JPH05258224A - 磁気抵抗効果型ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果型ヘッドInfo
- Publication number
- JPH05258224A JPH05258224A JP5476392A JP5476392A JPH05258224A JP H05258224 A JPH05258224 A JP H05258224A JP 5476392 A JP5476392 A JP 5476392A JP 5476392 A JP5476392 A JP 5476392A JP H05258224 A JPH05258224 A JP H05258224A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetoresistive
- head
- lead wire
- magnetoresistive effect
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- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】球面状の摺動面を持つスライダにおいて、磁気
抵抗効果素子の高さを正確に認識することのできる磁気
抵抗効果型ヘッドを提供する。 【構成】磁気抵抗効果素子１のトラック幅を規定するリ
ード線２を素子の幅内に形成し、かつこのリード線２に
研磨パターンの機能を持たせる。 【効果】媒体と接触するタイプのスライダに磁気抵抗効
果型ヘッドを適用することが可能になる。
抵抗効果素子の高さを正確に認識することのできる磁気
抵抗効果型ヘッドを提供する。 【構成】磁気抵抗効果素子１のトラック幅を規定するリ
ード線２を素子の幅内に形成し、かつこのリード線２に
研磨パターンの機能を持たせる。 【効果】媒体と接触するタイプのスライダに磁気抵抗効
果型ヘッドを適用することが可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置、ある
いは磁気テープ装置に用いられる磁気ヘッドに係り、特
に、磁気媒体と接触させて用いることのできる磁気抵抗
効果型ヘッドに関する。
いは磁気テープ装置に用いられる磁気ヘッドに係り、特
に、磁気媒体と接触させて用いることのできる磁気抵抗
効果型ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】誘導型ヘッド、あるいは磁気抵抗効果型
ヘッドのギャップデプスあるいは素子高さを摺動面研磨
により調整する場合、三角形状のパターンあるいは数本
の研磨パターンを素子の横に形成し、これをもとに行
う。
ヘッドのギャップデプスあるいは素子高さを摺動面研磨
により調整する場合、三角形状のパターンあるいは数本
の研磨パターンを素子の横に形成し、これをもとに行
う。
【０００３】例えば、実公昭62−35133 号公報に記載さ
れている従来例は、図５に示すように、長さの異なる数
本のストレートパターン１１をヘッド素子１０の横に並
列に並べ、摺動面研磨を進めるに従い変化するパターン
本数を数えたり、研磨により変化する三角形状パターン
１２の幅を測定することにより素子の高さを認識してい
る。
れている従来例は、図５に示すように、長さの異なる数
本のストレートパターン１１をヘッド素子１０の横に並
列に並べ、摺動面研磨を進めるに従い変化するパターン
本数を数えたり、研磨により変化する三角形状パターン
１２の幅を測定することにより素子の高さを認識してい
る。
【０００４】この方法は、従来の磁気ディスク装置に用
いられてきたようなウインチェスタ型のスライダに磁気
ヘッド素子が形成されている場合には有効である。何故
ならば、この構造のスライダはレール幅が４００μｍ程
度と比較的広く、素子の横に研磨用のパターンが形成さ
れていても、パターンとヘッド素子とは同一平面で研磨
されていくからである。また、たとえ摺動面が斜めに研
磨されているような場合でも、ヘッド素子の両側に研磨
用のパターンが形成されていれば、左右のパターンの
数、あるいは幅の違いを認識することによりその中心部
に形成されている素子の高さを知ることができる。
いられてきたようなウインチェスタ型のスライダに磁気
ヘッド素子が形成されている場合には有効である。何故
ならば、この構造のスライダはレール幅が４００μｍ程
度と比較的広く、素子の横に研磨用のパターンが形成さ
れていても、パターンとヘッド素子とは同一平面で研磨
されていくからである。また、たとえ摺動面が斜めに研
磨されているような場合でも、ヘッド素子の両側に研磨
用のパターンが形成されていれば、左右のパターンの
数、あるいは幅の違いを認識することによりその中心部
に形成されている素子の高さを知ることができる。
【０００５】しかし、ヘッドを媒体に接触させて動作さ
せようとした場合には、このウインチェスタ型のスライ
ダ構造は非常に不利となる。これは、ヘッドと媒体との
接触面積が広くなりすぎるために、媒体上でヘッドがば
たつき、定常的な接触状態を維持できなくなるためであ
る。
せようとした場合には、このウインチェスタ型のスライ
ダ構造は非常に不利となる。これは、ヘッドと媒体との
接触面積が広くなりすぎるために、媒体上でヘッドがば
たつき、定常的な接触状態を維持できなくなるためであ
る。
【０００６】ヘッドを媒体に接触させて動作させるに
は、摺動面が球面となった構造のスライダが有利とな
る。しかし、この場合、研磨用のパターンとヘッド素子
とが同一平面内では研磨されていかないので、素子の横
に研磨用のパターンを設けてしまうと摺動面から観察さ
れる研磨パターンの本数、あるいは幅と素子高さとが一
致しなくなるという問題がある。
は、摺動面が球面となった構造のスライダが有利とな
る。しかし、この場合、研磨用のパターンとヘッド素子
とが同一平面内では研磨されていかないので、素子の横
に研磨用のパターンを設けてしまうと摺動面から観察さ
れる研磨パターンの本数、あるいは幅と素子高さとが一
致しなくなるという問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、球面
状の摺動面を持つスライダにおいて、磁気抵抗効果素子
の高さを正確に認識することのできる磁気抵抗効果型ヘ
ッドを提供することにある。
状の摺動面を持つスライダにおいて、磁気抵抗効果素子
の高さを正確に認識することのできる磁気抵抗効果型ヘ
ッドを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点は、磁気抵抗
効果素子のトラック幅を規定するリード線を素子の幅内
に形成し、かつ、このリード線に研磨パターンの機能を
持たせることで解決される。
効果素子のトラック幅を規定するリード線を素子の幅内
に形成し、かつ、このリード線に研磨パターンの機能を
持たせることで解決される。
【０００９】
【作用】スライダを媒体に接触させて磁気ヘッドを動作
させるには、スライダの摺動面に曲率を持たせ、スライ
ダと媒体との接触面積をできるだけ減らすことが望まし
い。通常磁気抵抗効果素子を磁気ヘッドに適用するに
は、素子の磁化容易方向をトラック幅方向とし、かつ素
子のトラック幅方向の形状異方性を強くして単磁区状態
を維持することで再生特性を安定に保つことができる。
よって素子の形状は、トラック幅方向に長い横長となっ
てしまう。このためスライダと媒体との接触面積をでき
るだけ減らすには、磁気抵抗効果素子の外側に研磨パタ
ーンあるいはリード線を形成することができない。従っ
て、トラック幅を規定するための一対のリード線を磁気
抵抗効果素子の幅内に形成し、かつこのリード線が研磨
パターンの機能を有していれば、摺動面が曲率を持つよ
うなスライダであっても、磁気抵抗効果素子の高さの制
御が可能となる。
させるには、スライダの摺動面に曲率を持たせ、スライ
ダと媒体との接触面積をできるだけ減らすことが望まし
い。通常磁気抵抗効果素子を磁気ヘッドに適用するに
は、素子の磁化容易方向をトラック幅方向とし、かつ素
子のトラック幅方向の形状異方性を強くして単磁区状態
を維持することで再生特性を安定に保つことができる。
よって素子の形状は、トラック幅方向に長い横長となっ
てしまう。このためスライダと媒体との接触面積をでき
るだけ減らすには、磁気抵抗効果素子の外側に研磨パタ
ーンあるいはリード線を形成することができない。従っ
て、トラック幅を規定するための一対のリード線を磁気
抵抗効果素子の幅内に形成し、かつこのリード線が研磨
パターンの機能を有していれば、摺動面が曲率を持つよ
うなスライダであっても、磁気抵抗効果素子の高さの制
御が可能となる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明で作製した磁気抵抗効果型ヘッ
ド主要部の概略図である。磁気抵抗効果素子１はセラミ
クス基板上に真空蒸着法により形成した。膜厚は１５ｎ
ｍとした。次に磁化容易方向が素子の長さ方向となるよ
う、ミリング法によりこの磁気抵抗効果素子をパターニ
ングするが、このパターニング後の素子形状は７０μｍ
×３μｍとなるよう設定した。なお、磁気抵抗効果素子
上には、素子の長さ方向および幅方向にバイアス磁界を
印加し再生特性を安定に保つためのシャント膜および反
強磁性膜を形成しているが、図中ではこれらの膜を省略
している。
ド主要部の概略図である。磁気抵抗効果素子１はセラミ
クス基板上に真空蒸着法により形成した。膜厚は１５ｎ
ｍとした。次に磁化容易方向が素子の長さ方向となるよ
う、ミリング法によりこの磁気抵抗効果素子をパターニ
ングするが、このパターニング後の素子形状は７０μｍ
×３μｍとなるよう設定した。なお、磁気抵抗効果素子
上には、素子の長さ方向および幅方向にバイアス磁界を
印加し再生特性を安定に保つためのシャント膜および反
強磁性膜を形成しているが、図中ではこれらの膜を省略
している。
【００１１】また、本実施例では両側シールド型の磁気
抵抗効果型ヘッドを作製したが、図中ではシールド膜も
省略している。
抵抗効果型ヘッドを作製したが、図中ではシールド膜も
省略している。
【００１２】ヘッドの感磁部を形成した後は、リード線
２をやはり真空蒸着法により形成した。このリード線の
厚みは１５０ｎｍで、パターニングはリフトオフ法を用
いて行った。なお、リード線により規定されるトラック
幅は１μｍである。本実施例ではこのリード線の一部に
階段状のパターンを設け、摺動面側から観察される左右
のリード線の幅の変化を検出することにより磁気抵抗効
果素子の高さの制御を試みた。このリード線２の幅は３
０μｍであり、磁気抵抗効果素子の先端までは１μｍピ
ッチの段が設けられている。このパターンを目安に素子
の平行出し（研磨面と素子との平行度の確保）を行うこ
とができる。
２をやはり真空蒸着法により形成した。このリード線の
厚みは１５０ｎｍで、パターニングはリフトオフ法を用
いて行った。なお、リード線により規定されるトラック
幅は１μｍである。本実施例ではこのリード線の一部に
階段状のパターンを設け、摺動面側から観察される左右
のリード線の幅の変化を検出することにより磁気抵抗効
果素子の高さの制御を試みた。このリード線２の幅は３
０μｍであり、磁気抵抗効果素子の先端までは１μｍピ
ッチの段が設けられている。このパターンを目安に素子
の平行出し（研磨面と素子との平行度の確保）を行うこ
とができる。
【００１３】一方、研磨面が磁気抵抗効果素子１までか
かると、リード線に形成される段は０.３μｍ ピッチと
なるように設定されている。この細かいピッチのパター
ンは、左右のリード線で磁気抵抗効果素子の高さ方向を
すべてカバーできるようになっている。このリード線に
形成されているパターンを基に磁気抵抗効果素子が摺動
面に露出するまでは摺動面を平坦に研磨し、露出した後
は素子の外側に曲率を持たせる加工を施した。
かると、リード線に形成される段は０.３μｍ ピッチと
なるように設定されている。この細かいピッチのパター
ンは、左右のリード線で磁気抵抗効果素子の高さ方向を
すべてカバーできるようになっている。このリード線に
形成されているパターンを基に磁気抵抗効果素子が摺動
面に露出するまでは摺動面を平坦に研磨し、露出した後
は素子の外側に曲率を持たせる加工を施した。
【００１４】図２は加工後のヘッドの概略図を示す。こ
のようにヘッド素子はセラミクス基板３および３′に挾
まれた構造となる。
のようにヘッド素子はセラミクス基板３および３′に挾
まれた構造となる。
【００１５】本実施例により作製したヘッドをスパッタ
媒体と組合せると、浮上量０.０１μｍ程度で記録再生
を行うことができる。
媒体と組合せると、浮上量０.０１μｍ程度で記録再生
を行うことができる。
【００１６】図３はリード線に設けられた研磨パターン
を基に磁気抵抗効果素子の高さを調整して記録再生特性
を測定した結果を示す。測定に使用したヘッドのシール
ド間隔は０.３５μｍ で、媒体磁性層の保磁力は１６０
０Ｏｅ、膜厚は４０ｎｍである。なお、記録には磁極に
パーマロイを用いた従来型の誘導型薄膜磁気ヘッドを用
いた。
を基に磁気抵抗効果素子の高さを調整して記録再生特性
を測定した結果を示す。測定に使用したヘッドのシール
ド間隔は０.３５μｍ で、媒体磁性層の保磁力は１６０
０Ｏｅ、膜厚は４０ｎｍである。なお、記録には磁極に
パーマロイを用いた従来型の誘導型薄膜磁気ヘッドを用
いた。
【００１７】図３の結果は、磁気抵抗効果素子の高さが
３μｍ(４），２μｍ(５），１μｍ（６）の場合であ
り、それぞれセンス電流は孤立再生波の上下パルスの振
幅値が等しくなる値に設定している。このように記録再
生特性は磁気抵抗効果素子の高さのわずかな違いにより
大きく変化するため、この高さを調整することは非常に
重要である。
３μｍ(４），２μｍ(５），１μｍ（６）の場合であ
り、それぞれセンス電流は孤立再生波の上下パルスの振
幅値が等しくなる値に設定している。このように記録再
生特性は磁気抵抗効果素子の高さのわずかな違いにより
大きく変化するため、この高さを調整することは非常に
重要である。
【００１８】また、本実施例では磁気抵抗効果素子高さ
が１μｍまでしかないが、高さがこれ以下になると孤立
再生波の上下パルスの振幅値が等しくなる前に磁気抵抗
効果素子内の電流密度が高くなりすぎて断線してしま
う。
が１μｍまでしかないが、高さがこれ以下になると孤立
再生波の上下パルスの振幅値が等しくなる前に磁気抵抗
効果素子内の電流密度が高くなりすぎて断線してしま
う。
【００１９】本実施例による磁気抵抗効果型ヘッドを再
生用のヘッドとして用い、誘導型の薄膜ヘッドと組合せ
て記録再生分離型ヘッドを構成することも可能である。
この時は、予め誘導型記録ヘッドのギャップデプスとリ
ード線に設けられている研磨パターンとの位置関係を認
識しておき、この位置関係を基に加工することができ
る。
生用のヘッドとして用い、誘導型の薄膜ヘッドと組合せ
て記録再生分離型ヘッドを構成することも可能である。
この時は、予め誘導型記録ヘッドのギャップデプスとリ
ード線に設けられている研磨パターンとの位置関係を認
識しておき、この位置関係を基に加工することができ
る。
【００２０】図４は本発明による第２の実施例の説明図
であり、磁気抵抗効果素子およびリード線の一部の概略
図である。この場合は、パターニングされている磁気抵
抗効果素子７上にまず研磨パターンを持たないリード線
８を形成する。この後、リード線８上に並列状に研磨パ
ターン９を形成し、このパターンを基に研磨を行う。並
列状に研磨パターン９はリフトオフ法により形成するこ
とができる。この実施例でも第１の実施例と同様の効果
を得ることができる。
であり、磁気抵抗効果素子およびリード線の一部の概略
図である。この場合は、パターニングされている磁気抵
抗効果素子７上にまず研磨パターンを持たないリード線
８を形成する。この後、リード線８上に並列状に研磨パ
ターン９を形成し、このパターンを基に研磨を行う。並
列状に研磨パターン９はリフトオフ法により形成するこ
とができる。この実施例でも第１の実施例と同様の効果
を得ることができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明により、媒体と接触するタイプの
スライダに磁気抵抗効果型ヘッドを適用することが可能
になる。
スライダに磁気抵抗効果型ヘッドを適用することが可能
になる。
【図１】本発明の第１の実施例による磁気抵抗効果型ヘ
ッド感磁部の断面図。
ッド感磁部の断面図。
【図２】本発明の実施例による磁気抵抗効果型ヘッドス
ライダの断面図。
ライダの断面図。
【図３】本発明の効果の説明図。
【図４】本発明の第２の実施例による磁気抵抗効果型ヘ
ッド感磁部の斜視図。
ッド感磁部の斜視図。
【図５】従来型の研磨パターンの説明図。
１…磁気抵抗効果素子、２…リード線。
Claims (5)
- 【請求項１】磁気抵抗効果素子が摺動面に露出し、トラ
ック幅は磁気抵抗効果素子上に形成される一対のリード
線により規定され、かつ摺動面を研磨することにより前
記磁気抵抗効果素子の高さを調整する磁気抵抗効果型ヘ
ッドにおいて、前記リード線が研磨パターンを兼ねてい
ることを特徴とする磁気抵抗効果型ヘッド。 - 【請求項２】請求項１において、前記トラック幅を規定
するリード線は前記磁気抵抗効果素子の幅内に形成され
ている磁気抵抗効果型ヘッド。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記リード線
の一部に階段状のパターンが形成されており、摺動面研
磨を進めるに従い変化する一対のリード線の幅を基に磁
気抵抗効果素子の高さを認識する磁気抵抗効果型ヘッ
ド。 - 【請求項４】請求項１または２において、リード線の一
部に段差が設けられており、摺動面研磨を進めるに従い
変化する一対のリード線の厚みを基に磁気抵抗効果素子
の高さを認識する磁気抵抗効果型ヘッド。 - 【請求項５】請求項１，２または３において、リード線
上に極薄絶縁層を介して金属膜が形成されており、リー
ド線／極薄絶縁層／金属膜より成る多層膜が同時にパタ
ーニングされる磁気抵抗効果型ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5476392A JPH05258224A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気抵抗効果型ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5476392A JPH05258224A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気抵抗効果型ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05258224A true JPH05258224A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=12979815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5476392A Pending JPH05258224A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 磁気抵抗効果型ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05258224A (ja) |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP5476392A patent/JPH05258224A/ja active Pending
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