JPH05264205A - 磁気センサおよび磁気変位検出装置 - Google Patents
磁気センサおよび磁気変位検出装置Info
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- JPH05264205A JPH05264205A JP9475792A JP9475792A JPH05264205A JP H05264205 A JPH05264205 A JP H05264205A JP 9475792 A JP9475792 A JP 9475792A JP 9475792 A JP9475792 A JP 9475792A JP H05264205 A JPH05264205 A JP H05264205A
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- magnet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁束密度の変化を増幅し、高感度および高精
度の測定を可能にするとともに、ギャップが大きい場合
や油圧機器内での測定を可能にすること。 【構成】 磁気目盛２１の長手方向に一定の距離だけ離
して２個の棒状磁石１１、１２を極性を互いに逆にして
並置するとともに、棒状磁石１１、１２の上端間にヨー
ク１３を配設した閉磁路構造の磁石１と、磁石１の一方
の極Ｓの下部に近接して配置され一方の極の端面の面積
より小さな断面積を有し、磁石１による閉磁路に発生す
る磁束密度の変化を検出するセンサ３とから成る磁気セ
ンサ。相対的に移動し得る一対の部材４、５と、一方の
部材４に形成された磁気目盛４１により構成される磁気
スケール４２と、他方の部材５に配置された上記構造の
磁気センサ７とから成る磁気変位検出装置。
度の測定を可能にするとともに、ギャップが大きい場合
や油圧機器内での測定を可能にすること。 【構成】 磁気目盛２１の長手方向に一定の距離だけ離
して２個の棒状磁石１１、１２を極性を互いに逆にして
並置するとともに、棒状磁石１１、１２の上端間にヨー
ク１３を配設した閉磁路構造の磁石１と、磁石１の一方
の極Ｓの下部に近接して配置され一方の極の端面の面積
より小さな断面積を有し、磁石１による閉磁路に発生す
る磁束密度の変化を検出するセンサ３とから成る磁気セ
ンサ。相対的に移動し得る一対の部材４、５と、一方の
部材４に形成された磁気目盛４１により構成される磁気
スケール４２と、他方の部材５に配置された上記構造の
磁気センサ７とから成る磁気変位検出装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、変位量や変位速度等の
磁気的測定に用いられる磁気センサおよび磁気変位検出
装置に関するものである。
磁気的測定に用いられる磁気センサおよび磁気変位検出
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気センサは、図７に示すよう
に、磁気目盛Ｍに対して直角に配設した角柱の棒磁石Ｂ
と、棒磁石Ｂの下端のＳ極の近傍に配設したＳ極の面積
より小さなセンサＨとから成り、磁気目盛の相対的移動
に伴う磁束密度の変化を検出して、変位を検出するもの
である。
に、磁気目盛Ｍに対して直角に配設した角柱の棒磁石Ｂ
と、棒磁石Ｂの下端のＳ極の近傍に配設したＳ極の面積
より小さなセンサＨとから成り、磁気目盛の相対的移動
に伴う磁束密度の変化を検出して、変位を検出するもの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の磁気センサ
は、磁石Ｂが棒磁石でオープン型であるためセンサＨに
より検出できる磁束密度が小さいので、センサＨと磁気
目盛Ｍとのギャップが大きくなると読み取りが困難にな
り、そのため油圧機器の内部に組込んで測定することが
難しいという問題があった。
は、磁石Ｂが棒磁石でオープン型であるためセンサＨに
より検出できる磁束密度が小さいので、センサＨと磁気
目盛Ｍとのギャップが大きくなると読み取りが困難にな
り、そのため油圧機器の内部に組込んで測定することが
難しいという問題があった。
【０００４】本発明者らは、上記従来の有していた問題
点を解決するため、磁石を閉磁路構造にするという技術
思想に着眼し、研究開発を重ねた結果、磁束密度の変化
を増幅し、ギャップが大きい場合や油圧機器内での測定
を可能にする本発明に到達した。
点を解決するため、磁石を閉磁路構造にするという技術
思想に着眼し、研究開発を重ねた結果、磁束密度の変化
を増幅し、ギャップが大きい場合や油圧機器内での測定
を可能にする本発明に到達した。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の磁気センサは、磁気的性質の異なる帯状
の磁気的変位部を規則的に配列した磁気目盛の長手方向
に一定の距離だけ離して閉磁路構造の対向端を構成する
Ｎ極とＳ極を配設した磁石と、磁石の一方の極の下部に
近接して配設され一方の極の面積より小さな断面積を有
し、磁石により構成される閉磁路に発生する磁束密度の
変化を検出するセンサとから成るものである。
の第１発明）の磁気センサは、磁気的性質の異なる帯状
の磁気的変位部を規則的に配列した磁気目盛の長手方向
に一定の距離だけ離して閉磁路構造の対向端を構成する
Ｎ極とＳ極を配設した磁石と、磁石の一方の極の下部に
近接して配設され一方の極の面積より小さな断面積を有
し、磁石により構成される閉磁路に発生する磁束密度の
変化を検出するセンサとから成るものである。
【０００６】本発明（請求項２に記載の第２発明）の磁
気センサは、第１発明において、前記磁石が、前記磁気
目盛の長手方向に一定の距離だけ離して２個の棒状磁石
を極性を互いに逆にして並置するとともに、棒状磁石の
上端間にヨークを配設することにより閉磁路構造を構成
するものである。
気センサは、第１発明において、前記磁石が、前記磁気
目盛の長手方向に一定の距離だけ離して２個の棒状磁石
を極性を互いに逆にして並置するとともに、棒状磁石の
上端間にヨークを配設することにより閉磁路構造を構成
するものである。
【０００７】本発明（請求項３に記載の第３発明）の磁
気変位検出装置は、相対的に移動し得る一対の部材と、
前記一対の部材の一方の部材に磁気的性質の異なる帯状
の磁気的変位部を規則的に配列した磁気目盛を形成した
磁気スケールと、前記一対の部材の他方の部材に前記磁
気スケールの磁気目盛の長手方向に一定の距離だけ離し
て配設され閉磁路構造の対向端を構成するＮ極とＳ極を
配設した磁石と、前記他方の部材に前記磁石の一方の極
の下部に近接して配設され一方の極の面積より小さな断
面積を有し、前記一対の部材の相対動に応じて磁束密度
の変化を検出する磁気センサとから成るものである。
気変位検出装置は、相対的に移動し得る一対の部材と、
前記一対の部材の一方の部材に磁気的性質の異なる帯状
の磁気的変位部を規則的に配列した磁気目盛を形成した
磁気スケールと、前記一対の部材の他方の部材に前記磁
気スケールの磁気目盛の長手方向に一定の距離だけ離し
て配設され閉磁路構造の対向端を構成するＮ極とＳ極を
配設した磁石と、前記他方の部材に前記磁石の一方の極
の下部に近接して配設され一方の極の面積より小さな断
面積を有し、前記一対の部材の相対動に応じて磁束密度
の変化を検出する磁気センサとから成るものである。
【０００８】
【作用】上記構成より成る第１発明の磁気センサは、前
記磁石が閉磁路構造であり対向するＮ極およびＳ極の距
離が短いため、磁石のＮ極からでた磁束は集束してＳ極
に入るので、一方の極の下部に近接して配置したセンサ
により磁束密度の大きな変化を検出するものである。
記磁石が閉磁路構造であり対向するＮ極およびＳ極の距
離が短いため、磁石のＮ極からでた磁束は集束してＳ極
に入るので、一方の極の下部に近接して配置したセンサ
により磁束密度の大きな変化を検出するものである。
【０００９】上記構成より成る第２発明の磁気センサ
は、２個の棒磁石の極性を逆にして並置するとともに上
端間をヨークで接続することにより、閉磁路構造を構成
するものであるため、対向するＮ極およびＳ極の距離が
短いので、磁石のＮ極から出来た磁束は集束してＳ極に
入るため、一方の極の下部に近接して配置したセンサに
より磁束密度の大きな変化を検出するものである。
は、２個の棒磁石の極性を逆にして並置するとともに上
端間をヨークで接続することにより、閉磁路構造を構成
するものであるため、対向するＮ極およびＳ極の距離が
短いので、磁石のＮ極から出来た磁束は集束してＳ極に
入るため、一方の極の下部に近接して配置したセンサに
より磁束密度の大きな変化を検出するものである。
【００１０】上記構成より成る第３発明の磁気変位検出
装置は、前記磁石が閉磁路構造であり対向するＮ極およ
びＳ極の距離が短いため、磁石のＮ極から出た磁束は集
束してＳ極に入るので、一方の極の下部に近接して配置
したセンサにより、前記一対の部材および磁気スケール
の相対動に応じて磁束密度の変化を検出するものであ
る。
装置は、前記磁石が閉磁路構造であり対向するＮ極およ
びＳ極の距離が短いため、磁石のＮ極から出た磁束は集
束してＳ極に入るので、一方の極の下部に近接して配置
したセンサにより、前記一対の部材および磁気スケール
の相対動に応じて磁束密度の変化を検出するものであ
る。
【００１１】
【発明の効果】上記作用を奏する第１発明の磁気センサ
は、従来の磁気センサに比べ磁束密度の大きな変化を検
出するものであるため、高感度な検出を可能とし、ギャ
ップが大きい場合や油圧機器内での測定を可能にすると
いう効果を奏する。
は、従来の磁気センサに比べ磁束密度の大きな変化を検
出するものであるため、高感度な検出を可能とし、ギャ
ップが大きい場合や油圧機器内での測定を可能にすると
いう効果を奏する。
【００１２】上記作用を奏する第２発明の磁気センサ
は、従来の磁気センサに比べ２個分の磁石によりしかも
Ｎ極およびＳ極の距離が短いため、一層磁束密度の大き
な変化を検出するものであるため、より高感度な検出を
可能とし、ギャップが大きい場合や油圧機器内での測定
を可能にするという効果を奏する。
は、従来の磁気センサに比べ２個分の磁石によりしかも
Ｎ極およびＳ極の距離が短いため、一層磁束密度の大き
な変化を検出するものであるため、より高感度な検出を
可能とし、ギャップが大きい場合や油圧機器内での測定
を可能にするという効果を奏する。
【００１３】上記作用を奏する第３発明の磁気変位検出
装置は、従来装置に比べ磁束密度の大きな変化を検出す
るものであるため、高感度な検出を可能とするので、セ
ンサと磁気スケールおよび磁気目盛とのギャップが大き
い場合や、一対の部材が油圧機器内の油中に配置されて
も測定を可能にするという効果を奏する。
装置は、従来装置に比べ磁束密度の大きな変化を検出す
るものであるため、高感度な検出を可能とするので、セ
ンサと磁気スケールおよび磁気目盛とのギャップが大き
い場合や、一対の部材が油圧機器内の油中に配置されて
も測定を可能にするという効果を奏する。
【００１４】
【実施例】以下本発明の実施例につき、図面を用いて説
明する。
明する。
【００１５】（第１実施例）第１実施例の磁気センサ
は、図１に示すように磁気スケール２を構成する磁性材
より成る帯状の平板に幅方向に等間隔に形成された非磁
性の磁気目盛２１に対向して、その長手方向に一定の距
離だけ離して２個の矩形の棒磁石１１、１２を極性を互
いに逆にして配設し、各上端にヨーク１３を配設して閉
磁路構造の磁石手段１を配設するとともに、図１中右側
の棒磁石１２のＳ極端面の下部に配設した部材内にＳ極
端面の面積より充分小さなホール素子より成るセンサ３
を配設するもので、この磁石手段１およびセンサ３と磁
気スケール２との相対的変位を磁石手段１および磁気ス
ケール２に発生する磁束の密度変化により検出するもの
である。
は、図１に示すように磁気スケール２を構成する磁性材
より成る帯状の平板に幅方向に等間隔に形成された非磁
性の磁気目盛２１に対向して、その長手方向に一定の距
離だけ離して２個の矩形の棒磁石１１、１２を極性を互
いに逆にして配設し、各上端にヨーク１３を配設して閉
磁路構造の磁石手段１を配設するとともに、図１中右側
の棒磁石１２のＳ極端面の下部に配設した部材内にＳ極
端面の面積より充分小さなホール素子より成るセンサ３
を配設するもので、この磁石手段１およびセンサ３と磁
気スケール２との相対的変位を磁石手段１および磁気ス
ケール２に発生する磁束の密度変化により検出するもの
である。
【００１６】上記構成および作用を奏する第１実施例の
磁気センサは、一方の棒磁石１１からヨーク１３を介し
て他方の棒磁石１２への閉磁路が構成されるので、従来
のセンサに比べ磁束が集束されるので棒磁石１２の下方
に配置したセンサ３により図２に示すように２倍以上有
効に磁束密度の変化を検出するため、センサ３と磁気ス
ケール２とのギャップが大きい場合や油圧機器内におけ
る測定を可能にするという効果を奏する。
磁気センサは、一方の棒磁石１１からヨーク１３を介し
て他方の棒磁石１２への閉磁路が構成されるので、従来
のセンサに比べ磁束が集束されるので棒磁石１２の下方
に配置したセンサ３により図２に示すように２倍以上有
効に磁束密度の変化を検出するため、センサ３と磁気ス
ケール２とのギャップが大きい場合や油圧機器内におけ
る測定を可能にするという効果を奏する。
【００１７】（第２実施例）第２実施例は、第２発明お
よび第３発明の実施例に相当するもので、磁気センサお
よびこの磁気センサを利用した油圧機器内における磁気
変位検出装置（以下単に磁気変位検出装置と言う）に関
するものである。
よび第３発明の実施例に相当するもので、磁気センサお
よびこの磁気センサを利用した油圧機器内における磁気
変位検出装置（以下単に磁気変位検出装置と言う）に関
するものである。
【００１８】（第２実施例の構成）第２実施例の磁気変
位検出装置は、図３および図４に示すように磁気スケー
ルを形成した軸方向に移動可能な中空円筒体４と、中空
円筒体４内に同軸的に固定されたロッド５と、ロッド５
の先端に配設され中空円筒体４に介挿されたピストン６
と、ピストン６の外周壁に配設された磁気センサ７とか
ら成る。
位検出装置は、図３および図４に示すように磁気スケー
ルを形成した軸方向に移動可能な中空円筒体４と、中空
円筒体４内に同軸的に固定されたロッド５と、ロッド５
の先端に配設され中空円筒体４に介挿されたピストン６
と、ピストン６の外周壁に配設された磁気センサ７とか
ら成る。
【００１９】中空円筒体４は、移動する部材（図示せ
ず）に係止された非磁性鋼より成り、その内周壁に等間
隔に磁性化されたベルト状の磁気目盛４１が形成され、
磁気スケール４２を構成し、内部にオイルが充填されて
いる。
ず）に係止された非磁性鋼より成り、その内周壁に等間
隔に磁性化されたベルト状の磁気目盛４１が形成され、
磁気スケール４２を構成し、内部にオイルが充填されて
いる。
【００２０】ロッド５は、固定されている部材（図示せ
ず）に係止された棒状部材５０で、内部に後述する磁気
センサ７のリード線が配設されている。
ず）に係止された棒状部材５０で、内部に後述する磁気
センサ７のリード線が配設されている。
【００２１】ピストン６は、ロッド５の先端に形成され
たピストン本体６０で構成され、オイルの通過量を制御
する絞り（図示せず）および磁気センサ７を配設する凹
部６１が形成されている。
たピストン本体６０で構成され、オイルの通過量を制御
する絞り（図示せず）および磁気センサ７を配設する凹
部６１が形成されている。
【００２２】磁気センサ７は、オイルに直接接触しない
ようにピストン６の外周壁から若干内方の凹部６１内に
部材により全体を包囲して配設されており、図４に示す
ように２個の矩形の棒磁石７１、７２を極性を互いに逆
にして一定の距離だけ離して平行に配設し、左端にヨー
ク７３を配設して閉磁路構造の磁石手段７０を構成し、
上側の棒磁石７２のＳ極端面の右方にＳ極端面の面積よ
り充分小さなホール素子で構成されたセンサ７４が配設
されている。
ようにピストン６の外周壁から若干内方の凹部６１内に
部材により全体を包囲して配設されており、図４に示す
ように２個の矩形の棒磁石７１、７２を極性を互いに逆
にして一定の距離だけ離して平行に配設し、左端にヨー
ク７３を配設して閉磁路構造の磁石手段７０を構成し、
上側の棒磁石７２のＳ極端面の右方にＳ極端面の面積よ
り充分小さなホール素子で構成されたセンサ７４が配設
されている。
【００２３】上記磁気スケール４２を構成する中空円筒
体４は、ＳＵＳ３０４の非磁性の帯鋼に炭酸ガスレーザ
溶接機により、アルゴン９５％酸素５％のアシストガス
を毎分３５リットル供給する中で、鉄を供給してレーザ
照射して鉄がリッチで磁性の高い磁気目盛２２Ｍを構成
する２mmの改質部および２mmの非改質部を等間隔に形成
する。
体４は、ＳＵＳ３０４の非磁性の帯鋼に炭酸ガスレーザ
溶接機により、アルゴン９５％酸素５％のアシストガス
を毎分３５リットル供給する中で、鉄を供給してレーザ
照射して鉄がリッチで磁性の高い磁気目盛２２Ｍを構成
する２mmの改質部および２mmの非改質部を等間隔に形成
する。
【００２４】レーザ改質部が形成された帯鋼を光輝焼鈍
炉（図示せず）内で６００℃で２４時間徐冷しレーザ改
質部の改質ビード部を軟化研削する。ビード研削された
帯鋼は、圧延機に３回通して例えば１．６mmの厚さに調
整して、上述と同様に軟化焼鈍する。
炉（図示せず）内で６００℃で２４時間徐冷しレーザ改
質部の改質ビード部を軟化研削する。ビード研削された
帯鋼は、圧延機に３回通して例えば１．６mmの厚さに調
整して、上述と同様に軟化焼鈍する。
【００２５】焼鈍された圧延帯鋼は、電縫管製造機によ
り曲げられ管状とされ両端を電気的に溶着して造管し、
外径３８．１mm内径３４．９mmのパイプに成形し、ＴＩ
Ｇ溶接機により溶着部を溶接する。
り曲げられ管状とされ両端を電気的に溶着して造管し、
外径３８．１mm内径３４．９mmのパイプに成形し、ＴＩ
Ｇ溶接機により溶着部を溶接する。
【００２６】溶接されたパイプが、光輝焼鈍炉内で５５
０℃で２時間徐冷され溶接部の歪を取った後、さらにパ
イプ引抜機により、樹脂による前処理を行い油潤滑をし
て引き抜かれた後、上述と同様に軟化焼鈍される。
０℃で２時間徐冷され溶接部の歪を取った後、さらにパ
イプ引抜機により、樹脂による前処理を行い油潤滑をし
て引き抜かれた後、上述と同様に軟化焼鈍される。
【００２７】軟化焼鈍された引抜きパイプは、さらにパ
イプ引抜機（図示せず）により同様にして最終的に外径
３４．６mm、内径３２．０mmに引き抜かれ、光輝焼鈍炉
において１０５０℃で２時間保持した後１００℃まで徐
冷し、再び６００℃で２４時間焼鈍して、２mmピッチの
磁気目盛４１が形成された上記磁気スケール４２を内周
壁に形成した中空円筒体４が製造される。
イプ引抜機（図示せず）により同様にして最終的に外径
３４．６mm、内径３２．０mmに引き抜かれ、光輝焼鈍炉
において１０５０℃で２時間保持した後１００℃まで徐
冷し、再び６００℃で２４時間焼鈍して、２mmピッチの
磁気目盛４１が形成された上記磁気スケール４２を内周
壁に形成した中空円筒体４が製造される。
【００２８】（第２実施例の作用）上記構成より成る第
２実施例の磁気変位検出装置は、移動部材が移動して磁
気スケール４２を形成した中空円筒体４が軸方向に上下
動すると、ピストン６の外周に配設した磁気センサ７と
の相対的位置関係が変化するが、磁石手段７０が閉磁路
構造のため図１に示すような閉磁路が構成され、図２に
示すように従来に比べ大きな磁束変化として磁気センサ
７のホール素子７４により検出して、リード線により取
り出すものである。
２実施例の磁気変位検出装置は、移動部材が移動して磁
気スケール４２を形成した中空円筒体４が軸方向に上下
動すると、ピストン６の外周に配設した磁気センサ７と
の相対的位置関係が変化するが、磁石手段７０が閉磁路
構造のため図１に示すような閉磁路が構成され、図２に
示すように従来に比べ大きな磁束変化として磁気センサ
７のホール素子７４により検出して、リード線により取
り出すものである。
【００２９】（第２実施例の効果）上記作用を奏する第
