JPH05259558A - 2波長同時発振レーザ光の取り出し方法 - Google Patents
2波長同時発振レーザ光の取り出し方法Info
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- JPH05259558A JPH05259558A JP5372392A JP5372392A JPH05259558A JP H05259558 A JPH05259558 A JP H05259558A JP 5372392 A JP5372392 A JP 5372392A JP 5372392 A JP5372392 A JP 5372392A JP H05259558 A JPH05259558 A JP H05259558A
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 2種類の波長のレーザ光を小型の装置で、効
率よく一方の側から取り出すことを可能にする。 【構成】 レーザ媒質1で励起した2波長のレーザ光
を、偏向ビームスプリッタ3、6でP偏向成分およびS
偏向成分に分離し、P偏向の成分のうち一方の波長のレ
ーザ光を、その波長のレーザ光を全反射する第一の反射
鏡4を用いて反射してレーザ媒質1に戻すとともに、S
偏向成分のうち他方の波長のレーザ光を、その他方の波
長のレーザ光を全反射する第二の反射鏡5を用いて反射
してレーザ媒質1に戻すようにしたので、一方の波長の
レーザ光のP偏向成分と、他方の波長のレーザ光のS偏
向成分とをそれぞれ十分にポンピングできるとともに、
2波長のレーザ光をレーザ媒質1から共に出射すること
を特徴としている。
率よく一方の側から取り出すことを可能にする。 【構成】 レーザ媒質1で励起した2波長のレーザ光
を、偏向ビームスプリッタ3、6でP偏向成分およびS
偏向成分に分離し、P偏向の成分のうち一方の波長のレ
ーザ光を、その波長のレーザ光を全反射する第一の反射
鏡4を用いて反射してレーザ媒質1に戻すとともに、S
偏向成分のうち他方の波長のレーザ光を、その他方の波
長のレーザ光を全反射する第二の反射鏡5を用いて反射
してレーザ媒質1に戻すようにしたので、一方の波長の
レーザ光のP偏向成分と、他方の波長のレーザ光のS偏
向成分とをそれぞれ十分にポンピングできるとともに、
2波長のレーザ光をレーザ媒質1から共に出射すること
を特徴としている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属蒸気をレーザ媒質
とする2波長同時発振レーザ光の取り出し方法に関す
る。
とする2波長同時発振レーザ光の取り出し方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、2波長以上の発振線をもつ金属蒸
気レーザは、干渉計測等の光源として使用する場合、コ
ヒーレンスを保つため、共振器鏡を単一波長用に設計し
たり、或いは共振器内にグレーティング等の波長選択素
子を挿入し、他の波長の発振を抑制して単一波長のみを
取り出している。
気レーザは、干渉計測等の光源として使用する場合、コ
ヒーレンスを保つため、共振器鏡を単一波長用に設計し
たり、或いは共振器内にグレーティング等の波長選択素
子を挿入し、他の波長の発振を抑制して単一波長のみを
取り出している。
【0003】しかしながら、各種の応用を考えたとき、
2波長のレーザ光を同時、或いは交互にして使用し、こ
れを例えばマッハツェンダ干渉計やホログラフィー干渉
計など測定用の光源として使用すれば、データ取得時に
これら波長を任意に選択すると共に、偏向成分に分けて
偏光子をシャッタとして切り換えれば非常に効率のよい
レーザ動作が可能となるばかりか、計測の速度も向上す
る。
2波長のレーザ光を同時、或いは交互にして使用し、こ
れを例えばマッハツェンダ干渉計やホログラフィー干渉
計など測定用の光源として使用すれば、データ取得時に
これら波長を任意に選択すると共に、偏向成分に分けて
偏光子をシャッタとして切り換えれば非常に効率のよい
レーザ動作が可能となるばかりか、計測の速度も向上す
る。
【0004】そこで、本発明者らは、金属蒸気レーザ媒
質の相対する方向に単一の波長のレーザを発生し、これ
らのレーザ光のうち一方をP偏向とし、他方をS偏向に
分離し、P偏向の一つのレーザ光と、S偏向の他のレー
ザ光とを計測すべき箇所に交互に照射できる銅蒸気レー
ザ光の利用方法を提案した。
質の相対する方向に単一の波長のレーザを発生し、これ
らのレーザ光のうち一方をP偏向とし、他方をS偏向に
分離し、P偏向の一つのレーザ光と、S偏向の他のレー
ザ光とを計測すべき箇所に交互に照射できる銅蒸気レー
ザ光の利用方法を提案した。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この金属蒸
気レーザで発生する2波長のレーザ光は、エネルギーが
大きいため、2波長のレーザ光を共にレーザ共振鏡内で
ポンピングさせてさらにエネルギーを高めることができ
ない。また、このためレーザ媒質の両側からしか各レー
ザ光を取り出すことしかできない問題がある。
気レーザで発生する2波長のレーザ光は、エネルギーが
大きいため、2波長のレーザ光を共にレーザ共振鏡内で
ポンピングさせてさらにエネルギーを高めることができ
ない。また、このためレーザ媒質の両側からしか各レー
ザ光を取り出すことしかできない問題がある。
【0006】従って、2波長のレーザ光を取り出そうと
しても、十分なエネルギーが得られず効率が悪いととも
に、レーザ光を測定箇所に照射するには一方のレーザ光
を他方のレーザ光の出射方向に合わせなければならず、
そのためにはミラーなどを用いて引き回さねばならな
い。このため装置が大型化してしまう問題がある。
しても、十分なエネルギーが得られず効率が悪いととも
に、レーザ光を測定箇所に照射するには一方のレーザ光
を他方のレーザ光の出射方向に合わせなければならず、
そのためにはミラーなどを用いて引き回さねばならな
い。このため装置が大型化してしまう問題がある。
【0007】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、2種類の波長のレーザ光を小型の装置で、効率よく
一方の側から取り出す2波長同時発振レーザ光の取り出
し方法を提供することにある。
し、2種類の波長のレーザ光を小型の装置で、効率よく
一方の側から取り出す2波長同時発振レーザ光の取り出
し方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、2波長のレーザ光を発振する金属蒸気をレ
ーザ媒質とする2波長同時発振レーザ光の取り出し方法
において、レーザ媒質の後方に偏向ビームスプリッタを
配置して2波長のレーザ光をそれぞれPおよびSの偏向
成分に分離し、かつ、その分離されたP偏向成分のう
ち、いずれか一方の波長のレーザ光を反射させてレーザ
媒質に戻すとともに、分離されたS偏向成分のうち他方
の波長のレーザ光を反射させてレーザ媒質に戻すように
するものである。
に本発明は、2波長のレーザ光を発振する金属蒸気をレ
ーザ媒質とする2波長同時発振レーザ光の取り出し方法
において、レーザ媒質の後方に偏向ビームスプリッタを
配置して2波長のレーザ光をそれぞれPおよびSの偏向
成分に分離し、かつ、その分離されたP偏向成分のう
ち、いずれか一方の波長のレーザ光を反射させてレーザ
媒質に戻すとともに、分離されたS偏向成分のうち他方
の波長のレーザ光を反射させてレーザ媒質に戻すように
するものである。
【0009】
【作用】上記構成によれば、レーザ媒質で励起した2波
長のレーザ光を、偏向ビームスプリッタでP偏向成分お
よびS偏向成分に分離し、P偏向の成分のうち一方の波
長のレーザ光を、その波長のレーザ光を全反射する反射
鏡を用いて反射してレーザ媒質に戻すとともに、S偏向
成分のうち他方の波長のレーザ光を、その他方の波長の
レーザ光を全反射する反射鏡を用いて反射してレーザ媒
質に戻すようにしたので、一方の波長のレーザ光のP偏
向成分と、他方の波長のレーザ光のS偏向成分とをそれ
ぞれ十分にポンピングできるとともに、2波長のレーザ
光をレーザ媒質から共に出射することが可能となる。
長のレーザ光を、偏向ビームスプリッタでP偏向成分お
よびS偏向成分に分離し、P偏向の成分のうち一方の波
長のレーザ光を、その波長のレーザ光を全反射する反射
鏡を用いて反射してレーザ媒質に戻すとともに、S偏向
成分のうち他方の波長のレーザ光を、その他方の波長の
レーザ光を全反射する反射鏡を用いて反射してレーザ媒
質に戻すようにしたので、一方の波長のレーザ光のP偏
向成分と、他方の波長のレーザ光のS偏向成分とをそれ
ぞれ十分にポンピングできるとともに、2波長のレーザ
光をレーザ媒質から共に出射することが可能となる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【0011】図1は本発明の2波長同時発振レーザ光の
取り出し方法を適用したレーザ装置の概念図である。
取り出し方法を適用したレーザ装置の概念図である。
【0012】同図において、1は金属蒸気のレーザ媒質
で、例えば媒質が銅蒸気であれば緑色(511nm)と
黄色(578nm)の2波長のレーザ光を発生する。こ
のレーザ媒質1は高速パルス放電(約6000回/秒)
により緑色と黄色の2波長のパルス状レーザが励起され
る。
で、例えば媒質が銅蒸気であれば緑色(511nm)と
黄色(578nm)の2波長のレーザ光を発生する。こ
のレーザ媒質1は高速パルス放電(約6000回/秒)
により緑色と黄色の2波長のパルス状レーザが励起され
る。
【0013】2はレーザ媒質1の前方(図の右側)に設
けられ、2波長のレーザ光を矢印A方向に出射するため
の出力鏡で、出射されるレーザ光の一部を透過するとと
もに一部を反射する。
けられ、2波長のレーザ光を矢印A方向に出射するため
の出力鏡で、出射されるレーザ光の一部を透過するとと
もに一部を反射する。
【0014】3は、レーザ媒質1の後方(図の左側)に
配置され、レーザ媒質1で発生した2波長レーザ光を、
P偏向成分とS偏向成分とに分離する偏向ビームスプリ
ッタであり、例えば光路L1 からの2波長レーザ光をP
偏向成分はその光路L1 と同じ光路L2 方向に出射し、
S偏向成分は光路L3 方向に出射する。
配置され、レーザ媒質1で発生した2波長レーザ光を、
P偏向成分とS偏向成分とに分離する偏向ビームスプリ
ッタであり、例えば光路L1 からの2波長レーザ光をP
偏向成分はその光路L1 と同じ光路L2 方向に出射し、
S偏向成分は光路L3 方向に出射する。
【0015】4は、偏向ビームスプリッタ3で分離され
たP偏向のレーザ光の光路L2 上に設けられ、緑色およ
び黄色のP偏向レーザ光のうち必要とする一方の波長
(たとえば緑色)のレーザ光だけを全反射するようにコ
ーティングされた第二の反射鏡で、反射光は光路L2 を
通り、偏向ビームスプリッタ3を介して再びレーザ媒質
1の光路L1 に戻るようになっている。
たP偏向のレーザ光の光路L2 上に設けられ、緑色およ
び黄色のP偏向レーザ光のうち必要とする一方の波長
(たとえば緑色)のレーザ光だけを全反射するようにコ
ーティングされた第二の反射鏡で、反射光は光路L2 を
通り、偏向ビームスプリッタ3を介して再びレーザ媒質
1の光路L1 に戻るようになっている。
【0016】5は、偏向ビームスプリッタ3で分離され
たS偏向のレーザ光の光路L3 上に設けられ、緑色およ
び黄色のS偏向レーザ光のうち必要とする他方の波長
(例えば黄色)のレーザ光だけを全反射するようにコー
ティングされた第二の反射鏡で、反射光は光路L3 を通
り、偏向ビームスプリッタ3を介してレーザ媒質1の光
路L1 に戻るようになっている。なお、出力鏡2、第一
および第二の反射鏡4、5は図では平面鏡で示している
が、適宜の曲率に形成してレーザ光のビームを絞ること
ができるようになっている。
たS偏向のレーザ光の光路L3 上に設けられ、緑色およ
び黄色のS偏向レーザ光のうち必要とする他方の波長
(例えば黄色)のレーザ光だけを全反射するようにコー
ティングされた第二の反射鏡で、反射光は光路L3 を通
り、偏向ビームスプリッタ3を介してレーザ媒質1の光
路L1 に戻るようになっている。なお、出力鏡2、第一
および第二の反射鏡4、5は図では平面鏡で示している
が、適宜の曲率に形成してレーザ光のビームを絞ること
ができるようになっている。
【0017】次に実施例の作用を述べる。
【0018】レーザ媒質1内で発生する緑色および黄色
の2波長のレーザ光のうち、光路L1 上を左側に進むレ
ーザ光(P偏向成分およびS偏向成分を含む)は、偏向
ビームスプリッタ3でP偏向成分とS偏向成分とに分離
され、P偏向成分は光路L2 上を進み第一の反射鏡4に
入射するとともに、S偏向成分は光路L3 上を進み第二
の反射鏡5に入射する。第一の反射鏡4に入射したP偏
向成分のレーザ光のうち緑色のレーザ光が全反射されて
光路L2 、L1 を通ってレーザ媒質1に戻るとともに、
第二の反射鏡5に入射したS偏向成分のレーザ光のうち
黄色のレーザ光が全反射して光路L3 、L1 を通ってレ
ーザ媒質1に戻る。レーザ媒質1に戻った緑色および黄
色のレーザ光は出力鏡2で一部が透過するとともに一部
が反射して光路L1 を再び左側に進む。以下同様にし
て、緑色のレーザ光はレーザ媒質1、偏向ビームスプリ
ッタ3および第一の反射鏡4と出力鏡2との間を3〜4
回ポンピングして出力鏡2から矢印A方向に出射すると
共に、黄色のレーザ光はレーザ媒質1、偏向ビームスプ
リッタ3および第二の反射鏡5と出力鏡2との間を3〜
4回ポンピングして出力鏡2から矢印A方向に出射す
る。
の2波長のレーザ光のうち、光路L1 上を左側に進むレ
ーザ光(P偏向成分およびS偏向成分を含む)は、偏向
ビームスプリッタ3でP偏向成分とS偏向成分とに分離
され、P偏向成分は光路L2 上を進み第一の反射鏡4に
入射するとともに、S偏向成分は光路L3 上を進み第二
の反射鏡5に入射する。第一の反射鏡4に入射したP偏
向成分のレーザ光のうち緑色のレーザ光が全反射されて
光路L2 、L1 を通ってレーザ媒質1に戻るとともに、
第二の反射鏡5に入射したS偏向成分のレーザ光のうち
黄色のレーザ光が全反射して光路L3 、L1 を通ってレ
ーザ媒質1に戻る。レーザ媒質1に戻った緑色および黄
色のレーザ光は出力鏡2で一部が透過するとともに一部
が反射して光路L1 を再び左側に進む。以下同様にし
て、緑色のレーザ光はレーザ媒質1、偏向ビームスプリ
ッタ3および第一の反射鏡4と出力鏡2との間を3〜4
回ポンピングして出力鏡2から矢印A方向に出射すると
共に、黄色のレーザ光はレーザ媒質1、偏向ビームスプ
リッタ3および第二の反射鏡5と出力鏡2との間を3〜
4回ポンピングして出力鏡2から矢印A方向に出射す
る。
【0019】このように、出力鏡2からはP偏向の緑色
レーザ光とS偏向の黄色レーザ光とを同一光路上で取り
出すことができ、しかも各レーザ光は反射鏡3、4と出
力鏡2でポンピングされて高効率とすることができる。
また、このレーザ光は、出射側に偏光子を配置して偏光
子の偏向面を回転させることで、例えばマッハツェンダ
計測器用の光源に用いた場合、P偏向緑色レーザ光とS
偏向黄色レーザ光とを交互に測定箇所に照射することが
可能となる。
レーザ光とS偏向の黄色レーザ光とを同一光路上で取り
出すことができ、しかも各レーザ光は反射鏡3、4と出
力鏡2でポンピングされて高効率とすることができる。
また、このレーザ光は、出射側に偏光子を配置して偏光
子の偏向面を回転させることで、例えばマッハツェンダ
計測器用の光源に用いた場合、P偏向緑色レーザ光とS
偏向黄色レーザ光とを交互に測定箇所に照射することが
可能となる。
【0020】図2は他の構成例の概念図である。
【0021】図1に示したレーザ装置との相違は、レー
ザ媒質1の前方に出力鏡2を設ける代わりに偏向ビーム
スプリッタ6を設け、P偏向成分の緑色レーザ光を光路
L5 方向に、またS偏向成分のレーザ光を光路L4 方向
に分離するように配置され、光路L4 上に第一の透過鏡
8を、光路L5 上に第二の透過鏡7を配置した点であ
る。
ザ媒質1の前方に出力鏡2を設ける代わりに偏向ビーム
スプリッタ6を設け、P偏向成分の緑色レーザ光を光路
L5 方向に、またS偏向成分のレーザ光を光路L4 方向
に分離するように配置され、光路L4 上に第一の透過鏡
8を、光路L5 上に第二の透過鏡7を配置した点であ
る。
【0022】本例においては、P偏向緑色レーザ光は2
つの偏向ビームスプリッタ3、6、第一の反射鏡4と第
一の透過鏡7により繰り返しポンピングされ矢印B方向
に取り出される。S偏向黄色レーザ光は2つの偏向ビー
ムスプリッタ3、6、第二の反射鏡4と第二の透過鏡8
により繰り返しポンピングされ、矢印C方向に取り出さ
れる。これによりさらに高効率のレーザ光を取り出すこ
とができる。なお、本例では2つのレーザ光を別々の方
向に取り出しているが、一方の波長のレーザ光をミラー
等を用いて他方のレーザ光と同一方向に取り出すように
してもよい。
つの偏向ビームスプリッタ3、6、第一の反射鏡4と第
一の透過鏡7により繰り返しポンピングされ矢印B方向
に取り出される。S偏向黄色レーザ光は2つの偏向ビー
ムスプリッタ3、6、第二の反射鏡4と第二の透過鏡8
により繰り返しポンピングされ、矢印C方向に取り出さ
れる。これによりさらに高効率のレーザ光を取り出すこ
とができる。なお、本例では2つのレーザ光を別々の方
向に取り出しているが、一方の波長のレーザ光をミラー
等を用いて他方のレーザ光と同一方向に取り出すように
してもよい。
【0023】なお、本実施例では緑色光のP偏向成分と
黄色光のS偏向成分とを取り出すようにしてるが、図
1、2において第一の反射鏡3と第二の反射鏡4とを交
換したり、偏向ビームスプリッタの偏向方向を変えれば
P偏向成分の黄色レーザ光とS偏向成分の緑色レーザ光
とを取り出すことができる。
黄色光のS偏向成分とを取り出すようにしてるが、図
1、2において第一の反射鏡3と第二の反射鏡4とを交
換したり、偏向ビームスプリッタの偏向方向を変えれば
P偏向成分の黄色レーザ光とS偏向成分の緑色レーザ光
とを取り出すことができる。
【0024】なお、本実施例では銅蒸気をレーザ媒質1
として用いたが、レーザ媒質1はこれに限定されるもの
ではなく、金(Au)等他の金属を用いてもよい。ただ
し、その場合、第一および第二の反射鏡4、5は励起さ
れる2種類のレーザ光の波長に対応したコーティングで
なければならないのは言うまでもない。
として用いたが、レーザ媒質1はこれに限定されるもの
ではなく、金(Au)等他の金属を用いてもよい。ただ
し、その場合、第一および第二の反射鏡4、5は励起さ
れる2種類のレーザ光の波長に対応したコーティングで
なければならないのは言うまでもない。
【0025】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、レーザ媒
質の後方に偏向ビームスプリッタを配置して2波長のレ
ーザ光をそれぞれPおよびSの偏向成分に分離し、かつ
その分離されたP偏向成分のうち、いずれか一方の波長
のレーザ光を反射させて上記レーザ媒質に戻し、かつ分
離されたS偏向成分のうち他方の波長のレーザ光を反射
させてレーザ媒質に戻すので、2種類の波長のレーザ光
を小型の装置で、効率よく一方の側から取り出すことが
できる。
質の後方に偏向ビームスプリッタを配置して2波長のレ
ーザ光をそれぞれPおよびSの偏向成分に分離し、かつ
その分離されたP偏向成分のうち、いずれか一方の波長
のレーザ光を反射させて上記レーザ媒質に戻し、かつ分
離されたS偏向成分のうち他方の波長のレーザ光を反射
させてレーザ媒質に戻すので、2種類の波長のレーザ光
を小型の装置で、効率よく一方の側から取り出すことが
できる。
【図1】本発明の2波長同時発振レーザ光の取り出し方
法を適用したレーザ装置の一実施例の概念図である。
法を適用したレーザ装置の一実施例の概念図である。
【図2】図1に示したレーザ装置の他の構成例の概念図
である。
である。
1 レーザ媒質 2 出力鏡 3 第一の反射鏡 4 第二の反射鏡 L1 〜L5 光路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富岡 靖博 東京都江東区豊洲三丁目2番16号 石川島 播磨重工業株式会社豊洲総合事務所内 (72)発明者 藤本 達見 神奈川県横浜市磯子区新中原町1番地 石 川島播磨重工業株式会社技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項1】 2波長のレーザ光を発振する金属蒸気を
レーザ媒質とする2波長同時発振レーザ光の取り出し方
法において、レーザ媒質の後方に偏向ビームスプリッタ
を配置して2波長のレーザ光をそれぞれPおよびSの偏
向成分に分離し、かつ、その分離されたP偏向成分のう
ち、いずれか一方の波長のレーザ光を反射させて上記レ
ーザ媒質に戻すとともに、分離されたS偏向成分のうち
他方の波長のレーザ光を反射させて上記レーザ媒質に戻
すようにすることを特徴とする2波長同時発振レーザ光
の取り出し方法。 - 【請求項2】 上記レーザ媒質の前方に、レーザ光の偏
向方向が異なる2波長のレーザ光を分離して出射する偏
向ビームスプリッタを設けて出射することを特徴とする
請求項1に記載の2波長同時発振レーザ光の取り出し方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5372392A JPH05259558A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 2波長同時発振レーザ光の取り出し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5372392A JPH05259558A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 2波長同時発振レーザ光の取り出し方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05259558A true JPH05259558A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=12950755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5372392A Pending JPH05259558A (ja) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | 2波長同時発振レーザ光の取り出し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05259558A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006090721A1 (ja) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 波長変換光学装置、レーザ光源、及び画像表示光学装置 |
| DE102009011599A1 (de) * | 2009-03-08 | 2010-09-16 | Du, Keming, Dr. | Oszillator-Verstärker-Anordnungen mit Amplituden-Einstellung |
-
1992
- 1992-03-12 JP JP5372392A patent/JPH05259558A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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