JPH05261919A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH05261919A JPH05261919A JP6410092A JP6410092A JPH05261919A JP H05261919 A JPH05261919 A JP H05261919A JP 6410092 A JP6410092 A JP 6410092A JP 6410092 A JP6410092 A JP 6410092A JP H05261919 A JPH05261919 A JP H05261919A
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- ink
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- pressure chamber
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェットヘッドの構造に関し、粒子化
効率を高く出来る、即ち粒子化電圧の低下を目的とす
る。 【構成】 ノズルと、ノズルに対応する圧力室と、ノズ
ルに共通なインクタンクと、これらを連通するインク通
路とを有し、圧力室に厚さが５〜50μｍの範囲にある振
動板を介して厚さが１〜50μｍの範囲内にある圧電素子
を接続し、圧電素子の駆動に依って対応するノズルから
インク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し
記録を行うもので、又、圧電素子と振動板との厚さの比
は0.8 〜1.2 の範囲内にあるように形成する。
効率を高く出来る、即ち粒子化電圧の低下を目的とす
る。 【構成】 ノズルと、ノズルに対応する圧力室と、ノズ
ルに共通なインクタンクと、これらを連通するインク通
路とを有し、圧力室に厚さが５〜50μｍの範囲にある振
動板を介して厚さが１〜50μｍの範囲内にある圧電素子
を接続し、圧電素子の駆動に依って対応するノズルから
インク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し
記録を行うもので、又、圧電素子と振動板との厚さの比
は0.8 〜1.2 の範囲内にあるように形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の構造に関する。インクジェットプリンタは、記録媒体
に非接触なヘッドからインクの微小粒子を直接記録媒体
に吹き付けて記録を行うものである。
の構造に関する。インクジェットプリンタは、記録媒体
に非接触なヘッドからインクの微小粒子を直接記録媒体
に吹き付けて記録を行うものである。
【０００２】その結果、記録媒体に対する制限が少な
い、カラー化が容易、高速記録、低騒音と言う特徴を有
している。
い、カラー化が容易、高速記録、低騒音と言う特徴を有
している。
【０００３】
【従来の技術】図３の側面図に示す如く、インクジェッ
トプリンタは、記録媒体１を巻き掛けるドラム２と、ド
ラム２に対して平行移動するキャリッジ３と、キャリッ
ジ３に搭載されてドラム２に対向したインクジェットヘ
ッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給する
インクタンク５及び供給ホース６等から構成される。
トプリンタは、記録媒体１を巻き掛けるドラム２と、ド
ラム２に対して平行移動するキャリッジ３と、キャリッ
ジ３に搭載されてドラム２に対向したインクジェットヘ
ッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給する
インクタンク５及び供給ホース６等から構成される。
【０００４】インクジェットヘッド４は、図４の斜視図
に示す如くインク通路の形成方法としてステンレス、ガ
ラス等の基板にエッチングで溝を彫る方法を用いてい
る。そして、これらエッチングで形成された流路板をス
テンレス等で形成される振動板と重ね合わせ、拡散接合
等の手法に依って相互を接合している。
に示す如くインク通路の形成方法としてステンレス、ガ
ラス等の基板にエッチングで溝を彫る方法を用いてい
る。そして、これらエッチングで形成された流路板をス
テンレス等で形成される振動板と重ね合わせ、拡散接合
等の手法に依って相互を接合している。
【０００５】接合後、ノズル７が開口した面７ａをラッ
プ加工してその平面性を確保する。圧力室８には、圧力
を発生する駆動部として、両面の振動板13上の圧力室８
に対応する部分に圧電素子９を接着剤で接着している。
プ加工してその平面性を確保する。圧力室８には、圧力
を発生する駆動部として、両面の振動板13上の圧力室８
に対応する部分に圧電素子９を接着剤で接着している。
【０００６】圧電素子９からの電圧印加の為の信号線
は、半田付け、或いは電極の圧着等の手段で接続してい
る。共通インク室10とインクタンク５とは供給ホース６
に依って連通されている。
は、半田付け、或いは電極の圧着等の手段で接続してい
る。共通インク室10とインクタンク５とは供給ホース６
に依って連通されている。
【０００７】圧電素子９に電圧が印加されると、圧電素
子９は幅方向に収縮し、その結果、振動板13が圧力室８
の内部に撓む。この撓みに依って圧力室８の内部に圧力
が発生し、ノズル７からインク粒子が噴射する。
子９は幅方向に収縮し、その結果、振動板13が圧力室８
の内部に撓む。この撓みに依って圧力室８の内部に圧力
が発生し、ノズル７からインク粒子が噴射する。
【０００８】インク粒子の速度としては、通常３〜10ｍ
／ｓが必要である。
／ｓが必要である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】インク粒子を噴出する
速度を上記の如くするには、従来80〜120Vと非常に高い
印加電圧を必要としていた。
速度を上記の如くするには、従来80〜120Vと非常に高い
印加電圧を必要としていた。
【００１０】このような電圧を実現するには、電源及び
駆動回路が複雑で高コストになると言う問題点があっ
た。本発明は、粒子化効率を高く出来る、即ち粒子化電
圧の低下を目的とするものである。
駆動回路が複雑で高コストになると言う問題点があっ
た。本発明は、粒子化効率を高く出来る、即ち粒子化電
圧の低下を目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に於いては、図１
の部分拡大側面図に示す如く、少なくとも１つ以上のノ
ズル７と、ノズル７に対応する圧力室８と、これらのノ
ズル７に共通なインクタンクと、これらを連通するイン
ク通路とを有し、圧力室８に厚さが５〜50μｍの範囲内
にある振動板13を介して厚さが１〜50μｍの範囲内にあ
る圧電素子９を接続し、圧電素子９の駆動に依って対応
するノズル７からインク滴を噴出して記録媒体上にイン
クドットを形成し記録を行うものであって、又、圧電素
子９と振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあ
るようにしたものである。
の部分拡大側面図に示す如く、少なくとも１つ以上のノ
ズル７と、ノズル７に対応する圧力室８と、これらのノ
ズル７に共通なインクタンクと、これらを連通するイン
ク通路とを有し、圧力室８に厚さが５〜50μｍの範囲内
にある振動板13を介して厚さが１〜50μｍの範囲内にあ
る圧電素子９を接続し、圧電素子９の駆動に依って対応
するノズル７からインク滴を噴出して記録媒体上にイン
クドットを形成し記録を行うものであって、又、圧電素
子９と振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあ
るようにしたものである。
【００１２】
【作用】圧電素子の厚みと振動板の厚みの関係を特定す
ることで粒子化に必要な電圧を低下したものである。
ることで粒子化に必要な電圧を低下したものである。
【００１３】粒子化モデルに基づいた解析を進めた結
果、圧電素子の厚さには粒子化効率を最大にする最適厚
さが存在することが判った。又、この厚さは、接合され
る振動板の厚さに依存することも判った。
果、圧電素子の厚さには粒子化効率を最大にする最適厚
さが存在することが判った。又、この厚さは、接合され
る振動板の厚さに依存することも判った。
【００１４】図２は、振動板の厚さをパラメータに圧電
素子の厚さと噴射するインク粒子の速度の関係を解析的
手段に依って求めたものである。振動板は薄くする程、
粒子化速度は増加した。
素子の厚さと噴射するインク粒子の速度の関係を解析的
手段に依って求めたものである。振動板は薄くする程、
粒子化速度は増加した。
【００１５】圧電素子の厚さは、厚過ぎると変位に大き
な力が必要となること、また圧電素子に加わる電界が低
下することから粒子化速度は低下する。逆に圧電素子の
厚さが薄くなり過ぎると、発生する力が小さくなる為
に、粒子化速度は低下する。
な力が必要となること、また圧電素子に加わる電界が低
下することから粒子化速度は低下する。逆に圧電素子の
厚さが薄くなり過ぎると、発生する力が小さくなる為
に、粒子化速度は低下する。
