JPH05262506A - アルゴン製造方法及び装置 - Google Patents
アルゴン製造方法及び装置Info
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- JPH05262506A JPH05262506A JP4077142A JP7714292A JPH05262506A JP H05262506 A JPH05262506 A JP H05262506A JP 4077142 A JP4077142 A JP 4077142A JP 7714292 A JP7714292 A JP 7714292A JP H05262506 A JPH05262506 A JP H05262506A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】不純アルゴン製造精留塔２と接続された複式精
留塔での空気精留、接触変換による不純アルゴン中に存
在する酸素の除去３、吸着によるこの変換で得られた製
品の除去、及び精留による残存窒素の除去４を含むこの
方法の提供。 【構成】１０００ｖｐｍ以下の酸素を含む不純アルゴン
は精留によって製造され、接触変換は、高比表面をもっ
た特殊な担体に支持された少なくとも１種類の白金族金
属の粉末からなる触媒ベッド１８を、不純アルゴンと過
剰な還元剤をほぼ室温で通過させることによって行われ
る。
留塔での空気精留、接触変換による不純アルゴン中に存
在する酸素の除去３、吸着によるこの変換で得られた製
品の除去、及び精留による残存窒素の除去４を含むこの
方法の提供。 【構成】１０００ｖｐｍ以下の酸素を含む不純アルゴン
は精留によって製造され、接触変換は、高比表面をもっ
た特殊な担体に支持された少なくとも１種類の白金族金
属の粉末からなる触媒ベッド１８を、不純アルゴンと過
剰な還元剤をほぼ室温で通過させることによって行われ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、不純アルゴン製造精留
塔に接続された複式精留塔での空気精留、過剰な還元剤
の存在での接触変換による不純アルゴン中に存在する酸
素の除去、前記変換からもたらされる製品の吸着による
除去、及び過剰な還元剤と残存窒素ガスとの精留による
除去によるアルゴン製造方法に関する。
塔に接続された複式精留塔での空気精留、過剰な還元剤
の存在での接触変換による不純アルゴン中に存在する酸
素の除去、前記変換からもたらされる製品の吸着による
除去、及び過剰な還元剤と残存窒素ガスとの精留による
除去によるアルゴン製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の公知の方法では、アルゴン約９
５％、窒素３％及び酸素２％の組成を有する不純アルゴ
ンは、高い温度でいわゆる“デオキソ”装置における酸
素除去によって精製される。この技術によれば、反応温
度は、低温度での炭素粒子の水素との反応によるメタン
の生成を防止し、爆発及びアルゴン汚染による危険を全
く避けるために約４５０℃に制御されるべきである。さ
らにデオキソ装置から出るガスは、アルミナでの乾燥を
すすめるために先ず水冷冷却器によって５０〜８０℃に
冷却されねばならない。したがって装置は比較的複雑で
ある。
５％、窒素３％及び酸素２％の組成を有する不純アルゴ
ンは、高い温度でいわゆる“デオキソ”装置における酸
素除去によって精製される。この技術によれば、反応温
度は、低温度での炭素粒子の水素との反応によるメタン
の生成を防止し、爆発及びアルゴン汚染による危険を全
く避けるために約４５０℃に制御されるべきである。さ
らにデオキソ装置から出るガスは、アルミナでの乾燥を
すすめるために先ず水冷冷却器によって５０〜８０℃に
冷却されねばならない。したがって装置は比較的複雑で
ある。
【０００３】これらの不利な点を克服するため、ヨーロ
ッパ特許出願公開第３７７、１１７号では、不純アルゴ
ン製造精留塔から完全に酸素を除去することが提案され
た。これは少なくとも１５０枚の理論精留板を有し、し
たがって地表レベルに取りつけられ、複式精留塔の低圧
精留塔の液体を上昇させるポンプを備えた精留塔を設け
ねばならないので、費用がかかる。
ッパ特許出願公開第３７７、１１７号では、不純アルゴ
ン製造精留塔から完全に酸素を除去することが提案され
た。これは少なくとも１５０枚の理論精留板を有し、し
たがって地表レベルに取りつけられ、複式精留塔の低圧
精留塔の液体を上昇させるポンプを備えた精留塔を設け
ねばならないので、費用がかかる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は装置費及び運
転費が低減され、少なくともある種の利用ではデオキソ
と組合された不利な点を特に経済面で克服する、信頼で
きて効率的な方法を提供することを目的としている。本
発明はまた、そのような方法を行うことができるアルゴ
ン製造装置の提供も目的としている。
転費が低減され、少なくともある種の利用ではデオキソ
と組合された不利な点を特に経済面で克服する、信頼で
きて効率的な方法を提供することを目的としている。本
発明はまた、そのような方法を行うことができるアルゴ
ン製造装置の提供も目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明による方
法は、微量の、例えば１０００ｖｐｍ以下の、典型的に
は約１００〜１０００ｖｐｍの酸素を含む不純アルゴン
が精留によって製造されること、接触変換が、高比表面
をもった特殊な担体に支持される少なくとも１種類の白
金族金属粒子からなる触媒ベッドに、室温で不純アルゴ
ンと過剰な還元剤を通過させて行われることを特徴とし
ている。
法は、微量の、例えば１０００ｖｐｍ以下の、典型的に
は約１００〜１０００ｖｐｍの酸素を含む不純アルゴン
が精留によって製造されること、接触変換が、高比表面
をもった特殊な担体に支持される少なくとも１種類の白
金族金属粒子からなる触媒ベッドに、室温で不純アルゴ
ンと過剰な還元剤を通過させて行われることを特徴とし
ている。
【０００６】他の特徴によれば、 −特殊な担体は、ゼオライト及び／又はアルミナ及び／
又はシリカであり、 −触媒は、昇温及び／又は減圧（場合によっては大気圧
以下）及び／又は精製されるガス又は精製されたガスに
よる希釈流もしくは精留塔からのガス、例えば複式精留
塔で製出された窒素による希釈流によって再生され、 −接触変換剤は水素又は一酸化炭素である。
又はシリカであり、 −触媒は、昇温及び／又は減圧（場合によっては大気圧
以下）及び／又は精製されるガス又は精製されたガスに
よる希釈流もしくは精留塔からのガス、例えば複式精留
塔で製出された窒素による希釈流によって再生され、 −接触変換剤は水素又は一酸化炭素である。
【０００７】このような方法を実施する本発明による装
置は、精留による不純アルゴン製造精留塔と接続された
空気精留複式精留塔、酸素接触変換装置の方へ不純アル
ゴンを圧送する圧縮機、変換によって製造される製品の
除去手段及び脱窒精留塔を有する種類の装置において、
不純アルゴン製造精留塔が、少なくとも８０枚、典型的
には約８０〜１１０枚の理論精留板を有すること、接触
変換装置が、高比表面をもった特殊な担体に支持される
少なくとも１種類の白金族金属粒子からなる触媒ベッド
を有し、ほぼ室温で運転されることを特徴としている。
置は、精留による不純アルゴン製造精留塔と接続された
空気精留複式精留塔、酸素接触変換装置の方へ不純アル
ゴンを圧送する圧縮機、変換によって製造される製品の
除去手段及び脱窒精留塔を有する種類の装置において、
不純アルゴン製造精留塔が、少なくとも８０枚、典型的
には約８０〜１１０枚の理論精留板を有すること、接触
変換装置が、高比表面をもった特殊な担体に支持される
少なくとも１種類の白金族金属粒子からなる触媒ベッド
を有し、ほぼ室温で運転されることを特徴としている。
【０００８】他の特徴によれば、 −特殊な担体は、ゼオライト及び／又はアルミナ及び／
又はシリカであり、 −装置は、不純アルゴン製造精留塔からの不純アルゴン
と、前記除去手段によって製造されるガスとを向流熱交
換関係にする熱交換器を有し、 −接触変換装置の入口は、過剰な水素又は一酸化炭素源
と接続され、 −装置は、少なくとも同一容器内で一方の上に他方を重
ねるように配置された少なくとも一つの触媒ベッドと前
記除去手段を構成する一つの吸着剤ベッドを有する。 本発明の一実施態様は、添付の図面を参照して以下に説
明されるであろう。
又はシリカであり、 −装置は、不純アルゴン製造精留塔からの不純アルゴン
と、前記除去手段によって製造されるガスとを向流熱交
換関係にする熱交換器を有し、 −接触変換装置の入口は、過剰な水素又は一酸化炭素源
