JPH05280801A - クリーンルーム空気拡散システム - Google Patents

クリーンルーム空気拡散システム

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JPH05280801A
JPH05280801A JP4222910A JP22291092A JPH05280801A JP H05280801 A JPH05280801 A JP H05280801A JP 4222910 A JP4222910 A JP 4222910A JP 22291092 A JP22291092 A JP 22291092A JP H05280801 A JPH05280801 A JP H05280801A
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panel
air
filter element
edge
zone
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JP4222910A
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Craig S Ludwig
エス ルドウィッグ クレイグ
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Broad and McCLung-Pace Co
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルーム内に下向きの均一な成層気流
を生ぜしめ、クリーンルームとしての機能を発揮させる
ことができる空気拡散システムを提供する。 【構成】 クリーンルームの天井に多数の格子部材３２
を直角に交差させて取り付けて形成された多数の矩形状
の空間にフィルター素子３４ａ、３４ｂを配置し、気流
を上からフィルター素子３４ａ、３４ｂを通して下向き
に流す。格子部材３２の下には照明具４８等を取り付け
る固定空間４２を生じている。フィルター素子３４ａ、
３４ｂの下に取り付けた拡散パネル３６ａ、３６ｂは、
中心部５６ａと、周縁部５８ｂとを有し、周縁部５８ｂ
は中心部５６ａより空気透過性がよく、しかも気流を固
定空間４２に向けるよう中心部５６ａに対し傾斜する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気流の乱流を減少させて
換気するクリーンルーム空気拡散システム、また特にク
リーンルームの天井フィルターパネルと共に使用する拡
散パネルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ここに「クリーンルーム」とは、空気中
の塵埃粒子、その他の汚染物を入念に取り除いた室であ
って、例えば精巧な機器の組み立て、それを使用する作
業等に使用する室を言う。クリーンルームの換気システ
ムは、そのフィルター効果の他に、成層気流パターン生
ずることによって乱流を減少させるように設計されてい
る。成層流のクリーンルームでは、一般に空気は天井か
ら床に向け下方に流れるから、作業者によって生ずるよ
うな汚染粒子は下方に直接引かれ、フィルターによって
除去される。従って、このような粒子はクリーンルーム
内では数秒間以上存在しない。しかし、気流が乱流にな
っている場合には、渦流が部分的な上昇気流を生ずる。
そのため、この渦流中に、汚染粒子は数分間も存在し続
ける。従って、一般に乱気流があると、どんな時でも汚
染がひどく集中し、汚染物質が繊細な器具や材料上に堆
積する可能性が非常に高くなる。
【０００３】乱流を減らし、成層気流を発生させるた
め、クリーンルームの天井に有孔拡散パネルが通常使用
されている。このような拡散パネルは、天井に取り付け
たフィルター素子の下に、好ましくはこの素子と若干の
空間を残して位置させている。空気は、このフィルター
素子を横切って不均一な圧力でフィルター素子を出る
が、拡散パネルによって僅かな背圧を生じ、この背圧に
よって拡散パネルの上方の空間内の空気圧を均等にす
る。次に、空気は拡散パネルの小孔を通過する。これ等
小孔はほぼ等しい流量を有する点状の気流発生源として
作用する。これ等小孔の「ノズル効果」のため、拡散パ
ネルの直下に乱流を生ずるが、この乱流は速やかに消滅
する。通常、この乱流は、拡散パネルの下方に小孔の直
径の数倍に等しい距離だけ離れた位置では省略できるほ
ど小さいものになる。
【０００４】単一拡散パネルは、境界部、又は遮断部か
ら離れて有効な成層気流を発生させることができるが、
一般にクリーンルーム換気システムは、モジュール構造
にしてユニットとして製作、組立ができるようにしてい
るため、グリッドシステムに多数のフィルター素子を取
り付けて構成している。このようなシステムでは、気流
に対する遮断部を生ずるグリッド構造部材によって占め
られた「固定空間」によって、各フィルター素子を隣接
するフィルター素子から分離しており、従ってグリッド
構造部材の直下に対応する気流の固定空間が発生し、そ
れが気流に対する障害物となっている。その結果、フィ
ルター素子の周縁から下降して流れる空気は気流の固定
空間に引き寄せられ、グリッド部材の下に上昇する気流
を有する乱渦流を形成する傾向がある。親指の法則によ
れば、乱流帯域は障害物の幅の約４倍の距離にわたり、
障害物の下流に延びるものである。従って、５．１〜
７．６ｃｍ（２〜３インチ）の幅のフレーム、又はグリ
ッド部材を有する代表的なシステムでは、乱流帯域は天
井の表面の下方約３０ｃｍ（１２インチ）にわたり延在
し、クリーンルームの機能は実質的に阻害される。
【０００５】フィルター素子間の乱流を減らすための現
存する方法は、グリッド部材の下にＶ字状の覆いを延在
させることである。通常、このような覆いは「涙滴」形
の蛍光灯照明具カバーの形状をしており、航空機の翼の
後端縁のように機能し、隣接するフィルター素子からの
成層流の帯域を乱流が減少した状態に一層平滑に再結合
させる作用がある。この方法によれば、乱流帯域を天井
の表面の約１８ｃｍ（７インチ）以内に減少させること
ができ、進歩はしているが、まだ不確実である。更に、
涙滴形の蛍光灯照明具は天井の高さが低くなる欠点があ
る。これは、天井の上に必要になる可成りの配管や器具
に起因するものである。また、このような照明具は、天
井の表面の直ぐ下に実質的な間隙が生じないよう懸垂し
たモジュール構造の分割可能な壁にとって障害物とな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
の従来技術の欠点を除去し、拡散パネルの周縁に増大し
た気流、即ち方向を有する気流を生ぜしめて構造部材の
下の固定空間に充填し、天井の表面に密接して成層気流
となるバランスのとれた正味の気流を発生させるクリー
ンルーム空気拡散システムを得るにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するた
め、本発明クリーンルーム空気拡散システムは、気流を
通すためのパネル空間を画成する格子部材を有しこの格
子部材の下に固定空間を画成する支持格子と、中心帯域
と周縁帯域とを有し前記パネル空間に関連する拡散パネ
ルとを具え、前記拡散パネルの前記中心帯域は前記気流
の第１部分を第１流量で通すだけの十分な空気透過性を
有し、前記周縁帯域は前記気流の第２部分を前記第１流
量より多い第２流量で通すだけの十分な空気透過性を有
することによって、前記格子部材の下の前記固定空間に
前記気流の第２部分を充満させることを特徴とする。図
面につき本発明を説明する。
【０００８】
【実施例】図１に閉じた室１２内に汚れていない下向き
の成層気流を発生させる本発明のクリーンルームシステ
ムを示す。この室１２は有孔の床１４と、この床１４の
下の副空間１６とを有する。副空間１６に連通するダク
ト２２を通じてブロワー２０により空気を引き、強制的
に高圧でこの空気を室１２の上方の充満室２６に入れ
る。
【０００９】天井３０によって充満室２６を室１２から
分離する。この天井３０は、一般に矩形空間のマトリッ
クスを画成する直交する格子部材３２によって形成した
剛強格子を含む。１組の矩形状のフィルター素子３４を
格子部材３２によって支持し、格子部材３２によって形
成した矩形状の空間をフィルター素子３４が占めるよう
にする。各フィルター素子３４を格子部材３２に対しシ
ールし、フィルター素子３４の端縁を迂回して充満室２
６とクリーンルーム１２との間に気流を発生しないよう
にする。１組の拡散パネル３６を天井３０に取り付け、
各拡散パネル３６がフィルター素子３４に対しほぼ同一
の広がりでその下に位置するようにする。各拡散パネル
３６は剛強多孔シートであるのが有利であり、これによ
りシートの上の高圧の空気によって空気を強制的に流す
時、乱れのない層状の気流を発生させる。
【００１０】代案として、拡散パネルは、長いストラン
ドポリエステル繊維シートのような平坦なフィルターペ
ーパー素材から成り、剛固に支持された空気透過性薄膜
（図示せず）にしてもよい。上述したような多孔パネル
に組み合わせて、このようなシートを設置し、周縁部を
直角に折り曲げて、このシートの周縁部に直角に通る空
気を外側に指向させてもよい。中心部より周縁部が一層
透過性が高い複合薄膜を造ることによって、希望する周
縁の大きな流量が得られるようにしてもよい。代案とし
て、単一の薄膜の周縁部を多孔性にして、周縁部の気流
を増大させてもよい。
【００１１】図２（ａ）に示すように、格子部材３２は
一定横断面を有し、押し出しアルミニウムで形成するの
がよい。格子部材３２は上方に指向する１対の樋状部４
０を画成し、各樋状部にゲル状シール剤４４を充填す
る。また格子部材３２は対向する離間した格子側壁４６
によって大きな下方に向く溝形部４２を画成する。溝形
部４２は蛍光灯照明具４８全体を取り付けできる寸法に
する。この溝形部４２の空間は、デッド空間、即ち固定
空間である。図２（ａ）の左下に示すように、格子側壁
４６の下端縁から棚部４９を側方に延長する。棚部４９
はフィルター素子３４ａのための取り付け点となり、し
かもフィルター素子と格子側壁４６との間の空間内に気
流が発生するのを防止する。
【００１２】図２（ａ）のフィルター素子３４ａ、３４
ｂは２つの代案としての形状を示す。これ等の形状のい
ずれか一方を選択し、各クリーンルーム設備全体につい
てこの選択した形状のフィルター素子を専ら使用するの
がよい。懸垂形のフィルター素子３４ａの周縁フランジ
５０ａを頂部から下方に懸垂し、このフィルター素子の
大部分を周縁フランジの下方に懸垂する。直立形のフィ
ルター素子３４ｂの周縁フランジ５０ｂを下端縁から直
接下方に延長し、このフィルター素子の大部分を周縁フ
ランジの上方に直立させる。天井の表面が一平面、即ち
あまり凹凸がない平面であることが、機能上、美観上、
望ましいから、拡散パネル３６ａをフィルター素子に直
接取り付ける時は、懸垂形のフィルター素子を使用し、
拡散パネル３６ｂを格子側壁４６の下端縁に直接取り付
ける時は、直立形のフィルター素子を使用する。フィル
ター素子３４を迂回して気流が流れ、クリーン室１２が
汚れるのを防止するため、樋状部４０内に収容したゲル
状のシール剤に各フィルター素子の周縁フランジ５０を
入れる。
【００１３】一般に、各拡散パネル３６は、有孔金属シ
ートにするのがよく、その中心帯域のパネル面積の主要
部にわたり、等しい寸法の離間した小孔５４を形成す
る。好適な実施例では、小孔の全面積はパネル面積の約
２０％になるようにする。この％の値は、パネルの自由
面積として知られている。このパネル３６は広い範囲の
自由面積を採用することができる。背圧が高く、気流に
対する抵抗が望ましい時は、１０％以下の自由面積が適
しており、実質的な背圧が必要ない時は、ハニカムパネ
ルで得られるような９０％以上の自由面積が有効であ
る。パネル３６によって、背圧を生じ、側方の気流を発
生させる必要がある。この気流によって高圧帯域と、フ
ィルター３４の下の低圧帯域との間の圧力差を等しくす
る。拡散パネルをフィルターの下面に隣接して取り付け
てよいが、この側方の気流を発生させるためには、拡散
パネル３６をフィルター素子３４の下に離間させ、この
離間した区域に側方の気流を発生させるのがよい。
【００１４】図２（ｂ）は、フィルター素子３４ａに取
り付けるに適する第１実施例の多孔パネル３６ａを示
す。このパネルの中心部５６ａには、均一に離間した等
しい寸法の複数個の中心小孔５４ａを設ける。周縁部５
８ａによって全ての側から中心部５６ａを包囲し、一連
の周縁小孔６０ａを画成する。周縁小孔６０ａは、中心
小孔５４ａに比較し、一層大きく、一層密接している。
従って、周縁部は中心部５６ａより実質的に高い％の自
由面積を有し、中心部に比較し単位面積当たり気流の流
量は一層大きい。周縁部５８ａを中心部５６ａに対して
上方に角度をつけ、そこを直角に通過する空気を周縁に
通して中心部から離れるように指向させる。この偏向角
度は、９０度までよいし、全く無くてもよいが、約３０
度が好適である。拡散パネル３６ａの末端に端縁フラン
ジ６２ａを設け、この端縁フランジ６２ａを中心部５６
ａに平行にするとともに、フィルター素子３４ａに取り
付けられるようにする。代案として、端縁フランジ６２
ａを棚部４９上に設置してもよい。
【００１５】図２（ｃ）は、直立形のフィルター素子３
４ｂに関連して、格子側壁４６に直接取り付けるのに適
する代案の拡散パネル３６ｂを示す。この拡散パネル３
６ｂの周縁を直角に曲げて、周縁小孔６０ｂがあり曲率
半径をもつ周縁部５８ｂを形成する。周縁小孔６０ｂよ
り小さい複数個の中心小孔５４ｂをこの拡散パネル３６
ｂに設ける。このようにすることによって、拡散パネル
３６ａと同程度の増大した周縁気流を拡散パネル３６ｂ
でも達成することができる。同様に、周縁気流を拡散パ
ネル３６ｂの中心から離れる方向に指向させる。これ
は、周縁小孔６０ｂがパネルの湾曲部のほぼ中心に位置
して外側を向くからである。
【００１６】図３は中心小孔５４ｃをその区域に均一に
設けた代案の拡散パネル３６ｃを示す。この拡散パネル
３６ｃをフィルタ素子３４ａの下方に離間し、拡散パネ
ル３６ｃの端縁を越えて側方に、格子側壁４６の下端縁
の下方に、又は側方に空気を逸出させる。中心小孔５４
ｃに通る気流よりも側方気流の流量が大きくなるよう、
拡散パネル３６ｃとフィルタ素子３４ａとの間の空間の
寸法を定める。スペーサ主柱６４、又はその他適当な手
段によって、このパネルをフィルター素子３４ａの下端
縁に直接取り付けてもよい。図３の右側に示すように、
直立形のフィルター素子３４ｂに関連して、この拡散パ
ネル３６ｃを使用することができ、このパネルを格子側
壁４６の下端縁に下方に離間して取り付ける。図３の右
側と左側とに示すいずれの実施例でも、各パネル３６ｃ
と対応する格子側壁とによって、有効自由面積１００％
の側部間隙６５を画成する。
【００１７】図４に付加的な代案の拡散パネルの形状を
示す。この拡散パネル３６ｄは、その中心部の垂直に指
向する羽根６６と、周縁部の角度のついた羽根６６ａと
を有し、パネルの中心から周縁を通る方向に空気を指向
させる。角度のついた羽根６６ａはパネルの端縁に近い
程、垂直線に対し大きい角度にする。この実施例では、
気流を周縁部で実質的に増大させないが、格子部材の下
の区域で気流に方向性を与える方向作用のみを十分に満
たし、実質的に渦流を減らす。
【００１８】更に、代案としての拡散パネル３６ｅを図
４の右側に示す。この実施例では、拡散パネル３６ｅの
周縁フランジ６８ｅを上方に内方に鋭角に曲げ、拡散パ
ネル３６ｅと格子側壁４６との間に周縁間隙７０を残
し、周縁部で気流を増大する。このフランジの曲げた角
度は格子部材３２の下の区域に気流を指向させるのにも
役立ち、羽根として、樋として作用する。
【００１９】図５は、フィルター素子３４ａを取り外す
必要なく、下から拡散パネル３６ａを取り外し得るよう
取り付けるフィルター構造を示す。このフィルター素子
３４ａは、押し出したアルミニウム製のフィルターフレ
ーム７４を有し、フィルター材料７４の集団の周縁を包
囲する。フィルターフレーム７４のフレーム側壁７８の
下端縁に取り付けた下部フレーム棚部８０をフィルター
の中心に向け内方に垂直に延在する。斜めの壁８２を下
部フレーム棚部８０の内端縁に取り付け、この斜めの壁
８２を下方、外方に延長し、気流がここから下方、外方
に広がるようにする。斜めの壁８２の下端に取付フラン
ジ８４を取り付けて、下部フレーム棚部８０の下方に離
間して、そこから外方に延長する。取付フランジ８４を
フィルターフレーム７４に一体にし、フィルター素子３
４ａの全周縁の周りに延在させる。取付フランジ８４を
全体的にフィルターフレーム７４の下に位置させ、この
取付フランジ８４がフィルターフレームの周縁を越えて
外方に突出して格子部材の格子側壁４６に干渉しないよ
うにする。
【００２０】拡散パネル３６ａの端縁フランジ６２ａを
取付フランジ８４に位置させることによって、フィルタ
ー素子３４ａに取り付けるため、拡散パネル３６ａを位
置させる。Ｕ字状クリップ８８によって取付フランジ８
４と端縁フランジ６２ａとを収容する間隙を画成し、こ
れ等フランジをこの間隙に合体押圧し、拡散パネル３６
ａをフィルター素子３４ａに取り付ける。クリップ８８
をばね鋼で造ることができるが、押し出したアルミニウ
ムでもよい。このクリップ８８を拡散パネルの各側部の
全長にわたり延在する。
【００２１】図５に示す取付システムを使用することに
よって、充満室２６に入るためにフィルター素子を取り
外したり、乱したりする必要はなく、またクリーンルー
ムシステムを休止させる必要がなくなる。クリップ８８
は通常のねじ止め、リベット止めに比較し、外観がよ
く、孔を明ける必要がなく、目立つ緊締具を必要としな
い利点がある。
【００２２】格子部材３２の下の区域に方向性をもった
増大した気流を満たすことによって、格子部材の代わり
に無数の均一なフィルター素子と有孔パネルとを設ける
ことによって生ずる気流にほぼ等しい正味の下向き気流
を、この拡散パネルによって有効に格子部材の下に発生
させることができる。格子部材３２の下の気流は十分な
圧力と容積とがあり、パネルの中心部から垂直な成層の
層流を生じ、この層流は垂直な成層のままに留まる。従
って、これ等の層は上方に引っ張られて格子部材３２の
下に渦流を生ずることはない。
【００２３】格子部材３２の両側から対称な気流を発生
させることによって格子部材３２の下の初期渦流を更に
最少にする。このようにして、側方に指向する周縁の気
流を互いに衝突させ、側方への流れを実質的に打ち消
し、渦流のない下向きの気流を発生させる。拡散パネル
の周縁帯域によって生ずる増大した気流は格子部材の下
に正味の気流を発生し、この気流は拡散パネルの中心帯
域の単位面積当たり正味の気流にほぼ等しい。周縁帯域
からの気流の速度は中心部の小孔を通る気流の速度より
早い必要はない。周縁帯域からの気流の正味の流量（例
えば水平単位面積の単位時間当たりの気流の容積）が中
心帯域の気流の正味の流量を上回るだけでよい。また、
上述したように、この気流の流量差は本発明の目的を達
成するためにのみ作用し、又は気流に方向を与える作用
のみが同一の利点を達成させる。本発明の好適な実施例
では、両方の原理が協働して作用する。
【００２４】図示し説明したところは、本発明の好適な
実施例であるが、図示の実施例は本発明の範囲内で種々
の変更を加え得ることは当業者には明らかである。従っ
て、図示の実施例だけでなく、その変更の実施例も本発
明の範囲内にある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム空気拡散システムの断
面図である。
【図２】（ａ）は図１の示すシステムの隣接するフィル
ター素子間の格子部材の接合を示す拡大断面図で、フィ
ルターと拡散パネルとの代案の形態を示す図である。
（ｂ）は図２（ａ）の拡散パネルの一部拡大斜視図であ
る。（ｃ）は図２（ａ）の拡散パネルの代案の一部拡大
斜視図である。
【図３】図１に示すシステムの隣接するフィルター素子
間の格子部材の接合を示す拡大断面図で、フィルターと
拡散パネルとの付加的な代案の形態を示す図である。
【図４】図１の示すシステムの隣接するフィルター素子
間の格子部材の接合を示す拡大断面図で、フィルターと
拡散パネルとの更に他の代案の形態を示す図である。
【図５】本発明のフィルター素子と拡散パネルとの間の
接合部の拡大断面図である。
【符号の説明】
１２ 室、クリーンルーム １４ 床 １６ 副空間 ２０ ブロワー ２２ ダクト ２６ 充満室 ３０ 天井 ３２ 格子部材 ３４、３４ａ、３４ｂ フィルター素子、フィルター ３６、３６ａ、３６ｂ ３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ 拡散
パネル、有孔パネル ４０ 樋状部 ４２ 溝形部、固定空間 ４４ シール剤 ４６ 格子側壁 ４８ 蛍光灯照明具 ４９ 棚部 ５０ａ、５０ｂ 周縁フランジ ５４ａ、５４ｂ、５４ｃ 小孔 ５６ａ 中心部 ５８ａ、５８ｂ 周縁部 ６０ａ、６０ｂ 周縁小孔 ６２ａ 端縁フランジ ６４ スペーサ支柱 ６５ 側部間隙 ６６、６６ａ 羽根 ６８ａ 周縁フランジ ７４ フィルターフレーム ７６ フィルター材料 ７８ フレーム側壁 ８０ 下部フレーム棚部 ８２ 斜めの壁 ８４ 取付フランジ

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 気流を通すためのパネル空間を画成する
    格子部材を有し、この格子部材の下に固定空間を画成す
    る支持格子と、 中心帯域と、周縁帯域とを有し、前記パネル空間に関連
    する拡散パネルとを具え、前記拡散パネルの前記中心帯
    域は、前記気流の第１部分を第１流量で通すだけの十分
    な空気透過性を有し、前記周縁帯域は、前記気流の第２
    部分を前記第１流量より多い第２流量で通すだけの十分
    な空気透過性を有することによって、前記格子部材の下
    の前記固定空間に前記気流の第２部分を充満させること
    を特徴とする気流を制御するクリーンルーム空気拡散シ
    ステム。
  2. 【請求項２】 気流を通す前記格子に隣接する空気フィ
    ルターパネルを設けた請求項１に記載のシステム。
  3. 【請求項３】 前記パネルから離れて周縁に向く方向成
    分を有する速度で空気を通すだけ十分な空気透過性を前
    記拡散パネルの前記周縁帯域が有する請求項１に記載の
    システム。
  4. 【請求項４】 前記拡散パネルの前記中心帯域が第１平
    面内に位置し、前記周縁帯域が前記第１平面に対し角度
    をなす複数個の端縁部を具える請求項３に記載のシステ
    ム。
  5. 【請求項５】 前記パネルは水平に指向し、前記中心帯
    域は前記周縁帯域の前記端縁部より一般に低い位置を占
    める請求項４に記載のシステム。
  6. 【請求項６】 前記周縁帯域は前記格子に取り付けるよ
    うにした終端端縁フランジを有し、前記中心帯域を前記
    端縁フランジの下方に離間した請求項１に記載のシステ
    ム。
  7. 【請求項７】 前記拡散パネルが有孔シートである請求
    項１に記載のシステム。
  8. 【請求項８】 前記拡散パネルが空気透過性薄膜から成
    る請求項１に記載のシステム。
  9. 【請求項９】 前記薄膜が長いストランドの繊維シート
    である請求項８に記載のシステム。
  10. 【請求項１０】 前記薄膜を平坦なフィルターペーパー
    素材で形成した請求項８に記載のシステム。
  11. 【請求項１１】 気流を通すためのパネル空間を画成す
    る格子部材を有し、この格子部材の下に固定空間を画成
    する支持格子と、前記格子部材の下の固定空間に向け空
    気を通すため側部間隙を画成するよう前記パネル空間の
    下に離間した空気透過性拡散パネルとを具えることを特
    徴とする気流を制御するクリーンルーム空気拡散システ
    ム。
  12. 【請求項１２】 前記拡散パネルが有孔シートである請
    求項１１に記載のシステム。
  13. 【請求項１３】 第１の量の自由面積を有する中心帯域
    と、第１の量より大きい第２の量の自由面積を有する周
    縁帯域とを具えることを特徴とする空気拡散パネル。
  14. 【請求項１４】 有孔シートを更に具える請求項１３に
    記載のパネル。
  15. 【請求項１５】 前記周縁帯域に貫通して流れる空気が
    前記中心帯域に垂直な方向に対し角度をなして周縁に通
    る方向に指向するよう前記周縁帯域を構成した請求項１
    ３に記載のパネル。
  16. 【請求項１６】 前記周縁帯域を前記中心帯域に対し或
    る角度に傾斜させた請求項１３に記載のパネル。
  17. 【請求項１７】 気流を通すための空気フィルタ素子
    と、気流の第１正味流量を有する中心帯域と、この第１
    正味流量より大きい第２正味流量を有する周縁帯域とを
    有し、前記フィルタ素子に取り付けられた拡散パネルと
    を具えることを特徴とするフィルター拡散装置。
  18. 【請求項１８】 前記中心帯域から離れるよう気流を指
    向させる形状に前記周縁帯域を構成した請求項１７に記
    載のフィルター拡散装置。
  19. 【請求項１９】 フレームと、このフレーム内のフィル
    ター材料の集団と、前記フレームに対し外方に周方向に
    沿って延在し、前記フレームに取り付けた取付フランジ
    とを具え、周縁端縁フランジを有するパネルの端縁を前
    記取付フランジに一線にすることにより、また前記端縁
    フランジと前記取付フランジとを共にクランプすること
    により前記パネルをフィルター素子の下に取り付けるこ
    とを特徴とするクリーンルームのフィルター素子。
  20. 【請求項２０】 前記取付フランジが前記フレームの周
    縁を越えて突出しないよう前記取付フランジを前記フレ
    ームの下に位置させた請求項１９に記載のフィルター素
    子。
  21. 【請求項２１】 前記フィルター素子を水平に指向させ
    た時、前記取付フランジをほぼ水平平面内に位置させる
    請求項１９に記載のフィルター素子。
  22. 【請求項２２】 周縁に延在する取付フランジを持つフ
    レームを有する空気フィルター素子と、前記取付フラン
    ジに対応し、この取付フランジとサンドイッチ関係に位
    置することができる端縁フランジを有する拡散パネル
    と、 前記端縁フランジを前記取付フランジに取り付ける端縁
    クランプとを具えるクリーンルームのフィルター拡散装
    置。
  23. 【請求項２３】 サンドイッチ関係の前記端縁フランジ
    と前記取付フランジとを収容して合体押圧するための間
    隙を前記端縁クランプによって画成した請求項２２に記
    載の装置。
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