【００１６】振動板の厚さが50μｍの場合に圧電素子の
最適な厚さは、略50μｍであった。振動板の厚さは、薄
い方が効率が上がるが、振動板を薄くすると、それに伴
って圧電素子の厚さも薄くした方がより効率が上がる。
最適な厚さは、略50μｍであった。振動板の厚さは、薄
い方が効率が上がるが、振動板を薄くすると、それに伴
って圧電素子の厚さも薄くした方がより効率が上がる。
【００１７】本発明は、このような調査に基づいて圧電
素子及び振動板の厚さを特定したものである。圧電素子
の厚さとしては１〜50μｍ、又、圧電素子と振動板の厚
みの組合わせを0.8 〜1.2 とすることで粒子化電圧を低
く抑えられる。
素子及び振動板の厚さを特定したものである。圧電素子
の厚さとしては１〜50μｍ、又、圧電素子と振動板の厚
みの組合わせを0.8 〜1.2 とすることで粒子化電圧を低
く抑えられる。
【００１８】圧電素子の面積を大きくしても電圧は低く
出来るが、圧電素子を大きくするとインクジェットヘッ
ド自体が大きくなると言う欠点がある。本発明のように
圧電素子及び振動板の厚さを特定することで、圧電素子
の面積を小さく抑え、且つ粒子化電圧を低く出来る。
出来るが、圧電素子を大きくするとインクジェットヘッ
ド自体が大きくなると言う欠点がある。本発明のように
圧電素子及び振動板の厚さを特定することで、圧電素子
の面積を小さく抑え、且つ粒子化電圧を低く出来る。
【００１９】
【実施例】本発明に於いては、図１の部分拡大側面図に
示す如く、少なくとも１つ以上のノズル７と、ノズル７
に対応する圧力室８と、これらのノズル７に共通なイン
クタンクと、これらを連通するインク通路とを有し、圧
力室８に厚さが５〜50μｍの範囲内にあるステンレス又
はシリコン又はガラスで形成された振動板13を介して厚
さが１〜50μｍの範囲内にある圧電素子９を接続し、圧
電素子９の駆動に依って対応するノズル７からインク滴
を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し記録を行
うものであって、圧電素子９と振動板13との厚さの比は
0.8 〜1.2 の範囲内にあり、圧電素子９の圧電定数ｄ31
が1.0 ×10-10 m/V 〜6.0 ×10-10 m/V の範囲内にある
ようにしたものである。
示す如く、少なくとも１つ以上のノズル７と、ノズル７
に対応する圧力室８と、これらのノズル７に共通なイン
クタンクと、これらを連通するインク通路とを有し、圧
力室８に厚さが５〜50μｍの範囲内にあるステンレス又
はシリコン又はガラスで形成された振動板13を介して厚
さが１〜50μｍの範囲内にある圧電素子９を接続し、圧
電素子９の駆動に依って対応するノズル７からインク滴
を噴出して記録媒体上にインクドットを形成し記録を行
うものであって、圧電素子９と振動板13との厚さの比は
0.8 〜1.2 の範囲内にあり、圧電素子９の圧電定数ｄ31
が1.0 ×10-10 m/V 〜6.0 ×10-10 m/V の範囲内にある
ようにしたものである。
【００２０】即ち、図１の部分拡大側面図に示す如く、
１枚のＳＵＳの基板14にエッチングでインク流路を形成
したもので、ノズル７の出口の大きさは、幅（Ｗ）50μ
ｍ、高さ（Ｈ）30μｍ、とし、圧電素子９としては、厚
みＴｐ＝50μｍ、振動板13はＳＵＳの板で厚みをｔ＝50
μｍとした。
１枚のＳＵＳの基板14にエッチングでインク流路を形成
したもので、ノズル７の出口の大きさは、幅（Ｗ）50μ
ｍ、高さ（Ｈ）30μｍ、とし、圧電素子９としては、厚
みＴｐ＝50μｍ、振動板13はＳＵＳの板で厚みをｔ＝50
μｍとした。
【００２１】圧電素子９の材料は、Ｎ−10（トーキン
製）であり、ＳＵＳはＳＵＳ３０４を用いた。圧電素子
９の大きさは、幅ｗ＝１ｍｍ、長さＬ＝５ｍｍである。
製）であり、ＳＵＳはＳＵＳ３０４を用いた。圧電素子
９の大きさは、幅ｗ＝１ｍｍ、長さＬ＝５ｍｍである。
【００２２】振動板13と流路の接合は、拡散接合に依っ
て行い、圧電素子９と振動板13との接合は、通常のエポ
キシ系の接着剤を使用した。この試作インクジェットヘ
ッドの圧電素子９に電圧を印加し、ノズル７から噴射す
るインク粒子の速度を測定した結果、電圧40Ｖで粒子速
度９ｍ／ｓが得られた。
て行い、圧電素子９と振動板13との接合は、通常のエポ
キシ系の接着剤を使用した。この試作インクジェットヘ
ッドの圧電素子９に電圧を印加し、ノズル７から噴射す
るインク粒子の速度を測定した結果、電圧40Ｖで粒子速
度９ｍ／ｓが得られた。
【００２３】比較の為に、従来技術の振動板厚さｔ＝10
0 μｍ、圧電素子の厚さＴｐ＝100μｍで同様の実験を
行った結果、粒子速度９ｍ／ｓを得る為には電圧として
80Ｖが必要であった。
0 μｍ、圧電素子の厚さＴｐ＝100μｍで同様の実験を
行った結果、粒子速度９ｍ／ｓを得る為には電圧として
80Ｖが必要であった。
【００２４】更に、第２の実施例として、振動板13の厚
さをｔ＝30μｍ、圧電素子９の厚さをＴｐ＝50μｍとし
て同様の実験を行った結果、電圧40Ｖで粒子速度16ｍ／
ｓが得られ、第１の実施例に比して更に高い効率が得ら
れた。
さをｔ＝30μｍ、圧電素子９の厚さをＴｐ＝50μｍとし
て同様の実験を行った結果、電圧40Ｖで粒子速度16ｍ／
ｓが得られ、第１の実施例に比して更に高い効率が得ら
れた。
【００２５】第３の実施例として、振動板13の厚さをｔ
＝５μｍ、圧電素子９の厚さをＴｐ＝５μｍとして同様
の実験を行った結果、電圧20Ｖで粒子速度20ｍ／ｓが得
られた。
＝５μｍ、圧電素子９の厚さをＴｐ＝５μｍとして同様
の実験を行った結果、電圧20Ｖで粒子速度20ｍ／ｓが得
られた。
【００２６】第４の実施例として、シリコンの基板にエ
ッチングで流路を形成し、その上にｔ＝30μｍの厚さの
シリコンの振動板13を接合し、更にその上に厚さＴｐ＝
50μｍの圧電素子９を接着したインクジェットヘッドを
試作し、粒子化実験を行った結果、電圧40Ｖで粒子速度
14ｍ／ｓが得られた。
ッチングで流路を形成し、その上にｔ＝30μｍの厚さの
シリコンの振動板13を接合し、更にその上に厚さＴｐ＝
50μｍの圧電素子９を接着したインクジェットヘッドを
試作し、粒子化実験を行った結果、電圧40Ｖで粒子速度
14ｍ／ｓが得られた。
【００２７】圧電素子９の駆動電圧としては、40Ｖ以下
が望ましく、圧電素子９の厚さは、Ｔｐ＝１〜50μｍが
これを満足する条件であって、振動板13の厚さはｔ＝５
〜50μｍが必要である。
が望ましく、圧電素子９の厚さは、Ｔｐ＝１〜50μｍが
これを満足する条件であって、振動板13の厚さはｔ＝５
〜50μｍが必要である。
【００２８】ｔ＝５μｍ以下の振動板13では、インクを
注入する際に圧力に耐えられずに破壊する現象が見られ
実用的ではない。使用する圧電素子９としては、通常の
ジルコンチタン酸鉛ＰＺＴをはじめ、ＰＮＮＴ、ＰＬＺ
Ｔ等があり、これらの圧電定数ｄ３は、1.0 ×10-10 m/
V 〜6.0×10-10 m/V の範囲内にある。
注入する際に圧力に耐えられずに破壊する現象が見られ
実用的ではない。使用する圧電素子９としては、通常の
ジルコンチタン酸鉛ＰＺＴをはじめ、ＰＮＮＴ、ＰＬＺ
Ｔ等があり、これらの圧電定数ｄ３は、1.0 ×10-10 m/
V 〜6.0×10-10 m/V の範囲内にある。
【００２９】圧電素子９は、例えば厚さ100 μｍと50μ
ｍの振動板に対しては最適な厚みが異なる。即ち、粒子
化電圧を最小に出来る、又は一定電圧の場合粒子化速度
が最大となると言う点で圧電素子９に最適な厚みが存在
する為、本発明の対象となる各条件では、圧電素子９と
振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあること
が最も電圧を低く出来ることが判った。
ｍの振動板に対しては最適な厚みが異なる。即ち、粒子
化電圧を最小に出来る、又は一定電圧の場合粒子化速度
が最大となると言う点で圧電素子９に最適な厚みが存在
する為、本発明の対象となる各条件では、圧電素子９と
振動板13との厚さの比は0.8 〜1.2 の範囲内にあること
が最も電圧を低く出来ることが判った。
【００３０】本発明が適用出来る振動板13の材料として
は、ＳＵＳの他にシリコン、ガラス、セラミックス等が
考えられ、これらの材料の選択に依って本発明の効果が
大幅に低下するものではない。
は、ＳＵＳの他にシリコン、ガラス、セラミックス等が
考えられ、これらの材料の選択に依って本発明の効果が
大幅に低下するものではない。
【００３１】
【発明の効果】本発明に依って、インクの粒子化の効率
を高くすることが出来、記録に必要な駆動電圧を低く抑
えることが出来る等、産業上に多大の効果を奏する。
を高くすることが出来、記録に必要な駆動電圧を低く抑
えることが出来る等、産業上に多大の効果を奏する。
【図１】 本発明のインクジェットヘッドの部分拡大側
面図、
面図、
【図２】 圧電素子の厚さと粒子速度の関係を示す図、
【図３】 インクジェットプリンタの側面図、
【図４】 インクジェットヘッドの斜視図、
１ 記録媒体、 ７ ノズル、 ８ 圧力室、 ９ 圧電素子、 13 振動板、 14 基板、
フロントページの続き (72)発明者 坂本 義明 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも１つ以上のノズル(7) と、 該ノズル(7) に対応する圧力室(8) と、 これらのノズル(7) に共通なインクタンクと、 これらを連通するインク通路とを有し、 前記圧力室(8) に厚さが５〜50μｍの範囲内にある振動
板(13)を介して厚さが１〜50μｍの範囲内にある圧電素
子(9) を接続し、 前記圧電素子(9) の駆動に依って対応するノズル(7) か
らインク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成
し記録を行うことを特徴とするドロップオンデマンド型
のインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 少なくとも１つ以上のノズル(7) と、 該ノズル(7) に対応する圧力室(8) と、 これらのノズル(7) に共通なインクタンクと、 これらを連通するインク通路とを有し、 前記圧力室(8) に振動板(13)を介して圧電素子(9) を接
続し、 前記圧電素子(9) の駆動に依って対応するノズル(7) か
らインク滴を噴出して記録媒体上にインクドットを形成
し記録を行うインクジェットヘッドに於いて、 前記圧電素子(9) と前記振動板(13)との厚さの比は0.8
〜1.2 の範囲内にあることを特徴とするドロップオンデ
マンド型のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6410092A JPH05261919A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6410092A JPH05261919A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05261919A true JPH05261919A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=13248324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6410092A Pending JPH05261919A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05261919A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471342B1 (en) | 1998-09-04 | 2002-10-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head |
| US6502929B1 (en) | 1993-12-24 | 2003-01-07 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head having a plurality of actuator units |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6410092A patent/JPH05261919A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6502929B1 (en) | 1993-12-24 | 2003-01-07 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head having a plurality of actuator units |
| US6893117B2 (en) | 1993-12-24 | 2005-05-17 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| US6902262B2 (en) | 1993-12-24 | 2005-06-07 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| US6471342B1 (en) | 1998-09-04 | 2002-10-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink-jet head |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010313 |