JPH05267752A - 内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管 - Google Patents
内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管Info
- Publication number
- JPH05267752A JPH05267752A JP6294992A JP6294992A JPH05267752A JP H05267752 A JPH05267752 A JP H05267752A JP 6294992 A JP6294992 A JP 6294992A JP 6294992 A JP6294992 A JP 6294992A JP H05267752 A JPH05267752 A JP H05267752A
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- JP
- Japan
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- mirror
- laser tube
- vacuum envelope
- output
- discharge
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- Withdrawn
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
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- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管において、熱膨
張差による真空外囲器のたわみを一定に保ち、ミラーの
位置ずれをなくし、放電開始時と安定時との出力差をお
さえる。 【構成】内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管の真空外囲器１
に、真空外囲器１を加熱するための予備加熱機構１４を
設ける。これにより、真空外囲器１の上・下部の熱膨張
を調整し、真空外囲器１のたわみを一定に保ち、ミラー
３とミラー８との位置ずれを防止し、一定の出力を得ら
れる。
張差による真空外囲器のたわみを一定に保ち、ミラーの
位置ずれをなくし、放電開始時と安定時との出力差をお
さえる。 【構成】内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管の真空外囲器１
に、真空外囲器１を加熱するための予備加熱機構１４を
設ける。これにより、真空外囲器１の上・下部の熱膨張
を調整し、真空外囲器１のたわみを一定に保ち、ミラー
３とミラー８との位置ずれを防止し、一定の出力を得ら
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は内部ミラーＨｅ−Ｎｅレ
ーザ管に係り、特にレーザ管の出力ドリフト特性を改善
した内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管に関する。
ーザ管に係り、特にレーザ管の出力ドリフト特性を改善
した内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来技術による内部ミラーＨｅ−
Ｎｅレーザ管を示す。図３によれば、真空外囲器１の一
端にはミラー支持体２が封着され、その先にはミラー３
が低融点ガラス４で封着されている。更にミラー支持体
２には、カソード支持体５によってカソード６が接続さ
れている。真空外囲器１の他端にはアノードを兼ねたミ
ラー支持体７が封着され、その先にミラー８が低融点ガ
ラス４で封着されている。更に、ミラー支持体７にはア
ノード隔壁９を介して細管１０が融着されている。更に
細管１０の途中には細管１０を支持するための細管支持
ばね１１が設けられている。
Ｎｅレーザ管を示す。図３によれば、真空外囲器１の一
端にはミラー支持体２が封着され、その先にはミラー３
が低融点ガラス４で封着されている。更にミラー支持体
２には、カソード支持体５によってカソード６が接続さ
れている。真空外囲器１の他端にはアノードを兼ねたミ
ラー支持体７が封着され、その先にミラー８が低融点ガ
ラス４で封着されている。更に、ミラー支持体７にはア
ノード隔壁９を介して細管１０が融着されている。更に
細管１０の途中には細管１０を支持するための細管支持
ばね１１が設けられている。
【０００３】このような内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管
においてカソード６とアノードを兼ねたミラー支持体７
との間に数ｋＶの電圧を印加すると管内放電が生じ、ミ
ラー８より出力（レーザ光）が発生する。この管内放電
で熱が発生し、対流の関係で図３の真空外囲器１の上部
側が下部側より高温になる。この温度差により真空外囲
器１の上部側と下部側とに熱膨張差を生じ真空外囲器１
がたわみ、ミラー３とミラー８とに位置ずれが生じ出力
が低下する。そこで真空外囲器１等が温度飽和した時点
でミラー３とミラー８との位置出しを行い出力が最大に
なるように調整している。
においてカソード６とアノードを兼ねたミラー支持体７
との間に数ｋＶの電圧を印加すると管内放電が生じ、ミ
ラー８より出力（レーザ光）が発生する。この管内放電
で熱が発生し、対流の関係で図３の真空外囲器１の上部
側が下部側より高温になる。この温度差により真空外囲
器１の上部側と下部側とに熱膨張差を生じ真空外囲器１
がたわみ、ミラー３とミラー８とに位置ずれが生じ出力
が低下する。そこで真空外囲器１等が温度飽和した時点
でミラー３とミラー８との位置出しを行い出力が最大に
なるように調整している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来技術による内
部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管では、放電開始から数時間
動作後、各部の温度が飽和した時点でミラー３とミラー
８との位置出しを行い、出力が最大になるように調整し
ているので、放電開始時の出力とで大きな差が生じる。
部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管では、放電開始から数時間
動作後、各部の温度が飽和した時点でミラー３とミラー
８との位置出しを行い、出力が最大になるように調整し
ているので、放電開始時の出力とで大きな差が生じる。
【０００５】したがって、このような従来技術の内部ミ
ラーＨｅ−Ｎｅレーザ管の使用においては、動作開始か
ら安定するまでの出力変差はやむおえない。また、使用
開始から一定な出力が必要な場合はレーザ管を事前に数
時間動作させて使用しなければならないという問題点が
あった。
ラーＨｅ−Ｎｅレーザ管の使用においては、動作開始か
ら安定するまでの出力変差はやむおえない。また、使用
開始から一定な出力が必要な場合はレーザ管を事前に数
時間動作させて使用しなければならないという問題点が
あった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の内部ミラーＨｅ
−Ｎｅレーザ管は、従来の構成に加えて、真空外囲器１
の外周部に予備加熱機構を備えている。
−Ｎｅレーザ管は、従来の構成に加えて、真空外囲器１
の外周部に予備加熱機構を備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の内部ミラーＨｅ−Ｎｅレ
ーザ管の断面図である。ここでレーザ管の構成について
は従来技術と同じであるが、真空外囲器１の上部側の外
周に沿ってヒータ１２を絶縁材でポッティングしたヒー
タ支持体１３とで構成された予備加熱機構１４が設けら
れている。
る。図１は本発明の一実施例の内部ミラーＨｅ−Ｎｅレ
ーザ管の断面図である。ここでレーザ管の構成について
は従来技術と同じであるが、真空外囲器１の上部側の外
周に沿ってヒータ１２を絶縁材でポッティングしたヒー
タ支持体１３とで構成された予備加熱機構１４が設けら
れている。
【０００８】このような構成において、放電開始時にヒ
ータ１２に電圧を印加し、真空外囲器１の上部側を加熱
して、真空外囲器１にたわみをもたせてミラー３とミラ
ー８との位置ずれのない状態にしておき、放電が進み対
流の関係で真空外囲器１の上部側が熱くなってきた時は
それと同時にヒータ１２の印加電圧を減少させていき、
常に真空外囲器１のたわみを一定に保つ。したがって、
ミラー３とミラー８との位置ずれが生じないようになっ
ている。
ータ１２に電圧を印加し、真空外囲器１の上部側を加熱
して、真空外囲器１にたわみをもたせてミラー３とミラ
ー８との位置ずれのない状態にしておき、放電が進み対
流の関係で真空外囲器１の上部側が熱くなってきた時は
それと同時にヒータ１２の印加電圧を減少させていき、
常に真空外囲器１のたわみを一定に保つ。したがって、
ミラー３とミラー８との位置ずれが生じないようになっ
ている。
【０００９】次に図２に本発明の他の実施例の内部ミラ
ーＨｅ−Ｎｅレーザ管の断面図を示す。本実施例は本発
明の特徴である予備加熱機構１４を真空外囲器１の下部
側の外周に沿って設けてある。この他は従来例と同じで
ある。
ーＨｅ−Ｎｅレーザ管の断面図を示す。本実施例は本発
明の特徴である予備加熱機構１４を真空外囲器１の下部
側の外周に沿って設けてある。この他は従来例と同じで
ある。
【００１０】本実施例の場合は真空外囲器１の上部、下
部側に熱膨張差がない（たわみがない）状態でミラー３
とミラー８との位置出しを行い、出力が最大になるよう
に調整してある。したがって放電開始時はヒータ１２に
印加する電圧はゼロで、放電が進むと対流の関係で真空
外囲器１の上部側が熱くなると同時に下部側も同じよう
に熱くなるようにヒータ１２に印加する電圧を上昇させ
て真空外囲器１の上下部の温度差をなくして真空外囲器
１にたわみが生じないようにいている。したがってミラ
ー３とミラー８との位置ずれも発生しない。
部側に熱膨張差がない（たわみがない）状態でミラー３
とミラー８との位置出しを行い、出力が最大になるよう
に調整してある。したがって放電開始時はヒータ１２に
印加する電圧はゼロで、放電が進むと対流の関係で真空
外囲器１の上部側が熱くなると同時に下部側も同じよう
に熱くなるようにヒータ１２に印加する電圧を上昇させ
て真空外囲器１の上下部の温度差をなくして真空外囲器
１にたわみが生じないようにいている。したがってミラ
ー３とミラー８との位置ずれも発生しない。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は放電開始時
〜安定時までミラー３とミラー８との位置ずれがないの
で、常に一定の出力を得られるという効果を有する。
〜安定時までミラー３とミラー８との位置ずれがないの
で、常に一定の出力を得られるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の内部ミラーＨｅ−Ｎｅレー
ザ管の断面図。
ザ管の断面図。
【図２】本発明の他の実施例の内部ミラーＨｅ−Ｎｅレ
ーザ管の断面図。
ーザ管の断面図。
【図３】従来技術による内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管
の断面図。
の断面図。
１ 真空外囲器 ２ ミラー支持体 ３ ミラー ４ 低融点ガラス ５ カソード支持体 ６ カソード ７ アノードを兼ねたミラー支持体 ８ ミラー（出力側） ９ アノード隔壁 １０ 細管 １１ 細管支持ばね １２ ヒータ １３ ヒータ支持体 １４ 予備加熱機構
Claims (1)
- 【請求項１】 放電路を有する細管と、前記細管の一端
からある部分までをとり囲むように配置したカソード
と、前記細管とカソードの全体を収納する真空外囲器
と、真空外囲器の一端にあってアノードとカソードを分
離するアノード隔壁を有した内部ミラーＨｅ−Ｎｅレー
ザ管において、前記真空外囲器の外周面に沿って予備加
熱機構が設けられたことを特徴とする内部ミラーＨｅ−
Ｎｅレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6294992A JPH05267752A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6294992A JPH05267752A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267752A true JPH05267752A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13215076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6294992A Withdrawn JPH05267752A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 内部ミラーＨｅ−Ｎｅレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267752A (ja) |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6294992A patent/JPH05267752A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |