JPH05263258A - 置換すずめっき用錯化剤 - Google Patents

置換すずめっき用錯化剤

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JPH05263258A JP4316886A JP31688692A JPH05263258A JP H05263258 A JPH05263258 A JP H05263258A JP 4316886 A JP4316886 A JP 4316886A JP 31688692 A JP31688692 A JP 31688692A JP H05263258 A JPH05263258 A JP H05263258A
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ランダル・ダニエル・キング
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】置換すずめっき工程で使用される、チオ尿素に
代わる環境に無害な錯化剤を提供する。 【構成】遊離金属の金属イオンと次式の錯化剤 (式中、Aはメチルまたはエチルであり、そしてAがメ
チルである場合、BはC 3〜C6のアルキルまたはシクロ
アルキル基でありそしてAがエチルである場合、BはC
4〜C6のアルキルまたはシクロアルキル基である)と酸
からなる、水性めっき溶液、並びに浸漬めっき方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の背景】本発明は、化学置換めっきに関する。さ
らに特定すると本発明は浸漬、噴霧、浸水または暴落を
適用する工程を用いて化学置換とすることにより銅、銅
合金及びたの金属の上に、すずとめっきすることに関す
る。さらに特定すると、本発明は印刷回路板の製造にお
けるこのような化学置換めっきの使用に関する。
【0002】すずのコーティングは典型的には特定の様
式の置換めっき、すなわち米国特許第2,891,871
号、同第3,303,029号、同第4,657,632号
及び同第4,715,894号に開示されているような浸
漬めっき技術により銅及び銅合金の表面に適用されてき
た。開示されている浸漬すずめっき技術では、必須成分
としてすず(II)塩、酸及びチオ尿素またはチオ尿素誘導
体の水性溶液を含有する浴を用意する。浸漬すずめっき
工程では銅表面を有する物品、例えば銅張り印刷回路板
を、表面の銅金属が酸化して銅(I)イオンになり酸、チ
オ尿素で錯化されそして同時にすず(II)イオンから還元
されたすず金属により表面が置換される期間中めっき浴
に浸漬する。置換めっきが所望の厚さに完了した後、浴
から物品を取り出し、すすいで残留めっき溶液を除去す
る。めっき工程中、浸漬浴中の銅(I)チオ尿素錯体の濃
度は増加する。同様に、めっき浴の寿命中にはすず(II)
イオンがいくらか空気酸化されすず(IV)イオン濃度が増
加する。しかしながらめっきされた物品及び続く浴の補
給によるめっき溶液の実質的なすくい出し(drag-out)に
より銅(I)錯体及びすず(IV)イオンの濃度は、迅速に平
衡に達する。すず置換めっき中のすず(IV)イオンの存在
はめっき浴の効率を低下させるので望ましくない。浸漬
めっき浴では典型的には体積に対する表面の比率が非常
に小さくこれによって空気酸化が最小となり、典型的に
はすず(IV)イオンの平衡濃度は許容限界内である。それ
にもかかわらず、めっき表面の厚さが臨界的である場
合、印刷回路板に適用する際にみられることがあるよう
に、浸漬浴から物品を除去する間の望ましくない空気酸
化の結果、めっき表面に不均一な厚さの縞を生じる可能
性がある。
【0003】化学置換めっきは印刷回路板(PCB)及
び特に多層印刷回路板の製造に用いられてきた。印刷回
路板(PCB)は非導電体または誘電体、例えばガラス
繊維/エポキシシートを含みこれは一方または両方の面
が銅のような金属導電性層で被覆されている。加工前の
PCB上の金属層は典型的には銅の連続した層であり、
これは板の両面をつなぐめっきされたスルーホルまたは
バイアのパターンによって中断されることがある。加工
中に銅の層の部分を選択的に除去してPCBの浮き出し
た銅回路像パターンを形成する。多層PCBは典型的に
は例えば銅を含むような像形成された導電性層の間に、
例えば部分的に硬化したB段階樹脂すなわちプレプレグ
のような誘電体接着剤層をはさみ込むことにより多層サ
ンドイッチに構成され、次いで熱及び圧力を適用してこ
れを共に結合させる。これらの型の印刷回路板の作製は
“Printed Circuits Handbook"(第3版、C.F. Coombs,
Jr. 編集、McGraw-Hill, 1988)に述べられている。滑
らかな銅表面を有する導電性層はプレプレグに良好に結
合しないので多層PCBサンドイッチの層間の結合強度
を増大させるため何らかの銅表面処理が行われてきた。
【0004】このような銅表面処理の一つは多層回路の
結合媒体としてすず及びすず合金の浸漬を使用すること
であり、これはHotzmanらの米国特許第4,715,89
4号に開示されている。開示された方法には、浸漬すず
組成物はチオ尿素化合物及び尿素化合物の両方を含み、
各PCBの銅表面を浸漬工程によりすずで置換めっきし
た後に、それらを積層して多層板を形成することが記載
されている。この浸漬法により製造された多層PCBの
結合強度は改善されたが、多層PCBの生産能率はめっ
き浴の相当の量が各処理すみのPCBによる溶液のすく
い出しによって失われるバッチ操作により制限される。
さらにこの浸漬法により製造されるPCBは上述の縞に
よる欠陥に影響されやすい。
【0005】多層PCBの中間層の結合は米国特許第
5,073,456号及び`「Printed Circuit Fabricatio
n」、第13巻、第5号、46〜60頁、1990年5月
(K.H.Dietz、J.V.Palladino及びA.C.Vitale、MUL
TILAYER BONDING:CURRENT TECHNOLOGY AND A NEW ALTE
RNATIVEと題されている)中に開示されている方法によ
ってさらに、改善されている。開示されているインライ
ン操作には噴霧置換すずめっき工程に続いてウレイドシ
ランとジシリル架橋剤のシラン結合混合物を用いた後処
理工程が含まれる。特に、PCBはそれを順次きれいに
し、マイクロエッチングを施し、噴霧すず置換めっき
し、シラン結合混合物で後処理しそして乾燥させる一連
の処理及びリンスステーションを通じてコンベアーで供
給される。この噴霧すず置換めっき系により作製される
PCBは浸漬バッチ操作中に観察される縞の欠陥が実質
的になくそしてこれから製作された多層PCBは典型的
な高温ははんだ付け操作中の層間剥離に対して改善され
た抵抗性を示す。めっき操作中、めっき溶液はPCB上
に噴霧され過剰の溶液は回収されそして続くリンスステ
ーションへ最小のすくい出しでめっき浴溜めに戻され
る。開示された方法により改善された多層PCBが得ら
れたが、噴霧適用工程中、すず(II)の空気酸化により形
成されるすず(IV)イオン蓄積のためにめっき浴溶液の活
性が使用中に減退することが認められている。
【0006】上記したような商業的な置換すずめっき工
程では錯化剤としてチオ尿素を特に用いる。しかしなが
らチオ尿素は毒性の物質でありそして発癌性物質として
確認されているので、工程の廃液を処理する上で、また
それらを環境に対して無害にする上でさらなる処置が必
要である。従ってこの方法によって製造されたチオ尿素
及び銅(I)チオ尿素錯体を含む廃液は従来の廃液処理方
法、例えば上述のDietzらにより開示されている過酸化
水素を用いる廃液処理方法を用いて処理することが可能
であり、この処理によりチオ尿素の濃度は1ppm未満に
低減される。しかしながらこのような廃液処理方法は回
路板作製の全体的な価格を増大する。環境に無害で、そ
のめっき特性においてチオ尿素と効果的に置換すること
のできる錯化剤が必要とされている。
【0007】
【発明の概要】チオ尿素に代わる環境に無害で効果的な
置換は、 (i) 遊離金属の金属イオン(ここで遊離金属は基体表
面の金属とは異なる); (ii) 式:
【化5】 〔式中、A及びBは同じかまたは異なって−R−Y基で
ある(ここでRは1〜12個の炭素原子を有する線状、
分枝状または環状のアルキル基でありそしてYは水素、
ハロゲン、シアノ、ビニル、フェニルまたはエーテル部
分である)〕を有するイミダゾール−2−チオン化合物
である錯化剤;及び (iii) 酸:からなる、異なる金属で基体金属表面を置換
めっきするための水性めっき溶液である本発明のめっき
浴が見い出された。
【0008】本発明の実施態様においては、金属イオン
は最も低い酸化状態で存在するカチオンであり、そして
イミダゾール−2−チオン化合物は非対称1,3−ジア
ルキルイミダゾール−2−チオン(ここでAはメチルま
たはエチルであり、そしてAがメチルである場合、Bは
C3〜C6のアルキルまたはシクロアルキル基であり、そ
してAがエチルである場合、BはC4〜C6のアルキルま
たはシクロアルキル基である)である。
【0009】本発明の別の実施態様ではめっき溶液は実
質的に酸素のない不活性雰囲気下に維持される。
【0010】本発明のさらに別の実施態様では水性めっ
き溶液には、金属イオン(i)の遊離金属である遊離金属
も含まれる。特に本発明は (a)(i) 遊離金属の金属イオン(これはその最も低い酸
化状態で存在し、ここでは遊離金属は基体表面の金属と
は異なる); (ii) 式:
【化6】 (式中、Aはメチルまたはエチルであり、そしてAがメ
チルである場合、BはC 3〜C6のアルキルまたはシクロ
アルキル基でありそしてAがエチルである場合、BはC
4〜C6のアルキルまたはシクロアルキル基である)を有
する1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン化合
物である錯化剤; (iii) 酸;及び (iv) 最も低い酸化状態で存在する金属イオン(i)の遊
離金属;からなる水性めっき溶液の槽を提供する; (b) 水性めっき溶液を基体金属表面に流し、これによ
り(i)の金属イオンの一部はより高い酸化状態のイオン
に酸化され、(i)の金属イオンの別の部分は還元されて
遊離金属になり、こで該還元された遊離金属で表面基体
金属を置換し、これは酸化してイオンになり、錯化剤と
反応して基体金属の表面の反応した水性めっき溶液中に
溶解した基体金属イオン錯体を形成する;及び (c) めっき溶液を槽に戻し、これにより高い酸化状態
で存在する金属イオンの少なくとも一部を遊離金属(iv)
と反応させてそれらの最も低い酸化状態で存在する金属
イオンを形成し、水性めっき溶液を補給することからな
る基体金属表面を別の金属で置換めっきするための方法
を含む。
【0011】本発明の方法の工程(c)では最も低い酸化
状態で存在する形成された金属イオンの部分は、遊離金
属(iv)と反応したより高い酸化状態の金属イオン部分の
2倍であるより高い酸化状態に存在する金属イオンが最
も低い酸化状態に存在する形成された金属イオンに転化
する程度は水性めっき溶液の槽容積中の遊離金属(iv)の
得られる表面積により制御される。本発明の方法では水
性めっき溶液の体積に対する遊離金属(iv)の表面積の比
率は典型的には少なくとも4平方インチ/ガロン(6.
8cm2/リットル)である。
【0012】
【詳細な記述】本発明はめっき溶液が浸漬または噴霧、
瀑落、注ぎ込みなどによってめっきされる基体表面に適
用される、置換めっき工程でチオ尿素に代わる環境に無
害の効果的な置換に関する。本発明はまたこのようなめ
っき方法により生じる好ましくない廃液を減少すること
に関する。
【0013】置換めっき溶液は既知でありそしてこれに
はHoltzmanらの米国特許第4,715,894号に開示さ
れているように浸漬すず及びすず合金溶液が含まれる。
この置換金属めっき法は電流を使用しないが、電気化学
的な置換反応に基づいている。めっきされる金属基体は
一般的にコーティング組成物またはめっき溶液中に溶解
している金属よりもより活性(より貴ではない)であ
る。銅はすずよりも貴であるが浸漬コーティング組成物
が酸性でありかついわゆる錯化剤としてチオ尿素を含む
場合、銅はすず溶液によってめっきされることができ
る。すず及び銅の相対的な電極電位は酸性条件下でチオ
尿素が存在すると逆転する。いったん金属基体が完全に
被覆されると置換コーティング組成物中の金属イオンを
置換することはもはやできない。
【0014】本発明はチオ尿素錯化剤の置換に関する。
置換するものは式:
【化7】 (式中、A及びBは独立して炭化水素または置換された
炭化水素である)のイミダゾール−2−チオン化合物で
ある。さらに特定するとA及びBは同じかまたは異なっ
て−R−Y基(ここで、Rは1〜12の炭素原子を有す
る線状、分枝状、または環状のアルケニル基でありそし
てYは水素、ハロゲン、シアノ、ビニル、フェニルまた
はエーテル部分である)である。好ましくは該化合物は
1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン化合物
(この場合、A及びBはそれぞれ独立して1〜6個の炭
素原子を有するアルキルまたはシクロアルキル基であ
る)である。イミダゾール−2−チオン化合物は対称す
なわちA及びBは同じ基であるかまたは非対称である。
好ましいのは非対称の1,3−ジアルキルイミダゾール
−2−チオン化合物(この場合、Aはメチルまたはエチ
ルであり、そしてAがメチルである場合、BはC3〜C6
のアルキルまたはシクロアルキル基であり、そしてAが
エチルである場合、BはC4〜C6のアルキルまたはシク
ロアルキル基である)である。
【0015】置換すずめっき溶液は特に空気酸化に影響
されやすい。従って、このような溶液の適用は典型的に
はめっき溶液中に基体を浸漬してめっき浴の空気酸化を
最小にする場合に限定されてきた。多層印刷回路板を結
合させるための噴霧置換すずめっき方法は米国特許第
5,073,456号Palladino中及び上述の“Printed C
ircuit Fabrication"中のDietzらの出版物中に開示され
ている。バッチ浸漬操作よりも有利であるがこのような
インライン噴霧操作は特に空気酸化及びめっき溶液中の
副生成物の累積により悪影響を受ける。
【0016】本発明は特に多層印刷回路板の作製のため
の噴霧置換すずめっき方法に関連して述べられるが、こ
れに限定するものではない。多層印刷回路板は、交互に
なる誘電体材料の層を有し、これは銅回路(これは面と
して用いられる銅シートのような間に置かれた別の層を
有することができる)を支持しており、中間層を通じて
絶縁層に接着されている。回路板は導電性のスルーホー
ルを有しておりこれが板の全体の厚みを横切る電気的な
通路を形成する。
【0017】多層回路板の形成では数ダースの導電性及
び非導電性層を使用することができる。また多層回路板
を形成するためには、ホールを穴あけすることが必要で
あり、そうするとホールを直接囲む領域で層間剥離によ
る欠陥が生じることがある。層の一つに欠陥が存在する
かまたは層間剥離が起こった場合、一般的には板全体を
廃棄しなければならない。従って商業的に製造するため
には印刷回路板の作成の各工程に於ける品質の高さが必
要である。高品質の多層板を形成するためのこのような
工程の一つはそれぞれ構成板の銅回路の上に欠陥のない
すずめっきを形成することである。
【0018】本発明の出発材料は一方または相対する表
面に銅の被覆を有する誘電体層である。この銅層は厚さ
が少なくとも4ミクロン、さらに好ましくは32ミクロ
ンでありそしてこれは導電性回路を形成するのに使用さ
れる。上述のCoomsの記載にあるこのような回路を形成
するにはよく知られた技術を使用することができる。誘
電体層が電気絶縁体として機能するならばその組成は重
要ではない。当分野でプレプレグまたは“B"段階樹脂
として知られている部分的に硬化した熱硬化性重合体組
成物を使用するのが好ましい。
【0019】導電性回路を形成した後、その上に薄いす
ずの外層を形成する必要がある。上記中(Palladino)に
開示されているように印刷回路板の回路を典型的には第
1に清浄にしそしてエッチングする。
【0020】清浄にしそしてエッチングした印刷回路板
を次いで本発明の方法を用いてすずめっきする。該方法
は (a)(i) すず(II)イオン、 (ii) 式:
【化8】 (式中、Aはメチルまたはエチルであり、Aがメチルで
ある場合、BはC3〜C6のアルキルまたはシクロアルキ
ル基であり、そしてAがエチルである場合、BはC4〜
C6のアルキルまたはシクロアルキル基である)の化合
物である錯化剤、 (iii) 酸、及び (iv) 遊離すず金属(ここで水性置換すずめっき溶液の
体積に対する遊離すず金属の表面積の比率は少なくとも
4平方インチ/ガロン(6.8cm2/リットル)であ
る);からなる水性置換すずめっき溶液の槽を提供す
る; (b) 該槽から水性置換すずめっき溶液を銅表面上に噴
霧して流しこむ;これによりすず(II)イオンの一部は空
気酸化されてすず(IV)イオンになりそしてこれによりす
ず(II)イオンは還元されて遊離金属になり表面銅を置換
し、これが酸化されて銅(I)イオンになりそして錯化剤
で錯化され、銅表面で反応した水性置換すずめっき溶液
中に溶解している銅(I)錯体を形成する;及び (c) 噴霧し反応した水性置換すずめっき溶液を槽に戻
し形成したすず(IV)イオン部分を遊離すずの表面と反応
させてすず(II)イオン部分を2倍形成し、工程(a)の水
性置換すずめっき溶液を形成されたすず(II)イオン部分
で補給される;の工程からなるすずまたはすず合金で印
刷回路板銅表面を置換めっきするための方法である。水
性置換すずめっき溶液には付加成分、例えば尿素、還元
剤、界面活性剤等、上記(Holtzmanら及びPalladino)中
に開示されているものが含まれる。すず合金がめっきす
る場合、鉛のような第2金属の塩が溶液中に存在する。
好ましい実施態様では水性置換すずめっき溶液には本発
明の錯化剤、すず(II)塩、還元剤、酸及び尿素化合物が
含まれる。
【0021】またこれに代わるものとして本発明は; (a)(i) 遊離金属の金属イオン(ここでは遊離金属は基
体表面の金属とは異なる); (ii) 式:
【化9】 (式中、A及びBはそれぞれ独立して1〜6個の炭素原
子を有するアルキルまたはシクロアルキル基である)を
有する1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン化
合物である錯化剤、及び (iii) 酸;からなる水性めっき溶液の槽を提供する; (b) 基体の金属表面を水性めっき溶液に浸漬する;こ
れにより遊離金属(i)の金属イオンの一部分が還元され
て遊離金属になり(ここで前記還元された遊離金属は表
面の基体金属と置換され、表面の基体金属は酸化されイ
オンになりそして錯化剤で錯化されて基体金属の表面で
反応した水性めっき溶液中に溶解した基体金属イオン錯
体を形成する; (c) めっき溶液の槽からめっきされた基体金属表面を
取り出す;及び (d) めっきした基体金属表面から過剰のめっき溶液を
除去し、これにより置換めっき工程を終了させることの
工程からなる基体金属表面を他の金属で浸漬めっきする
ための方法に関する。
【0022】チオ尿素と同じ位有効でありそして環境に
無害である錯化剤は本発明のジアルキルイミダゾール−
2−チオン化合物である。好ましくはこれらの錯化剤は
非対称であり、そして式:
【化10】 (式中、Aはメチルまたはエチルであり、Aがメチルで
ある場合、BはC3〜C6のアルキルまたはシクロアルキ
ル基でありそしてAがエチルである場合、BはC 4〜C6
のアルキルまたはシクロアルキル基である)を有する。
この種の錯化剤で好ましいものは式:
【化11】 を有する1−メチル−3−プロピルイミダゾール−2−
チオンである。
【0023】その他に、式:
【化12】 (式中、A及びBは同じであって1〜6個の炭素原子を
有するアルキルまたはシクロアルキル基である)を有す
る対称は1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン
化合物である。
【0024】無機(鉱物性)酸、例えば硫黄、燐及びハ
ロゲンの酸のすず(II)塩、または有機酸を使用すること
ができる(例えばギ酸すず(II)酢酸すず(II)等)。好ま
しいのは硫黄の酸、例えば硫酸及びスルファミン酸であ
る。アルカリ金属すず酸塩、例えばナトリウムまたはカ
リウムすず酸塩及び既知のそれらの同等のものを使用す
ることができる。すず/鉛合金コーティングを付着させ
る場合、酢酸鉛を鉛の塩として使用することができる。
【0025】遊離すず金属は水性置換すずめっき溶液中
で、任意の形態例えば押し出し成型すず、“コケ状”す
ず(“mossy" tin)、鋳造すず等で存在することができ
る。押し出し成型すず、例えば、従来電極のアノードま
たはすずワイヤーとして使用されているすずスラブは、
溶液の安定化を制御するのに必要とされる量が、すず部
分を除去または添加することによって、容易に調節さ
れ、表面対体積の所望の比率を達成することができるの
で好ましい。水性置換すずめっき溶液の体積に対する表
面の比率は典型的には少なくとも約4平方インチ/ガロ
ン(6.8cm2/リットル)であり、好ましくは約16平
方インチ/ガロン(27.2cm2/リットル)またはそれ
以上である。使用される酸は有機酸または硫黄、燐、ハ
ロゲンまたはそれらの混合物に基づく無機酸(鉱酸)で
あり、硫黄に基づく鉱酸、例えば硫黄及びスルファミン
酸が好ましい。特に好ましいのは硫酸と次亜燐酸の混合
物である。使用される有機酸のうちには1〜6個の炭素
原子を有するモノカルボン酸またはジカルボン酸例えば
ギ酸、酢酸、リンゴ酸、マレイン酸などがある。
【0026】可能であればハロゲン酸またはハロゲンの
塩は付着したすずコーティング中にハライドの残留物を
生じるので使用しないのが好ましい。ハライド塩はすず
の電気的性質と抵触し、コーティング中の腐食性物質と
して作用することもありうる。
【0027】水性めっき溶液中における本発明の錯化剤
の溶解度が低い場合、共溶媒を添加して錯化剤を可溶化
し、これにより得られた溶液のめっき活性を高めること
ができる。適切な共溶媒は水混和性の溶媒、例えばアル
コール、例えばエタノール;グリコール、例えばエチレ
ングリコール;アルコキシアルカノール、例えば2−ブ
トキシエタノール;ケトン、例えばアセトン;非プロト
ン溶媒、例えばジメチルスルホキシド、アセトニトリル
等;及びこれらの混合物である。
【0028】使用されうる尿素化合物は、尿素または当
分野で既知の種々のそれらの誘導体、同族体もしくは類
似体であって例えばHoltzmanらの米国特許第4,715,
894号の第12欄〜15欄に開示されている。尿素が
好ましい。
【0029】使用されうるキレート化剤には、一般的に
種々のキレート化剤及び、Kirk-Othmer、Encyclopedia
of Chemical Technology、第3版、第5巻、p339〜
368に開示されている特異的な化合物が含まれる。特
に好ましいキレート化剤にはアミノカルボン酸及びヒド
ロキシカルボン酸が含まれる。使用されうるアミノカル
ボン酸には、エチレンジアミン四酢酸、ヒドロキシエチ
ルエチレンジアミン四酢酸、ニトリロトリ酢酸、N−ジ
ヒドロキシエチルグリシン及びエチレンビス(ヒドロキ
シフェニルグリシン)が含まれる。使用されうるヒドロ
キシカルボン酸には酒石酸、クエン酸、グルコン酸及び
5−スルホサリチル酸が含まれる。
【0030】使用されうる種々の還元剤は当分野ではよ
く知られており、一般的に約10個までの炭素原子を有
する飽和または不飽和、脂肪族または環状の有機アルデ
ヒドを含む。こうした点から約6個までの炭素原子を有
する低級アルキルアルデヒド、例えばホルムアルデヒ
ド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ブチル
アルデヒド等を使用することができる。特に好ましいア
ルデヒドにはヒドロキシ脂肪族アルデヒド例えばグリセ
ルアルデヒド、エリトロース、トレオース、アラビノー
ス及びそれらの種々の位置異性体が含まれる。グルコー
スは金属塩が酸化してより高酸化状態、例えばすず(II)
イオンからすず(IV)イオンになるのを防ぐ作用がある
が、キレート化剤としても作用することが見いだされ、
これらの理由から極めて有用である。
【0031】使用されうる界面活性剤には、任意の非イ
オン性、アニオン性、カチオン性または両イオン性の界
面活性剤、例えばKirk-Othmer、Encyclopedia of Chemi
calTechnology、第3版、第22巻、p332〜387
中に挙げられているものが含まれる。非イオン性界面活
性剤が特に好ましい。
【0032】水性置換めっき溶液の種々の成分は従来の
確立された濃度で存在することができる。典型的には、
置換めっき溶液にはモル基準で置換金属イオン約1〜約
15部;錯化剤化合物約10〜約125部;及び酸約1
〜約360部が含まれるであろう。この溶液はまた、モ
ル基準で尿素化合物約10〜約125部、キレート化剤
約5〜約40部、及び還元剤約5〜約110部を含むこ
とができる。もちろん溶液の濃度は意図した特定のめっ
き用途に依存して変化しうる。
【0033】多層回路板の作製方法においては、各構成
部材回路板のすず被覆された銅回路は、間に差し混まれ
た層への結合性を改善するためにさらに処理され酸化
物、水酸化物またはこれらの組み合わせの薄層がすずの
表面に形成される。処理されたすず表面をさらにシラン
結合混合物で処理してその製造中及び使用寿命の終わる
までの間多層回路板の成分層の結合をより改善するのが
好ましい。シラン結合混合物はウレイドシラン及び上記
Palladino中に開示されているジシリル架橋剤の混合物
である。
【0034】上記多層印刷回路板の作製におけるその使
用に加えて、本発明の安定化した噴霧置換めっき方法は
他のめっき用途例えば印刷回路板の作製におけるエッチ
ングレジストとして使用することができる。回路板作製
のめっき及びエッチング方法において重合体または樹脂
のレジスト像はまず銅被覆された回路板の基体上に形成
され、次いで、エッチング剤に対して耐性のある金属
を、重合体レジスト像によって保護されていない銅表面
領域上にめっきし、優れた金属レジスト像を形成する。
次いで重合体レジスト像を銅表面からはがし、金属レジ
スト像によって保護されていないむき出しの銅をエッチ
ング剤により基体から取り除き印刷回路を形成する。め
っき及びエッチング方法におけるエッチングレジストと
して浸漬すずコーティングの使用はHoltzmanらの米国特
許第4,657,632号中に開示されており、ここで、
エッチングレジストの浸漬すず組成物は被覆された及び
被覆されない金属領域を残すよう選択的に金属層に適用
され、続いてレジストで被覆されていない金属がエッチ
ングされる。開示された方法においては、浸漬すず組成
物は約0.08〜約0.175ミクロンの厚さで実質的に
空孔のないコーティングとして塗布される。Holtzmanら
('632)はさらにこのような浸漬すずコーティングは次
なるはんだ付け操作中における従来の電解めっきされた
すず−鉛レジストの欠点を克服することを開示してい
る。従来のはんだ付け操作では、まず最初にはんだマス
クが印刷回路板に適用され、構成部材をはんだ付けしよ
うとする領域を除く、すべての板領域を覆う。はんだマ
スクを適用する前に、回路上に電気的に付着したすず−
鉛エッチレジストは高められた温度でそれを再流するこ
とにより除かれ、そしていつも均一に除去されるわけで
はないので回路板をときどきレベリング工程にかけなけ
ればならない。このようなレベリング工程には板をホッ
トエアーナイフすなわち圧縮延長されたホットエアージ
ェットにすることが含まれる。Holtzmanら('632)は浸
漬すずコーティングがレジストとして使用される場合、
再流及びホットエアーレベリング工程は除くことができ
るということを開示している。
【0035】本発明の噴霧置換めっき工程及び上述のこ
れと同等のものを用いて、回路板のめっき−エッチ製造
のためのより優れたエッチングレジストを製造すること
ができる。エッチングレジストを製造するのに用いる場
合、本発明の水性置換めっき溶液には最も低い酸化状態
で存在する置換金属イオンの水溶性の塩が含まれるであ
ろう。これらの金属塩には元素の周期表のIVA;VB;
VIB;VIIB;VIII;IB;IIB及びIIIA属の金属;好
ましくはIVA;VIII;IB;IIB及びIIIA属金属;そ
して特に好ましくはIVA、VIII及びIB属金属;の金属
に基づくものが含まれる。この種類に属する好ましい金
属は、すず、鉛、水銀、ニッケル、金、銀、インジウ
ム、ゲルマニウム及びパラジウムである。これらの金属
塩のアニオンは、ここですず塩に関して定義したものと
同じである。特に好ましいのはすず及びすずと他の金属
の種々の組み合わせ、例えばすず−鉛、すず−ニッケ
ル、すず−水銀等である。さらに上記及びここで定義さ
れた金属塩は典型的にはそれらの最も低い酸化状態、例
えば第一すずのすず(II);第一ニッケルのNi(II);第
一水銀のHg(I);第一金のAu(I)等で使用される。
ある実施態様ではすずはその最も低い酸化状態で使用さ
れるのが好ましく、任意のその他の金属塩は任意の酸化
状態で使用されうる。これらの他の金属塩の種々の混合
物を使用することができる。ゲルマニウム、鉛、水銀、
銀、インジウム、金、及びパラジウムの塩が特に適切で
ある。
【0036】例えばはんだマスクを印刷回路板に適用し
ようとする場合、銅印刷回路の置換めっきをはんだマス
クを適用した後まで延期するか、または置換めっきをは
んだ付け操作の前に繰り返すことができる。このような
延期または繰り返しにより構成部材の組み立て及び回路
へのはんだ付け中のめっきされた接続部位のはんだの親
和性を改善することができる。
【0037】ここで、置換めっき工程における本発明の
錯化剤の使用を以下の実施例により例証する。以下の実
施例のそれぞれにおいて、化合物1は本発明の非対称ジ
アルキル錯化剤、1−メチル−3−プロピルイミダゾー
ル−2−チオンであり、これは上述の構造を有する。
【0038】実施例1 浸漬すず溶液は化合物1を0.3g、10%硫酸溶液5m
l及び硫酸すず(II)0.1gを合わせて調製された。混合
物を短時間振盪した後、無色のわずかに濁った溶液を生
成した。
【0039】浸漬すずめっき用のこの溶液の効力を以下
の方法で試験した。1オンス(28.3g)のロールド
−アニールド(RA)銅ホイルの一片を周囲温度で1分
間めっき溶液に部分的に浸漬した。1分後、ホイル取り
出し水道水及びDI(脱イオン)水で入念にすすぎ、ペ
ーパータオルで乾燥し次いで試験した。浸漬された銅表
面全体にわたって明るい光沢のあるすずの均一なめっき
が得られた。肉眼でみると、この非対称錯化剤を用いて
作製されためっきされた浸漬すずの品質及び均一性はチ
オ尿素で得られたものと同じ位良好であった。
【0040】比較例1 化合物1の代わりに対称化合物である1,3−ジメチル
イミダゾール−2−チオンを有するめっき溶液の調製を
試みた。固体成分の可溶化を試みるため対称化合物0.
31g、10%硫酸溶液5ml及び硫酸すず(II)0.1g
を一緒に数分間混合して浸漬めっき浴を調製した。ほと
んどの固体成分では少ししか溶解しなかった。1分、5
分及び330分の浸漬期間で実施例1に述べた標準試験
を用いて、混合物のめっき効力を試験した。これらの試
験ではいずれも銅ホイル試験片はすずめっきされなかっ
た。
【0041】実施例2 化合物1を0.3g、10%硫酸溶液5ml及び硫酸すず
(II)0.12gを合わせて新しい浸漬すずめっき溶液を
調製した。混合物を短時間振盪した後、均一な無色の溶
液を生じた。浸漬すずめっきを生成するこの溶液の効力
を実施例1に述べた方法で試験した。光沢があり、均一
であり、肉眼でみると錯化剤としてチオ尿素を用いて得
られたのと同等の浸漬すずコーティングがめっきされ
た。溶解した形ですずの安定性に及ぼす次亜燐酸の影響
を試験するために、40%次亜燐酸0.2mlをこのめっ
き溶液に添加した。混合した後、溶液は透明で無色のま
まであった。生成した溶液は均一性または品質が明らか
に損なわれることなく、浸漬すずを銅にめっきするのに
なおも有効である。浸漬すずめっき処方物中の次亜燐酸
の存在はチオ尿素の代わりとなる錯化剤として働く化合
物1の能力に明白な影響を与えない。
【0042】次亜燐酸を含むめっき溶液を被覆されたガ
ラス瓶中で5日間放置し、次いでめっき効力について調
べた。この時点では、溶液では実施例1中に述べられた
標準試験を用いて浸漬すずめっきが行われなかった。
【0043】実施例3 本実施例では2種類の浸漬すずめっき溶液を調製して日
にち基準でめっき効力を試験した。第1のめっき溶液
(#1)には次亜燐酸が含まれず、一方第2のめっき溶
液(#2)には、次亜燐酸が含まれていた。
【0044】溶液#1は化合物を0.31g、10%硫
酸溶液、5ml及び硫酸すず(II)0.12gを合わせて混
合して調製した。溶液#2は化合物1を0.31g、1
0%硫酸5ml、硫酸すず(II)0.12g及び40%次亜
燐酸を合わせて混合して調製した。両溶液ともめっきの
品質及びめっきを生成する能力の経時変化に関して同じ
ような挙動を示した。両方の溶液とも第1日目は光沢の
ある均一なすずめっきを生成するのに効果があり、2日
目には著しく性能が悪くなり、そして3日目が過ぎると
完全に不活性となり、この時点で両者共にかなりの量の
油滴が第2層として分離していた。
【0045】この溶液を覆いをかけた容器中で約20日
間静置した後、それらを合わせ塩化メチレンで抽出し
た。次いでロータリーエバポレーター上、真空中で溶媒
を除去して約200mgの油状物を得た。回収した油状物
のNMR分析は試料が化合物1と同一であることを示し
た。
【0046】実施例4 化合物1を用いて2つの浸漬すずめっき試料を調製し時
間の関数として活性を試験した。これらの2つの試料で
はすず(II)イオンの初期濃度は11g/Lと計算され
た。最初に酸溶液を硫酸10ml、脱イオン水90ml及び
50%、次亜燐酸4mlを合わせて混合して調製した。次
いで2つのめっき溶液を、この酸溶液に他の成分を加え
たものを用いて調製した。めっき溶液#1を化合物1を
0.61g、硫酸すず(II)0.22g、酸溶液10ml及び
コケ状のすず0.34gを合わせて混合した調製した。
めっき溶液#2を、化合物1を0.61g、硫酸すず(I
I)0.22g、及び酸溶液10mlを合し、混合すること
により調製した。両めっき試料からは最初は明るい光沢
のあるすずのめっきが生成した。固体すずを含有する溶
液#1は少なくとも12日間にわたってすずめっきに効
果があったが、一方固体すずを含有しない溶液#2は4
日経ったか経たないで完全に効果がなかった(銅上にす
ずがめっきされていなかった)。試験期間中、これらの
溶液は空気接触できるようにゆるくふたをしたガラス瓶
中に保持された。
【0047】実施例5 化合物1を用いて2つのめっき溶液を調製して時間の関
数として活性を試験した。これらの2つの溶液では、す
ず(II)の初期濃度は6g/Lであった。めっき溶液#1
を化合物1を0.62g硫酸すず(II)0.11g、酸溶液
(実施例4から)10ml及びコケ状すず0.37gを合
わせて混合して調製した。めっき試料#2を化合物1を
0.62g、硫酸すず(II)0.11g及び酸溶液10mlを
合わせて混合して調製した。両方の新しく調製した試料
の液体部分は黄色がかっておりいくらか濁っているが本
質的には均一な溶液である。両方のめっき試料から最初
は明るい光沢のあるすずのめっきが生成された。固体す
ずを含有する試料#1は少なくとも12日間にわたって
すずめっきに有効であったが、一方固体すずを含有しな
い試料#2は4日経つか経たないで完全に効力がなかっ
た(銅上にすずがめっきされなかった)。試験期間の
間、これらの試料は空気と接触できるようにゆるくふた
をしガラス瓶中に保持された。
【0048】実施例6 化合物1を用いて2つのめっき試料を調製し、時間の関
数として活性を試験した。これらの2つの試料では、す
ず(II)イオンの初期濃度は11g/Lであり化合物1の
濃度は前の実施例よりも高かった(実施例では、濃度
は、チオ尿素を有する標準的な浸漬すず処方物中−普通
のチオ尿素濃度に関し等しい重量よりもむしろ1当量に
等しい)。めっき試料#1は化合物1を1.23g、硫
酸すず(II)0.2g、酸溶液(実施例4参照)10ml及
びコケ状すず0.36gを合わせて混合して調製した。
めっき試料#2は化合物1を1.23g、硫酸すず(II)
0.21g及び酸溶液10mlを合わせて混合して調製し
た。両方の新しく調製した試料の液体部分は黄色がかっ
ていくらか濁っているが、本質的には均一な溶液であっ
た。両方のめっき試料からは最初は明るい光沢のあるめ
っきが生成した。固体すずを含む試料#1は少なくとも
12日間にわたってすずめっきに有効であるが一方、す
ず固体を含有しない試料#2は、6日経つか経たぬうち
に完全に効力を無くした(銅上にすずがめっきされなか
った)。試験期間中、試料は、空気が接触できるように
ゆるくふたをしたガラス瓶に保持した。
【0049】試料#1について上記から12日後のめっ
き活性15日間を調べた。この時点で試料には過剰量の
白色固体沈殿が含まれた。この試料はすずめっきについ
ては完全に不活性であった(銅上にすずがめっきされな
かった)。
【0050】試料#2についてさらに調製後27日目の
めっき活性を試験した。調製後ずっとゆるくふたをした
ガラス瓶中に保存されていた試料は、この時点で第2の
相を含んでいた。試料を振盪して懸濁液にした。標準め
っき試験を行ってすずめっき生成にとって完全に不活性
であることを確認した。この時点で、硫酸すず(II)0.
2gを加え生成した混合物を振盪した。すず(II)イオン
の添加により完全に溶解して黄色溶液になった。生成し
た黄色溶液は、標準的な試験を用いて銅上に光沢のある
均一なすずをめっきする上で活性であった。
【0051】実施例7 化合物1を用いてめっき試料を調製しそして時間の関数
として活性を試験した。この試料において、すず(II)イ
オンの初期濃度は22g/Lであり、試料には実施例6
の化合物1の1当量が含まれた。めっき試料は化合物1
を1.23g、硫酸すず(II)0.40g、酸溶液10ml及
びコケ状すず約0.3〜0.4gを合わせて混合して調製
され、わずかに濁った(液体部分に関して)均一な黄色
溶液を生じた。試料は銅上に明るい、光沢のすずをめっ
きすることに関して少なくとも12日間は活性であっ
た。試験期間中、試料は空気に接触できるようにゆるく
ふたをしたガラス瓶中に保持された。
【0052】試料の調製後、27日目に、試料を調べめ
っき活性を試験した。この時点では試料には白色の固体
が含まれ、すずめっきに不活性であった。硫酸すず(II)
(0.4g)を加え振盪して混合物を得た。この混合物
を標準試験を用いてめっき活性について試験し光沢のあ
る均一なすずをめっきしていることがわかった。
【0053】実施例8 化合物1及び硫酸すず(IV)を用いて2つのめっき試料を
調製し、めっき活性を時間の関数として測定した。これ
らの2つの試料ではすず(IV)イオンの初期濃度は11g
/Lであった。めっき試料#1は化合物1を0.6g、
硫酸すず(IV)0.29g、酸溶液(実施例4参照)10m
l及びコケ状すず0.34gを合わせて混合して調製され
た。めっき試料#2は化合物1を0.6g、硫酸すず(I
V)0.29g及び酸溶液10mlを合わせて混合して調製
した。両試料の液体部分については均一でわずかに濁っ
た黄色溶液を生じた。両試料では少なくとも15日間は
明るい均一なすずがめっきされることがわかった。この
試験期間中試料は空気と接触できるようにゆるくふたを
したガラス瓶中に保持された。
【0054】実施例9 10%硫酸10ml、硫酸すず0.5g、エチレングリコ
ール1g及び化合物1を2gからなるめっき溶液を調製
した。新しいめっき溶液は明るい均一なすずのめっきを
製造した。試料を密閉容器中に約8カ月維持し、この間
いくらかの固体物質が容器の底に沈殿した。試料を8カ
月の終わりに試験してまだなお銅表面上に明るい均一な
すずをめっきすることにおいて活性であることがわかっ
た。
【0055】実施例10 有機共溶媒を含むこと以外は比較例1と同様にして置換
めっき浴を製造した。化合物2を0.3g、硫酸すず0.
1g、10%硫酸溶液5ml及びエチレングリコール1g
からなるめっき浴を調製した。混合物を密閉容器中にに
入れ振盪及び加熱を交互にしてすべての固体成分の溶解
を試みた。このことは達成されず、チオンの約1/3が溶
解されずに残った。1片のロールド−アニールド(R
A)銅ホイルで標準試験を用いてこの浴のめっき効力を
試験した。試験を行った浸漬銅表面上にはいくらかのす
ずがめっきされたが、その範囲は最小でありめっきは極
めて部分的であった。
【0056】上記めっき浴は第2の硫酸すず部分0.1
gを加えることにより改質した。生成した混合物を再び
交互に振盪と加熱をしてすべての固体成分の溶解を試み
た。チオンは前より多く溶解したが、いくらかの固体は
まだそのままであった。生成しためっき浴試料のすずめ
っきの効力を標準試験で試験した。この混合物からは光
沢のある均一なすずのコーティングが生成され、これは
幾分薄いようだったが銅の色が見える程ではなかった。
【0057】上記めっき浴はさらに第2のエチレングリ
コール部分1gを加えて改質された。生成した混合物を
再び交互に振盪と加熱をしてすべての固体成分の溶解を
試みた。ほとんどのチオンは溶解したがいくらかはまだ
なお固体として残った。生成しためっき浴のすずめっき
効力を試験し、そして最初の改質後の浴と比べて品質の
悪いめっきを生成していることがわかった。すずをさら
にめっきしたがコーティングは非常に薄く、明確な銅の
色調を有していた。
【0058】結論として処方物に適当な共溶媒を含ませ
ることは置換めっき浴中のチオン錯化剤の溶解性及び活
性を促進するのに有益であった。これはチオンが化合物
2のような水性媒体中で溶解が非常に限定される場合特
に言えることであり、また必要である。
【0059】実施例11 めっき試料をNMR(核磁気共鳴分光分析)による特徴
化を可能にするための重水素化溶媒を用いて調製した。
めっき混合物は酸化ジューテリウム10ml、重水素化硫
酸1g、硫酸すず0.35g及び化合物1を0.6gから
なる。二相からなる混合物を製造し窒素下で維持した。
めっき活性を一片の銅ホイルを用いて試験した。めっき
試料からは銅表面上にすずめっきを生成した。すずコー
ティングは部分的で品質は悪かった。
【0060】上記めっき混合物へエタノール1gを一度
に加えて混合してほぼ均一な溶液を生成した。生成した
試料のめっき活性及び品質を試験した。めっき溶液は活
性であり、明るく均一なすずのコーティングを生成し
た。本実施例及び先の実施例の結果から置換すずめっき
溶液中に共溶媒を使用することは有益であり、特にめっ
き浴に有意濃度のすず(IV)及び/または比較的不溶のチ
オン錯化剤が含まれる場合に有益であると結論付けられ
る。
【0061】実施例12 NMRによる特徴化を可能にするための重水素化溶媒を
用いてめっき試料を調製した。めっき溶液は酸化ジュー
テリウム10ml、重水素化硫酸1g、硫酸すず0.2g
及び化合物1を0.6gからなる。本実験では空気を試
料と接触させないための特別な方法はとらなかった。め
っき溶液の効力を一片の銅ホイルを用いて5分間溶液中
に浸漬し定期的に試験した。溶液は少なくとも8日間銅
にすずめっきするのに活性であった。溶液を調製して1
4日目に溶液は銅上にすずめっきに対し完全に不活性で
あることがわかった。
【0062】実施例13 実施例12と同じ組成を有する新しいめっき溶液を調製
した。この場合は溶液を調製し、そしてめっき工程の全
過程を通して窒素雰囲気下に維持した。銅ホイル上のす
ずめっきに対する溶液の効力を定期的に試験した。溶液
は明るい均一なすずをめっきすることにおいて少なくと
も17日間にわたって活性であった。49日目に溶液の
めっき活性を試験し、そしてなおいく分活性であるが、
めっきされたすずは薄く部分的であることがわかった。
空気がないとめっき溶液の寿命が著しく伸びるというこ
とが結論付けられた。
【0063】上記実施例は錯化剤として1−メチル−3
−プロピルイミダゾール−2−チオンを含む新鮮な浸漬
すずめっき浴は錯化剤としてチオ尿素を含む浴と同じ
位、銅の置換めっきに効果的であることを示している。
また長期にわたり空気に暴露するとめっき活性が低下す
るが、この活性はすず(II)イオンを補充することで維
持または回復可能であることがわかった。エチレングリ
コール、エタノール等の共溶媒の使用は錯化剤を溶解す
る上で有益でありうる。すず(II)イオンの補充はめっ
き浴に遊離すず金属を添加することにより行われる。こ
れらの観察によると安定なめっき活性は以下の方法を用
いる噴霧置換すずめっきに期待される。
【0064】多層印刷回路板作製のための中間層は化学
的に清浄化され、インラインなかのコンベアーで行われ
る噴霧処理系(例えば上記Palladino及び上記Dietz中に
開示されている)中で置換すず組成物及びシラン結合混
合物で処理される。
【0065】中間層パネル表面を作製するのに用いられ
るインライン噴霧系は4フィート/分のコンベアー速度
を有し、かつ以下の工程及び条件を有する。
【0066】
【表1】
【0067】系で使用されるアルカリ洗浄液はVersa CL
EANR 415(DuPont)でありマイクロエッチはSure ETCHR
550(DuPont)カリウムパーオキシモノスルフェート/
硫酸である。
【0068】工程6中の置換すず組成物は以下の組成を
有する溶液Aと溶液Bを混合して形成された。
【0069】溶液A 脱イオン水 200ml 濃 H2SO4 100ml 次亜燐酸(50%) 40ml 硫酸すず(II) 20g 脱イオン水 0.5リットルまで溶液B チオ尿素 60g 尿素 40g 脱イオン水 0.5リットルまで 十分な量の溶液を調製し、系の槽を適度に満たした。
【0070】工程9においてシラン処理溶液は氷酢酸6
0mlをD.I.(脱イオン)水151リットルに加えて調
製される。次いでメタノール(50%)(A-1160 Vnion
Carbide)中ガンマ−ウレイドプロピル−トリエトキシ
シランカップリング剤0.83%(溶液重量に基づく)
(1571g)及び1,2−ビス(トリメトキシシリ
ル)エタンの0.17%(溶液重量に基づく)(322
g)を添加し続いて十分量の脱イオン水で189リット
ル(50ガロン)の溶液を製造した。次いでシラン処理
噴霧モジュールの再循環系を活性化させて溶液を混合す
る。溶液を5〜20分間混合させてオルガノシランをオ
ルガノシラン−トリオールに完全に加水分解する。
【0071】噴霧置換すず溶液中のすず(II)イオンの
濃度は以下の分析手段を用いて使用中にモニターした。
【0072】1.噴霧系の槽から置換すず溶液10mlを
取り出しこれを脱イオン水で100mlに希釈する。 2.酢酸カリウム40.6g、氷酢酸10ml及び脱イオ
ン水212mlから調製した緩衝溶液10mlを加える。 3.水酸化ナトリウムの50%溶液を用いて溶液のpHを
4に調整し10g/Lメチルチモールブルー指示溶液1
0滴を加える。 4.0.05M EDTA(エチレンジアミン四酢酸)溶
液を用いて青色から黄色へシフトする、例えば深青色か
ら淡茶がかったオレンジ色へシフトする終点まで溶液を
滴定する。
【0073】すず(II)イオン濃度(g/リットル)は
用いられるEDTAのmlの0.7倍に等しい、すなわち
〔Sn2+〕=0.7×ml EDTAである。
【0074】新しく調製された置換すず溶液は約11g
/Lのすず(II)イオン濃度を有するが、噴霧めっき工
程での使用中、すず(II)濃度及びめっき活性はめっき
されたすずとしてそれが取り出されること及び空気酸化
してすず(IV)イオンになることにより降下する。通常
の補充手段を用いてすず(II)イオン濃度を上昇させる
ことはできるが、商業的な工程で必要とされる高活性レ
ベルでめっき効率を維持するには有効ではない。活性レ
ベルはめっきされた板が実質的に欠陥がないよう十分に
高くなければならない。置換すず溶液は典型的にはすず
(II)イオンがもはや2.0g/Lを維持できなくなった
時に廃棄される。
【0075】この期間中に製造された中間層はそれらが
多層板の作製においてレイアップされる直前にAOI検
査を通過しなければならない。製造された多層板は続い
て熱応力、湿度、ピンクリング(pinkring)及び接着性
試験の基準を含む製品の品質基準を通過しなければなら
ない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンソニー・ジヨゼフ・アルデユエンゴ・ ザサード アメリカ合衆国デラウエア州19809.ウイ ルミントン.ワシントンブールバード5115 (72)発明者 ランダル・ダニエル・キング アメリカ合衆国ウエストバージニア州 26181.ワシントン.マクフアーソンマナ ー27 (72)発明者 アメリクス・シー・ヴイターレ アメリカ合衆国ペンシルベニア州19382. ウエストチエスター.ベバースリードトレ イル758

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (i) 遊離金属の金属イオン(ここで遊
    離金属は基体表面の金属とは異なる); (ii) 式: 【化1】 〔式中、A及びBは同じかまたは異なって−R−Y基で
    ある(ここでRは1〜12個の炭素原子を有する線状、
    分枝状または環状のアルキル基でありそしてYは水素、
    ハロゲン、シアノ、ビニル、フェニルまたはエーテル部
    分である)〕を有するイミダゾール−2−チオン化合物
    である錯化剤;及び (iii) 酸:からなる、異なる金属で基体金属表面を置換
    めっきするための水性めっき溶液。
  2. 【請求項2】 金属イオンがその最も低い酸化状態で存
    在するカチオンであり、そしてイミダゾール−2−チオ
    ン化合物が非対称の1,3−ジアルキルイミダゾール−
    2−チオン(ここでAはメチルまたはエチルであり、そ
    してAがメチルである場合、BはC3〜C6のアルキルま
    たはシクロアルキル基であり、そしてAがエチルである
    場合、BはC4〜C6のアルキルまたはシクロアルキル基
    である)である請求項1の水性めっき溶液。
  3. 【請求項3】 (a)(i) 遊離金属の金属イオン(ここ
    では遊離金属は基体表面の金属とは異なる); (ii) 式: 【化2】 (式中、A及びBはそれぞれ独立して1〜6個の炭素原
    子を有するアルキルまたはシクロアルキル基である)を
    有する1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン化
    合物である錯化剤、及び (iii) 酸からなる水性めっき溶液の槽を提供する; (b) 基体の金属表面を水性めっき溶液に浸漬する;こ
    れにより遊離金属(i)の金属イオンの−部分が還元さ
    れて遊離金属になり(ここで前記還元された遊離金属は
    表面の基体金属と置換され、表面の基体金属は酸化され
    てイオンになり、そして錯化剤で錯化されて基体金属の
    表面で反応した水性めっき溶液中に溶解した基体金属イ
    オン錯体を形成する; (c) めっき溶液の槽からめっきされた基体金属表面を
    取り出すこと;及び (d) めっきした基体金属表面から過剰のめっき溶液を
    除去し、これにより置換めっき工程を終了させる;こと
    の工程からなる基体金属表面を他の金属で浸漬めっきす
    るための方法。
  4. 【請求項4】 水性めっき溶液中に金属イオン(i)の
    遊離金属である遊離金属(iv)が含まれる請求項3の浸
    漬めっき工程の及び請求項1の水性めっき溶液。
  5. 【請求項5】 (a)(i) 遊離金属の金属イオン(これは
    その最も低い酸化状態で存在し、ここでは遊離金属は基
    体表面の金属とは異なる); (ii) 式: 【化3】 (式中、Aはメチルまたはエチルであり、そしてAがメ
    チルである場合、BはC 3〜C6のアルキルまたはシクロ
    アルキル基でありそしてAがエチルである場合、BはC
    4〜C6のアルキルまたはシクロアルキル基である)を有
    する1,3−ジアルキルイミダゾール−2−チオン化合
    物である錯化剤; (iii) 酸;及び (iv) 最も低い酸化状態で存在する金属イオン(i)の
    遊離金属;からなる水性めっき溶液の槽を提供する; (b) 水性めっき溶液を基体金属表面に流し;これによ
    り(i)の金属イオンの−部分はより高い酸化状態のイ
    オンに酸化され、(i)の金属イオンの別の部分は還元
    されて遊離金属になり、ここで該還元された遊離金属で
    表面基体金属を置換し、これは酸化してイオンになり、
    錯化剤と反応して基体金属の表面の反応した水性めっき
    溶液中に溶解した基体金属イオン錯体を形成する;及び (c) めっき溶液を槽に戻し、これにより高い酸化状
    態で存在する金属イオンの少なくとも一部を遊離金属
    (iv)と反応させてそれらの最も低い酸化状態で存在す
    る金属イオンを形成し、水性めっき溶液を補給すること
    からなる基体金属表面を別の金属で置換めっきするため
    の方法。
  6. 【請求項6】 工程(c)中で最も低い酸化状態に存在
    する形成された金属イオンの部分が、遊離金属(iv)と
    反応したより高い酸化状態で存在する金属イオン部分の
    2倍である請求項5に記載の方法。
  7. 【請求項7】 遊離金属(iv)の表面積と水性めっき溶
    液の体積の比率が少なくとも4インチ2/ガロン(6.8
    cm2/リットル)である請求項4または5に記載の水性
    めっき溶液及びめっき方法。
  8. 【請求項8】 錯化剤が式: 【化4】 を有する1−メチル−3−プロピルイミダゾール−2−
    チオンである請求項1に記載の水性めっき溶液並びに請
    求項3及び5に記載の方法。
  9. 【請求項9】 水性めっき溶液が実質的に酸素のない不
    活性雰囲気下に維持される請求項1に記載の水性めっき
    溶液及び請求項3及び5に記載の方法。
  10. 【請求項10】 基体金属表面が銅または銅合金である
    請求項1に記載の水性めっき溶液及び請求項3及び5に
    記載の方法。
  11. 【請求項11】 金属イオンが元素の周期律表のIVA;
    VB;VIB;VIIB;VIII;IB;IIB及びIIIA属の金
    属に基づく水溶性金属塩の金属イオンである請求項1に
    記載の水性めっき溶液並びに請求項3及び5に記載の方
    法。
  12. 【請求項12】 水溶性金属塩の金属がすず、鉛、水
    銀、ニッケル、金、銀、インジウム、ゲルマニウム、パ
    ラジウム及びそれらの混合物からなる群より選ばれる請
    求項11に記載の水性めっき溶液。
  13. 【請求項13】 金属イオン(i)がすず(II)である
    請求項12に記載の水性めっき溶液。
  14. 【請求項14】 水性めっき溶液中に1つまたはそれ以
    上の金属塩が含まれ、この金属塩はゲルマニウム、鉛、
    水銀、銀、インジウム、金及びパラジウムからなる群よ
    り選ばれ、ここで金属塩の金属イオンは任意の酸化状態
    で存在する請求項11に記載の水性めっき溶液。
  15. 【請求項15】 金属イオン(i)がすず(II)であ
    り、そして金属塩の金属が鉛である請求項14に記載の
    水性めっき溶液。
  16. 【請求項16】 酸(iii)が硫黄、燐、ハロゲンまた
    はそれらの混合物に基づく無機酸である請求項1に記載
    の水性めっき溶液並びに請求項3及び5に記載の方法。
  17. 【請求項17】 酸(iii)が1〜6個の炭素原子を有
    する有機モノカルボン酸またはジカルボン酸である請求
    項1に記載の水性めっき溶液並びに請求項3及び5に記
    載の方法。
  18. 【請求項18】 水性めっき溶液中に共溶媒が含まれる
    請求項1に記載の水性めっき溶液並びに請求項3及び5
    に記載の方法。
  19. 【請求項19】 水性めっき溶液中に尿素化合物、還元
    剤、キレート化剤、界面活性剤及びそれらの混合物から
    なる群より選ばれる添加剤が含まれる請求項1に記載の
    水性めっき溶液。
  20. 【請求項20】 基体金属面は少なくとも4ミクロンの
    厚さの回路を有する誘電体層支持体の少なくとも一つの
    面に接着されている電気的に導電性の銅回路の表面であ
    り、そして最も酸化された状態で存在する金属イオンは
    すず(II)イオンであり、錯化剤(ii)は1−メチル−
    3−プロピル−イミダゾール−2−チオンであり、酸
    (iii)は硫酸であり、遊離金属(iv)はすずであり、
    より高い酸化状態で存在する金属イオンはすず(IV)イ
    オンであり、そして錯体化された基体金属イオンは1−
    メチル−3−プロピル−イミダゾール−2−チオンの銅
    錯体である請求項4及び5に記載の水性めっき溶液及び
    めっき方法。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08255968A (ja) * 1994-12-09 1996-10-01 Alpha Metals Ltd プリント回路板の製造
JP2004277814A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Ishihara Chem Co Ltd 無電解スズメッキ浴の分割保存方法
JP2005023301A (ja) * 2003-04-30 2005-01-27 Mec Kk 接着層形成液、その液を用いた銅と樹脂の接着層の製造方法及びその積層体
JP2006037227A (ja) * 2004-06-25 2006-02-09 Ormecon Gmbh ウィスカ形成傾向の少ないスズ被覆プリント配線基板
DE102009031015A1 (de) 2008-07-02 2010-01-07 MEC COMPANY LTD., Amagasaki-shi Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit
USRE45175E1 (en) 1994-12-09 2014-10-07 Fry's Metals, Inc. Process for silver plating in printed circuit board manufacture
USRE45297E1 (en) 1996-03-22 2014-12-23 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface
USRE45842E1 (en) 1999-02-17 2016-01-12 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface
USRE45881E1 (en) 1996-03-22 2016-02-09 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5411595A (en) * 1993-07-13 1995-05-02 Mcgean-Rohco, Inc. Post-etch, printed circuit board cleaning process
US5554211A (en) * 1995-11-15 1996-09-10 Mcgean-Rohco, Inc. Aqueous electroless plating solutions
US5733599A (en) * 1996-03-22 1998-03-31 Macdermid, Incorporated Method for enhancing the solderability of a surface
US5928790A (en) * 1996-04-23 1999-07-27 Mcgean-Rohco, Inc. Multilayer circuit boards and processes of making the same
DE19755185B4 (de) * 1997-12-11 2004-04-08 Ami Doduco Gmbh Austausch Zinnbad
US6284309B1 (en) 1997-12-19 2001-09-04 Atotech Deutschland Gmbh Method of producing copper surfaces for improved bonding, compositions used therein and articles made therefrom
US6063172A (en) * 1998-10-13 2000-05-16 Mcgean-Rohco, Inc. Aqueous immersion plating bath and method for plating
US6645549B1 (en) 1999-04-22 2003-11-11 Parlex Corporation Process for providing bond enhancement and an etch resist in the fabrication of printed circuit boards
US6361823B1 (en) 1999-12-03 2002-03-26 Atotech Deutschland Gmbh Process for whisker-free aqueous electroless tin plating
US6551931B1 (en) 2000-11-07 2003-04-22 International Business Machines Corporation Method to selectively cap interconnects with indium or tin bronzes and/or oxides thereof and the interconnect so capped
SE519898C2 (sv) * 2001-09-10 2003-04-22 Obducat Ab Sätt att etsa koppar på kort samt anordning och elektrolyt för utförande av sättet
JP3851623B2 (ja) * 2003-02-07 2006-11-29 株式会社新潟グルメ 自動製パン器
US7037559B2 (en) * 2003-05-01 2006-05-02 International Business Machines Corporation Immersion plating and plated structures
DE102004003784B4 (de) * 2004-01-23 2011-01-13 Ormecon Gmbh Dispersion intrinsisch leitfähigen Polyanilins und deren Verwendung
US20060096867A1 (en) * 2004-11-10 2006-05-11 George Bokisa Tin alloy electroplating system
ES2354045T3 (es) * 2005-02-28 2011-03-09 Rohm And Haas Electronic Materials, Llc Procedimientos con fundente mejorados.
US8226807B2 (en) 2007-12-11 2012-07-24 Enthone Inc. Composite coatings for whisker reduction
US20090145764A1 (en) * 2007-12-11 2009-06-11 Enthone Inc. Composite coatings for whisker reduction
US7807572B2 (en) * 2008-01-04 2010-10-05 Freescale Semiconductor, Inc. Micropad formation for a semiconductor
US8278456B2 (en) * 2008-06-20 2012-10-02 University Of Georgia Research Foundation, Inc. Synthesis and stabilization of neutral compounds with homonuclear bonds
JP5522617B2 (ja) * 2008-11-05 2014-06-18 メック株式会社 接着層形成液及び接着層形成方法
EP2376678B1 (en) * 2009-01-14 2012-09-12 Atotech Deutschland GmbH Solution and process for increasing the solderability and corrosion resistance of a metal or metal alloy surface
EP2476779B1 (en) * 2011-01-13 2013-03-20 Atotech Deutschland GmbH Immersion tin or tin alloy plating bath with improved removal of cupurous ions

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2891871A (en) * 1956-09-21 1959-06-23 Westinghouse Electric Corp Tin immersion plating composition and process for using the same
US3303029A (en) * 1964-01-23 1967-02-07 Shipley Co Tin coating of copper surfaces by replacement plating
BE793769A (fr) * 1972-01-17 1973-05-02 Parker Ste Continentale Solution et procede pour former un depot de cuivre et d'etain sans utilisation de courant electrique
US3917486A (en) * 1973-07-24 1975-11-04 Kollmorgen Photocircuits Immersion tin bath composition and process for using same
US4027055A (en) * 1973-07-24 1977-05-31 Photocircuits Division Of Kollmorgan Corporation Process of tin plating by immersion
US3971861A (en) * 1974-10-25 1976-07-27 Handy Chemicals Limited Alloy plating system
US4194913A (en) * 1975-05-06 1980-03-25 Amp Incorporated Electroless tin and tin-lead alloy plating baths
US4301196A (en) * 1978-09-13 1981-11-17 Kollmorgen Technologies Corp. Electroless copper deposition process having faster plating rates
US4263106A (en) * 1979-12-31 1981-04-21 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Solder plating process
US4368223A (en) * 1981-06-01 1983-01-11 Asahi Glass Company, Ltd. Process for preparing nickel layer
FR2531103B1 (fr) * 1982-07-30 1985-11-22 Onera (Off Nat Aerospatiale) Bain pour le depot chimique de nickel et/ou de cobalt utilisant un reducteur a base de bore ou de phosphore
US4582576A (en) * 1985-03-26 1986-04-15 Mcgean-Rohco, Inc. Plating bath and method for electroplating tin and/or lead
US4749626A (en) * 1985-08-05 1988-06-07 Olin Corporation Whisker resistant tin coatings and baths and methods for making such coatings
US4715894A (en) * 1985-08-29 1987-12-29 Techno Instruments Investments 1983 Ltd. Use of immersion tin and tin alloys as a bonding medium for multilayer circuits
US4816070A (en) * 1985-08-29 1989-03-28 Techo Instruments Investments Ltd. Use of immersion tin and alloys as a bonding medium for multilayer circuits
US4657632A (en) * 1985-08-29 1987-04-14 Techno Instruments Investments 1983 Ltd. Use of immersion tin coating as etch resist
US4882202A (en) * 1985-08-29 1989-11-21 Techno Instruments Investments 1983 Ltd. Use of immersion tin and tin alloys as a bonding medium for multilayer circuits
US5143544A (en) * 1990-06-04 1992-09-01 Shipley Company Inc. Tin lead plating solution
JPH0713299B2 (ja) * 1990-10-22 1995-02-15 株式会社コサク 無電解はんだめっき浴組成物

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08255968A (ja) * 1994-12-09 1996-10-01 Alpha Metals Ltd プリント回路板の製造
USRE45175E1 (en) 1994-12-09 2014-10-07 Fry's Metals, Inc. Process for silver plating in printed circuit board manufacture
USRE45279E1 (en) 1994-12-09 2014-12-09 Fry's Metals, Inc. Process for silver plating in printed circuit board manufacture
US9072203B2 (en) 1994-12-09 2015-06-30 Enthone Inc. Solderability enhancement by silver immersion printed circuit board manufacture
USRE45297E1 (en) 1996-03-22 2014-12-23 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface
USRE45881E1 (en) 1996-03-22 2016-02-09 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface
USRE45842E1 (en) 1999-02-17 2016-01-12 Ronald Redline Method for enhancing the solderability of a surface
JP2004277814A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Ishihara Chem Co Ltd 無電解スズメッキ浴の分割保存方法
JP2005023301A (ja) * 2003-04-30 2005-01-27 Mec Kk 接着層形成液、その液を用いた銅と樹脂の接着層の製造方法及びその積層体
JP2006037227A (ja) * 2004-06-25 2006-02-09 Ormecon Gmbh ウィスカ形成傾向の少ないスズ被覆プリント配線基板
DE102009031015A1 (de) 2008-07-02 2010-01-07 MEC COMPANY LTD., Amagasaki-shi Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit

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Publication number Publication date
DE69218892D1 (de) 1997-05-15
MX9206785A (es) 1994-05-31
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IL103895A0 (en) 1993-04-04
JP3314966B2 (ja) 2002-08-19
CA2083197C (en) 1998-01-06
EP0545218A3 (en) 1994-10-12
DE69218892T2 (de) 1997-11-20
IL103895A (en) 1997-04-15
KR100292945B1 (ko) 2001-06-15
EP0545218B1 (en) 1997-04-09
KR930010225A (ko) 1993-06-22
CA2083197A1 (en) 1993-05-28

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