２実施例の磁気変位検出装置は、中空円筒体４の移動お
よび変位をホール素子７４により大きな磁束変化として
高感度で検出するので、高分解能で高精度な検出を可能
にするという効果を奏する。
２実施例の磁気変位検出装置は、中空円筒体４の移動お
よび変位をホール素子７４により大きな磁束変化として
高感度で検出するので、高分解能で高精度な検出を可能
にするという効果を奏する。
【００３０】また、第２実施例装置は、高感度な検出を
可能にするので、本実施例のようなセンサと磁気スケー
ル４２とのギャップが大きく且つオイルが充填されてい
る場での測定を可能にするという効果を奏する。すなわ
ち、センサ部とスケール部とのギャップを大きくとるこ
とができるとともに、ロッド５を車体に係止して、中空
円筒体４を車軸に係止してアブソーバ内に配置する自動
車用のショックアブソーバ内での使用を可能にするもの
である。
可能にするので、本実施例のようなセンサと磁気スケー
ル４２とのギャップが大きく且つオイルが充填されてい
る場での測定を可能にするという効果を奏する。すなわ
ち、センサ部とスケール部とのギャップを大きくとるこ
とができるとともに、ロッド５を車体に係止して、中空
円筒体４を車軸に係止してアブソーバ内に配置する自動
車用のショックアブソーバ内での使用を可能にするもの
である。
【００３１】（第３実施例）第３実施例の磁気センサ
は、図５に示すように第１実施例の磁気センサのヨーク
１３の代わりにもう１つの棒磁石１４を配設するもの
で、棒磁石１４を追設する分だけコスト高にはなるが、
磁束密度が増えるのでそれだけ高感度な測定を可能にす
るという作用効果を奏する。
は、図５に示すように第１実施例の磁気センサのヨーク
１３の代わりにもう１つの棒磁石１４を配設するもの
で、棒磁石１４を追設する分だけコスト高にはなるが、
磁束密度が増えるのでそれだけ高感度な測定を可能にす
るという作用効果を奏する。
【００３２】（第４実施例）第４実施例の磁気センサ
は、図６に示すように第３実施例の３個の棒磁石１１、
１２、１４を１個のコの字状又はＵ字状の磁石１５に変
更するもので、各磁石間のギャップが無いので効率が向
上し、より一層高感度な測定を可能にするという作用効
果を奏する。
は、図６に示すように第３実施例の３個の棒磁石１１、
１２、１４を１個のコの字状又はＵ字状の磁石１５に変
更するもので、各磁石間のギャップが無いので効率が向
上し、より一層高感度な測定を可能にするという作用効
果を奏する。
【００３３】上述の実施例は、説明のために例示したも
ので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲の記載から当業者が認識する技術思
想に反しない限り変更および付加が可能である。
ので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲の記載から当業者が認識する技術思
想に反しない限り変更および付加が可能である。
【００３４】上述の第２実施例では、オイルが充填され
るのでセンサを包囲したが、空気の場合は、露出しても
良く、外周部に形成しても良い。
るのでセンサを包囲したが、空気の場合は、露出しても
良く、外周部に形成しても良い。
【００３５】上述の第２実施例では、磁気スケールの改
質部と非改質部を同じ幅にしたが異なる幅にすることも
可能である。
質部と非改質部を同じ幅にしたが異なる幅にすることも
可能である。
【図１】本発明の第１実施例の磁気センサを示す斜視図
である。
である。
【図２】第１実施例の磁気センサと従来のセンサの磁束
密度の比較を示す線図である。
密度の比較を示す線図である。
【図３】第２実施例の磁気変位検出装置を示す縦断面図
である。
である。
【図４】第２実施例の磁気変位検出装置の図３における
Ａ−Ａ線に沿う横断面図である。
Ａ−Ａ線に沿う横断面図である。
【図５】第３実施例の磁気センサを示す斜視図である。
【図６】第４実施例の磁気センサを示す斜視図である。
【図７】従来の磁気センサを示す斜視図である。
１、７０ 磁石手段 ２、４２ 磁気スケール ３ センサ ４ 中空円筒体 ５ ロッド ６ ピストン ７ 磁気センサ ２１、４１ 磁気目盛
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気的性質の異なる帯状の磁気的変位部
を規則的に配列した磁気目盛の長手方向に一定の距離だ
け離して閉磁路構造の対向端を構成するＮ極とＳ極を配
設した磁石と、 磁石の一方の極の下部に近接して配設され一方の極の面
積より小さな断面積を有し、磁石により構成される閉磁
路に発生する磁束密度の変化を検出するセンサとから成
ることを特徴とする磁気センサ。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記磁石が、前記磁気目盛の長手方向に一定の距離だけ
離して２個の棒状磁石を極性を互いに逆にして並置する
とともに、棒状磁石の上端間にヨークを配設することに
より閉磁路構造を構成することを特徴とする磁気セン
サ。 - 【請求項３】 相対的に移動し得る一対の部材と、 前記一対の部材の一方の部材に磁気的性質の異なる帯状
の磁気的変位部を規則的に配列した磁気目盛を形成した
磁気スケールと、 前記一対の部材の他方の部材に前記磁気スケールの磁気
目盛の長手方向に一定の距離だけ離して配設され閉磁路
構造の対向端を構成するＮ極とＳ極を配設した磁石と、 前記他方の部材に前記磁石の一方の極の下部に近接して
配設され一方の極の面積より小さな断面積を有し、前記
一対の部材の相対動に応じて磁束密度の変化を検出する
磁気センサとから成ることを特徴とする磁気変位検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9475792A JPH05264205A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 磁気センサおよび磁気変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9475792A JPH05264205A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 磁気センサおよび磁気変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264205A true JPH05264205A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=14118979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9475792A Pending JPH05264205A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 磁気センサおよび磁気変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05264205A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107339287A (zh) * | 2017-07-27 | 2017-11-10 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于测量水下压力补偿器活塞行程的装置及方法 |
-
1992
- 1992-03-20 JP JP9475792A patent/JPH05264205A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107339287A (zh) * | 2017-07-27 | 2017-11-10 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于测量水下压力补偿器活塞行程的装置及方法 |
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