JPH05287528A - 蒸着膜厚の制御装置 - Google Patents
蒸着膜厚の制御装置Info
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- JPH05287528A JPH05287528A JP9046092A JP9046092A JPH05287528A JP H05287528 A JPH05287528 A JP H05287528A JP 9046092 A JP9046092 A JP 9046092A JP 9046092 A JP9046092 A JP 9046092A JP H05287528 A JPH05287528 A JP H05287528A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産性を良くしつつ、被蒸着材への蒸着品質
の向上を図る。 【構成】 真空チャンバ１１中を搬送中に被蒸着材１２
には、蒸発した材料６が蒸着する。蒸着膜厚検出器１０
による検出値及び速度検出器１４による検出値は制御装
置２３に送られる。制御装置２３は蒸着膜厚に応じて電
動機１３を制御して被蒸着材１２のライン速度を変える
とともに、ライン速度に応じて加熱装置８への供給電力
を制御する。
の向上を図る。 【構成】 真空チャンバ１１中を搬送中に被蒸着材１２
には、蒸発した材料６が蒸着する。蒸着膜厚検出器１０
による検出値及び速度検出器１４による検出値は制御装
置２３に送られる。制御装置２３は蒸着膜厚に応じて電
動機１３を制御して被蒸着材１２のライン速度を変える
とともに、ライン速度に応じて加熱装置８への供給電力
を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムや紙などのシ
ート状被蒸着物に蒸着材料を真空蒸着させる連続真空蒸
着装置により、良好な蒸着ができるよう制御する蒸着膜
厚の制御装置に関するものである。
ート状被蒸着物に蒸着材料を真空蒸着させる連続真空蒸
着装置により、良好な蒸着ができるよう制御する蒸着膜
厚の制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空蒸着装置は、図４及び図５に
示すように、被蒸着材１２を巻き出す巻出装置１、被蒸
着材１２を搬送する送出ロール２〜４、被蒸着材１２を
巻き取る巻取装置５、アルミ等の蒸着材料６を格納する
ルツボ７、ルツボ７を加熱する加熱装置８、被蒸着材１
２への蒸着を開始・停止させるシャッタ９、蒸着膜厚検
出器１０、真空チャンバ１１、送出ロール３を駆動する
電動機１３、被蒸着材１２の速度検出器１４及び制御装
置２４，２５で構成されている。
示すように、被蒸着材１２を巻き出す巻出装置１、被蒸
着材１２を搬送する送出ロール２〜４、被蒸着材１２を
巻き取る巻取装置５、アルミ等の蒸着材料６を格納する
ルツボ７、ルツボ７を加熱する加熱装置８、被蒸着材１
２への蒸着を開始・停止させるシャッタ９、蒸着膜厚検
出器１０、真空チャンバ１１、送出ロール３を駆動する
電動機１３、被蒸着材１２の速度検出器１４及び制御装
置２４，２５で構成されている。
【０００３】このような構成の真空蒸着装置において、
蒸着膜厚を一定に保つ方法としては、従来では、蒸着膜
厚が蒸着材料６の温度に比例し、被蒸着材１２の速度に
反比例することを利用し、図４に示すように蒸着膜厚を
蒸着膜厚検出器１０で検出し、加熱装置８に投入する電
力を変更することにより蒸着材料６の温度を変更する方
法（第１従来方法）、あるいは図４に示すように蒸着膜
厚を蒸着膜厚検出器１０で検出し、電動機１３の速度を
変更することにより被蒸着材１２の速度を変更する方法
（第２従来方法）が採られていた。
蒸着膜厚を一定に保つ方法としては、従来では、蒸着膜
厚が蒸着材料６の温度に比例し、被蒸着材１２の速度に
反比例することを利用し、図４に示すように蒸着膜厚を
蒸着膜厚検出器１０で検出し、加熱装置８に投入する電
力を変更することにより蒸着材料６の温度を変更する方
法（第１従来方法）、あるいは図４に示すように蒸着膜
厚を蒸着膜厚検出器１０で検出し、電動機１３の速度を
変更することにより被蒸着材１２の速度を変更する方法
（第２従来方法）が採られていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１の
従来方法ではルツボ７，蒸着材料６の熱容量が大きいた
め加熱装置８に投入する電力を変更しても、蒸着材料６
の温度が安定するまで数分程度要するため、急激な膜厚
変動には対応できない問題があった。
従来方法ではルツボ７，蒸着材料６の熱容量が大きいた
め加熱装置８に投入する電力を変更しても、蒸着材料６
の温度が安定するまで数分程度要するため、急激な膜厚
変動には対応できない問題があった。
【０００５】また、第２の従来方法では電動機１３の応
答速度が速いため急激な膜厚変動に対しては有効である
が、加熱装置８に投入する電力が固定であるため、定常
的な膜厚変動に対してはライン速度に定常偏差が残って
しまう。すなわち、膜厚が定常的に減少した場合はライ
ン速度を減速するように制御するが、それにともない生
産性も低下する。また、膜厚が定常的に増大した場合は
ライン速度を増速するように制御するが、装置の持つ最
大速度で制限されているため目標とする膜厚が得られな
い場合があるなどの問題があった。
答速度が速いため急激な膜厚変動に対しては有効である
が、加熱装置８に投入する電力が固定であるため、定常
的な膜厚変動に対してはライン速度に定常偏差が残って
しまう。すなわち、膜厚が定常的に減少した場合はライ
ン速度を減速するように制御するが、それにともない生
産性も低下する。また、膜厚が定常的に増大した場合は
ライン速度を増速するように制御するが、装置の持つ最
大速度で制限されているため目標とする膜厚が得られな
い場合があるなどの問題があった。
【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、急激な膜厚変動を低減して、製品の品質向上
を図るとともに、ライン速度も所定速度に保つことで生
産性低下を防止することのできる蒸着膜厚の制御装置を
提供することを目的とする。
のであり、急激な膜厚変動を低減して、製品の品質向上
を図るとともに、ライン速度も所定速度に保つことで生
産性低下を防止することのできる蒸着膜厚の制御装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を備え
た真空槽中に、シート状被蒸着材を外部から搬入しその
表面に蒸着材料を蒸着しその後に外部に搬出する連続真
空蒸着装置において、前記被蒸着材の蒸着膜厚を検出す
る膜厚検出手段と、前記膜厚検出手段による検出値に基
づいて前記被蒸着材のライン速度の変更量を演算し、前
記被蒸着材のライン速度を制御するライン速度制御手段
と、前記被蒸着材のライン速度を検出するライン速度検
出手段と、前記ライン速度検出手段による検出値と予め
設定した設定ライン速度との偏差から、前記加熱手段の
加熱電力変更量を演算し、前記加熱手段による加熱量を
制御する加熱量制御手段と、を備えたことを特徴とす
る。
明の構成は、蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を備え
た真空槽中に、シート状被蒸着材を外部から搬入しその
表面に蒸着材料を蒸着しその後に外部に搬出する連続真
空蒸着装置において、前記被蒸着材の蒸着膜厚を検出す
る膜厚検出手段と、前記膜厚検出手段による検出値に基
づいて前記被蒸着材のライン速度の変更量を演算し、前
記被蒸着材のライン速度を制御するライン速度制御手段
と、前記被蒸着材のライン速度を検出するライン速度検
出手段と、前記ライン速度検出手段による検出値と予め
設定した設定ライン速度との偏差から、前記加熱手段の
加熱電力変更量を演算し、前記加熱手段による加熱量を
制御する加熱量制御手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】本発明では、被蒸着材の搬送される速度を蒸着
膜厚に応じて変更するので、急激な膜厚変動に対応で
き、膜厚を一定に保つことができる。また、上記速度変
化に応じて加熱装置に投入する電力を変更するのでライ
ン速度も一定に保つことができる。
膜厚に応じて変更するので、急激な膜厚変動に対応で
き、膜厚を一定に保つことができる。また、上記速度変
化に応じて加熱装置に投入する電力を変更するのでライ
ン速度も一定に保つことができる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。図１は本発明の実施例を示す。本実施例で
は、蒸着膜厚検出器１０で検出した蒸着膜厚の検出値
と、速度検出器１４で検出した被蒸着材１２のライン速
度の検出値が、蒸着膜厚制御装置２３に送られる。制御
装置２３は、後述する処理演算をして、電動機１３の速
度つまり被蒸着材１２のライン速度と、加熱装置８へ供
給する電力を制御する。なお、他の部分の構成は、図
４，図５に示す従来技術と同様であり、同一機能を表す
部分に同一符号を付して重複する説明は省略する。
説明する。図１は本発明の実施例を示す。本実施例で
は、蒸着膜厚検出器１０で検出した蒸着膜厚の検出値
と、速度検出器１４で検出した被蒸着材１２のライン速
度の検出値が、蒸着膜厚制御装置２３に送られる。制御
装置２３は、後述する処理演算をして、電動機１３の速
度つまり被蒸着材１２のライン速度と、加熱装置８へ供
給する電力を制御する。なお、他の部分の構成は、図
４，図５に示す従来技術と同様であり、同一機能を表す
部分に同一符号を付して重複する説明は省略する。
【００１０】図２に本発明の蒸着膜厚制御装置２３のブ
ロック図を示す。同図に示すように蒸着膜厚制御装置２
３はライン速度制御装置２１と加熱電力制御装置２２で
構成されている。
ロック図を示す。同図に示すように蒸着膜厚制御装置２
３はライン速度制御装置２１と加熱電力制御装置２２で
構成されている。
【００１１】ライン速度制御装置２１の膜厚偏差演算器
１５は、蒸着膜厚検出器１０による検出膜厚と膜厚設定
値との偏差Δｈを演算する。ライン速度変更量演算器１
６は、偏差Δｈに基づいて、比例積分微分制御（ＰＩＤ
制御）を実施し、被蒸着材１２の搬送される速度の変更
量Δｖ＊を計算する。ライン速度指令演算器１７は、上
記変更量Δｖ＊をライン速度設定値に加算しライン速度
指令値ｖ＊を計算し、これを電動機１３に与える。電動
機１３は、このライン速度指令値ｖ＊により送出ロール
３を駆動し、被蒸着材１２の送り速度を変更する。
１５は、蒸着膜厚検出器１０による検出膜厚と膜厚設定
値との偏差Δｈを演算する。ライン速度変更量演算器１
６は、偏差Δｈに基づいて、比例積分微分制御（ＰＩＤ
制御）を実施し、被蒸着材１２の搬送される速度の変更
量Δｖ＊を計算する。ライン速度指令演算器１７は、上
記変更量Δｖ＊をライン速度設定値に加算しライン速度
指令値ｖ＊を計算し、これを電動機１３に与える。電動
機１３は、このライン速度指令値ｖ＊により送出ロール
３を駆動し、被蒸着材１２の送り速度を変更する。
【００１２】従って、例えば蒸着膜厚検出器１０により
検出された膜厚が膜厚設定値に比較して急激に減少する
と、被蒸着材１２の送り速度が速やかに減速され、逆に
急激な膜厚の増大が検出されると被蒸着材１２の送り速
度が速やかに増速されることになる。このため、急激な
膜厚変動にも対応して膜厚を一定に保つことができる。
検出された膜厚が膜厚設定値に比較して急激に減少する
と、被蒸着材１２の送り速度が速やかに減速され、逆に
急激な膜厚の増大が検出されると被蒸着材１２の送り速
度が速やかに増速されることになる。このため、急激な
膜厚変動にも対応して膜厚を一定に保つことができる。
【００１３】ところが、図３(a) に示すようにこのまま
ではライン速度はライン速度設定値とずれた値でつりあ
うため、ライン速度偏差が定常的に残ってしまう。この
定常偏差を除去するため本実施例では以下に示す加熱電
力制御装置２２を併用する。
ではライン速度はライン速度設定値とずれた値でつりあ
うため、ライン速度偏差が定常的に残ってしまう。この
定常偏差を除去するため本実施例では以下に示す加熱電
力制御装置２２を併用する。
【００１４】ライン速度偏差演算器１８はライン速度検
出器１４による検出速度とライン速度設定値との偏差Δ
ｖを演算する。加熱電力変更量演算器１９は偏差Δｖに
基づいて比例積分微分制御を実施し、加熱装置に投入さ
れる電力の変更量ΔＷ＊を計算する。加熱電力指令演算
器２０は、上記変更量ΔＷ＊を加熱電力設定値に加算
し、加熱電力指令値Ｗ＊を計算し、これを加熱装置８に
与える。加熱装置８はこの加熱電力指令値Ｗ＊によりル
ツボ７を加熱し、蒸着材料６の温度を変更する。
出器１４による検出速度とライン速度設定値との偏差Δ
ｖを演算する。加熱電力変更量演算器１９は偏差Δｖに
基づいて比例積分微分制御を実施し、加熱装置に投入さ
れる電力の変更量ΔＷ＊を計算する。加熱電力指令演算
器２０は、上記変更量ΔＷ＊を加熱電力設定値に加算
し、加熱電力指令値Ｗ＊を計算し、これを加熱装置８に
与える。加熱装置８はこの加熱電力指令値Ｗ＊によりル
ツボ７を加熱し、蒸着材料６の温度を変更する。
【００１５】従って、例えばライン速度検出器１４によ
り検出された速度がライン速度設定値に比較して減少す
ると加熱装置８に投入する電力が緩やかに増大し、逆に
速度の増大が検出されると投入電力が緩やかに減少する
ことになる。このため膜厚減少により減速された場合
は、投入電力の増大により蒸着材料６の温度が上昇し蒸
発量が増大することからライン速度は、図３(b) に示す
ようにライン速度設定値になるまでゆっくり増速され
る。この加熱電力の変更動作はライン速度の変更動作に
比べ緩やかであるため、加熱電力の変更による膜厚への
影響は無視できるほど小さい。従って、膜厚変動により
生じたライン速度変動にも対応して、ライン速度を一定
に保つことができる。
り検出された速度がライン速度設定値に比較して減少す
ると加熱装置８に投入する電力が緩やかに増大し、逆に
速度の増大が検出されると投入電力が緩やかに減少する
ことになる。このため膜厚減少により減速された場合
は、投入電力の増大により蒸着材料６の温度が上昇し蒸
発量が増大することからライン速度は、図３(b) に示す
ようにライン速度設定値になるまでゆっくり増速され
る。この加熱電力の変更動作はライン速度の変更動作に
比べ緩やかであるため、加熱電力の変更による膜厚への
影響は無視できるほど小さい。従って、膜厚変動により
生じたライン速度変動にも対応して、ライン速度を一定
に保つことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、蒸着膜厚
が急激に変化しても被蒸着材の送り速度を変更すること
で蒸着膜厚を一定に保つことができる。また、被蒸着材
の送り速度の変化に対しては、加熱装置に投入する電力
を変更することで設定速度に回復させることができる。
その結果、生産性を低下させることなく被蒸着材の品質
向上を図ることができる。
が急激に変化しても被蒸着材の送り速度を変更すること
で蒸着膜厚を一定に保つことができる。また、被蒸着材
の送り速度の変化に対しては、加熱装置に投入する電力
を変更することで設定速度に回復させることができる。
その結果、生産性を低下させることなく被蒸着材の品質
向上を図ることができる。
【図１】本発明の実施例を示す構成図。
【図２】実施例の制御装置を示すブロック図。
【図３】実施例の効果を示す特性図。
【図４】従来技術を示す構成図。
【図５】従来技術を示す構成図。
１ 巻出装置 ２，３，４ ロール ５ 巻取装置 ６ 蒸着材料 ７ ルツボ ８ 加熱装置 ９ シャッタ １０ 蒸着膜厚検出器 １１ 真空チャンバ １２ 被蒸着材 １３ 電動機 １４ ライン速度検出器 １５ 膜厚偏差演算器 １６ ライン速度変更量演算器 １７ ライン速度指令演算器 １８ ライン速度偏差演算器 １９ 加熱電力変更量演算器 ２０ 加熱電力指令演算器 ２１ ライン速度制御装置 ２２ 加熱電力制御装置 ２３，２４，２５ 蒸着膜厚制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石橋 直彦 東京都千代田区丸の内二丁目５番１号 三 菱重工業株式会社内 (72)発明者 板井 計介 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を備
えた真空槽中に、シート状被蒸着材を外部から搬入しそ
の表面に蒸着材料を蒸着しその後に外部に搬出する連続
真空蒸着装置において、 前記被蒸着材の蒸着膜厚を検出する膜厚検出手段と、 前記膜厚検出手段による検出値に基づいて前記被蒸着材
のライン速度の変更量を演算し、前記被蒸着材のライン
速度を制御するライン速度制御手段と、 前記被蒸着材のライン速度を検出するライン速度検出手
段と、 前記ライン速度検出手段による検出値と予め設定した設
定ライン速度との偏差から、前記加熱手段の加熱電力変
更量を演算し、前記加熱手段による加熱量を制御する加
熱量制御手段と、 を備えたことを特徴とする蒸着膜厚の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9046092A JPH05287528A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 蒸着膜厚の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9046092A JPH05287528A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 蒸着膜厚の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05287528A true JPH05287528A (ja) | 1993-11-02 |
Family
ID=13999228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9046092A Withdrawn JPH05287528A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 蒸着膜厚の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05287528A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070432A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ｎｄフィルターの製造方法 |
| JP2008138227A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Toray Advanced Film Co Ltd | ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法 |
| WO2020216775A1 (de) * | 2019-04-23 | 2020-10-29 | Sms Group Gmbh | Pvd dickenregelung |
-
1992
- 1992-04-10 JP JP9046092A patent/JPH05287528A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070432A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ｎｄフィルターの製造方法 |
| JP2008138227A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Toray Advanced Film Co Ltd | ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法 |
| WO2020216775A1 (de) * | 2019-04-23 | 2020-10-29 | Sms Group Gmbh | Pvd dickenregelung |
| CN113728122A (zh) * | 2019-04-23 | 2021-11-30 | Sms集团有限公司 | Pvd厚度控制 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |