JPH05269449A - 超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄方法Info
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- JPH05269449A JPH05269449A JP4509892A JP4509892A JPH05269449A JP H05269449 A JPH05269449 A JP H05269449A JP 4509892 A JP4509892 A JP 4509892A JP 4509892 A JP4509892 A JP 4509892A JP H05269449 A JPH05269449 A JP H05269449A
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- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】液体を使用することなく洗浄出来る。
【構成】被洗浄物4に気体を媒体として超音波振動を与
え、表面に付着するごみを剥離させ、噴射ノズル6で高
圧ガスを吹き付け剥離させたごみを吹き飛ばし、集塵機
7でごみを収集する。
え、表面に付着するごみを剥離させ、噴射ノズル6で高
圧ガスを吹き付け剥離させたごみを吹き飛ばし、集塵機
7でごみを収集する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波洗浄方法に関し、
特に気体を媒体にして被洗浄物を洗浄する乾式の超音波
洗浄方法に関する。
特に気体を媒体にして被洗浄物を洗浄する乾式の超音波
洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波洗浄方法は液体を媒体と
し、超音波振動子が取付けられた容器に洗浄液を入れ、
この洗浄液に超音波振動を与え、洗浄液である液体に被
洗浄物を浸し、洗浄液に伝達された超音波エネルギーを
利用して被洗浄物に被着した汚れを超音波エネルギーで
剥離させ、洗浄を行っていた。
し、超音波振動子が取付けられた容器に洗浄液を入れ、
この洗浄液に超音波振動を与え、洗浄液である液体に被
洗浄物を浸し、洗浄液に伝達された超音波エネルギーを
利用して被洗浄物に被着した汚れを超音波エネルギーで
剥離させ、洗浄を行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の超
音波洗浄方法においては、洗浄液である液状の媒体を使
用しているので次のような問題があった。まず第1には
湿式のため洗浄後に乾燥する必要があることとそれに必
要な乾燥機を必要とする欠点がある。また、この乾燥設
備を不要とするために、フロン,クロロセン等の有機溶
剤を使用するが、これらの有機溶剤は有害物として使用
量が規制されていること。さらに第3に、湿度に弱い被
洗浄物には使用できないことの問題がある。
音波洗浄方法においては、洗浄液である液状の媒体を使
用しているので次のような問題があった。まず第1には
湿式のため洗浄後に乾燥する必要があることとそれに必
要な乾燥機を必要とする欠点がある。また、この乾燥設
備を不要とするために、フロン,クロロセン等の有機溶
剤を使用するが、これらの有機溶剤は有害物として使用
量が規制されていること。さらに第3に、湿度に弱い被
洗浄物には使用できないことの問題がある。
【0004】本発明の目的は、有害な液体を媒体として
使用しなくとも洗浄出来る超音波洗浄方法を提供するこ
とである。
使用しなくとも洗浄出来る超音波洗浄方法を提供するこ
とである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波洗浄方法
は、被洗浄物に気体を媒体として超音波振動を伝えると
ともに高圧ガスを吹き付け洗浄することを特徴としてい
る。
は、被洗浄物に気体を媒体として超音波振動を伝えると
ともに高圧ガスを吹き付け洗浄することを特徴としてい
る。
【0006】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a)及び(b)は本発明の超音波洗浄方法の
一実施例を説明するための装置の主要部を示す図であ
り、(a)は正面図,(b)は側面図である。この超音
波洗浄方法は、個々に分離された被洗浄物でも適用でき
るが、洗浄装置の適用し易さを考慮して帯状の被洗浄物
で説明する。
る。図1(a)及び(b)は本発明の超音波洗浄方法の
一実施例を説明するための装置の主要部を示す図であ
り、(a)は正面図,(b)は側面図である。この超音
波洗浄方法は、個々に分離された被洗浄物でも適用でき
るが、洗浄装置の適用し易さを考慮して帯状の被洗浄物
で説明する。
【0007】この超音波洗浄方法は、図1に示すよう
に、リール5に巻き付けられ送られる帯状の被洗浄物4
に対向して超音波振動子4に伝え、この超音波ホーン3
aを配置し、空気を媒体として超音波エネルギーを被洗
浄物4に伝え、この超音波エネルギーで被洗浄物4に付
着する汚れを剥離することである。そして剥離された汚
れは、洗浄な空気を噴射する噴射ノイズル6で吹き飛ば
し、集塵機7で収集される。
に、リール5に巻き付けられ送られる帯状の被洗浄物4
に対向して超音波振動子4に伝え、この超音波ホーン3
aを配置し、空気を媒体として超音波エネルギーを被洗
浄物4に伝え、この超音波エネルギーで被洗浄物4に付
着する汚れを剥離することである。そして剥離された汚
れは、洗浄な空気を噴射する噴射ノイズル6で吹き飛ば
し、集塵機7で収集される。
【0008】図2は本発明の超音波洗浄方法の他の実施
例を説明するための装置の主要部を示す図である。この
超音波洗浄方法は、図2に示すように、超音波振動子1
a,1bの周波数,位相,及び出力を任意に支える加被
アンプ9a,9b及び加振コントローラ8を設け、被洗
浄物4に付着するごみに対応して超音波振動の周波数,
周期及び出力を変えることである。
例を説明するための装置の主要部を示す図である。この
超音波洗浄方法は、図2に示すように、超音波振動子1
a,1bの周波数,位相,及び出力を任意に支える加被
アンプ9a,9b及び加振コントローラ8を設け、被洗
浄物4に付着するごみに対応して超音波振動の周波数,
周期及び出力を変えることである。
【0009】このように周波数,周期及び出力を変える
ことにより被洗浄物4に付着する大小様々の共振点と一
致することが出来,より剥離し易くなる。すなわち、周
波数を時関に経過に伴い可変することにより、種々のご
みのもつ固有振動数のそれぞれに一致させ、剥離除去さ
せることである。また、位相のシフト量を可変させるこ
とにより、ランダムなキャビテーションも可能であり、
分布している付着物の共振点を全てスキャンして大小様
々な付着物を除去することが出来る。一実施例について
述べたが、これらに限らずその他多くの組合せ事例が上
げられることはもちろんであると共に、気体内と言えど
も空気を始め様々な分子が混在する気体内においても実
施可能なことももちろんである。
ことにより被洗浄物4に付着する大小様々の共振点と一
致することが出来,より剥離し易くなる。すなわち、周
波数を時関に経過に伴い可変することにより、種々のご
みのもつ固有振動数のそれぞれに一致させ、剥離除去さ
せることである。また、位相のシフト量を可変させるこ
とにより、ランダムなキャビテーションも可能であり、
分布している付着物の共振点を全てスキャンして大小様
々な付着物を除去することが出来る。一実施例について
述べたが、これらに限らずその他多くの組合せ事例が上
げられることはもちろんであると共に、気体内と言えど
も空気を始め様々な分子が混在する気体内においても実
施可能なことももちろんである。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、気体中と
伝播する超音波振動エネルギーにより付着する異物を剥
離させ、剥離させた異物を吹き飛ばし、被洗浄物に付着
する異物を除去することが出来るので、有害な液体を使
用することなく洗浄出来る超音波洗浄方法が得られると
いう効果がある。
伝播する超音波振動エネルギーにより付着する異物を剥
離させ、剥離させた異物を吹き飛ばし、被洗浄物に付着
する異物を除去することが出来るので、有害な液体を使
用することなく洗浄出来る超音波洗浄方法が得られると
いう効果がある。
【図1】本発明の超音波洗浄方法の一実施例を説明する
ための装置の主要部を示し、(a)は正面図,(b)は
側面図である。
ための装置の主要部を示し、(a)は正面図,(b)は
側面図である。
【図2】本発明の超音波洗浄方法の他の実施例を説明す
るための装置の主要部を示す図である。
るための装置の主要部を示す図である。
1a,1b 超音波振動子 3a,3b 超音波ホーン 4 被洗浄物 5 リール 6 噴射ノズル 7 集塵機 8 加振コントローラ 9a,9b 加振アンプ
Claims (1)
- 【請求項1】 被洗浄物に気体を媒体として超音波振動
を伝えるとともに高圧ガスを吹き付け洗浄することを特
徴とする超音波洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4509892A JPH05269449A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4509892A JPH05269449A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 超音波洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269449A true JPH05269449A (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=12709828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4509892A Withdrawn JPH05269449A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05269449A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5502389A (en) * | 1994-05-03 | 1996-03-26 | Mutek Analytic Gmbh | Apparatus for polyelectrolyte measurement with an ultrasonically driven liner |
| JP2017506157A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company | 表面洗浄のためのシステム及び方法 |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4509892A patent/JPH05269449A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5502389A (en) * | 1994-05-03 | 1996-03-26 | Mutek Analytic Gmbh | Apparatus for polyelectrolyte measurement with an ultrasonically driven liner |
| JP2017506157A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company | 表面洗浄のためのシステム及び方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |