに付加的な温度センサ
が省略され得るからである。
【0015】従属請求項に記載された手段により請求項
1による誘導センサ用の評価回路の有利な構成例及び改
善例が可能である。
1による誘導センサ用の評価回路の有利な構成例及び改
善例が可能である。
【0016】
【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。
明する。
【0017】図1では発振器10、例えば正弦波発振器
が抵抗12を介して可変コイル14として示されている
測定コイルに接続されている。前記発振器10は出力側
10a,10bを有し、電圧USを発生する。抵抗12
とコイル14との間には接続点13が示されている。こ
の接続点13とアースとの間にはコンデンサ15が設け
られており、このコンデンサ15はさらに制御器17の
入力側17aに接続される。
が抵抗12を介して可変コイル14として示されている
測定コイルに接続されている。前記発振器10は出力側
10a,10bを有し、電圧USを発生する。抵抗12
とコイル14との間には接続点13が示されている。こ
の接続点13とアースとの間にはコンデンサ15が設け
られており、このコンデンサ15はさらに制御器17の
入力側17aに接続される。
【0018】入力側17bを介して制御器17には一定
の電圧が供給される。この一定の電圧はUBの1/2で
ある。この場合UBは回路の基準電圧(例えば制御装置
からの5Vの電圧)である。
の電圧が供給される。この一定の電圧はUBの1/2で
ある。この場合UBは回路の基準電圧(例えば制御装置
からの5Vの電圧)である。
【0019】制御器17の出力側17cはコイル14と
接続され、別のコンデンサ16を介してアースに接続さ
れる。さらに制御器17の出力側17cはコンデンサ1
8と抵抗19を介して同期整流器20のアナログスイッ
チ21と接続される。このアナログスイッチ21は発振
器10の出力側10aを介して切換パルスを受け取る。
接続され、別のコンデンサ16を介してアースに接続さ
れる。さらに制御器17の出力側17cはコンデンサ1
8と抵抗19を介して同期整流器20のアナログスイッ
チ21と接続される。このアナログスイッチ21は発振
器10の出力側10aを介して切換パルスを受け取る。
【0020】同期整流器20はアナログスイッチ21の
他にさらに2つのインバータ27,28を有している。
このインバータ27,28はそれぞれ、演算増幅器2
2,26と、該演算増幅器22,26の出力側と反転入
力側との間に配置された抵抗23,25と、これらの抵
抗23,25の間に設けられた抵抗24とからなる。
他にさらに2つのインバータ27,28を有している。
このインバータ27,28はそれぞれ、演算増幅器2
2,26と、該演算増幅器22,26の出力側と反転入
力側との間に配置された抵抗23,25と、これらの抵
抗23,25の間に設けられた抵抗24とからなる。
【0021】演算増幅器22と26の2つの反転入力側
はアナログスイッチ21のそれぞれ1つの端子に接続さ
れる。非反転入力側には基準電圧の半分1/2UBが印
加される。
はアナログスイッチ21のそれぞれ1つの端子に接続さ
れる。非反転入力側には基準電圧の半分1/2UBが印
加される。
【0022】同期整流器20の演算増幅器26の出力側
はフィルタ29に接続される。このフィルタ29のアナ
ログ出力側30では測定信号が取り出される。
はフィルタ29に接続される。このフィルタ29のアナ
ログ出力側30では測定信号が取り出される。
【0023】発振器10では正弦波振動ないし比較的わ
ずかな調波成分を含む振動が一定の振幅で生成される。
図1ではこの正弦波振動はUSで示されている。この正
弦波振動は抵抗12を介してコイル14に供給され、接
続点13において生じる電圧が検出される。さらにこの
電圧は実際値として制御器17に供給される。目標値と
して制御器17には一定の電圧UB/2が供給される。
制御器は出力電圧URを、入力側17aにおける入力電
圧が同様に一定に維持されるように制御する。接続点1
3では一定の電圧が調整されるので(この場合交流電圧
はゼロであり、出力側10bには一定の振幅を有する交
流電圧USが印加される)、抵抗12を介して一定の振
幅の交流電圧が生じる。
ずかな調波成分を含む振動が一定の振幅で生成される。
図1ではこの正弦波振動はUSで示されている。この正
弦波振動は抵抗12を介してコイル14に供給され、接
続点13において生じる電圧が検出される。さらにこの
電圧は実際値として制御器17に供給される。目標値と
して制御器17には一定の電圧UB/2が供給される。
制御器は出力電圧URを、入力側17aにおける入力電
圧が同様に一定に維持されるように制御する。接続点1
3では一定の電圧が調整されるので(この場合交流電圧
はゼロであり、出力側10bには一定の振幅を有する交
流電圧USが印加される)、抵抗12を介して一定の振
幅の交流電圧が生じる。
【0024】この一定の振幅を有する交流電圧は、抵抗
12を通る電流Iも一定の振幅を有する交流電流である
ように作用する。接続点13における電圧が一定の値に
制御されるので、電流Iもコイル14のインダクタンス
に依存しない。
12を通る電流Iも一定の振幅を有する交流電流である
ように作用する。接続点13における電圧が一定の値に
制御されるので、電流Iもコイル14のインダクタンス
に依存しない。
【0025】場合によりケーブルにアースに対する漂遊
容量が存在しても、コンデンサ15(このコンデンサ1
5はEMC(電磁的適合性)−ブロックコンデンサとし
て用いられる)と同様に電流は流れない。なぜなら交流
電圧が存在する場合にしか電流はこのコンデンサを通っ
て流れることができないからである。
容量が存在しても、コンデンサ15(このコンデンサ1
5はEMC(電磁的適合性)−ブロックコンデンサとし
て用いられる)と同様に電流は流れない。なぜなら交流
電圧が存在する場合にしか電流はこのコンデンサを通っ
て流れることができないからである。
【0026】制御器の入力側は高抵抗なので、わずかな
電流しか制御器入力側17aに流れることができない。
そのため一定の交流電流全てがコイル14を通って流れ
ることが保証される(前記コイル14は測定コイルとし
て示されており、該コイルの電気的な特性が測定され
る)。それにより制御器17の出力側17cにおいて交
流電圧が調整される。この交流電圧はコイル14のいわ
ゆるリアクタンスに比例する。この電圧の位相位置はリ
アクタンスの位相位置を表す。コンデンサないしアース
に対する漂遊容量は(これは図1中コンデンサ16とし
て示されている)不利に作用しない。なぜなら流れる電
流は制御器17から供給されるからである。
電流しか制御器入力側17aに流れることができない。
そのため一定の交流電流全てがコイル14を通って流れ
ることが保証される(前記コイル14は測定コイルとし
て示されており、該コイルの電気的な特性が測定され
る)。それにより制御器17の出力側17cにおいて交
流電圧が調整される。この交流電圧はコイル14のいわ
ゆるリアクタンスに比例する。この電圧の位相位置はリ
アクタンスの位相位置を表す。コンデンサないしアース
に対する漂遊容量は(これは図1中コンデンサ16とし
て示されている)不利に作用しない。なぜなら流れる電
流は制御器17から供給されるからである。
【0027】制御器17の出力側17cにおいて生じる
電圧URはコンデンサ18と抵抗19を介して同期整流
器20に供給される。この同期整流器20には発振器1
0のクロック出力側10aを介して切換パルスが供給さ
れる。
電圧URはコンデンサ18と抵抗19を介して同期整流
器20に供給される。この同期整流器20には発振器1
0のクロック出力側10aを介して切換パルスが供給さ
れる。
【0028】これまでに説明してきた装置によれば既に
測定は可能となる。しかしながら以下に説明する同期整
流器の回路構成例によって初めて所望の温度補償が保証
されるものとなる。
測定は可能となる。しかしながら以下に説明する同期整
流器の回路構成例によって初めて所望の温度補償が保証
されるものとなる。
【0029】コイル14と制御器出力側17cとの間の
接続点において生じる測定信号UMは、発振器10のク
ロックに依存して2つのインバータ27,28か又は1
つのインバータ28だけを介して供給される。これによ
り同期整流作用が得られる。抵抗のみ又はインダクタン
スのみを測定するために、通常はこの同期整流のために
90度の位相又は0度の位相のクロックが選択される。
測定装置自体によって引き起こされる位相ずれを補償す
るために、サンプリングフェーズをさらに補正すること
も可能である。
接続点において生じる測定信号UMは、発振器10のク
ロックに依存して2つのインバータ27,28か又は1
つのインバータ28だけを介して供給される。これによ
り同期整流作用が得られる。抵抗のみ又はインダクタン
スのみを測定するために、通常はこの同期整流のために
90度の位相又は0度の位相のクロックが選択される。
測定装置自体によって引き起こされる位相ずれを補償す
るために、サンプリングフェーズをさらに補正すること
も可能である。
【0030】ここにおいて本発明によれば温度補償を達
成するために位相位置の適切な選択が行われる。所定の
センサに対してコイル14のインダクタンスとコイルの
抵抗の実部は温度に依存する。同様にインダクタンスと
抵抗の実部は測定量にも依存し得る。この場合多くのセ
ンサでは抵抗の実部とインダクタンスが異なる形で測定
量に依存する。従って温度補償は、2つの成分を適切な
形で相互に加算又は減算することによって行われ得る。
適切な選択が行われた場合には温度制御は中止され、こ
れに対して測定量は引続き検出され得る。
成するために位相位置の適切な選択が行われる。所定の
センサに対してコイル14のインダクタンスとコイルの
抵抗の実部は温度に依存する。同様にインダクタンスと
抵抗の実部は測定量にも依存し得る。この場合多くのセ
ンサでは抵抗の実部とインダクタンスが異なる形で測定
量に依存する。従って温度補償は、2つの成分を適切な
形で相互に加算又は減算することによって行われ得る。
適切な選択が行われた場合には温度制御は中止され、こ
れに対して測定量は引続き検出され得る。
【0031】そのような評価の際には第2の補償コイル
は必要なく、また別個の温度センサも必要ない。それど
ころか測定コイル自体が温度センサとなる。前記2つの
成分の加算又は減算は、位相位置を相応に選択すること
により特に簡単に行うことができる。図2に示されたベ
クトルダイヤグラム(これは減算に対して当てはまる)
からは当該実施例に対して重要な電流と電圧には常に符
号1が付されていることが明らかである。
は必要なく、また別個の温度センサも必要ない。それど
ころか測定コイル自体が温度センサとなる。前記2つの
成分の加算又は減算は、位相位置を相応に選択すること
により特に簡単に行うことができる。図2に示されたベ
クトルダイヤグラム(これは減算に対して当てはまる)
からは当該実施例に対して重要な電流と電圧には常に符
号1が付されていることが明らかである。
【0032】コイル14に定電流I1が給電されると、
実際のコイルでは抵抗Rの直列回路とインダクタンスL
を有する理想コイルに相応して電圧U1が生じる。この
電圧U1は励起電流I1に対して位相差βを有してい
る。位相差が0度の同期整流器は、実部UR1によって
引き起こされた電圧降下を測定する。それに対して同期
整流器が90度の位相差を有しているならば、正味のイ
ンダクタンスによって引き起こされた電圧降下UL1が
測定される。
実際のコイルでは抵抗Rの直列回路とインダクタンスL
を有する理想コイルに相応して電圧U1が生じる。この
電圧U1は励起電流I1に対して位相差βを有してい
る。位相差が0度の同期整流器は、実部UR1によって
引き起こされた電圧降下を測定する。それに対して同期
整流器が90度の位相差を有しているならば、正味のイ
ンダクタンスによって引き起こされた電圧降下UL1が
測定される。
【0033】サンプリングフェーズが90度+αの場合
は測定電圧としてUM1が生じる。この電圧は図2のベ
クトルダイヤグラムにおいてコイル電圧U1からサンプ
リングフェーズ方向(この方向には図2中において符号
Aが付されており、さらに点線で示されている)への垂
直な投射で表されている。測定電圧に対しては次式が成
り立つ。
は測定電圧としてUM1が生じる。この電圧は図2のベ
クトルダイヤグラムにおいてコイル電圧U1からサンプ
リングフェーズ方向(この方向には図2中において符号
Aが付されており、さらに点線で示されている)への垂
直な投射で表されている。測定電圧に対しては次式が成
り立つ。
【0034】 UM1=cosα×(U1−tanα×UR1) 実際には一定の係数で乗算された電圧U1の実部が電圧
U1の虚部から減算される。同時に一定の係数での乗算
がさらに行われる。この乗算は一定の増幅によって再び
補償され得る。
U1の虚部から減算される。同時に一定の係数での乗算
がさらに行われる。この乗算は一定の増幅によって再び
補償され得る。
【0035】公知の集積化された変位量センサに使用さ
れたならば例えば温度補償に対して次のような角度が生
じる。
れたならば例えば温度補償に対して次のような角度が生
じる。
【0036】すなわちα=15度の角度が生じる。
【0037】オフセット及び勾配の付加的なフィルタリ
ングと校正は図1に示された実施例では同期整流器とは
別個の段において行われる。この段はフィルタ29とし
て示されている。しかしながらこのフィルタリングと校
正を、第2のインバータ28に集積された段を用いて実
施することも可能である。
ングと校正は図1に示された実施例では同期整流器とは
別個の段において行われる。この段はフィルタ29とし
て示されている。しかしながらこのフィルタリングと校
正を、第2のインバータ28に集積された段を用いて実
施することも可能である。
【0038】同期整流器20におけるローパスフィルタ
によって既に比較的良好に行われているノイズ信号の抑
圧、例えば測定周波数よりも低い周波数の低周波ノイズ
に対する抑圧は、次のことによりさらに改善され得る。
すなわちコンデンサ18と抵抗19をハイパスフィルタ
として作用するように選定することによりさらに改善さ
れ得る。それにより測定周波数に重畳する低周波振動が
フィルタリングにより取り除かれることが保証される。
によって既に比較的良好に行われているノイズ信号の抑
圧、例えば測定周波数よりも低い周波数の低周波ノイズ
に対する抑圧は、次のことによりさらに改善され得る。
すなわちコンデンサ18と抵抗19をハイパスフィルタ
として作用するように選定することによりさらに改善さ
れ得る。それにより測定周波数に重畳する低周波振動が
フィルタリングにより取り除かれることが保証される。
【0039】このハイパスフィルタにより不所望の位相
ずれが調整されるので、クロック信号の付加的なシフト
が必要である。全体的に見れば制御器17と同期整流器
20との間のハイパスフィルタと、同期整流器20と出
力側30との間のローパスフィルタ29との組み合わせ
から、生じ得る全ての周波数に対して有効となるノイズ
抑圧が行われる。
ずれが調整されるので、クロック信号の付加的なシフト
が必要である。全体的に見れば制御器17と同期整流器
20との間のハイパスフィルタと、同期整流器20と出
力側30との間のローパスフィルタ29との組み合わせ
から、生じ得る全ての周波数に対して有効となるノイズ
抑圧が行われる。
【0040】ハイパスフィルタ31としては比較的高次
のハイパスフィルタ又は帯域パスフィルタか又はアクテ
ィブハイパスフィルタも使用し得る。その他の有利な効
果として制御器17と発振器10からのオフセット電圧
が出力側30に達し得ないことが保証される。それによ
り信号エラーも引き起こされなくなる。
のハイパスフィルタ又は帯域パスフィルタか又はアクテ
ィブハイパスフィルタも使用し得る。その他の有利な効
果として制御器17と発振器10からのオフセット電圧
が出力側30に達し得ないことが保証される。それによ
り信号エラーも引き起こされなくなる。
【0041】発振器10も制御器17もアナログ形式又
はデジタル形式で実施し得るものである。制御器17の
制御特性は障害量制御回路を用いてさらに改善され得
る。この場合の発振器10の出力電圧は制御器17に付
加的な情報として供給される。
はデジタル形式で実施し得るものである。制御器17の
制御特性は障害量制御回路を用いてさらに改善され得
る。この場合の発振器10の出力電圧は制御器17に付
加的な情報として供給される。
【0042】別の改善は、発振器10の出力側10bに
結合される正弦波電圧USが抵抗ネットワークと第2の
アナログスイッチを介して同期整流器20へ給電される
場合に達成される。このように構成すれば唯1つのコイ
ルを有するセンサに対してもオフセット補償が例えば直
流電圧を増幅段へ給電することによって可能である。こ
のことは非常に安定した補償に結び付く。
結合される正弦波電圧USが抵抗ネットワークと第2の
アナログスイッチを介して同期整流器20へ給電される
場合に達成される。このように構成すれば唯1つのコイ
ルを有するセンサに対してもオフセット補償が例えば直
流電圧を増幅段へ給電することによって可能である。こ
のことは非常に安定した補償に結び付く。
【0043】発振器電圧と周波数の変化が測定電圧の全
体値をかなり変化させるので、発振器の安定度はセンサ
装置の所望の精度の何倍にもなる。精度の改善は適合す
る伝送特性、例えば測定コイルの伝送特性が平均的かつ
安定した位置を有するのと同じような伝送特性を有する
ネットワークを介して得られる。この場合さらに第2の
アナログスイッチが設けられる。このアナログスイッチ
を介して電圧が交互に同期整流器に給電される。この手
段を介してオフセット補償は可能になる。このオフセッ
ト補償は発振器に関して本来のオフセットと同じ特性を
有している。この実現は図1による実施例において第2
方式の付加的なハイパスフィルタを用いて行われ得る。
体値をかなり変化させるので、発振器の安定度はセンサ
装置の所望の精度の何倍にもなる。精度の改善は適合す
る伝送特性、例えば測定コイルの伝送特性が平均的かつ
安定した位置を有するのと同じような伝送特性を有する
ネットワークを介して得られる。この場合さらに第2の
アナログスイッチが設けられる。このアナログスイッチ
を介して電圧が交互に同期整流器に給電される。この手
段を介してオフセット補償は可能になる。このオフセッ
ト補償は発振器に関して本来のオフセットと同じ特性を
有している。この実現は図1による実施例において第2
方式の付加的なハイパスフィルタを用いて行われ得る。
【0044】図3には本発明による別の実施例の回路装
置全体が示されている。この実施例では発振器がアナロ
グスイッチIC4からなっている。このアナログスイッ
チIC4はツインスイッチとして2つのスイッチ素子3
3,34で構成される。このアナログスイッチIC4の
出力側は3つの抵抗R1,R2,R3からなる直列回路
を介して演算増幅器OP1の非反転入力側に接続され
る。前記の複数の抵抗の組み合わせによる回路とアース
の間には3つのコンデンサC1,C2,C3が設けられ
ている。演算増幅器OP1の出力側と該演算増幅器の反
転入力側との間には抵抗R10が設けられている。この
抵抗R10はその他に抵抗R9を介してアースに接続さ
れる。
置全体が示されている。この実施例では発振器がアナロ
グスイッチIC4からなっている。このアナログスイッ
チIC4はツインスイッチとして2つのスイッチ素子3
3,34で構成される。このアナログスイッチIC4の
出力側は3つの抵抗R1,R2,R3からなる直列回路
を介して演算増幅器OP1の非反転入力側に接続され
る。前記の複数の抵抗の組み合わせによる回路とアース
の間には3つのコンデンサC1,C2,C3が設けられ
ている。演算増幅器OP1の出力側と該演算増幅器の反
転入力側との間には抵抗R10が設けられている。この
抵抗R10はその他に抵抗R9を介してアースに接続さ
れる。
【0045】比較器K1の非反転入力側は演算増幅器O
P1の反転入力側に接続されている。比較器K1の非反
転入力側は抵抗R4を介してアナログスイッチIC4と
抵抗R1との間の接続点に接続される。比較器K1の出
力側には抵抗R5を介して供給電圧が印加され、その他
に比較器K1の出力側はアナログスイッチIC4の入力
側に接続される。
P1の反転入力側に接続されている。比較器K1の非反
転入力側は抵抗R4を介してアナログスイッチIC4と
抵抗R1との間の接続点に接続される。比較器K1の出
力側には抵抗R5を介して供給電圧が印加され、その他
に比較器K1の出力側はアナログスイッチIC4の入力
側に接続される。
【0046】制御器17は演算増幅器OP3を有してい
る。この演算増幅器OP3の反転入力側はコンデンサC
5と抵抗R13を介してアースに接続され、抵抗R15
と抵抗R16を介して発振器10の演算増幅器OP1の
出力側に接続される。さらに該演算増幅器OP3の反転
入力側はコンデンサC6と抵抗R14を介して出力側に
接続される。
る。この演算増幅器OP3の反転入力側はコンデンサC
5と抵抗R13を介してアースに接続され、抵抗R15
と抵抗R16を介して発振器10の演算増幅器OP1の
出力側に接続される。さらに該演算増幅器OP3の反転
入力側はコンデンサC6と抵抗R14を介して出力側に
接続される。
【0047】測定コイル14は抵抗R15と抵抗R16
の間の接続点に接続される。この測定コイル14の別の
側は抵抗R17を介して演算増幅器OP3の出力側に接
続される。当該測定コイル14の2つの端子とアースと
の間には各々1つのコンデンサC7,C8が設けられて
いる。
の間の接続点に接続される。この測定コイル14の別の
側は抵抗R17を介して演算増幅器OP3の出力側に接
続される。当該測定コイル14の2つの端子とアースと
の間には各々1つのコンデンサC7,C8が設けられて
いる。
【0048】演算増幅器OP3の非反転入力側は抵抗R
6を介して比較器K1の非反転入力側に接続され、抵抗
R7を介して5Vの供給電圧が印加される。さらに演算
増幅器OP3の非反転入力側とアースとの間には抵抗R
8とコンデンサC4が設けられている。
6を介して比較器K1の非反転入力側に接続され、抵抗
R7を介して5Vの供給電圧が印加される。さらに演算
増幅器OP3の非反転入力側とアースとの間には抵抗R
8とコンデンサC4が設けられている。
【0049】同期整流器20は2つの演算増幅器OP4
及びOP5を有している。これらの演算増幅器の反転入
力側はアナログスイッチIC4の各々1つの端子に接続
される。さらに演算増幅器OP5の反転入力側は抵抗R
26を介して演算増幅器OP4の出力側に接続され、さ
らに抵抗R27を介して演算増幅器OP4の反転入力側
に接続される。
及びOP5を有している。これらの演算増幅器の反転入
力側はアナログスイッチIC4の各々1つの端子に接続
される。さらに演算増幅器OP5の反転入力側は抵抗R
26を介して演算増幅器OP4の出力側に接続され、さ
らに抵抗R27を介して演算増幅器OP4の反転入力側
に接続される。
【0050】演算増幅器OP4及びOP5の非反転入力
側は相互に接続され、さらにいわゆるドライバ段32の
演算増幅器OP6の非反転入力側並びに制御器17の演
算増幅器OP3の非反転入力側に接続される。
側は相互に接続され、さらにいわゆるドライバ段32の
演算増幅器OP6の非反転入力側並びに制御器17の演
算増幅器OP3の非反転入力側に接続される。
【0051】演算増幅器OP5の反転入力側とアースと
の間には可変抵抗R24が設けられており、演算増幅器
OP5の反転入力側とその出力側との間にはコンデンサ
C3並びに別の可変抵抗R25が設けられている。その
他に演算増幅器OP5の出力側はドライバ段32の抵抗
R23に接続される。
の間には可変抵抗R24が設けられており、演算増幅器
OP5の反転入力側とその出力側との間にはコンデンサ
C3並びに別の可変抵抗R25が設けられている。その
他に演算増幅器OP5の出力側はドライバ段32の抵抗
R23に接続される。
【0052】ドライバ段32は前記演算増幅器OP6の
他にさらに抵抗R19〜R22並びにコンデンサC11
及びC12を有している。この場合抵抗R20とコンデ
ンサC11は演算増幅器OP6の反転入力側とその出力
側の間に設けられており、反転入力側はさらに抵抗R2
3及びR19に接続される。
他にさらに抵抗R19〜R22並びにコンデンサC11
及びC12を有している。この場合抵抗R20とコンデ
ンサC11は演算増幅器OP6の反転入力側とその出力
側の間に設けられており、反転入力側はさらに抵抗R2
3及びR19に接続される。
【0053】演算増幅器OP6の出力側は抵抗R21及
び抵抗22を介して出力側30に接続される。この出力
側30では温度補償のための測定信号が得られる。出力
側30はさらに抵抗R19に接続され、抵抗R21,R
22とアースとの間にはコンデンサC12が配置され
る。
び抵抗22を介して出力側30に接続される。この出力
側30では温度補償のための測定信号が得られる。出力
側30はさらに抵抗R19に接続され、抵抗R21,R
22とアースとの間にはコンデンサC12が配置され
る。
【0054】さらに抵抗R18とコンデンサC9からな
るハイパスフィルタがコイル14とアナログスイッチI
C4の間に配置される。
るハイパスフィルタがコイル14とアナログスイッチI
C4の間に配置される。
【0055】次に図3による回路装置の機能を説明す
る。
る。
【0056】アナログスイッチIC4は抵抗R1をアー
スと基準電圧(5V)に交互に接続する。そのためコン
デンサC1においてほぼ三角形状の振動(e−Funk
tion)が生じる。比較器K1の非反転入力側におい
ては抵抗R4によってヒステリシスが発生する。比較器
K1は閾値に達する毎にアナログスイッチIC4を切換
える。
スと基準電圧(5V)に交互に接続する。そのためコン
デンサC1においてほぼ三角形状の振動(e−Funk
tion)が生じる。比較器K1の非反転入力側におい
ては抵抗R4によってヒステリシスが発生する。比較器
K1は閾値に達する毎にアナログスイッチIC4を切換
える。
【0057】発生した電圧は2段のパッシブローパスフ
イルタR2,C2及びR3,C3によってフィルタリン
グされ、さらに演算増幅器OP1によって緩衝され増幅
される。それにより調波成分の少ない所望の振動が生じ
る。この振動でもってコイル14は給電される。
イルタR2,C2及びR3,C3によってフィルタリン
グされ、さらに演算増幅器OP1によって緩衝され増幅
される。それにより調波成分の少ない所望の振動が生じ
る。この振動でもってコイル14は給電される。
【0058】アナログスイッチIC4内のツインスイッ
チのスイッチ素子33,34の切換が同時に行われるた
め、比較器K1は、同期整流器20に対するクロックを
同時に供給する。この場合スイッチ素子34は機能的に
みて図1による同期整流器20のアナログスイッチ21
に相応する。しかしながらスイッチ素子33,34は同
じチップに設けられるので、発生した振動、例えば正弦
波振動と同期整流器の振動との間の位相位置は絶対に一
定であることが保証される。同期整流器の振動の位相位
置の絶対値は2つのローパスフィルタR2,C2及びR
3,C3を介してそのつど求められる条件に適合され得
る。
チのスイッチ素子33,34の切換が同時に行われるた
め、比較器K1は、同期整流器20に対するクロックを
同時に供給する。この場合スイッチ素子34は機能的に
みて図1による同期整流器20のアナログスイッチ21
に相応する。しかしながらスイッチ素子33,34は同
じチップに設けられるので、発生した振動、例えば正弦
波振動と同期整流器の振動との間の位相位置は絶対に一
定であることが保証される。同期整流器の振動の位相位
置の絶対値は2つのローパスフィルタR2,C2及びR
3,C3を介してそのつど求められる条件に適合され得
る。
【0059】制御器17はコイル14に供給された電圧
を図1の説明の際に記載したように制御する。そのため
ここではこれ以上の機能作用の説明は省く。
を図1の説明の際に記載したように制御する。そのため
ここではこれ以上の機能作用の説明は省く。
【0060】制御器の出力側ないしコイル端子の1つに
おいて生じた電圧は、抵抗R18とコンデンサC9から
なるハイパスフィルタを介して同期整流器20に結合さ
れる。抵抗R25の適切な選定ないし設定によりセンサ
信号の上昇が調整され、さらに発生したオフセットが抵
抗R24を用いて調整される。信号のフィルタリングは
コンデンサC10で行われる。ドライバ32を介して装
置全体の出力信号が出力側30に供給される。
おいて生じた電圧は、抵抗R18とコンデンサC9から
なるハイパスフィルタを介して同期整流器20に結合さ
れる。抵抗R25の適切な選定ないし設定によりセンサ
信号の上昇が調整され、さらに発生したオフセットが抵
抗R24を用いて調整される。信号のフィルタリングは
コンデンサC10で行われる。ドライバ32を介して装
置全体の出力信号が出力側30に供給される。
【0061】図4には差動型誘導センサに対する実施例
が示されている。この実施例ではセンサ11が2つのコ
イル35,36を有している。これらのコイルのインダ
クタンスは測定量に依存して逆方向に変化する。
が示されている。この実施例ではセンサ11が2つのコ
イル35,36を有している。これらのコイルのインダ
クタンスは測定量に依存して逆方向に変化する。
【0062】コイル35,36は2つの抵抗R29及び
R31を介して発振器10の正弦波状の励起信号を受け
取る。コンデンサC13,C14並びに抵抗R30とR
32を介して前記コイルのアースされていない側の端子
は同期整流器20と接続される。
R31を介して発振器10の正弦波状の励起信号を受け
取る。コンデンサC13,C14並びに抵抗R30とR
32を介して前記コイルのアースされていない側の端子
は同期整流器20と接続される。
【0063】同期整流器20は例えば図3の実施例に類
似して構成される。しかしながらこの同期整流器20は
発振器10のクロックによって同時に切換えられるツイ
ンスイッチを有している。
似して構成される。しかしながらこの同期整流器20は
発振器10のクロックによって同時に切換えられるツイ
ンスイッチを有している。
【0064】場合により同じようにさらに使用可能な制
御器はこの実施例の場合には取り入れられていない。
御器はこの実施例の場合には取り入れられていない。
【0065】次に図4による実施例の機能を説明する。
【0066】発振器10では正弦波振動が生成される。
この正弦波振動は抵抗R29,R31を介して2つのコ
イル35,36に供給される。抵抗が適切に選定されて
いるならば、この実施例でもコイルを通る交流電流は比
較的一定になる。
この正弦波振動は抵抗R29,R31を介して2つのコ
イル35,36に供給される。抵抗が適切に選定されて
いるならば、この実施例でもコイルを通る交流電流は比
較的一定になる。
【0067】2つの誘導電圧U21,U22が2つの切
換部35,36によって同期整流器に給電される。この
場合これは同時に減算も行う。サンプリングフェーズを
絞って選定することにより測定すべき量が検出され得
る。
換部35,36によって同期整流器に給電される。この
場合これは同時に減算も行う。サンプリングフェーズを
絞って選定することにより測定すべき量が検出され得
る。
【0068】図4に示された電圧U1及びU2並びに電
流Ia,Ib,Icは図5に表されている。この場合出
力電圧UAは1回は付加的なフィルタを通して出力さ
れ、1回は付加的なフィルタなしに出力される。この図
では破線で示された曲線がフィルタを通した場合の出力
電圧を表している。
流Ia,Ib,Icは図5に表されている。この場合出
力電圧UAは1回は付加的なフィルタを通して出力さ
れ、1回は付加的なフィルタなしに出力される。この図
では破線で示された曲線がフィルタを通した場合の出力
電圧を表している。
【0069】
【発明の効果】本発明の請求項1の特徴部分による誘導
センサ用の評価回路によって得られる利点は、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単で非常に正確な
温度補償が可能になることである。
センサ用の評価回路によって得られる利点は、付加的な
温度センサを用いることなしに特に簡単で非常に正確な
温度補償が可能になることである。
【図1】1つのコイル有する本発明の第1実施例を示し
た図である。
た図である。
【図2】いわゆるベクトルダイヤグラムを示した図であ
る。
る。
【図3】1つのコイルを有する実施例に対するブロック
回路の全体図である。
回路の全体図である。
【図4】差動型誘導センサに対する実施例を示した図で
ある。
ある。
【図5】図4による実施例に含まれる信号経過をフィル
タリングさせずに時間に関して表した図と実施例に含ま
れる信号経過をフィルタリングさせて時間に関して表し
た図である。
タリングさせずに時間に関して表した図と実施例に含ま
れる信号経過をフィルタリングさせて時間に関して表し
た図である。
10 発振器 10a 出力側 10b 出力側 12 抵抗 13 接続点 14 測定コイル 15 コンデンサ 16 コンデンサ 17 制御器 17a 入力側 17b 入力側 17c 出力側 18 コンデンサ 19 抵抗 20 同期整流器 21 アナログスイッチ 22 演算増幅器 23 抵抗 24 抵抗 25 抵抗 26 演算増幅器 27 インバータ 28 インバータ 29 フィルタ 30 アナログ出力側 32 ドライバ段 33 スイッチ素子 34 スイッチ素子 R 抵抗 C コンデンサ IC4 アナログスイッチ OP1 演算増幅器 OP3 演算増幅器 OP4 演算増幅器 OP5 演算増幅器 OP6 演算増幅器 K1 比較器
Claims (10)
- 【請求項1】 少なくとも1つのコイルと発振器と整流
器とを有する誘導センサ用の評価回路であって、前記コ
イルのインダクタンスは測定すべき特性量に依存するも
のであり、前記発振器の出力信号は前記コイルの入力側
に供給されており、さらに前記整流器には誘導された電
圧が供給される、評価回路において、 前記整流器は同期整流器(20)であり、該同期整流器
(20)には発振器(10)からクロック信号が供給さ
れ、該クロック信号の位相位置は、誘導された電圧の位
相位置に対し、コイル(14)、(35),(36)の
抵抗値(R),(R1),(R2)とインダクタンス
(L),(L1),(L2)を別個に測定し得るように
選定されることを特徴とする、誘導センサ用の評価回
路。 - 【請求項2】 測定信号の温度補償が前記コイル(1
4)の抵抗値(R)の温度依存性を利用して行われ、こ
の場合交流抵抗値の実部が求められる、請求項1記載の
評価回路。 - 【請求項3】 前記クロック信号の位相位置は、コイル
(14)内で誘導された電圧の虚部と、一定の係数で乗
算された実部との間の差から温度補償された測定電圧が
生じるように選定される、請求項2記載の評価回路。 - 【請求項4】 少なくとも1つの前記コイル(14)の
出力信号は、前記同期整流器(20)への供給の前に制
御器(17)において制御される、請求項1から3まで
いずれか1記載の評価回路。 - 【請求項5】 前記同期整流器(20)は2つのインバ
ータ(27,28)を有しており、該インバータ(2
7,28)には前記コイル(14)の出力信号が交互に
供給される、請求項1から4までいずれか1記載の評価
回路。 - 【請求項6】 前記同期整流器(20)の入力側にはフ
ィルタ装置(18,19)が配置されている、請求項1
から5までいずれか1記載の評価回路。 - 【請求項7】 前記1つ又は複数のコイルと前記同期整
流器との間にローパスフィルタが設けられている、請求
項1から6までいずれか1記載の評価回路。 - 【請求項8】 オフセット補償のためのネットワークが
設けられており、該ネットワークは同期整流器を介して
別のアナログスイッチと、選択可能な周波数及び位相位
置で接続される、請求項1から7までいずれか1記載の
評価回路。 - 【請求項9】 前記同期整流器(20)としてローパス
特性を有する差動増幅器が用いられる、請求項1から8
までいずれか1記載の評価回路。 - 【請求項10】 2つのコイル(35,36)を有する
差動型誘導センサ(11)が設けられており、前記同期
整流器(20)は2つのスイッチング素子を有してお
り、該スイッチング素子は前記2つのコイル(35,3
6)のそれぞれ1つと接続され、同じクロック内で切換
えられる、請求項1から9までいずれか1記載の評価回
路。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19914142680 DE4142680A1 (de) | 1991-12-21 | 1991-12-21 | Auswerteschaltung fuer einen indudktivsensor |
| DE4142680.0 | 1991-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05248891A true JPH05248891A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=6447954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34018692A Pending JPH05248891A (ja) | 1991-12-21 | 1992-12-21 | 誘導センサ用の評価回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05248891A (ja) |
| DE (1) | DE4142680A1 (ja) |
| FR (1) | FR2685474A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055002A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-20 | Showa Corp | トルクセンサの異常検出装置 |
| JP2003315166A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Toyoda Mach Works Ltd | 角度検出装置における温度検出方法、角度検出装置及び角度検出装置を備えたアクチュエータ制御システム |
| US12044555B2 (en) | 2021-10-07 | 2024-07-23 | Murata Machinery, Ltd. | Displacement detection device |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP3302826B2 (ja) * | 1994-05-20 | 2002-07-15 | 三菱電機株式会社 | センサ駆動回路 |
| DE4427547C2 (de) * | 1994-08-04 | 1996-09-19 | Weiss Electronic Gmbh Elektron | Induktiver Fahrzeug-Detektor |
| DE4434318A1 (de) * | 1994-09-26 | 1996-03-28 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Verfahren und Einrichtung zur Meßwerterfassung und -verarbeitung |
| DE19703359A1 (de) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Telefunken Microelectron | Verfahren zur Temperaturkompensation bei Meßsystemen |
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| DE102013208600A1 (de) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Erregervorrichtung für einen Winkellagegeber |
| DE102017128471B4 (de) | 2017-11-30 | 2025-12-31 | Pepperl+Fuchs Se | Induktiver Näherungsschalter und Verfahren zum Betreiben eines induktiven Näherungsschalters |
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| DE102022201923B3 (de) * | 2022-02-24 | 2023-08-10 | Vitesco Technologies GmbH | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Ermittlung einer Induktivität einer Messspule und Verwendung dafür |
Family Cites Families (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5698661A (en) * | 1980-01-09 | 1981-08-08 | Toshiba Corp | Inductance measurememt device |
| ATE13593T1 (de) * | 1980-10-07 | 1985-06-15 | Micro Epsilon Messtechnik | Verfahren zur kompensation von temperaturbedingten messfehlern bei wechselstrom- messschaltungen, insbesondere abstandsmessgeraeten sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens. |
| US4857824A (en) * | 1987-07-16 | 1989-08-15 | Cadillac Gage Textron Inc. | Movable core position transducer |
| DE3910597A1 (de) * | 1989-04-01 | 1990-10-04 | Bosch Gmbh Robert | Schaltungsanordnung und verfahren zur induktiven wegmessung |
-
1991
- 1991-12-21 DE DE19914142680 patent/DE4142680A1/de not_active Withdrawn
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- 1992-12-21 JP JP34018692A patent/JPH05248891A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055002A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-20 | Showa Corp | トルクセンサの異常検出装置 |
| JP2003315166A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Toyoda Mach Works Ltd | 角度検出装置における温度検出方法、角度検出装置及び角度検出装置を備えたアクチュエータ制御システム |
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