JPH0526627A - 光音響信号測定用開放型セル - Google Patents
光音響信号測定用開放型セルInfo
- Publication number
- JPH0526627A JPH0526627A JP3182578A JP18257891A JPH0526627A JP H0526627 A JPH0526627 A JP H0526627A JP 3182578 A JP3182578 A JP 3182578A JP 18257891 A JP18257891 A JP 18257891A JP H0526627 A JPH0526627 A JP H0526627A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- sample
- acoustic signal
- microphone
- cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 12
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 13
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010895 photoacoustic effect Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、試料のオンライン測定を可能にす
る開放型の光音響信号測定用セルを提供するものであ
る。 【構成】 マイクロホンを内蔵したセル本体と、前記セ
ル本体に装着された石英ガラス筒と前記石英ガラス筒の
外部に設置され変調したレーザ光を投光するレーザ光源
とを具え前記石英ガラス筒の内面を開口部が縮小するテ
ーパ状に形成し、前記レーザ光を石英ガラス筒壁を透過
して開口部の試料面に投射し、試料面から発生する音響
信号を前記マイクロホンで測定するように構成した光音
響信号測定用開放型セル。
る開放型の光音響信号測定用セルを提供するものであ
る。 【構成】 マイクロホンを内蔵したセル本体と、前記セ
ル本体に装着された石英ガラス筒と前記石英ガラス筒の
外部に設置され変調したレーザ光を投光するレーザ光源
とを具え前記石英ガラス筒の内面を開口部が縮小するテ
ーパ状に形成し、前記レーザ光を石英ガラス筒壁を透過
して開口部の試料面に投射し、試料面から発生する音響
信号を前記マイクロホンで測定するように構成した光音
響信号測定用開放型セル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光音響効果を利用した
非接触膜厚測定及び物性測定に使用するセルに関する。
非接触膜厚測定及び物性測定に使用するセルに関する。
【０００２】
【従来の技術】光音響効果を利用した膜厚及び物性測定
では、密閉型セルが従来から使用されてきた。その構造
を図２に示す。レーザ１０１から出た光は、チョッパー
１０２により変調され、レンズ１０４で集光し、石英ガ
ラス１０５を透過して、試料１０６に入射する。試料か
ら発生した音波は、セル１０７内部の通路を伝わってマ
イク１０８で検出され、プリアンプ１０９とロックイン
アンプ１１０で増幅され、パーソナルコンピュタ１１１
で処理される。
では、密閉型セルが従来から使用されてきた。その構造
を図２に示す。レーザ１０１から出た光は、チョッパー
１０２により変調され、レンズ１０４で集光し、石英ガ
ラス１０５を透過して、試料１０６に入射する。試料か
ら発生した音波は、セル１０７内部の通路を伝わってマ
イク１０８で検出され、プリアンプ１０９とロックイン
アンプ１１０で増幅され、パーソナルコンピュタ１１１
で処理される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術には次
のような問題点がある。試料をセル内に密閉しているた
め、測定対象は大幅に制限される。この制約は、測定対
象物の大きさを限定するだけでなくオンライン測定の可
能性をも否定することになる。
のような問題点がある。試料をセル内に密閉しているた
め、測定対象は大幅に制限される。この制約は、測定対
象物の大きさを限定するだけでなくオンライン測定の可
能性をも否定することになる。
【０００４】本発明は、試料のオンライン測定を可能に
する開放型の光音響信号測定用セルを提供することを目
的とするものである。
する開放型の光音響信号測定用セルを提供することを目
的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従来使用されていた密閉
型セルでは、試料室とマイクロフォン室は通路で連結さ
れており、外部から密閉されていた。そこで、試料室と
マイクロフォン室を１体とし、外部とは密閉しない構造
とする。このため、試料に近い部分のセルの材質は、石
英ガラスを用いレーザ光の導入を容易にする。さらに、
発生した音波をマイクロホンで集音する部分の体積をで
きるだけ小さくするため石英ガラス筒の内側にテーパを
つける。
型セルでは、試料室とマイクロフォン室は通路で連結さ
れており、外部から密閉されていた。そこで、試料室と
マイクロフォン室を１体とし、外部とは密閉しない構造
とする。このため、試料に近い部分のセルの材質は、石
英ガラスを用いレーザ光の導入を容易にする。さらに、
発生した音波をマイクロホンで集音する部分の体積をで
きるだけ小さくするため石英ガラス筒の内側にテーパを
つける。
【０００６】
【作用】試料に近い部分のセルの材質として石英ガラス
を用いたことにより外部からのレーザ光の導入が容易に
なる。さらに集音部の内側に試料面に向かって縮小する
テーパをつけたことにより集音部の体積が小さくなり、
音響信号をより感度良く検出できる。
を用いたことにより外部からのレーザ光の導入が容易に
なる。さらに集音部の内側に試料面に向かって縮小する
テーパをつけたことにより集音部の体積が小さくなり、
音響信号をより感度良く検出できる。
【０００７】
【実施例】Ａｒイオンレーザ１０１から出射したレーザ
光をチョッパー１０２で変調し、光ファイバー１０３に
導入する。ファイバー１０３から出た光はレンズ１０４
により集光され石英ガラス筒１０５ａを透過して試料１
０６に入射する。発生した音波はセル１０７ａ内に固定
したマイクロホン１０８で検出しプリアンプ１０９で増
幅した後ロックインアンプ１１０で測定しパーソナルコ
ンピュータ１１１によりデータ処理する。
光をチョッパー１０２で変調し、光ファイバー１０３に
導入する。ファイバー１０３から出た光はレンズ１０４
により集光され石英ガラス筒１０５ａを透過して試料１
０６に入射する。発生した音波はセル１０７ａ内に固定
したマイクロホン１０８で検出しプリアンプ１０９で増
幅した後ロックインアンプ１１０で測定しパーソナルコ
ンピュータ１１１によりデータ処理する。
【０００８】石英ガラス筒１０５ａの内面を試料１０６
に対向する下端の開部部１０５ｂに向けて縮小したテー
パ状にすることにより試料１０６面からマイクロホン１
０８に至る集音部の体積が小さくなりマイクロホン１０
８による測定精度が向上する。
に対向する下端の開部部１０５ｂに向けて縮小したテー
パ状にすることにより試料１０６面からマイクロホン１
０８に至る集音部の体積が小さくなりマイクロホン１０
８による測定精度が向上する。
【０００９】
【発明の効果】本発明による光音響信号測定用開放型セ
ルはマイクロホンを内蔵したセル本体と、前記セル本体
に装着された石英ガラス筒と前記石英ガラス筒の外部に
設置されチョッパーにより変調したレーザ光を投光する
レーザ光源とを具え前記石英ガラス筒の内面を開口部が
縮小するテーパ状に形成し前記レーザ光を石英ガラス筒
壁を透過して開口部の試料面に投射し、試料面から発生
する音響信号を前記マイクロホンで測定するように構成
したことにより次の効果を有する。
ルはマイクロホンを内蔵したセル本体と、前記セル本体
に装着された石英ガラス筒と前記石英ガラス筒の外部に
設置されチョッパーにより変調したレーザ光を投光する
レーザ光源とを具え前記石英ガラス筒の内面を開口部が
縮小するテーパ状に形成し前記レーザ光を石英ガラス筒
壁を透過して開口部の試料面に投射し、試料面から発生
する音響信号を前記マイクロホンで測定するように構成
したことにより次の効果を有する。
【００１０】従来技術では密閉型を使用していたため測
定対象の大きさは制限され光音響信号を測定できる試料
は限定されていたが本発明による開放型セルを用いるこ
とにより、どのような大きさの試料に対しても光音響信
号の検出が可能となり、膜厚や物性値のオンライン測定
が可能になる。
定対象の大きさは制限され光音響信号を測定できる試料
は限定されていたが本発明による開放型セルを用いるこ
とにより、どのような大きさの試料に対しても光音響信
号の検出が可能となり、膜厚や物性値のオンライン測定
が可能になる。
【図１】本発明の実施例の構成を示す縦断面図である。
【図２】従来の密閉型セルの構成を示す縦断面図であ
る。
る。
１０１ Ａｒイオンレーザ １０２ チョッパー １０５ａ 石英ガラス筒 １０５ｂ 開口部 １０７ａ セル本体 １０８ マイクロホン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 マイクロホンを内蔵したセル本体と、前
記セル本体に装着された石英ガラス筒と、前記石英ガラ
ス筒の外部に設置されチョッパーにより変調したレーザ
光を投光するレーザ光源とを具え、前記石英ガラス筒の
内面を開口部が縮小するテーパ状に形成し、前記レーザ
光を石英ガラス筒壁を透過して開口部の試料面に投射
し、試料面から発生する音響信号を前記マイクロホンで
測定するように構成したことを特徴とする光音響信号測
定用開放型セル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3182578A JPH0526627A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 光音響信号測定用開放型セル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3182578A JPH0526627A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 光音響信号測定用開放型セル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526627A true JPH0526627A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16120738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3182578A Withdrawn JPH0526627A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 光音響信号測定用開放型セル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526627A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005030151B3 (de) * | 2005-06-28 | 2006-11-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Photoakustischer Freifelddetektor |
| EP3278104A4 (en) * | 2015-04-02 | 2019-02-27 | The Curators of the University of Missouri | PHOTOACUSTIC FLOW CELL FOR IDENTIFYING RARE ANALYSTS IN SUSPENSION |
-
1991
- 1991-07-23 JP JP3182578A patent/JPH0526627A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005030151B3 (de) * | 2005-06-28 | 2006-11-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Photoakustischer Freifelddetektor |
| EP3278104A4 (en) * | 2015-04-02 | 2019-02-27 | The Curators of the University of Missouri | PHOTOACUSTIC FLOW CELL FOR IDENTIFYING RARE ANALYSTS IN SUSPENSION |
| US10859536B2 (en) | 2015-04-02 | 2020-12-08 | The Curators Of The University Of Missouri | Photoacoustic flow cell for identification of rare analytes in suspension |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |