JPH052603B2 - - Google Patents
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- JPH052603B2 JPH052603B2 JP58170988A JP17098883A JPH052603B2 JP H052603 B2 JPH052603 B2 JP H052603B2 JP 58170988 A JP58170988 A JP 58170988A JP 17098883 A JP17098883 A JP 17098883A JP H052603 B2 JPH052603 B2 JP H052603B2
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- electrode
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オゾン発生装置（以下オゾナイザと
称する）に関するものである。
称する）に関するものである。
従来のオゾナイザは平行板ないし、平行同心円
筒電極間にガラス板を介在せしめて交流高電圧を
印加し、電極間隙に無声放電を発生せしめつつ、
この間に乾燥せる空気又は酸素を流通せしめ、該
無声放電に固有の放電化学的作用で酸素をオゾン
に転化せしめてオゾンを発生する方式のものであ
つた。しかし、この方式のオゾン発生の電力効率
は極めて低く、理論値の数％以下に止るものであ
つた。これに対して本願発明者は別発明「オゾン
発生装置」（昭和52年２月23日出願；特願昭55−
21878号）においてパルス巾の著るしく短かい極
短パルス高電圧の生ずる沿面コロナ放電の有効な
オゾン生成作用を利用して電力効率を向上する方
法を提案したがこの方法には沿面放電による誘電
体の加熱という欠点があつた。
筒電極間にガラス板を介在せしめて交流高電圧を
印加し、電極間隙に無声放電を発生せしめつつ、
この間に乾燥せる空気又は酸素を流通せしめ、該
無声放電に固有の放電化学的作用で酸素をオゾン
に転化せしめてオゾンを発生する方式のものであ
つた。しかし、この方式のオゾン発生の電力効率
は極めて低く、理論値の数％以下に止るものであ
つた。これに対して本願発明者は別発明「オゾン
発生装置」（昭和52年２月23日出願；特願昭55−
21878号）においてパルス巾の著るしく短かい極
短パルス高電圧の生ずる沿面コロナ放電の有効な
オゾン生成作用を利用して電力効率を向上する方
法を提案したがこの方法には沿面放電による誘電
体の加熱という欠点があつた。
本発明者はこれらの欠点を改良するため、先に
別の先願発明「オゾン発生装置（昭和57年12月15
日出願；特願昭57−219455号）を完成した。
別の先願発明「オゾン発生装置（昭和57年12月15
日出願；特願昭57−219455号）を完成した。
その先願発明はパルス巾の著るしく短い極短パ
ルス高電圧を使用することは前記別発明と同じも
のの、これによつて強力なストリーマーコロナ放
電をガス空間に生ぜしめ、その放電化学作用を利
用することにより克服し、電力効率の大巾な向上
を達成せるオゾナイザーを提供するものである。
ルス高電圧を使用することは前記別発明と同じも
のの、これによつて強力なストリーマーコロナ放
電をガス空間に生ぜしめ、その放電化学作用を利
用することにより克服し、電力効率の大巾な向上
を達成せるオゾナイザーを提供するものである。
本発明は上記別発明の欠点を改良しようとする
目的については上記先願発明と同様であるがその
他の目的として先願発明が上述のストリーマーコ
ロナ放電から時として火花放電に移行するおそれ
のあるのを防止して、安定したオゾナイザ放電を
行わせることである。
目的については上記先願発明と同様であるがその
他の目的として先願発明が上述のストリーマーコ
ロナ放電から時として火花放電に移行するおそれ
のあるのを防止して、安定したオゾナイザ放電を
行わせることである。
本発明の空間放電型オゾン発生装置は函体内に
ガス入口とガス出口の間を仕切る隔壁を設け、該
隔壁を貫いて無声放電電極と対向電極とそれらの
各電極間に設けられているガス通路と面状誘電体
層とからなる対電極を複数組設けてなる空間放電
型オゾナイザにおいて、該複数組の対電極の各無
声放電電極を順次直列に接続し、その無声放電電
極と各対向電極間に極短高圧パルス電源を接続す
るものである。
ガス入口とガス出口の間を仕切る隔壁を設け、該
隔壁を貫いて無声放電電極と対向電極とそれらの
各電極間に設けられているガス通路と面状誘電体
層とからなる対電極を複数組設けてなる空間放電
型オゾナイザにおいて、該複数組の対電極の各無
声放電電極を順次直列に接続し、その無声放電電
極と各対向電極間に極短高圧パルス電源を接続す
るものである。
ここに本発明において利用する極短パルス高電
圧のパルス巾は1nsから数十μsの間とし、特に1ns
から1000nsの間に選ぶのを好適とする。この様な
極短パルス高電圧を相対向する電極間に印加する
時は、該一方の放電極から極めて強力な無声放電
を火花の発生なしに生ぜしめることが出来、その
有効なオゾン生成作用を安定に利用することが可
能となる。この場合、相対向する電極は、同心円
状に設けられた二つの円筒状電極であつても良
く、また両方とも平板状放電極であつてもよい。
この両電極からなる複数組の電極対の各無声放電
電極を直列状に結合して、その全長を長大なもの
とし、その一端部に印加せる極短パルス高電圧の
パルス巾を著るしく小さくする時は、該パルス高
電圧は、これら長形電極対に沿つて進行波として
伝播し、その過程において該両放電極間に設けら
れたガス通路の全空間に亙つて斑なく一様に強力
な無声放電を発生し、そのオゾン生成効率は更に
大巾に向上する。この場合、進行波の速度はν
0.3〔ｍ／ns〕であり、その幾何学的波長はパルス
巾がτ〔ns〕のときｌ＝0.3τ〔ｍ〕となる。そし
て、上記長形電極対の全長Ｌ〔ｍ〕に対してｌ
Ｌとする時、換言すると該極短パルス高電圧のパ
ルス巾τをほぼτｌ／（0.3）〔ns〕に選ぶと
き、この様にパルス高電圧は進行波としての振舞
を呈する様になる。この様に長大形の電極対とし
て印加パルス高電圧を進行波として振舞わせ、進
行波高電圧に固有の強力な無声放電を発生せしめ
る所の電極対を特に無声放電伝送線路として形成
する。かゝる無声放電伝送線路たらしめるための
条件は、その長さＬ〔ｍ〕を、パルス巾τ〔ns〕に
対してＬ0.3τ〔ｍ〕にとることであるが、実際
にはその1/3程度のＬ0.1τ〔ｍ〕位にとつても進
行波の性質は残存し、ここに発生する放電化学作
用は同程度の活性を保持する。この場合オゾン生
成に使用する空気や酸素は充分乾燥（例えば露点
を−40℃以下とする如く）していることが必要で
ある。また一方あるいは両方の電極を適当な方法
で充分冷却するのが好適であり、これによりオゾ
ン収率をより向上せしめ得る。
圧のパルス巾は1nsから数十μsの間とし、特に1ns
から1000nsの間に選ぶのを好適とする。この様な
極短パルス高電圧を相対向する電極間に印加する
時は、該一方の放電極から極めて強力な無声放電
を火花の発生なしに生ぜしめることが出来、その
有効なオゾン生成作用を安定に利用することが可
能となる。この場合、相対向する電極は、同心円
状に設けられた二つの円筒状電極であつても良
く、また両方とも平板状放電極であつてもよい。
この両電極からなる複数組の電極対の各無声放電
電極を直列状に結合して、その全長を長大なもの
とし、その一端部に印加せる極短パルス高電圧の
パルス巾を著るしく小さくする時は、該パルス高
電圧は、これら長形電極対に沿つて進行波として
伝播し、その過程において該両放電極間に設けら
れたガス通路の全空間に亙つて斑なく一様に強力
な無声放電を発生し、そのオゾン生成効率は更に
大巾に向上する。この場合、進行波の速度はν
0.3〔ｍ／ns〕であり、その幾何学的波長はパルス
巾がτ〔ns〕のときｌ＝0.3τ〔ｍ〕となる。そし
て、上記長形電極対の全長Ｌ〔ｍ〕に対してｌ
Ｌとする時、換言すると該極短パルス高電圧のパ
ルス巾τをほぼτｌ／（0.3）〔ns〕に選ぶと
き、この様にパルス高電圧は進行波としての振舞
を呈する様になる。この様に長大形の電極対とし
て印加パルス高電圧を進行波として振舞わせ、進
行波高電圧に固有の強力な無声放電を発生せしめ
る所の電極対を特に無声放電伝送線路として形成
する。かゝる無声放電伝送線路たらしめるための
条件は、その長さＬ〔ｍ〕を、パルス巾τ〔ns〕に
対してＬ0.3τ〔ｍ〕にとることであるが、実際
にはその1/3程度のＬ0.1τ〔ｍ〕位にとつても進
行波の性質は残存し、ここに発生する放電化学作
用は同程度の活性を保持する。この場合オゾン生
成に使用する空気や酸素は充分乾燥（例えば露点
を−40℃以下とする如く）していることが必要で
ある。また一方あるいは両方の電極を適当な方法
で充分冷却するのが好適であり、これによりオゾ
ン収率をより向上せしめ得る。
この様にしてなる本発明は進行波極短パルス高
電圧により形成せる安定、一様かつ強力な無声放
電の放電化学的作用ガス通路の全断面積及び全長
に亙つて斑なくを利用することにより前述のオゾ
ナイザに比べて著しく高い電力効率で有効にオゾ
ンを発生せしめうるというすぐれた作用効果を発
揮し、オゾン生成の経済性を大巾に向上せしめ
る。
電圧により形成せる安定、一様かつ強力な無声放
電の放電化学的作用ガス通路の全断面積及び全長
に亙つて斑なくを利用することにより前述のオゾ
ナイザに比べて著しく高い電力効率で有効にオゾ
ンを発生せしめうるというすぐれた作用効果を発
揮し、オゾン生成の経済性を大巾に向上せしめ
る。
また、本発明に使用すべき極短パルス高圧電源
としては、本発明者が別発明「パルス電源」（特
願昭51−4183）、「パルス電源装置」（特願昭50−
109717）、「極短パルス高電圧発生装置」（特願昭
56−144399）、「高電圧極短パルス電源」（特願昭
57−172797）等を用いると有効であるが、本発明
はこれに限定されることなく、適当な凡める形
式・構造の極短パルス高圧電源を用いることがで
きる。
としては、本発明者が別発明「パルス電源」（特
願昭51−4183）、「パルス電源装置」（特願昭50−
109717）、「極短パルス高電圧発生装置」（特願昭
56−144399）、「高電圧極短パルス電源」（特願昭
57−172797）等を用いると有効であるが、本発明
はこれに限定されることなく、適当な凡める形
式・構造の極短パルス高圧電源を用いることがで
きる。
本発明を添付図面の実施例について説明する
と、第１図において、対向する電極対１の一方を
対向電極である外側同筒電極２、他方を無声放電
電極である内側円筒放電極３として外側円筒電極
２の内側に内側円筒放電極３を誘電体層４及びガ
ス通路５を介して設け、外側円筒電極２を接地
し、この様にして構成せる複数個の電極対１，１
ａ，１ｂ……を函体１４の内部に平行に配置の
上、該内側円筒放電極３，３ａ，３ｂ……を図の
如く順次直列に接続して長大放電伝送線路５を形
成し、極短パルス高電圧電源６より導線７，７ａ
および碍管８を介して該無声放電伝送線路５の入
力端９に該内側円筒状放電極３，３ａ……を負と
する如き極性で極短パルス高電圧を印加する。そ
の波高値は電極間距離を20〔mm〕とするときVp＝
30〜40〔KV〕程度とすれば充分である。また、
そのパルス巾は該無声放電伝送線路５の全長がＬ
＝100〔ｍ〕のときτ＝300〔ns〕程度として進行波
形成条件Ｌ0.3τを満す様にする（すでに述べた
如くＬ＝30〔ｍ〕としてＬ0.1τとしてもよい）。
そこで、該パルス高電圧は進行波として電極対２
−３→２ａ−３ａ→２ｂ−３ｂに沿つて伝播し、
この間のガス通路５の全断面積及び全長に亙つて
強力な負の無声放電を発生せしめ、遂に開放終端
１０に至つて、ここで同極性で反射されて逆方向
に進行、かくして該長大無声放電伝送線路５の上
を多重反射して遂にそのエネルギーを消耗し、波
高値Vpが下つて無声放電が消失する。次に、あ
る周期ののち再び極短パルス高圧電源６よりパル
ス高電圧を印加して同じ過程をくり返し、その周
波数は50〔Hz〕〜数十〔ＫHz〕の間で任意に選定
することができる。図において１２，１２ａは外
側円筒電極２，２ａ，２ｂ……群をその両端にお
いて函体１４の内部でガスが外側円筒の外側の部
分を通してバイパスするのを防止するための接地
された導体隔壁である。１５，１６……は二つの
内側円筒状放電極３と３ａ，３ａと３ｂとを直列
に接続するための導線である。いまガス入口１７
より函体１４内に乾燥せる空気ないし酸素を導入
し、該外側円筒電極２，２ａ，２ｂ……内を通し
て流通せしめ、該負極性無声放電の作用下におく
と、その強力な放電化学的効果で極めて高い電力
効率をもつてオゾンを発生し、生成オゾンを含む
ガスはガス出口１８より外部に供給される。
と、第１図において、対向する電極対１の一方を
対向電極である外側同筒電極２、他方を無声放電
電極である内側円筒放電極３として外側円筒電極
２の内側に内側円筒放電極３を誘電体層４及びガ
ス通路５を介して設け、外側円筒電極２を接地
し、この様にして構成せる複数個の電極対１，１
ａ，１ｂ……を函体１４の内部に平行に配置の
上、該内側円筒放電極３，３ａ，３ｂ……を図の
如く順次直列に接続して長大放電伝送線路５を形
成し、極短パルス高電圧電源６より導線７，７ａ
および碍管８を介して該無声放電伝送線路５の入
力端９に該内側円筒状放電極３，３ａ……を負と
する如き極性で極短パルス高電圧を印加する。そ
の波高値は電極間距離を20〔mm〕とするときVp＝
30〜40〔KV〕程度とすれば充分である。また、
そのパルス巾は該無声放電伝送線路５の全長がＬ
＝100〔ｍ〕のときτ＝300〔ns〕程度として進行波
形成条件Ｌ0.3τを満す様にする（すでに述べた
如くＬ＝30〔ｍ〕としてＬ0.1τとしてもよい）。
そこで、該パルス高電圧は進行波として電極対２
−３→２ａ−３ａ→２ｂ−３ｂに沿つて伝播し、
この間のガス通路５の全断面積及び全長に亙つて
強力な負の無声放電を発生せしめ、遂に開放終端
１０に至つて、ここで同極性で反射されて逆方向
に進行、かくして該長大無声放電伝送線路５の上
を多重反射して遂にそのエネルギーを消耗し、波
高値Vpが下つて無声放電が消失する。次に、あ
る周期ののち再び極短パルス高圧電源６よりパル
ス高電圧を印加して同じ過程をくり返し、その周
波数は50〔Hz〕〜数十〔ＫHz〕の間で任意に選定
することができる。図において１２，１２ａは外
側円筒電極２，２ａ，２ｂ……群をその両端にお
いて函体１４の内部でガスが外側円筒の外側の部
分を通してバイパスするのを防止するための接地
された導体隔壁である。１５，１６……は二つの
内側円筒状放電極３と３ａ，３ａと３ｂとを直列
に接続するための導線である。いまガス入口１７
より函体１４内に乾燥せる空気ないし酸素を導入
し、該外側円筒電極２，２ａ，２ｂ……内を通し
て流通せしめ、該負極性無声放電の作用下におく
と、その強力な放電化学的効果で極めて高い電力
効率をもつてオゾンを発生し、生成オゾンを含む
ガスはガス出口１８より外部に供給される。
なお第３図は前述の電極対１の詳細を拡大断面
図で示したものであり、内側円筒電極３はガラス
管等からなる誘電体層４の内面に金属箔膜等を密
着させて形成したものである。又外側円筒電極２
の内面を円筒形誘電体層４の外面との間の長大無
声放電線路５をガス通路とし、この通路を前述の
空気ないし、酸素を流通するものである。
図で示したものであり、内側円筒電極３はガラス
管等からなる誘電体層４の内面に金属箔膜等を密
着させて形成したものである。又外側円筒電極２
の内面を円筒形誘電体層４の外面との間の長大無
声放電線路５をガス通路とし、この通路を前述の
空気ないし、酸素を流通するものである。
しかしながら、本発明の電極対１はこのような
ものだけに限定されるものでなく、適宜その構造
を変更することができる。
ものだけに限定されるものでなく、適宜その構造
を変更することができる。
例えば第４図に示す如く外側円筒電極２を外側
円筒状誘電体１１の外周に密着して形成し、この
内側円筒電極３の外面と外側円筒状誘電体１１の
内面との間にガス通路となる長大無声放電伝送線
路５を形成したものでも差支えない。
円筒状誘電体１１の外周に密着して形成し、この
内側円筒電極３の外面と外側円筒状誘電体１１の
内面との間にガス通路となる長大無声放電伝送線
路５を形成したものでも差支えない。
又第５図の如く外側円筒電極２を外側誘電体層
１１の外面に密着して形成し、内側円筒電極３を
内側円筒形誘電体層４の内面に密着して形成し、
両誘電体層２１，４の間にガス通路を形成した
り、或は、第６図の如く二つの平板状電極２２，
２３からなる平板状電極対２１の間に平板状誘電
体層２４を介入し、この誘電体２４と、前述の平
板状電極２２との間にガス通路となる無声長大放
電伝送線路５を形成したりすることもできる。
１１の外面に密着して形成し、内側円筒電極３を
内側円筒形誘電体層４の内面に密着して形成し、
両誘電体層２１，４の間にガス通路を形成した
り、或は、第６図の如く二つの平板状電極２２，
２３からなる平板状電極対２１の間に平板状誘電
体層２４を介入し、この誘電体２４と、前述の平
板状電極２２との間にガス通路となる無声長大放
電伝送線路５を形成したりすることもできる。
更に第１図の電極対１は図示の如く、外側円筒
電極２と外側電極３とが夫々直円筒状に形成され
ているが、第７図の電極対３１は夫々の電極３
２，３３お半径r1，r2の一方もしくは両方をパル
ス電源の進行波の進行方向に向つて変化せしめこ
れによつて、両電極間の静電容量（単位長当り）
Ｃ＝2πε0ln（r2／r1）を進行方向に向つて減少せし
めるように形成したものである。
電極２と外側電極３とが夫々直円筒状に形成され
ているが、第７図の電極対３１は夫々の電極３
２，３３お半径r1，r2の一方もしくは両方をパル
ス電源の進行波の進行方向に向つて変化せしめこ
れによつて、両電極間の静電容量（単位長当り）
Ｃ＝2πε0ln（r2／r1）を進行方向に向つて減少せし
めるように形成したものである。
この際は第１図の長大電極対がその最終開放端
１０で、パルス高電圧の進行波を反射するのに対
し、第７図のものは単位電極対３１の傾斜面に沿
つて連続的に部分反射せしめて、この反射波を入
力波と重畳せしめ、オゾナイザ放電によつてパル
ス電圧の波高が漸次低下する分を補い、パルス波
の有するエネルギの大部分を無声放電発生に活用
することができる。
１０で、パルス高電圧の進行波を反射するのに対
し、第７図のものは単位電極対３１の傾斜面に沿
つて連続的に部分反射せしめて、この反射波を入
力波と重畳せしめ、オゾナイザ放電によつてパル
ス電圧の波高が漸次低下する分を補い、パルス波
の有するエネルギの大部分を無声放電発生に活用
することができる。
又更に単位無声放電伝送線路５を第７図のよう
に進行波の方向に従つて漸次その半径r1，r2を変
化して静電容量Ｃを漸次減少せしめるようにテー
パ状にする代りに第８図の実施例のように進行波
の方向に従つて順次半径r1，r2の一方もしくは両
方が変化し、その結果静電容量Ｃが減少する直円
筒状の電極対４１，１４ａ，４１ｂを複数個直列
的に配置して、前述の進行波の部分反射を単位電
極対の接点ごとに行わせることもできる。この際
は第７図のものと比較して電極対４１，４１ａ，
４１ｂの工作が容易である。なおこのような部分
反射はもつとも一般的には上記伝送線路のサージ
インピーダンスZ0＝√（但しＬは単位長当
りのインダクタンス）を進行方向に増大せしめれ
ばよく、このためには上記Ｌの増大をはかつても
よい。この図中４４は長大放電伝送線路４５のサ
ージインピーダンスを進行方向に段階的に増大す
るためのコイルＬであり、Ｌの値は下流になる程
大きくとる必要があることは云うまでもない。
に進行波の方向に従つて漸次その半径r1，r2を変
化して静電容量Ｃを漸次減少せしめるようにテー
パ状にする代りに第８図の実施例のように進行波
の方向に従つて順次半径r1，r2の一方もしくは両
方が変化し、その結果静電容量Ｃが減少する直円
筒状の電極対４１，１４ａ，４１ｂを複数個直列
的に配置して、前述の進行波の部分反射を単位電
極対の接点ごとに行わせることもできる。この際
は第７図のものと比較して電極対４１，４１ａ，
４１ｂの工作が容易である。なおこのような部分
反射はもつとも一般的には上記伝送線路のサージ
インピーダンスZ0＝√（但しＬは単位長当
りのインダクタンス）を進行方向に増大せしめれ
ばよく、このためには上記Ｌの増大をはかつても
よい。この図中４４は長大放電伝送線路４５のサ
ージインピーダンスを進行方向に段階的に増大す
るためのコイルＬであり、Ｌの値は下流になる程
大きくとる必要があることは云うまでもない。
又図中第１図の図面符号と同一の部分はその機
能も亦それと同様である。
能も亦それと同様である。
本発明は上述の通りで全断面積及び全長に亙つ
て斑なく進行波無声放電を発生するための無声放
電伝送線路を形成したから、そのオゾン発生効率
は極度に上る。
て斑なく進行波無声放電を発生するための無声放
電伝送線路を形成したから、そのオゾン発生効率
は極度に上る。
又両電極間に誘電体層を存在せしめてあるの
で、この間に火花放電を生じさせることなく安定
したオゾナイザ放電を発生させることが可能であ
る。
で、この間に火花放電を生じさせることなく安定
したオゾナイザ放電を発生させることが可能であ
る。
更に又、長大な無声放電伝送線路のサージイン
ピーダンスをパルス進行波の進行方向に沿つて連
続的ないし段階的に増加することによつてパルス
波頭を部分的に反射せしめ、オゾナイザ効率を一
層向上することができる。
ピーダンスをパルス進行波の進行方向に沿つて連
続的ないし段階的に増加することによつてパルス
波頭を部分的に反射せしめ、オゾナイザ効率を一
層向上することができる。
第１図は本発明のオゾン発生装置の縦断面図、
第２図は第１図の−線部の断面図、第３図は
第２図の一部分の拡大図、第４図は第３図の部分
の他の実施例の断面図、第５図は第３図の部分の
更に他の実施例の断面図、第６図は第３図の部分
の又更に他の実施例の断面図、第７図は第１図の
一部分の他の実施例の断面図、第８図は第１図の
要部の他の実施例の断面図である。 １，１ａ，１ｂ……電極対、２，２ａ，２ｂ…
…電極、３，３ａ，３ｂ……電極、４……誘電体
層、５……放電伝送線路、６……極端パルス高圧
電源。
第２図は第１図の−線部の断面図、第３図は
第２図の一部分の拡大図、第４図は第３図の部分
の他の実施例の断面図、第５図は第３図の部分の
更に他の実施例の断面図、第６図は第３図の部分
の又更に他の実施例の断面図、第７図は第１図の
一部分の他の実施例の断面図、第８図は第１図の
要部の他の実施例の断面図である。 １，１ａ，１ｂ……電極対、２，２ａ，２ｂ…
…電極、３，３ａ，３ｂ……電極、４……誘電体
層、５……放電伝送線路、６……極端パルス高圧
電源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 函体１４内にガス入り口１７とガス出口１８
の間を仕切る隔壁１２ａ，１２ｂを設け、該隔壁
１２ａ，１２ｂを貫いて無声放電電極３と対向電
極２とそれらの各電極間に設けられているガス通
路５と面状誘電体層４とからなる対電極１を複数
組設けてなる空間放電型オゾナイザにおいて、該
複数組の対電極の各無声放電電極３を順次直列に
接続し、その無声放電電極３と各対向電極２間に
パルス巾が数十μs以下、特に1000ns以下の極短高
圧パルス電源を接続することを特徴とする空間放
電型オゾン発生装置。 ２ 無声放電電極と対向電極とそれらの各電極間
に設けられているガス通路と面状誘電体層４とか
らなる対電極が、同心的に配置されている円筒状
の無声放電電極と対向電極とそれらの各電極間に
同心的に形成されているガス通路と面状誘電体と
からなる複数の対電極であることを特徴とする請
求項１記載の空間放電型オゾン発生装置。 ３ 無声放電電極と対向電極とそれらの各電極間
に設けられているガス通路と面状誘電体層４とか
らなる対電極が互いに平行に配置されている各平
板状の無声放電電極と対向電極と、それらの各電
極間にそれらと平行に形成されているガス通路と
面状誘電体とからなる複数の対電極であることを
特徴とする請求項１記載の空間放電型オゾン発生
装置。 ４ 該両電極間のサージインピーダンスがパルス
進行波の進行方向に沿つて連続的又は段階的に増
大する様に形成されていることを特徴とする特許
請求の範囲１〜３の何れかに記載の空間放電型オ
ゾン発生装置。 ５ 該両電極間の静電容量がパルス波の進行方向
に沿つて減少していることを特徴とする特許請求
の範囲４に記載の空間放電型オゾン発生装置。 ６ 該両電極及びその間のガス通路と、面状誘電
体層で構成されている複数組のオゾナイザの各無
声放電電極を直列的に接続し、各無声放電電極の
接続部に下流に向かつて値を増大するインダクタ
ンスを挿入したことを特徴とする特許請求の範囲
４に記載の空間放電型オゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17098883A JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17098883A JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6065705A JPS6065705A (ja) | 1985-04-15 |
| JPH052603B2 true JPH052603B2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=15915040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17098883A Granted JPS6065705A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6065705A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01264908A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-23 | Teru Kyushu Kk | オゾン発生装置 |
| JP2000195645A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Hideo Kameyama | 放電用電極及びそれを用いたオゾン発生装置 |
| WO2007014473A1 (de) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Ozonia Ag | Ozongenerator |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55820Y2 (ja) * | 1975-10-11 | 1980-01-11 | ||
| JPS5828201B2 (ja) * | 1976-07-29 | 1983-06-14 | 三菱電機株式会社 | オゾナイザ |
| JPS56120507A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-21 | Senichi Masuda | Ozonizer |
| JPS5788005A (en) * | 1980-11-17 | 1982-06-01 | Toshiba Corp | Flat plate type ozonizer |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17098883A patent/JPS6065705A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6065705A (ja) | 1985-04-15 |
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