と接続され、 −装置は、少なくとも同一容器内で一方の上に他方を重
ねるように配置された少なくとも一つの触媒ベッドと前
記除去手段を構成する一つの吸着剤ベッドを有する。 本発明の一実施態様は、添付の図面を参照して以下に説
明されるであろう。
【０００９】
【実施例】本明細書において記載される圧力は絶対圧力
である。図面は、低圧すなわちほぼ大気圧でガス状酸素
ＯＧ、液体酸素ＯＬ、ガス状窒素ＮＧを、ほぼ１．８×
１０5 Ｐａの圧力で液体アルゴンＡＬを製造するのに適
合した空気分離装置を示す。この装置は“尖塔”をもっ
た種類の複式精留塔１、不純アルゴン製造精留塔２、不
純アルゴンからの酸素分離装置３及び脱窒精留塔４を公
知のように有している。
である。図面は、低圧すなわちほぼ大気圧でガス状酸素
ＯＧ、液体酸素ＯＬ、ガス状窒素ＮＧを、ほぼ１．８×
１０5 Ｐａの圧力で液体アルゴンＡＬを製造するのに適
合した空気分離装置を示す。この装置は“尖塔”をもっ
た種類の複式精留塔１、不純アルゴン製造精留塔２、不
純アルゴンからの酸素分離装置３及び脱窒精留塔４を公
知のように有している。
【００１０】不純アルゴン製造精留塔４の理論精留板数
を除いて、精留部１，２及び４は公知であり、簡単に説
明するにとどめよう。複式精留塔１は、例えば約６×１
０5 Ｐａで作動する中圧精留塔５、及びその上に載置さ
れた、例えば大気圧よりわずかに上の圧力で作動する低
圧精留塔６を含む。処理されるべき空気は中圧精留塔５
の底部に導入され、中圧精留塔５の頂部の蒸気（窒素）
は、蒸発凝縮器７によって低圧精留塔６の底部の液体
（酸素）と熱交換関係に置かれる。
を除いて、精留部１，２及び４は公知であり、簡単に説
明するにとどめよう。複式精留塔１は、例えば約６×１
０5 Ｐａで作動する中圧精留塔５、及びその上に載置さ
れた、例えば大気圧よりわずかに上の圧力で作動する低
圧精留塔６を含む。処理されるべき空気は中圧精留塔５
の底部に導入され、中圧精留塔５の頂部の蒸気（窒素）
は、蒸発凝縮器７によって低圧精留塔６の底部の液体
（酸素）と熱交換関係に置かれる。
【００１１】低圧精留塔６は、順に高くなって行くレベ
ルで、それぞれ中圧精留塔５の底部、中間レベル及び頂
部から取出された３種類の膨張された液体、いわゆる
“リッチ液体”ＬＲ（酸素富化空気）、“下部プアー液
体”ＬＰ１（不純窒素）及び“上部プアー液体”ＬＰ２
（実質的な純窒素）を受入れる。廃ガスＷ（不純窒素）
は、下部プアー液体の注入点で低圧精留塔６から抜き出
され、製品窒素は、低圧精留塔６の上方端部を構成する
尖塔８の頂部から抜き出される。
ルで、それぞれ中圧精留塔５の底部、中間レベル及び頂
部から取出された３種類の膨張された液体、いわゆる
“リッチ液体”ＬＲ（酸素富化空気）、“下部プアー液
体”ＬＰ１（不純窒素）及び“上部プアー液体”ＬＰ２
（実質的な純窒素）を受入れる。廃ガスＷ（不純窒素）
は、下部プアー液体の注入点で低圧精留塔６から抜き出
され、製品窒素は、低圧精留塔６の上方端部を構成する
尖塔８の頂部から抜き出される。
【００１２】リッチ液体の注入点より下のレベルで、導
管９を経ていわゆる“アルゴン抽気”と呼ばれるガスが
取出されて、不純アルゴン製造精留塔２の底部に導入さ
れる。この不純アルゴン製造精留塔２の塔底液体は、戻
し導管１０を経て低圧精留塔６の同じレベルに送られ
る。不純アルゴン製造精留塔２は、膨張されたリッチ液
体より冷却される頂部凝縮器１１を有し、導管１２を経
て頂部から不純アルゴンを製出する。凝縮器１１内で気
化されたリッチ液体は、低圧精留塔６に送られる。
管９を経ていわゆる“アルゴン抽気”と呼ばれるガスが
取出されて、不純アルゴン製造精留塔２の底部に導入さ
れる。この不純アルゴン製造精留塔２の塔底液体は、戻
し導管１０を経て低圧精留塔６の同じレベルに送られ
る。不純アルゴン製造精留塔２は、膨張されたリッチ液
体より冷却される頂部凝縮器１１を有し、導管１２を経
て頂部から不純アルゴンを製出する。凝縮器１１内で気
化されたリッチ液体は、低圧精留塔６に送られる。
【００１３】不純アルゴン製造精留塔２は、少なくとも
８０枚、典型的には約８０〜１１０枚の理論精留板を有
し、圧力損失の目的については、きちんとしたライニン
グのようなライニングを備えるのが有利であり、国際特
許出願公開８９／１０５２７号に記載されているような
交差波形ライニングが一層有利である。不純アルゴン
は、アルゴン９７％、窒素３％及び１０００ｖｐｍ（気
相におけるｐｐｍ）、典型的には理論精留板枚数により
約１００〜１０００ｖｐｍの酸素を含む。
８０枚、典型的には約８０〜１１０枚の理論精留板を有
し、圧力損失の目的については、きちんとしたライニン
グのようなライニングを備えるのが有利であり、国際特
許出願公開８９／１０５２７号に記載されているような
交差波形ライニングが一層有利である。不純アルゴン
は、アルゴン９７％、窒素３％及び１０００ｖｐｍ（気
相におけるｐｐｍ）、典型的には理論精留板枚数により
約１００〜１０００ｖｐｍの酸素を含む。
【００１４】酸素分離装置３は、向流熱交換器１３、圧
縮機１４、水冷冷却器１５、典型的には約６×１０5 Ｐ
ａの圧力下にある水素源１６及び平行に取りつけられた
少なくとも２本の瓶１７を有する。これらの瓶のそれぞ
れは、一方を他方の上に直列に配置した二つのベッドを
有し、すなわち下部の第１ベッド１８は後でさらに詳し
く述べられる触媒ベッドであり、上部の第２ベッド１９
はアルミナのような水吸着剤ベッドである。
縮機１４、水冷冷却器１５、典型的には約６×１０5 Ｐ
ａの圧力下にある水素源１６及び平行に取りつけられた
少なくとも２本の瓶１７を有する。これらの瓶のそれぞ
れは、一方を他方の上に直列に配置した二つのベッドを
有し、すなわち下部の第１ベッド１８は後でさらに詳し
く述べられる触媒ベッドであり、上部の第２ベッド１９
はアルミナのような水吸着剤ベッドである。
【００１５】導管１２内を流れる不純アルゴンは、熱交
換器１３で約＋３０℃に加温され、圧縮機１４で約６×
１０5 Ｐａに加圧され、水冷冷却器１５で約＋１５℃に
冷却され、水素源１６によって供給される約６×１０5
Ｐａの水素流と混合されて２本の瓶１７の一方の底部に
導入される。水素は２Ｈ2 ＋Ｏ2 ＝２Ｈ2 Ｏの反応の化
学量論に比べて過剰であり、したがってすべての酸素
が、触媒ベッド１８において水に変えられる。
換器１３で約＋３０℃に加温され、圧縮機１４で約６×
１０5 Ｐａに加圧され、水冷冷却器１５で約＋１５℃に
冷却され、水素源１６によって供給される約６×１０5
Ｐａの水素流と混合されて２本の瓶１７の一方の底部に
導入される。水素は２Ｈ2 ＋Ｏ2 ＝２Ｈ2 Ｏの反応の化
学量論に比べて過剰であり、したがってすべての酸素
が、触媒ベッド１８において水に変えられる。
【００１６】この触媒ベッドから出る、アルゴン、窒
素、水素及び水のみを含むガスは水吸着剤ベッド１９に
おいて乾燥され、部分的に精製され、約２０℃だけ加温
されて、すなわち＋３５℃で瓶１７から出る。このガス
はその後、熱交換器１３で不純アルゴンとの向流で冷却
され、脱窒精留塔４の液溜め部凝縮器２０で凝縮され、
膨張弁２１で約１．８×１０5 Ｐａに膨張されて、脱窒
精留塔４の中間レベルに注入される。
素、水素及び水のみを含むガスは水吸着剤ベッド１９に
おいて乾燥され、部分的に精製され、約２０℃だけ加温
されて、すなわち＋３５℃で瓶１７から出る。このガス
はその後、熱交換器１３で不純アルゴンとの向流で冷却
され、脱窒精留塔４の液溜め部凝縮器２０で凝縮され、
膨張弁２１で約１．８×１０5 Ｐａに膨張されて、脱窒
精留塔４の中間レベルに注入される。
【００１７】脱窒精留塔４は、膨張された下部プアー液
体で冷却される頂部凝縮器２２を有し、下部プアー液体
は気化後に低圧精留塔６に送られ、脱窒精留塔の底部に
は、酸素及び水素の両方合わせてｐｐｂのオーダ、すな
わち１０-3ｐｐｍの値に達するような非常に高純度の液
体アルゴンを製出する。脱窒精留塔４はまた、その頂部
に窒素及び水素からなるガスを製出し、導管２３を経て
排出される。
体で冷却される頂部凝縮器２２を有し、下部プアー液体
は気化後に低圧精留塔６に送られ、脱窒精留塔の底部に
は、酸素及び水素の両方合わせてｐｐｂのオーダ、すな
わち１０-3ｐｐｍの値に達するような非常に高純度の液
体アルゴンを製出する。脱窒精留塔４はまた、その頂部
に窒素及び水素からなるガスを製出し、導管２３を経て
排出される。
【００１８】瓶１７の一方が変換／乾燥運転している
間、他方の瓶は再生される。この再生は、昇温及び／又
は減圧（場合によっては大気圧以下）及び／又は精製さ
れるガス又は精製されたガスによる希釈流もしくは精留
塔からのガス、例えば複式精留塔で製出された窒素によ
る希釈流によって行われる。
間、他方の瓶は再生される。この再生は、昇温及び／又
は減圧（場合によっては大気圧以下）及び／又は精製さ
れるガス又は精製されたガスによる希釈流もしくは精留
塔からのガス、例えば複式精留塔で製出された窒素によ
る希釈流によって行われる。
【００１９】触媒ベッド１８に含まれる触媒は、ゼオラ
イト、アルミナ又はシリカからなるのが有利な、高比表
面をもつ特殊な担体に支持された、白金族金属、すなわ
ちルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム
（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）及
び白金（Ｐｔ）からなる元素周期律表の第VIII族の少な
くとも１種類の金属の粒子で形成される。
イト、アルミナ又はシリカからなるのが有利な、高比表
面をもつ特殊な担体に支持された、白金族金属、すなわ
ちルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム
（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）及
び白金（Ｐｔ）からなる元素周期律表の第VIII族の少な
くとも１種類の金属の粒子で形成される。
【００２０】金属元素を支持する作業は、それ自体公知
なイオン交換及び／又はイオン注入の技術によって行わ
れる。上に述べられた方法は、精製瓶１７の過剰な加温
の危険を全く避けることができ、触媒ベッド１８と水吸
着剤ベッド１９との間に外部冷媒による冷却装置を必要
とせず、したがって両ベッドを同一の瓶内に重ねて配置
することができる。
なイオン交換及び／又はイオン注入の技術によって行わ
れる。上に述べられた方法は、精製瓶１７の過剰な加温
の危険を全く避けることができ、触媒ベッド１８と水吸
着剤ベッド１９との間に外部冷媒による冷却装置を必要
とせず、したがって両ベッドを同一の瓶内に重ねて配置
することができる。
【００２１】変形として、水素は一酸化炭素（ＣＯ）で
置き変えることができ、この場合酸素は触媒ベッド１８
で二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変えられ、ＣＯ2 は吸着剤ベ
ッド１９で吸着によって除去されるが、吸着剤ベッド１
９はもちろん分子篩のような適切な吸着剤でつくられ
る。過剰なＣＯは脱窒精留塔４で窒素とともに除去され
る。
置き変えることができ、この場合酸素は触媒ベッド１８
で二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変えられ、ＣＯ2 は吸着剤ベ
ッド１９で吸着によって除去されるが、吸着剤ベッド１
９はもちろん分子篩のような適切な吸着剤でつくられ
る。過剰なＣＯは脱窒精留塔４で窒素とともに除去され
る。
【図１】本発明によるアルゴン製造装置の一実施例のフ
ローシート
ローシート
１ 複式精留塔 ２ 不純アルゴン製造精留塔 ３ 不純アルゴンからの酸素分離装置 ４ 脱窒精留塔 ５ 中圧精留塔 ６ 低圧精留塔 ７ 蒸発凝縮器 ８ 尖塔 11 不純アルゴン製造精留塔２の頂部凝縮器 13 向流熱交換器 14 圧縮機 15 水冷冷却器 16 水素源 17 瓶 18 第１ベッド（触媒ベッド） 19 第２ベッド（水吸着剤ベッド） 20 脱窒精留塔４の液溜め部凝縮器 21 膨張弁 22 脱窒精留塔４の頂部凝縮器
Claims (11)
- 【請求項１】 不純アルゴン製造精留塔に接続された複
式精留塔での空気精留、過剰な還元剤の存在での接触変
換による不純アルゴン中に存在する酸素の除去、吸着に
よる前記変換での製品の除去、および精留による過剰な
還元剤と残存窒素ガスとの除去によるアルゴンの製造方
法において、精留により１０００ｖｐｍ以下の酸素を含
む不純アルゴンを製造すること、及び接触変換が、高比
表面をもった特殊な担体に支持された少なくとも１種類
の白金族金属粒子からなる触媒ベッドに、不純アルゴン
と過剰な還元剤を室温に近い温度で通過させて行われる
ことを特徴とする方法。 - 【請求項２】 不純アルゴンが、約１００〜１０００ｖ
ｐｍの酸素を含むことを特徴とする請求項１記載の方
法。 - 【請求項３】 特殊な担体が、ゼオライト及び／又はア
ルミナ及び／又はシリカであることを特徴とする請求項
１記載の方法。 - 【請求項４】 触媒が、昇温及び／又は場合によっては
大気圧以下への減圧及び／又は精製されるガス又は精製
されたガスによる希釈流もしくは複式精留塔で製出され
た窒素のような精留塔からのガスによる希釈流によって
再生されることを特徴とする請求項記載の方法。 - 【請求項５】 還元剤が水素又は一酸化炭素であること
を特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項６】 精留によるアルゴン製造精留塔と接続さ
れた空気精留複式精留塔、酸素接触変換手段の方へ不純
アルゴンを圧送する圧縮機、変換製品の除去手段、及び
脱窒精留塔を有する種類のアルゴン製造装置において、
前記不純アルゴン製造精留塔が少なくとも８０枚の理論
精留板を有すること、及び接触変換手段が、高比表面を
もった特殊な担体に支持される少なくとも１種類の白金
族金属で形成された触媒ベッドを有し、室温近くで運転
されることを特徴とする装置。 - 【請求項７】 不純アルゴン製造精留塔が、約８０〜１
１０枚の理論精留板を有することを特徴とする請求項６
記載の装置。 - 【請求項８】 特殊な担体が、ゼオライト及び／又はア
ルミナ及び／又はシリカであることを特徴とする請求項
６記載の装置。 - 【請求項９】 不純アルゴン製造精留塔からの不純アル
ゴンと、前記除去手段によって製造されるガスとを向流
熱交換関係にすることのできる熱交換器を有することを
特徴とする請求項６記載の装置。 - 【請求項１０】 接触変換手段の入口が、水素又は一酸
化炭素源と接続されることを特徴とする請求項６記載の
装置。 - 【請求項１１】 少なくとも同一容器内で一方の上に他
方が配置された、少なくとも一つの触媒ベッドと前記除
去手段を構成する一つの吸着剤ベッドを有することを特
徴とする請求項６記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9104623 | 1991-04-16 | ||
| FR9104623A FR2675567A1 (fr) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | Procede et installation de production d'argon. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05262506A true JPH05262506A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=9411875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4077142A Pending JPH05262506A (ja) | 1991-04-16 | 1992-03-31 | アルゴン製造方法及び装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0509871A1 (ja) |
| JP (1) | JPH05262506A (ja) |
| AU (1) | AU659630B2 (ja) |
| CA (1) | CA2064505A1 (ja) |
| FR (1) | FR2675567A1 (ja) |
| ZA (1) | ZA922111B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001349669A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-12-21 | L'air Liquide | 低温蒸留による酸素富化流体の製造方法および装置 |
| JP2012106904A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-06-07 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | アルゴンガスの精製方法および精製装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3020842B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2000-03-15 | 日本エア・リキード株式会社 | アルゴン精製方法及び装置 |
| FR2776206A1 (fr) * | 1998-03-19 | 1999-09-24 | Air Liquide | Appareil de distillation et boite froide correspondante |
| FR2831953B1 (fr) * | 2001-11-05 | 2004-09-24 | Air Liquide | Procede de distillation d'air avec production d'argon et installation de distillation d'air correspondante |
| FR2848652A1 (fr) * | 2002-12-12 | 2004-06-18 | Air Liquide | Procede et installation de production d'argon |
| DE102009004520A1 (de) | 2009-01-09 | 2010-07-15 | Budke, Gudula | Bürste zur Reinigung gepflasterter Flächen |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3401197A1 (de) * | 1984-01-14 | 1985-07-18 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Verfahren zur katalytischen feinreinigung von inertgasen |
| JPS63267878A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-04 | 株式会社日立製作所 | 精製アルゴン塔廃ガス中のアルゴン・水素を回収するアルゴン精製方法 |
| DE3806523A1 (de) * | 1988-03-01 | 1989-09-14 | Linde Ag | Verfahren zur reinigung von rohargon |
-
1991
- 1991-04-16 FR FR9104623A patent/FR2675567A1/fr not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-03-23 ZA ZA922111A patent/ZA922111B/xx unknown
- 1992-03-24 AU AU13140/92A patent/AU659630B2/en not_active Ceased
- 1992-03-31 CA CA002064505A patent/CA2064505A1/fr not_active Abandoned
- 1992-03-31 EP EP92400899A patent/EP0509871A1/fr not_active Withdrawn
- 1992-03-31 JP JP4077142A patent/JPH05262506A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001349669A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-12-21 | L'air Liquide | 低温蒸留による酸素富化流体の製造方法および装置 |
| JP2012106904A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-06-07 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | アルゴンガスの精製方法および精製装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0509871A1 (fr) | 1992-10-21 |
| ZA922111B (en) | 1992-11-25 |
| CA2064505A1 (fr) | 1992-10-17 |
| AU1314092A (en) | 1992-10-22 |
| FR2675567A1 (fr) | 1992-10-23 |
| AU659630B2 (en) | 1995-05-25 |
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