JPH05278024A - スライシングマシンの切断方法 - Google Patents
スライシングマシンの切断方法Info
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- JPH05278024A JPH05278024A JP8386392A JP8386392A JPH05278024A JP H05278024 A JPH05278024 A JP H05278024A JP 8386392 A JP8386392 A JP 8386392A JP 8386392 A JP8386392 A JP 8386392A JP H05278024 A JPH05278024 A JP H05278024A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 鞍型のウエハを切断しないスライシングマシ
ンの切断方法を提案する。 【構成】 インゴット２０の切断中、インゴット２０の
切断縁に沿って、押圧手段３０、３０を移動し、又は押
圧手段３０、３０とブレードセンサ３２、３２の両方を
移動するようにした。即ち、押圧手段３０、３０または
押圧手段３０、３０とブレードセンサ３２、３２の両方
は、インゴット２０切断中、切断縁との距離を一定に保
つことができる。これによりブレード１４に変位を生ず
ると、ブレードセンサ３２、３２の値に基づいて押圧手
段３０、３０は常に切断縁近傍にエアを噴出するので、
押圧手段３０、３０は切断中のブレード１４の変位を正
確に修正でき、鞍型のウエハを切断しない。
ンの切断方法を提案する。 【構成】 インゴット２０の切断中、インゴット２０の
切断縁に沿って、押圧手段３０、３０を移動し、又は押
圧手段３０、３０とブレードセンサ３２、３２の両方を
移動するようにした。即ち、押圧手段３０、３０または
押圧手段３０、３０とブレードセンサ３２、３２の両方
は、インゴット２０切断中、切断縁との距離を一定に保
つことができる。これによりブレード１４に変位を生ず
ると、ブレードセンサ３２、３２の値に基づいて押圧手
段３０、３０は常に切断縁近傍にエアを噴出するので、
押圧手段３０、３０は切断中のブレード１４の変位を正
確に修正でき、鞍型のウエハを切断しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスライシングマシンの切
断方法に係り、特に半導体インゴットを薄片状に切断し
て半導体ウエハを製造するスライシングマシンの切断方
法に関する。
断方法に係り、特に半導体インゴットを薄片状に切断し
て半導体ウエハを製造するスライシングマシンの切断方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】スライシングマシンでは、内周刃ブレー
ド又は外周刃ブレードを高速回転し、これを半導体イン
ゴットに押し当て半導体ウエハを製造する。この場合、
半導体ウエハの歩留り、後処理加工を考慮すると、切断
時のブレードの変位を出来るだけ少なくし、ウエハの反
りを小さくした方が有利である。
ド又は外周刃ブレードを高速回転し、これを半導体イン
ゴットに押し当て半導体ウエハを製造する。この場合、
半導体ウエハの歩留り、後処理加工を考慮すると、切断
時のブレードの変位を出来るだけ少なくし、ウエハの反
りを小さくした方が有利である。
【０００３】しかしながら、半導体ウエハの大径化の傾
向によりブレード径も大きくなり、これに伴い切断時に
ブレードの切断加工位置が不安定になり、刃の形状不均
一、目詰り、切削液の表面張力、切断抵抗の変化等によ
り切断された加工物表面に反りが生じる傾向がある。こ
のような事情により従来から回転ブレードの切断で発生
する反り防止の対策が種々なされている。
向によりブレード径も大きくなり、これに伴い切断時に
ブレードの切断加工位置が不安定になり、刃の形状不均
一、目詰り、切削液の表面張力、切断抵抗の変化等によ
り切断された加工物表面に反りが生じる傾向がある。こ
のような事情により従来から回転ブレードの切断で発生
する反り防止の対策が種々なされている。
【０００４】即ち、特開昭61-98513号公報では、ブレー
ド面の両側面にエアノズルを設けると共にエアノズルに
近接してブレードセンサを設け、ブレードの無負荷状態
のブレード位置を零位置として、ブレードセンサがブレ
ードの零位置からブレードの変位量と変位方向を検知す
ると、この変位を解消するように変位を修正するためエ
アノズルからエアが噴射されてブレードの変位を補正す
る。
ド面の両側面にエアノズルを設けると共にエアノズルに
近接してブレードセンサを設け、ブレードの無負荷状態
のブレード位置を零位置として、ブレードセンサがブレ
ードの零位置からブレードの変位量と変位方向を検知す
ると、この変位を解消するように変位を修正するためエ
アノズルからエアが噴射されてブレードの変位を補正す
る。
【０００５】また、特開昭62-225308号公報では、ブレ
ード面の両側面に冷却・潤滑水供給用ノズルを設けると
共にこのノズルに近接してブレードセンサを設け、ブレ
ードの変位が生じると特開昭61-98513号公報の制御方法
と同様にしてノズルから冷却・潤滑水を吹き付け、ブレ
ードの変位を補正する。また、特開平1-110105号公報で
はブレード面の両側面に負圧吸引形ノズルを設けると共
にブレードセンサを設け、ブレードセンサによりブレー
ドの変位を検出すると、ブレードの変位と反対側の負圧
吸引形ノズルからエアを吹出して負圧を発生させ、ブレ
ードの変位を修正する。
ード面の両側面に冷却・潤滑水供給用ノズルを設けると
共にこのノズルに近接してブレードセンサを設け、ブレ
ードの変位が生じると特開昭61-98513号公報の制御方法
と同様にしてノズルから冷却・潤滑水を吹き付け、ブレ
ードの変位を補正する。また、特開平1-110105号公報で
はブレード面の両側面に負圧吸引形ノズルを設けると共
にブレードセンサを設け、ブレードセンサによりブレー
ドの変位を検出すると、ブレードの変位と反対側の負圧
吸引形ノズルからエアを吹出して負圧を発生させ、ブレ
ードの変位を修正する。
【０００６】また、実開昭61-122811号公報では、半導
体インゴット又はブレードを軸方向に移動可能とし、ブ
レードの軸方向変位を検出するブレードセンサを設け、
ブレードセンサからの信号に基づいてブレードの変位を
検出するとインゴット又はブレードを軸方向に移動し、
ブレードの軸方向の変位を修正する。
体インゴット又はブレードを軸方向に移動可能とし、ブ
レードの軸方向変位を検出するブレードセンサを設け、
ブレードセンサからの信号に基づいてブレードの変位を
検出するとインゴット又はブレードを軸方向に移動し、
ブレードの軸方向の変位を修正する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のスライシングマシンの切断方法は次のような欠点が
あった。第６図、第７図に於いて、１はブレード、２は
ブレード１の内周刃、３は内周刃２で切断される円柱状
インゴット、４はブレードセンサ、５は押圧パッドであ
る。
来のスライシングマシンの切断方法は次のような欠点が
あった。第６図、第７図に於いて、１はブレード、２は
ブレード１の内周刃、３は内周刃２で切断される円柱状
インゴット、４はブレードセンサ、５は押圧パッドであ
る。
【０００８】従来のスライシングマシンの切断方法で
は、切断中のブレード１の変位をブレードセンサ４にて
検出し、その変位を零にする様に押圧手段（例えば押圧
パッド５）で制御している。しかしながら、前記従来の
切断方法は、第６図に示す切断開始位置では、押圧手段
５、５と切断開始位置Ｃ1 とは距離が離れているが、第
７図に示すインゴットの中央部を切断する時は切断縁Ｃ
2 、Ｃ2 と押圧手段５、５とは距離が近く、切断終了時
は図示しないが、切断開始時と同様に切断位置と押圧手
段５、５とは離れる。このように従来の切断法では、押
圧手段５、５と切断縁とは距離が変化して一定しないの
で、ブレードセンサ４、４の値に基づいて押圧手段５、
５を制御しても切断位置の内周刃２の変位の修正にブレ
を生じやすい。このようにインゴットの切断位置によっ
て押圧手段５、５と切断縁との距離が変化すると、ウエ
ハの反りの形状は、いわゆる鞍型のウエハを切断する傾
向がある。
は、切断中のブレード１の変位をブレードセンサ４にて
検出し、その変位を零にする様に押圧手段（例えば押圧
パッド５）で制御している。しかしながら、前記従来の
切断方法は、第６図に示す切断開始位置では、押圧手段
５、５と切断開始位置Ｃ1 とは距離が離れているが、第
７図に示すインゴットの中央部を切断する時は切断縁Ｃ
2 、Ｃ2 と押圧手段５、５とは距離が近く、切断終了時
は図示しないが、切断開始時と同様に切断位置と押圧手
段５、５とは離れる。このように従来の切断法では、押
圧手段５、５と切断縁とは距離が変化して一定しないの
で、ブレードセンサ４、４の値に基づいて押圧手段５、
５を制御しても切断位置の内周刃２の変位の修正にブレ
を生じやすい。このようにインゴットの切断位置によっ
て押圧手段５、５と切断縁との距離が変化すると、ウエ
ハの反りの形状は、いわゆる鞍型のウエハを切断する傾
向がある。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、鞍型のウエハを切断しないスライシングマシン
の切断方法を提案することを目的とする。
もので、鞍型のウエハを切断しないスライシングマシン
の切断方法を提案することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結晶
インゴットを薄片状に切断するスライシングマシンに於
いて、インゴットの切断位置に応じてブレードの押圧手
段を移動してインゴットを切断することを特徴とする。
成する為に、ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結晶
インゴットを薄片状に切断するスライシングマシンに於
いて、インゴットの切断位置に応じてブレードの押圧手
段を移動してインゴットを切断することを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明では、インゴットの切断縁に沿って、押
圧手段を移動し、又はブレードセンサと押圧手段との両
方を移動するようにしたので、押圧手段は切断中のブレ
ードの変位を正確に修正でき、鞍型のウエハを切断しな
い。
圧手段を移動し、又はブレードセンサと押圧手段との両
方を移動するようにしたので、押圧手段は切断中のブレ
ードの変位を正確に修正でき、鞍型のウエハを切断しな
い。
【００１２】
【実施例】以下、添付図面に従って本発明に係るスライ
シングマシンの切断方法の好ましい実施例を詳説する。
第１図に於いてスピンドル１０の上端部にはチャックボ
デイ１２が固着されており、さらにこのスピンドル１０
の下端部には図示しないモータが連結され、これにより
スピンドル１０、チャックボデイ１２は回転するように
なっている。チャックボデイ１２にはドーナツ状のブレ
ード１４の外周縁が張り上げられ、このブレード１４の
内周縁には内周刃１６が形成されている。内周刃１６は
微細なダイヤモンド砥粒などで構成されている。またこ
のブレード１４はその外周縁がチャックボデイ１２の図
示しない公知の増し張り機構によりその張力が調整でき
るようになっている。
シングマシンの切断方法の好ましい実施例を詳説する。
第１図に於いてスピンドル１０の上端部にはチャックボ
デイ１２が固着されており、さらにこのスピンドル１０
の下端部には図示しないモータが連結され、これにより
スピンドル１０、チャックボデイ１２は回転するように
なっている。チャックボデイ１２にはドーナツ状のブレ
ード１４の外周縁が張り上げられ、このブレード１４の
内周縁には内周刃１６が形成されている。内周刃１６は
微細なダイヤモンド砥粒などで構成されている。またこ
のブレード１４はその外周縁がチャックボデイ１２の図
示しない公知の増し張り機構によりその張力が調整でき
るようになっている。
【００１３】ワーク支持台１８の下面には半導体インゴ
ット２０の上端が固着されている。ワーク支持台１８は
切断送り機構２２により切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に
移動できるようになっており、またさらにワーク支持台
１８はワーク割出し機構２４によりワーク割出し方向
（Ｚ−Ｚ方向）に移動できるようになっている。これら
切断送り機構２２並びにワーク割出し機構２４は制御装
置２６からの指令信号により駆動されるようになってい
る。
ット２０の上端が固着されている。ワーク支持台１８は
切断送り機構２２により切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に
移動できるようになっており、またさらにワーク支持台
１８はワーク割出し機構２４によりワーク割出し方向
（Ｚ−Ｚ方向）に移動できるようになっている。これら
切断送り機構２２並びにワーク割出し機構２４は制御装
置２６からの指令信号により駆動されるようになってい
る。
【００１４】さらにブレード１４の上面には第２図に示
すように一対のエアパッド３０、３０がロッド３８、３
８を介して従動子３４、３４に取付けられ、切断送り方
向（Ｘ−Ｘ方向）に対し垂直な方向（Ｙ─Ｙ方向）に移
動できるようになっている。従動子３４、３４はインゴ
ット２０の外周面に当接するように付勢され、従動子３
４、３４は、ばね４０でインゴット２０の外周面に向け
て付勢されている。
すように一対のエアパッド３０、３０がロッド３８、３
８を介して従動子３４、３４に取付けられ、切断送り方
向（Ｘ−Ｘ方向）に対し垂直な方向（Ｙ─Ｙ方向）に移
動できるようになっている。従動子３４、３４はインゴ
ット２０の外周面に当接するように付勢され、従動子３
４、３４は、ばね４０でインゴット２０の外周面に向け
て付勢されている。
【００１５】また、ブレード１４の上面には、ブレード
センサ３２、３２が第２図に示すように切断中のインゴ
ット２０の両側に位置するように配置され、しかもブレ
ード１４の内周刃１６近傍に位置するように配置されて
いる。また、エアパッド３０、３０は第１図で示すエア
圧力調整装置３６に接続され、このエア圧力調整装置３
６は制御装置２６からの指令信号によって制御される。
またブレードセンサ３２、３２はブレード１４の変位を
測定し、ブレードセンサ３２、３２からの測定信号は制
御装置２６に入力され、この制御装置２６はこの信号に
基づいてエア圧力調整装置３６を制御出来るようになっ
ている。
センサ３２、３２が第２図に示すように切断中のインゴ
ット２０の両側に位置するように配置され、しかもブレ
ード１４の内周刃１６近傍に位置するように配置されて
いる。また、エアパッド３０、３０は第１図で示すエア
圧力調整装置３６に接続され、このエア圧力調整装置３
６は制御装置２６からの指令信号によって制御される。
またブレードセンサ３２、３２はブレード１４の変位を
測定し、ブレードセンサ３２、３２からの測定信号は制
御装置２６に入力され、この制御装置２６はこの信号に
基づいてエア圧力調整装置３６を制御出来るようになっ
ている。
【００１６】前記の如く構成されたスライシングマシン
を用いて本発明に係わる切断方法は次の如く実施され
る。まずブレード１４はチャックボデイ１２のブレード
張り機構により所定の張力で張られている。ブレード１
４を張った後、切断する前にエアパッド３０、３０から
所定圧力のエアを噴出する。これによりブレード１４は
第３図に示すように下方に撓むようなる。この状態に於
いてブレード１４の内周刃１６付近は充分な剛性が与え
られており、この下方に撓んだ位置を基準（零）位置と
して切断を開始する。この時のブレード１４の位置をブ
レードセンサ３２、３２は検出し制御装置２６は記憶し
ている。
を用いて本発明に係わる切断方法は次の如く実施され
る。まずブレード１４はチャックボデイ１２のブレード
張り機構により所定の張力で張られている。ブレード１
４を張った後、切断する前にエアパッド３０、３０から
所定圧力のエアを噴出する。これによりブレード１４は
第３図に示すように下方に撓むようなる。この状態に於
いてブレード１４の内周刃１６付近は充分な剛性が与え
られており、この下方に撓んだ位置を基準（零）位置と
して切断を開始する。この時のブレード１４の位置をブ
レードセンサ３２、３２は検出し制御装置２６は記憶し
ている。
【００１７】この状態で切断送り機構２２を作動させワ
ーク支持台１８をＸ方向に移動させ、インゴット２０を
切断する。切断開始時、一対の従動子３４、３４はイン
ゴット２０の外周面に当接して切断位置に並ぶように位
置している。そして、切断位置がインゴット２０の中央
部に進むに従い、インゴット２０はインゴット２０外周
面に向けて付勢された従動子３４、３４のばね４０に抗
してＸ方向に移動する。この為、一対の従動子３４、３
４はインゴット２０の外周面に当接しながら各々がＹ方
向を逆向に移動し、更に切断が進むと、従動子３４、３
４はインゴット２０の前記外周面とは反対側の外周面に
面接しながら各々がＹ方向を近づきあい、切断終了時に
は再び切断開始時の位置に戻る。
ーク支持台１８をＸ方向に移動させ、インゴット２０を
切断する。切断開始時、一対の従動子３４、３４はイン
ゴット２０の外周面に当接して切断位置に並ぶように位
置している。そして、切断位置がインゴット２０の中央
部に進むに従い、インゴット２０はインゴット２０外周
面に向けて付勢された従動子３４、３４のばね４０に抗
してＸ方向に移動する。この為、一対の従動子３４、３
４はインゴット２０の外周面に当接しながら各々がＹ方
向を逆向に移動し、更に切断が進むと、従動子３４、３
４はインゴット２０の前記外周面とは反対側の外周面に
面接しながら各々がＹ方向を近づきあい、切断終了時に
は再び切断開始時の位置に戻る。
【００１８】これにより、従動子３４、３４に取付けら
れたエアパッド３０、３０も従動子３４、３４に連動し
てインゴットの切断面変化に応じて移動することができ
る。即ち、エアパッド３０、３０は、切断開始時は第２
図のＣ1 近くに位置し、インゴット２０の中央部を切断
する時は第４図のＣ2 近くに移動し、切断終了時には再
び切断開始時の位置のＣ1 の近くに戻るので、切断縁と
の距離を一定に保つことができる。また、インゴット２
０切断中、ブレードセンサ３２、３２によりブレード１
４の変位を検出した測定値が制御装置２６に入力され、
ブレードセンサ３２と切断縁との距離を補正し、制御装
置２６からの指令によりエア圧力調整装置３６が制御さ
れてエアパッド３０、３０から吹出すエアの圧力を調整
する。
れたエアパッド３０、３０も従動子３４、３４に連動し
てインゴットの切断面変化に応じて移動することができ
る。即ち、エアパッド３０、３０は、切断開始時は第２
図のＣ1 近くに位置し、インゴット２０の中央部を切断
する時は第４図のＣ2 近くに移動し、切断終了時には再
び切断開始時の位置のＣ1 の近くに戻るので、切断縁と
の距離を一定に保つことができる。また、インゴット２
０切断中、ブレードセンサ３２、３２によりブレード１
４の変位を検出した測定値が制御装置２６に入力され、
ブレードセンサ３２と切断縁との距離を補正し、制御装
置２６からの指令によりエア圧力調整装置３６が制御さ
れてエアパッド３０、３０から吹出すエアの圧力を調整
する。
【００１９】これにより、インゴット２０切断中、イン
ゴット２０切断縁が変化しても、エアパッド３０、３０
は常に切断縁の近傍に位置し、ブレードセンサ３２、３
２からの値に基づいてエアを噴出するため、ブレードの
変位を正確に修正することができるので、インゴット２
０周囲の切断縁を切り始めの高さにそろえることが可能
となり、従来の切断方法の問題点であった、鞍型のウエ
ハを切断することがない。
ゴット２０切断縁が変化しても、エアパッド３０、３０
は常に切断縁の近傍に位置し、ブレードセンサ３２、３
２からの値に基づいてエアを噴出するため、ブレードの
変位を正確に修正することができるので、インゴット２
０周囲の切断縁を切り始めの高さにそろえることが可能
となり、従来の切断方法の問題点であった、鞍型のウエ
ハを切断することがない。
【００２０】第５図では本発明の別実施例が示されブレ
ードセンサ３２、３２とエアパッド３０、３０の両方が
インゴット２０の切断位置の変化に応じて移動する。即
ち、一対のブレードセンサ３２、３２と一対のエアパッ
ド３０、３０がロッド３８を介して一対の従動子３４、
３４に取付けられている。従動子３４、３４は前記実施
例と同じくインゴット２０の外周面に当接するように付
勢され、従動子３４、３４は、ばね４０でインゴット２
０の外周面に向けて付勢されている。
ードセンサ３２、３２とエアパッド３０、３０の両方が
インゴット２０の切断位置の変化に応じて移動する。即
ち、一対のブレードセンサ３２、３２と一対のエアパッ
ド３０、３０がロッド３８を介して一対の従動子３４、
３４に取付けられている。従動子３４、３４は前記実施
例と同じくインゴット２０の外周面に当接するように付
勢され、従動子３４、３４は、ばね４０でインゴット２
０の外周面に向けて付勢されている。
【００２１】従って、ブレードセンサ３２、３２とエア
パッド３０、３０は、切断開始時は第５図のＣ1 近くに
位置し、インゴット２０の中央部を切断する時は従動子
３４、３４のばね４０の付勢力に抗して互いに離れ第４
図のＣ2 近くに位置し、切断終了時には再び近接してブ
レードの切断位置Ｃ1 に近くなる。このように、ブレー
ドセンサ３２、３２とエアパッド３４、３４はインゴッ
ト２０の切断縁の変化に応じて移動するので、ブレード
センサ３２と切断縁との距離変化の補正が必要なくな
り、ブレードセンサ３２、３２が内周刃１６の切断位置
の状態を一層正確に測定し、この測定値に基づいて、エ
アパッド３４、３４は切断縁の近傍にエアを噴出するの
で、ブレード１４の変位を正確に修正することができ
る。
パッド３０、３０は、切断開始時は第５図のＣ1 近くに
位置し、インゴット２０の中央部を切断する時は従動子
３４、３４のばね４０の付勢力に抗して互いに離れ第４
図のＣ2 近くに位置し、切断終了時には再び近接してブ
レードの切断位置Ｃ1 に近くなる。このように、ブレー
ドセンサ３２、３２とエアパッド３４、３４はインゴッ
ト２０の切断縁の変化に応じて移動するので、ブレード
センサ３２と切断縁との距離変化の補正が必要なくな
り、ブレードセンサ３２、３２が内周刃１６の切断位置
の状態を一層正確に測定し、この測定値に基づいて、エ
アパッド３４、３４は切断縁の近傍にエアを噴出するの
で、ブレード１４の変位を正確に修正することができ
る。
【００２２】これにより、前記実施例においてもインゴ
ット２０周囲の切断縁を切り始めの高さにそろえること
が可能となり、鞍型のウエハを切断することはない。
尚、前記実施例では、エア圧力でブレードを撓ませた
が、流体圧力でもよいし、他のＺ軸方向の押圧手段を用
いることが出来る。
ット２０周囲の切断縁を切り始めの高さにそろえること
が可能となり、鞍型のウエハを切断することはない。
尚、前記実施例では、エア圧力でブレードを撓ませた
が、流体圧力でもよいし、他のＺ軸方向の押圧手段を用
いることが出来る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係わるスラ
イシングマシンの切断方法によれば、インゴットの切断
位置に応じてブレードの押圧手段を移動し、又は押圧手
段とブレードセンサの両方を移動するようにしたので、
押圧手段は切断中のブレードの変位を正確に修正でき、
鞍型のウエハを切断しない。
イシングマシンの切断方法によれば、インゴットの切断
位置に応じてブレードの押圧手段を移動し、又は押圧手
段とブレードセンサの両方を移動するようにしたので、
押圧手段は切断中のブレードの変位を正確に修正でき、
鞍型のウエハを切断しない。
【図１】第１図は本発明に係わるスライシングマシンの
切断方法を説明するためのスライシングマシンの概略図
切断方法を説明するためのスライシングマシンの概略図
【図２】第２図は本発明に係わるスライシング方法を示
す平面図
す平面図
【図３】第３図は第２図上でＡ−Ａ線から見た概略切断
図
図
【図４】第４図は本発明に係わるスライシング方法を示
す平面図
す平面図
【図５】第４図は本発明の別実施例を示す説明図
【図６】第６図は従来のスライシング方法を示す説明図
である
である
【図７】第７図は従来のスライシング方法を示す説明図
である
である
１４…ブレード １６…内周刃 ２０…インゴット ２６…制御装置 ３０…エアパッド ３２…ブレードセンサ
Claims (3)
- 【請求項１】ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結晶
インゴットを薄片状に切断するスライシングマシンに於
いて、インゴットの切断位置に応じてブレードの押圧手
段を移動してインゴットを切断することを特徴とするス
ライシングマシンの切断方法。 - 【請求項２】ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結晶
インゴットを薄片状に切断するスライシングマシンに於
いて、インゴットの切断位置に応じてブレードセンサ及
び押圧手段を移動してインゴットを切断することを特徴
とするスライシングマシンの切断方法。 - 【請求項３】ドーナツ状の回転ブレードの内周刃で結晶
インゴットを薄片状に切断するスライシングマシンに於
いて、ブレードの変位を検出するブレードセンサの値に
基づいてブレードの押圧手段を制御することを特徴とす
る請求項１又は請求項２のスライシングマシンの切断方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8386392A JPH05278024A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スライシングマシンの切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8386392A JPH05278024A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スライシングマシンの切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05278024A true JPH05278024A (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=13814518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8386392A Pending JPH05278024A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | スライシングマシンの切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05278024A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116276605A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-06-23 | 泰州市金鹰精密铸造有限公司 | 一种不规则形状弯管表面打磨装置 |
-
1992
- 1992-04-06 JP JP8386392A patent/JPH05278024A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116276605A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-06-23 | 泰州市金鹰精密铸造有限公司 | 一种不规则形状弯管表面打磨装置 |
| CN116276605B (zh) * | 2023-04-04 | 2023-08-25 | 泰州市金鹰精密铸造有限公司 | 一种不规则形状弯管表面打磨装置 |
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