JPH05288464A - 窒素と超高純度酸素を生成するための極低温式精留方法及び装置 - Google Patents
窒素と超高純度酸素を生成するための極低温式精留方法及び装置Info
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- JPH05288464A JPH05288464A JP5017876A JP1787693A JPH05288464A JP H05288464 A JPH05288464 A JP H05288464A JP 5017876 A JP5017876 A JP 5017876A JP 1787693 A JP1787693 A JP 1787693A JP H05288464 A JPH05288464 A JP H05288464A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】供給空気の極低温精留によって窒素と超高純度
酸素を生成するための改良された極低温式精留方法及び
装置を提供すること。 【構成】単コラム型窒素生成システムの底部から抽出し
た酸素富化液体を用いて第１及び第２精製コラムにおい
て超高純度酸素を生成し、第１精製コラムの底部から抽
出した酸素濃縮液体を窒素生成システムの頂部凝縮器に
おいて窒素豊富蒸気と間接的に熱交換させ、凝縮した窒
素豊富液体を窒素生成システムのコラムへ還流させる。
酸素を生成するための改良された極低温式精留方法及び
装置を提供すること。 【構成】単コラム型窒素生成システムの底部から抽出し
た酸素富化液体を用いて第１及び第２精製コラムにおい
て超高純度酸素を生成し、第１精製コラムの底部から抽
出した酸素濃縮液体を窒素生成システムの頂部凝縮器に
おいて窒素豊富蒸気と間接的に熱交換させ、凝縮した窒
素豊富液体を窒素生成システムのコラムへ還流させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、供給空気の極低温精留
に関し、特に、供給空気の極低温精留によって窒素と超
高純度酸素を生成することに関する。
に関し、特に、供給空気の極低温精留によって窒素と超
高純度酸素を生成することに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、例えば半導体やマイクロチップを
製造するエレクトロニクス産業に使用するために超高純
度酸素の滋養が増大している。約９９．５％の高い純度
を有する酸素は、古くから、複コラム型極低温精留プラ
ントで空気を極低温下で精留することによって生成され
ている。従来は、それによって得られた高純度酸素の純
度を９９．９９％以上にまで高めることによって超高純
度酸素を生成していた。
製造するエレクトロニクス産業に使用するために超高純
度酸素の滋養が増大している。約９９．５％の高い純度
を有する酸素は、古くから、複コラム型極低温精留プラ
ントで空気を極低温下で精留することによって生成され
ている。従来は、それによって得られた高純度酸素の純
度を９９．９９％以上にまで高めることによって超高純
度酸素を生成していた。
【０００３】在来の高純度酸素を必要とせず、少量の超
高純度酸素だけを必要とする場合がある。そのような場
合、従来の複コラム型システムでは過剰量の酸素を生成
することになり、従って無駄が生じる。更に、高圧の窒
素生成物（窒素製品）を必要とする場合もある。従来の
複コラム型システムで生成される窒素は低圧であるか
ら、その窒素生成物を更に圧縮しなければならず、従っ
て、複コラム型システムの能率が低下することになる。
高純度酸素だけを必要とする場合がある。そのような場
合、従来の複コラム型システムでは過剰量の酸素を生成
することになり、従って無駄が生じる。更に、高圧の窒
素生成物（窒素製品）を必要とする場合もある。従来の
複コラム型システムで生成される窒素は低圧であるか
ら、その窒素生成物を更に圧縮しなければならず、従っ
て、複コラム型システムの能率が低下することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】高圧窒素を含め、一般
に窒素は、単コラム型システム（単一のコラムから成る
システム）を用いて空気を極低温下で精留することによ
って生成することができることは周知である。空気を極
低温下で精留することによって高圧窒素を含め、窒素を
能率的に生成することができる単コラム型窒素生成シス
テムを、その窒素生成効率を阻害することなく、超高純
度酸素を生成するためのシステムに容易に統合すること
ができる構成とすることができれば非常に望ましい。本
発明は、このような要望を充足することを課題とする。
従って、本発明の目的は、窒素と超高純度酸素を生成す
るための方法及び装置であって、窒素を単コラム型シス
テム内で生成するようにした極低温精留方法及び装置を
提供することである。
に窒素は、単コラム型システム（単一のコラムから成る
システム）を用いて空気を極低温下で精留することによ
って生成することができることは周知である。空気を極
低温下で精留することによって高圧窒素を含め、窒素を
能率的に生成することができる単コラム型窒素生成シス
テムを、その窒素生成効率を阻害することなく、超高純
度酸素を生成するためのシステムに容易に統合すること
ができる構成とすることができれば非常に望ましい。本
発明は、このような要望を充足することを課題とする。
従って、本発明の目的は、窒素と超高純度酸素を生成す
るための方法及び装置であって、窒素を単コラム型シス
テム内で生成するようにした極低温精留方法及び装置を
提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、供給空気の極低温精留によって窒素と超
高純度酸素を生成するための方法であって、（Ａ）コラ
ムと頂部凝縮器から成る単コラム型システム内へ供給空
気を導入し、該供給空気を単コラム型システム内で極低
温精留によって窒素豊富蒸気と、８０％未満の酸素、重
質成分及び軽質成分を含有した酸素富化液体とに分離す
る工程と、（Ｂ）前記窒素豊富蒸気の第１部分を前記単
コラム型システムのコラムから生成物窒素として回収
し、該窒素豊富蒸気の第２部分を前記頂部凝縮器内で凝
縮させて、得られた窒素豊富液体を該コラムのための還
流として使用する工程と、（Ｃ）前記単コラム型システ
ムから酸素富化液体を、底部リボイラーを有する第１精
製コラムに下向きに通して該第１精製コラムの下方部分
内で実質的に軽質成分を含まない酸素濃縮流体を生成す
る工程と、（Ｄ）前記第１精製コラムの底部リボイラー
から酸素濃縮液体を前記単コラム型システムの頂部凝縮
器内へ通して、間接熱交換により窒素豊富蒸気を凝縮さ
せる工程と、（Ｅ）前記第１精製コラムの底部リボイラ
ーより少くとも１平衡段上方の地点から酸素濃縮蒸気を
第２精製コラムに上向きに通し、該第２精製コラムの上
方部分内で実質的に重質成分を含まない超高純度酸素を
生成する工程と、（Ｆ）前記第２精製コラムから超高純
度酸素を回収する工程と、から成る方法を提供する。
決するために、供給空気の極低温精留によって窒素と超
高純度酸素を生成するための方法であって、（Ａ）コラ
ムと頂部凝縮器から成る単コラム型システム内へ供給空
気を導入し、該供給空気を単コラム型システム内で極低
温精留によって窒素豊富蒸気と、８０％未満の酸素、重
質成分及び軽質成分を含有した酸素富化液体とに分離す
る工程と、（Ｂ）前記窒素豊富蒸気の第１部分を前記単
コラム型システムのコラムから生成物窒素として回収
し、該窒素豊富蒸気の第２部分を前記頂部凝縮器内で凝
縮させて、得られた窒素豊富液体を該コラムのための還
流として使用する工程と、（Ｃ）前記単コラム型システ
ムから酸素富化液体を、底部リボイラーを有する第１精
製コラムに下向きに通して該第１精製コラムの下方部分
内で実質的に軽質成分を含まない酸素濃縮流体を生成す
る工程と、（Ｄ）前記第１精製コラムの底部リボイラー
から酸素濃縮液体を前記単コラム型システムの頂部凝縮
器内へ通して、間接熱交換により窒素豊富蒸気を凝縮さ
せる工程と、（Ｅ）前記第１精製コラムの底部リボイラ
ーより少くとも１平衡段上方の地点から酸素濃縮蒸気を
第２精製コラムに上向きに通し、該第２精製コラムの上
方部分内で実質的に重質成分を含まない超高純度酸素を
生成する工程と、（Ｆ）前記第２精製コラムから超高純
度酸素を回収する工程と、から成る方法を提供する。
【０００６】本発明は、又、供給流体の極低温精留によ
って窒素と超高純度酸素を生成するための装置であっ
て、（Ａ）コラムと頂部凝縮器から成る単コラム型シス
テムと、該コラム内へ供給流体空気を導入するための手
段と、該コラムから頂部凝縮器へ流体を通すための手段
及び該頂部凝縮器からコラムへ流体を通ための手段と、
該コラムから生成物を回収するための手段と、（Ｂ）底
部リボイラーを有する第１精製コラムと、前記単コラム
型システムから該第１精製コラムの上方部分へ流体を通
すための手段と、該第１精製コラムの底部リボイラーか
ら前記単コラム型システムの頂部凝縮器内へ流体を通す
ための手段と、（Ｃ）第２精製コラムと、前記第１精製
コラムの底部リボイラーから第２精製コラム内へ流体を
通すための手段と、（Ｄ）前記第２精製コラムから生成
物を回収するための手段と、から成る装置を提供する。
って窒素と超高純度酸素を生成するための装置であっ
て、（Ａ）コラムと頂部凝縮器から成る単コラム型シス
テムと、該コラム内へ供給流体空気を導入するための手
段と、該コラムから頂部凝縮器へ流体を通すための手段
及び該頂部凝縮器からコラムへ流体を通ための手段と、
該コラムから生成物を回収するための手段と、（Ｂ）底
部リボイラーを有する第１精製コラムと、前記単コラム
型システムから該第１精製コラムの上方部分へ流体を通
すための手段と、該第１精製コラムの底部リボイラーか
ら前記単コラム型システムの頂部凝縮器内へ流体を通す
ための手段と、（Ｃ）第２精製コラムと、前記第１精製
コラムの底部リボイラーから第２精製コラム内へ流体を
通すための手段と、（Ｄ）前記第２精製コラムから生成
物を回収するための手段と、から成る装置を提供する。
【０００７】ここでいう、「コラム」とは、蒸留又は分
留コラム又は帯域、即ち、流体混合物の分離を行うため
に液相と蒸気相とを向流関係で接触させる接触コラム又
は帯域のことである。流体混合物の分離は、例えば、コ
ラム内に設置された一連の上下に離隔したトレー又はプ
レート及び、又は規則的な形状のパッキング部材及び、
又は不規則な形状のパッキング部材等の気液接触部材上
で蒸気相と液相を接触させることによって行われる。こ
のような蒸留コラムの詳細については、Ｒ．Ｈ．ペリ
ー、Ｃ．Ｈ．チルトン編「ケミカルエンジニアのハンド
ブック」第５版、米国ニューヨーク・マックグロー−ヒ
ル・ブック・カンパニー刊、セクション１３Ｂ．Ｄ．ス
ミス著「蒸留」第１３−３頁を参照されたい。
留コラム又は帯域、即ち、流体混合物の分離を行うため
に液相と蒸気相とを向流関係で接触させる接触コラム又
は帯域のことである。流体混合物の分離は、例えば、コ
ラム内に設置された一連の上下に離隔したトレー又はプ
レート及び、又は規則的な形状のパッキング部材及び、
又は不規則な形状のパッキング部材等の気液接触部材上
で蒸気相と液相を接触させることによって行われる。こ
のような蒸留コラムの詳細については、Ｒ．Ｈ．ペリ
ー、Ｃ．Ｈ．チルトン編「ケミカルエンジニアのハンド
ブック」第５版、米国ニューヨーク・マックグロー−ヒ
ル・ブック・カンパニー刊、セクション１３Ｂ．Ｄ．ス
ミス著「蒸留」第１３−３頁を参照されたい。
【０００８】気液接触分離法は、各成分の蒸気圧の差に
依存している。高い蒸気圧（又は高い揮発性又は低い沸
点）の成分は、蒸気相として濃縮する傾向があり、低い
蒸気圧（又は低い揮発性又は高い沸点）の成分は、液相
として濃縮する傾向がある。蒸留は、液体混合物を加熱
することにより高揮発性成分を蒸気相として濃縮し、そ
れによって液相中の低揮発性成分を濃縮する分離法であ
る。精留又は連続蒸留は、蒸気相と液相を向流接触関係
で処理することによって次々に行われる部分蒸発と部分
凝縮とを組合せた分離法である。蒸気相と液相との向流
接触は、断熱プロセスであり、蒸気相と液相との接触は
積分接触であってもよく、あるいは、微分接触であって
もよい。精留の原理を利用して混合物を分離するための
分離装置は、精留コラム、蒸留コラム、又は、分留コラ
ムと称される。極低温精留とは、少くとも一部分が１５
０°Ｋ以下の低い温度で実施される精留プロセスのこと
である。
依存している。高い蒸気圧（又は高い揮発性又は低い沸
点）の成分は、蒸気相として濃縮する傾向があり、低い
蒸気圧（又は低い揮発性又は高い沸点）の成分は、液相
として濃縮する傾向がある。蒸留は、液体混合物を加熱
することにより高揮発性成分を蒸気相として濃縮し、そ
れによって液相中の低揮発性成分を濃縮する分離法であ
る。精留又は連続蒸留は、蒸気相と液相を向流接触関係
で処理することによって次々に行われる部分蒸発と部分
凝縮とを組合せた分離法である。蒸気相と液相との向流
接触は、断熱プロセスであり、蒸気相と液相との接触は
積分接触であってもよく、あるいは、微分接触であって
もよい。精留の原理を利用して混合物を分離するための
分離装置は、精留コラム、蒸留コラム、又は、分留コラ
ムと称される。極低温精留とは、少くとも一部分が１５
０°Ｋ以下の低い温度で実施される精留プロセスのこと
である。
【０００９】ここでいう「間接熱交換」とは、２つの流
体流れを互いに物理的に接触又は混合させることなく熱
交換関係にもたらすことである。「供給空気」とは、空
気のような、主として窒素と酸素から成る混合物のこと
である。「上方部分」及び「下方部分」とは、それぞ
れ、コラムの上下中間点より上の部分及び下の部分のこ
とをいう。「トレー」とは、接触段（必ずしも平衡段で
はない）のことであり、１つのトレーの分離能力に等し
い分離能力を有するパッキング部材等の他の接触装置を
意味する場合もある。「平衡段」とは、その段から出て
いく蒸気と液体が物質移動の点で平衡状態となるように
する気液接触段、例えば、１００％の効率を有するトレ
ー、又は、１つの理論プレートの高さに等しい高さ（Ｈ
ＥＴＰ）を有するパッキング材のことである。「頂部凝
縮器」とは、コラム頂部の蒸気からコラムの下向き液体
を創生する熱交換器のことである。「底部リボイラー」
とは、コラム底部の液体からコラムの上き蒸気を創生す
る熱交換器のことである。底部リボイラーは、物理的に
コラムの内部に配置してもよく、あるいは外部に配置し
てもよい。底部リボイラーをコラムの内部に配置する場
合は、底部リボイラーをコラムの、最下段のトレー又は
最下方の平衡段より上の部分に配置する。「軽質成分」
とは、酸素より高い揮発性を有する成分のことをいう。
「重質成分」とは、酸素より低い揮発性を有する成分の
ことをいう。「実質的に含まない」とは、アルゴン以外
の成分を０．０１ｐｐｍ以上含まず、アルゴンを２０ｐ
ｐｍ以上含まないことを意味する。
体流れを互いに物理的に接触又は混合させることなく熱
交換関係にもたらすことである。「供給空気」とは、空
気のような、主として窒素と酸素から成る混合物のこと
である。「上方部分」及び「下方部分」とは、それぞ
れ、コラムの上下中間点より上の部分及び下の部分のこ
とをいう。「トレー」とは、接触段（必ずしも平衡段で
はない）のことであり、１つのトレーの分離能力に等し
い分離能力を有するパッキング部材等の他の接触装置を
意味する場合もある。「平衡段」とは、その段から出て
いく蒸気と液体が物質移動の点で平衡状態となるように
する気液接触段、例えば、１００％の効率を有するトレ
ー、又は、１つの理論プレートの高さに等しい高さ（Ｈ
ＥＴＰ）を有するパッキング材のことである。「頂部凝
縮器」とは、コラム頂部の蒸気からコラムの下向き液体
を創生する熱交換器のことである。「底部リボイラー」
とは、コラム底部の液体からコラムの上き蒸気を創生す
る熱交換器のことである。底部リボイラーは、物理的に
コラムの内部に配置してもよく、あるいは外部に配置し
てもよい。底部リボイラーをコラムの内部に配置する場
合は、底部リボイラーをコラムの、最下段のトレー又は
最下方の平衡段より上の部分に配置する。「軽質成分」
とは、酸素より高い揮発性を有する成分のことをいう。
「重質成分」とは、酸素より低い揮発性を有する成分の
ことをいう。「実質的に含まない」とは、アルゴン以外
の成分を０．０１ｐｐｍ以上含まず、アルゴンを２０ｐ
ｐｍ以上含まないことを意味する。
【００１０】
【実施例】本発明は、任意の適当な単コラム型窒素生成
システムに適用することができ、以下に、そのような３
種類のシステム、即ち、廃蒸気膨脹式窒素生成サイク
ル、空気膨脹式窒素生成サイクル、及び、ハイブリッド
窒素生成サイクルに関連して詳しく説明する。図１は、
高圧の廃蒸気流を膨脹させて、極低温精留を実施するた
めの冷凍を得るようにした廃蒸気膨脹サイクルに組入れ
ることができる本発明の一実施例を示す。
システムに適用することができ、以下に、そのような３
種類のシステム、即ち、廃蒸気膨脹式窒素生成サイク
ル、空気膨脹式窒素生成サイクル、及び、ハイブリッド
窒素生成サイクルに関連して詳しく説明する。図１は、
高圧の廃蒸気流を膨脹させて、極低温精留を実施するた
めの冷凍を得るようにした廃蒸気膨脹サイクルに組入れ
ることができる本発明の一実施例を示す。
【００１１】図１を参照して説明すると、供給空気１
は、窒素生成コラム（以下、「窒素コラム」又は単に
「コラム」とも称する）１００内へ導入される。窒素生
成コラム１００と、頂部凝縮器１５０とで、単コラム型
窒素生成システム（以下、単に「単コラムシステム」と
も称する）を構成する。コラム１００は、４．９２〜１
１．９５Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（７０〜１７０ｐｓｉ
ａ）の範囲の圧力で作動する。コラム１００内で供給空
気１は、極低温精留により窒素豊富蒸気と酸素富化液体
とに分離される。窒素豊富蒸気３０は、コラム１００か
ら頂部凝縮器１５０内へ通され、凝縮器１５０内で後述
する酸素富化液体との間接熱交換により凝縮され、凝縮
された窒素豊富液体はコラム１００へ還流流れ３１とし
て戻される。コラム１００からの窒素豊富蒸気３０の一
部分１３は、少くとも９９．９９％の窒素純度を有する
生成物窒素（製品窒素）として回収される。所望なら
ば、還流流れ即ち窒素豊富液体３１の一部分１５を窒素
豊富蒸気３０の一部分１３に加えて又はそれに代えて生
成物窒素として回収することができる。液体窒素１３が
生成される唯一の窒素生成物である場合は、それがコラ
ム１００から回収された窒素豊富蒸気の上述した一部分
（１３）である。
は、窒素生成コラム（以下、「窒素コラム」又は単に
「コラム」とも称する）１００内へ導入される。窒素生
成コラム１００と、頂部凝縮器１５０とで、単コラム型
窒素生成システム（以下、単に「単コラムシステム」と
も称する）を構成する。コラム１００は、４．９２〜１
１．９５Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（７０〜１７０ｐｓｉ
ａ）の範囲の圧力で作動する。コラム１００内で供給空
気１は、極低温精留により窒素豊富蒸気と酸素富化液体
とに分離される。窒素豊富蒸気３０は、コラム１００か
ら頂部凝縮器１５０内へ通され、凝縮器１５０内で後述
する酸素富化液体との間接熱交換により凝縮され、凝縮
された窒素豊富液体はコラム１００へ還流流れ３１とし
て戻される。コラム１００からの窒素豊富蒸気３０の一
部分１３は、少くとも９９．９９％の窒素純度を有する
生成物窒素（製品窒素）として回収される。所望なら
ば、還流流れ即ち窒素豊富液体３１の一部分１５を窒素
豊富蒸気３０の一部分１３に加えて又はそれに代えて生
成物窒素として回収することができる。液体窒素１３が
生成される唯一の窒素生成物である場合は、それがコラ
ム１００から回収された窒素豊富蒸気の上述した一部分
（１３）である。
【００１２】一方、窒素生成コラム１００内で得られた
酸素富化液体は、該コラム１００の下方部分から流れ２
として抽出される。この酸素富化液体２は、４２％未満
の、通常、３５〜４０％の範囲の酸素濃度を有し、窒素
やアルゴン等の軽質成分と、クリプトン、キセノン及び
炭化水素等の重質成分をも含有している。この酸素富化
液体流れ２の一部分３は、頂部凝縮器１５０内へ通さ
れ、そこで上述した窒素豊富蒸気を凝縮する働きをす
る。即ち、酸素富化液体流れ２の一部分３は、後述する
底部リボイラー２５０からの酸素濃縮液体流れ８と協同
して、頂部凝縮器１５０内で窒素豊富蒸気３０と間接的
に熱交換し、窒素豊富蒸気を凝縮させる。その結果、酸
素富化液体流れ２の一部分３の一部は、後述する酸素濃
縮液体の流れ８の一部と同様に、蒸発するが、残留した
酸素豊富液体は、頂部凝縮器１５０からコラム１００へ
還流することができる（図示せず）。
酸素富化液体は、該コラム１００の下方部分から流れ２
として抽出される。この酸素富化液体２は、４２％未満
の、通常、３５〜４０％の範囲の酸素濃度を有し、窒素
やアルゴン等の軽質成分と、クリプトン、キセノン及び
炭化水素等の重質成分をも含有している。この酸素富化
液体流れ２の一部分３は、頂部凝縮器１５０内へ通さ
れ、そこで上述した窒素豊富蒸気を凝縮する働きをす
る。即ち、酸素富化液体流れ２の一部分３は、後述する
底部リボイラー２５０からの酸素濃縮液体流れ８と協同
して、頂部凝縮器１５０内で窒素豊富蒸気３０と間接的
に熱交換し、窒素豊富蒸気を凝縮させる。その結果、酸
素富化液体流れ２の一部分３の一部は、後述する酸素濃
縮液体の流れ８の一部と同様に、蒸発するが、残留した
酸素豊富液体は、頂部凝縮器１５０からコラム１００へ
還流することができる（図示せず）。
【００１３】酸素富化液体の流れ２の他の一部分４（通
常、流れ２の１０〜３０％）は、１．０５〜３．１６Ｋ
ｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（１５〜４５ｐｓｉａ）の範囲の
圧力で作動する第１精製コラム２００の上方部分内へ通
される。この酸素富化液体４は、第１精製コラム２００
内を流下し、その間に、下向きに流れる該酸素富化液体
からその液体中の軽質成分が、第１精製コラム２００の
底部リボイラー２５０によって生成された上向きに流れ
る後述の蒸気（上昇蒸気）によってストリップされる
（分離される）。その結果、少くとも９９．９９％の酸
素濃度を有し、軽質成分を実質的に含まない酸素濃縮流
体がコラム２００の下方部分に溜る。この酸素濃縮流体
の一部分は、底部リボイラー２５０によって沸騰せしめ
られ、上述したストリッピング作用のための上昇蒸気を
生じる。
常、流れ２の１０〜３０％）は、１．０５〜３．１６Ｋ
ｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（１５〜４５ｐｓｉａ）の範囲の
圧力で作動する第１精製コラム２００の上方部分内へ通
される。この酸素富化液体４は、第１精製コラム２００
内を流下し、その間に、下向きに流れる該酸素富化液体
からその液体中の軽質成分が、第１精製コラム２００の
底部リボイラー２５０によって生成された上向きに流れ
る後述の蒸気（上昇蒸気）によってストリップされる
（分離される）。その結果、少くとも９９．９９％の酸
素濃度を有し、軽質成分を実質的に含まない酸素濃縮流
体がコラム２００の下方部分に溜る。この酸素濃縮流体
の一部分は、底部リボイラー２５０によって沸騰せしめ
られ、上述したストリッピング作用のための上昇蒸気を
生じる。
【００１４】底部リボイラー２５０は、上述した生成物
窒素の流れ１３から分流されて流れ１２として該底部リ
ボイラー２５０内に通される高圧窒素豊富蒸気によって
駆動される。その結果得られた凝縮窒素豊富液体は、底
部リボイラー２５０から追加の還流流れ３２としてコラ
ム１００へ送られる。
窒素の流れ１３から分流されて流れ１２として該底部リ
ボイラー２５０内に通される高圧窒素豊富蒸気によって
駆動される。その結果得られた凝縮窒素豊富液体は、底
部リボイラー２５０から追加の還流流れ３２としてコラ
ム１００へ送られる。
【００１５】コラム２００へ供給された酸素富化液体中
に含まれていた軽質成分の実質的に全部（上記酸素濃縮
流体に保持されたままの若干の残留アルゴンを除く）を
含有した上昇蒸気は、コラム２００の上方部分から軽質
成分蒸気（「廃蒸気」又は「廃ガス」とも称する）の流
れ６として排出される。
に含まれていた軽質成分の実質的に全部（上記酸素濃縮
流体に保持されたままの若干の残留アルゴンを除く）を
含有した上昇蒸気は、コラム２００の上方部分から軽質
成分蒸気（「廃蒸気」又は「廃ガス」とも称する）の流
れ６として排出される。
【００１６】第２精製コラム２００内で精製された上記
酸素濃縮液体は、底部リボイラー２５０から流れ８とし
て単コラムシステムの頂部凝縮器１５０へ通され、窒素
生成コラム１００からの上述した酸素富化液体流れ２の
一部分３と協同して、頂部凝縮器１５０内で単コラムシ
ステムのコラム１００への還流３１を生成するための窒
素豊富蒸気の凝縮を助成する。即ち、底部リボイラー２
５０からの酸素濃縮液体流れ８は、酸素富化液体流れ２
の一部分３と協同して、頂部凝縮器１５０内で窒素豊富
蒸気と間接的に熱交換し、窒素豊富蒸気を凝縮させる。
その結果、酸素濃縮液体の流れ８の一部は、酸素富化液
体流れ２の一部分３の一部と同様に、蒸発するが、残留
した酸素豊富液体は、頂部凝縮器１５０からコラム１０
０へ還流することができる（図示せず）。かくして、窒
素生成コラム１００のための追加の液体還流が創生され
るので、窒素生成コラム１００が後述する超高純度酸素
生成システム（３００，３５０）と統合され、窒素生成
コラム１００の底部に溜る液体が超高純度酸素生成シス
テムのための供給物として使用されるにも拘らず、窒素
生成コラム１００の窒素生成能力を阻害することがな
い。好ましい実施例では、図１に示されるように、底部
リボイラー２５０からの酸素濃縮液体の流れ８は、頂部
凝縮器１５０へ通す前にポンプ２７５などによりより高
い圧力に増圧される。
酸素濃縮液体は、底部リボイラー２５０から流れ８とし
て単コラムシステムの頂部凝縮器１５０へ通され、窒素
生成コラム１００からの上述した酸素富化液体流れ２の
一部分３と協同して、頂部凝縮器１５０内で単コラムシ
ステムのコラム１００への還流３１を生成するための窒
素豊富蒸気の凝縮を助成する。即ち、底部リボイラー２
５０からの酸素濃縮液体流れ８は、酸素富化液体流れ２
の一部分３と協同して、頂部凝縮器１５０内で窒素豊富
蒸気と間接的に熱交換し、窒素豊富蒸気を凝縮させる。
その結果、酸素濃縮液体の流れ８の一部は、酸素富化液
体流れ２の一部分３の一部と同様に、蒸発するが、残留
した酸素豊富液体は、頂部凝縮器１５０からコラム１０
０へ還流することができる（図示せず）。かくして、窒
素生成コラム１００のための追加の液体還流が創生され
るので、窒素生成コラム１００が後述する超高純度酸素
生成システム（３００，３５０）と統合され、窒素生成
コラム１００の底部に溜る液体が超高純度酸素生成シス
テムのための供給物として使用されるにも拘らず、窒素
生成コラム１００の窒素生成能力を阻害することがな
い。好ましい実施例では、図１に示されるように、底部
リボイラー２５０からの酸素濃縮液体の流れ８は、頂部
凝縮器１５０へ通す前にポンプ２７５などによりより高
い圧力に増圧される。
【００１７】頂部凝縮器１５０内で酸素富化液体流れ２
の一部分３及び酸素濃縮液体流れ８が窒素豊富蒸気と間
接熱交換を行った結果として生じた蒸気は、廃蒸気流れ
５として頂部凝縮器１５０内から排出される。この高圧
の廃蒸気流れ５を、冷凍作用を発生させるためにターボ
膨脹機を通して膨脹させることができ、入来供給空気１
と間接熱交換関係をなすように通して供給空気を冷却
し、それによって単コラム型システム１００，１５０が
極低温精留を実施するための冷凍作用を提供することが
できる。
の一部分３及び酸素濃縮液体流れ８が窒素豊富蒸気と間
接熱交換を行った結果として生じた蒸気は、廃蒸気流れ
５として頂部凝縮器１５０内から排出される。この高圧
の廃蒸気流れ５を、冷凍作用を発生させるためにターボ
膨脹機を通して膨脹させることができ、入来供給空気１
と間接熱交換関係をなすように通して供給空気を冷却
し、それによって単コラム型システム１００，１５０が
極低温精留を実施するための冷凍作用を提供することが
できる。
【００１８】第１精製コラム２００の底部リボイラー２
５０内での酸素濃縮液体の蒸発によって生じた酸素濃縮
蒸気は、底部リボイラー２５０より少くとも１平衡段上
方の地点から流れ７として抽出され、１．０５〜３．１
６Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（１５〜４５ｐｓｉａ）の範
囲の圧力で作動する第２精製コラム３００の下方部分内
へ通される。（第１精製コラム２００内の最下方の平衡
段は破線で示されている。）酸素濃縮蒸気は、第２精製
コラム３００内を上昇し、その間に、該上昇する酸素濃
縮蒸気中の重質成分が、下向きに流れる液体（流下液
体）によって該上昇酸素濃縮蒸気から洗い流す。供給流
れ７中に含まれていた重質成分の実質的に全部をストリ
ップし、それを含有した流下液体は、第２精製コラム３
００から流れ３３として第１精製コラム２００の底部
（底部凝縮器２５０が設置されている部分）へ送られ
る。
５０内での酸素濃縮液体の蒸発によって生じた酸素濃縮
蒸気は、底部リボイラー２５０より少くとも１平衡段上
方の地点から流れ７として抽出され、１．０５〜３．１
６Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（１５〜４５ｐｓｉａ）の範
囲の圧力で作動する第２精製コラム３００の下方部分内
へ通される。（第１精製コラム２００内の最下方の平衡
段は破線で示されている。）酸素濃縮蒸気は、第２精製
コラム３００内を上昇し、その間に、該上昇する酸素濃
縮蒸気中の重質成分が、下向きに流れる液体（流下液
体）によって該上昇酸素濃縮蒸気から洗い流す。供給流
れ７中に含まれていた重質成分の実質的に全部をストリ
ップし、それを含有した流下液体は、第２精製コラム３
００から流れ３３として第１精製コラム２００の底部
（底部凝縮器２５０が設置されている部分）へ送られ
る。
【００１９】一方、少くとも９９．９９５％の酸素濃度
を有し、重質成分を実質的に含まない超高純度酸素蒸気
が第２精製コラム３００の上方部分に溜る。この超高純
度酸素蒸気の流れ３４の一部分１０は、超高純度酸素生
成物として回収することができる。超高純度酸素蒸気の
流れ３４は、コラム３００の頂部凝縮器３５０内へ通さ
れ、該凝縮器内で液体空気又は液体窒素等の液体との間
接熱交換によって凝縮される。液体空気又は液体窒素等
の液体は、流れ１１として頂部凝縮器３５０へ供給され
る。その結果得られた超高純度酸素液体３５は、頂部凝
縮器３５０からコラム３００内へ、上述したように上昇
酸素濃縮蒸気から重質成分を洗い流す働きをする流下液
体として通される。超高純度酸素液体３５の一部分９
は、超高純度酸素液体生成物として回収することができ
る。頂部凝縮器３５０での熱交換の結果として生じた蒸
気は、廃蒸気流れ３６として系外へ排出される。
を有し、重質成分を実質的に含まない超高純度酸素蒸気
が第２精製コラム３００の上方部分に溜る。この超高純
度酸素蒸気の流れ３４の一部分１０は、超高純度酸素生
成物として回収することができる。超高純度酸素蒸気の
流れ３４は、コラム３００の頂部凝縮器３５０内へ通さ
れ、該凝縮器内で液体空気又は液体窒素等の液体との間
接熱交換によって凝縮される。液体空気又は液体窒素等
の液体は、流れ１１として頂部凝縮器３５０へ供給され
る。その結果得られた超高純度酸素液体３５は、頂部凝
縮器３５０からコラム３００内へ、上述したように上昇
酸素濃縮蒸気から重質成分を洗い流す働きをする流下液
体として通される。超高純度酸素液体３５の一部分９
は、超高純度酸素液体生成物として回収することができ
る。頂部凝縮器３５０での熱交換の結果として生じた蒸
気は、廃蒸気流れ３６として系外へ排出される。
【００２０】上記第２精製コラム３００と頂部凝縮器３
５０とで、超高純度酸素生成システムを構成する。本発
明によって得られる超高純度酸素は、主窒素生成システ
ムの副産物とみなすことができる。従って、この超高純
度酸素生成物の流れは、通常、供給空気流の約０．５〜
５％に相当する。
５０とで、超高純度酸素生成システムを構成する。本発
明によって得られる超高純度酸素は、主窒素生成システ
ムの副産物とみなすことができる。従って、この超高純
度酸素生成物の流れは、通常、供給空気流の約０．５〜
５％に相当する。
【００２１】図２は、窒素生成コラム１００からの酸素
富化液体流れ２の全部を頂部凝縮器１５０内へ通し、頂
部凝縮器１５０からの酸素富化液体の流れ１４を第２精
製コラム２００の上方部分内へ通すことを除いて、図１
のシステムと同様のシステムを示す。図１の実施例の要
素と同様の要素は、同じ参照番号で示されている。この
実施例の流れ１４の酸素富化液体は、酸素濃度６７％未
満の、通常、４８〜６２％の範囲の酸素濃度を有する。
液体窒素生成物の流れ１５は、それを回収する場合は、
流れ３２から抽出するが、図１の実施例の場合と同様
に、還流流３１から抽出してもよい。図２の実施例の他
のすべての要素は、図１の実施例のものと実質的に同じ
であり、ここで繰返し説明する必要はない。
富化液体流れ２の全部を頂部凝縮器１５０内へ通し、頂
部凝縮器１５０からの酸素富化液体の流れ１４を第２精
製コラム２００の上方部分内へ通すことを除いて、図１
のシステムと同様のシステムを示す。図１の実施例の要
素と同様の要素は、同じ参照番号で示されている。この
実施例の流れ１４の酸素富化液体は、酸素濃度６７％未
満の、通常、４８〜６２％の範囲の酸素濃度を有する。
液体窒素生成物の流れ１５は、それを回収する場合は、
流れ３２から抽出するが、図１の実施例の場合と同様
に、還流流３１から抽出してもよい。図２の実施例の他
のすべての要素は、図１の実施例のものと実質的に同じ
であり、ここで繰返し説明する必要はない。
【００２２】図３及び４は、それぞれ、空気膨脹式窒素
生成サイクルと、ハイブリッド窒素生成サイクルに統合
した本発明の実施例を示す。図３及び４に示された実施
例の要素の多くは、図１の実施例に関連して説明したも
のに対応するので、それらの対応する要素については説
明を繰返さない。図１の実施例の要素と同様の要素は、
同じ参照番号で示されている。
生成サイクルと、ハイブリッド窒素生成サイクルに統合
した本発明の実施例を示す。図３及び４に示された実施
例の要素の多くは、図１の実施例に関連して説明したも
のに対応するので、それらの対応する要素については説
明を繰返さない。図１の実施例の要素と同様の要素は、
同じ参照番号で示されている。
【００２３】図３の実施例においては、供給空気が２つ
の部分４０と４１に分けられる。供給空気の約６５〜９
５％を占める主部分４０は、ターボ膨脹機で膨脹されて
冷凍作用を創生し、２．８１〜４．９２Ｋｇ／ｃｍ2
（絶対圧）（４０〜７０ｐｓｉａ）の範囲の圧力で作動
する窒素生成コラム１００へ通される。供給空気の他の
部分４１は、高められた圧力で第１精製コラム２００の
酸素濃縮液体を再沸騰させるために第１精製コラム２０
０の底部リボイラー２５０へ通され、得られた空気の凝
縮液流れ４２は、単コラム型窒素生成システムの窒素生
成コラム１００へ通される。
の部分４０と４１に分けられる。供給空気の約６５〜９
５％を占める主部分４０は、ターボ膨脹機で膨脹されて
冷凍作用を創生し、２．８１〜４．９２Ｋｇ／ｃｍ2
（絶対圧）（４０〜７０ｐｓｉａ）の範囲の圧力で作動
する窒素生成コラム１００へ通される。供給空気の他の
部分４１は、高められた圧力で第１精製コラム２００の
酸素濃縮液体を再沸騰させるために第１精製コラム２０
０の底部リボイラー２５０へ通され、得られた空気の凝
縮液流れ４２は、単コラム型窒素生成システムの窒素生
成コラム１００へ通される。
【００２４】頂部凝縮器１５０からの廃蒸気５は、ター
ボ膨脹されず（ターボ膨脹機で膨脹されず）、第１精製
コラム２００からの廃蒸気６と合流され、合流流れ４３
として系外へ排出される。窒素生成物及び超高純度酸素
生成物は、図１の実施例に関連して説明したのと実質的
に同様の態様で生成される。
ボ膨脹されず（ターボ膨脹機で膨脹されず）、第１精製
コラム２００からの廃蒸気６と合流され、合流流れ４３
として系外へ排出される。窒素生成物及び超高純度酸素
生成物は、図１の実施例に関連して説明したのと実質的
に同様の態様で生成される。
【００２５】図４は、頂部凝縮器１５０に加えて底部リ
ボイラー１７５を備えたハイブリッド単コラム型窒素生
成システムに統合した本発明のの実施例を示す。この実
施例においては、供給空気が３つの部分に分けられる。
供給空気の約５０〜９０％を占める主部分５０は、ター
ボ膨脹機で膨脹されて冷凍作用を創生し、２．８１〜
４．９２Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（４０〜７０ｐｓｉ
ａ）の範囲の圧力で作動する窒素生成コラム１００へ通
される。供給空気の第２部分５１は、図３の実施例に関
連して説明したのと同様の態様で第１精製コラム２００
の酸素濃縮液体を再沸騰させるために第１精製コラム２
００の底部リボイラー２５０へ通され、得られた空気の
凝縮液流れ５２は、単コラム型窒素生成システムの窒素
生成コラム１００へ通される。供給空気の第３部分５３
は、単コラム型窒素生成システムのコラム１００内の液
体を再沸騰させるためにコラム１００の底部リボイラー
１７５へ通され、得られた空気の凝縮液流れ５４は、コ
ラム１００の下方部分内へ通される。供給空気ので２部
分５１も、第３部分５３も、高められた圧力で供給され
る。
ボイラー１７５を備えたハイブリッド単コラム型窒素生
成システムに統合した本発明のの実施例を示す。この実
施例においては、供給空気が３つの部分に分けられる。
供給空気の約５０〜９０％を占める主部分５０は、ター
ボ膨脹機で膨脹されて冷凍作用を創生し、２．８１〜
４．９２Ｋｇ／ｃｍ2 （絶対圧）（４０〜７０ｐｓｉ
ａ）の範囲の圧力で作動する窒素生成コラム１００へ通
される。供給空気の第２部分５１は、図３の実施例に関
連して説明したのと同様の態様で第１精製コラム２００
の酸素濃縮液体を再沸騰させるために第１精製コラム２
００の底部リボイラー２５０へ通され、得られた空気の
凝縮液流れ５２は、単コラム型窒素生成システムの窒素
生成コラム１００へ通される。供給空気の第３部分５３
は、単コラム型窒素生成システムのコラム１００内の液
体を再沸騰させるためにコラム１００の底部リボイラー
１７５へ通され、得られた空気の凝縮液流れ５４は、コ
ラム１００の下方部分内へ通される。供給空気ので２部
分５１も、第３部分５３も、高められた圧力で供給され
る。
【００２６】このハイブリッド型は、窒素生成コラム１
００の還流を枯渇させることなく、あるいは、精製され
た窒素を必ずしも再循環させる必要なしに、より高い純
度を有する窒素の生成を可能にする。廃蒸気５及び６
は、図３の実施例に関連して説明したのと同様の態様で
処理される。窒素生成物物及び超高純度酸素生成物は、
図１の実施例に関連して説明したのと実質的に同様の態
様で生成される。られる。
００の還流を枯渇させることなく、あるいは、精製され
た窒素を必ずしも再循環させる必要なしに、より高い純
度を有する窒素の生成を可能にする。廃蒸気５及び６
は、図３の実施例に関連して説明したのと同様の態様で
処理される。窒素生成物物及び超高純度酸素生成物は、
図１の実施例に関連して説明したのと実質的に同様の態
様で生成される。られる。
【００２７】図３の空気膨脹式実施例においても、図４
のハイブリッド式実施例においても、コラム１００の下
方部分からの酸素富化液体２は、図１の実施例の場合と
同様に、頂部凝縮器１５０と、第１精製コラム２００の
両方へ通されるものとして図示されているが、図３及び
図４のいずれの実施例においても、図２の実施例の場合
のように、コラム１００の下方部分からの酸素富化液体
２の全部を頂部凝縮器１５０へ通し、頂部凝縮器１５０
からの酸素富化液体を第１精製コラム２００の上方部分
内へ通すようにしてもよいことは明らかであろう。
のハイブリッド式実施例においても、コラム１００の下
方部分からの酸素富化液体２は、図１の実施例の場合と
同様に、頂部凝縮器１５０と、第１精製コラム２００の
両方へ通されるものとして図示されているが、図３及び
図４のいずれの実施例においても、図２の実施例の場合
のように、コラム１００の下方部分からの酸素富化液体
２の全部を頂部凝縮器１５０へ通し、頂部凝縮器１５０
からの酸素富化液体を第１精製コラム２００の上方部分
内へ通すようにしてもよいことは明らかであろう。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、窒素生
成システムと組合せて、窒素生成システムを攪乱するこ
となく、窒素を生成するとともに、その副産物として少
量の超高純度酸素を（所望ならば、高い圧力で）能率的
に生成することを可能にする。
成システムと組合せて、窒素生成システムを攪乱するこ
となく、窒素を生成するとともに、その副産物として少
量の超高純度酸素を（所望ならば、高い圧力で）能率的
に生成することを可能にする。
【００２９】以上、本発明を実施例に関連して説明した
が、本発明は、ここに例示した実施例の構造及び形態に
限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸
脱することなく、いろいろな実施形態が可能であり、い
ろいろな変更及び改変を加えることができることを理解
されたい。
が、本発明は、ここに例示した実施例の構造及び形態に
限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸
脱することなく、いろいろな実施形態が可能であり、い
ろいろな変更及び改変を加えることができることを理解
されたい。
【図１】図１は、廃蒸気膨脹式窒素生成サイクルに適用
するのに特に適した本発明の一実施例の概略図である。
するのに特に適した本発明の一実施例の概略図である。
【図２】図２は、図１の実施例に類似した実施例である
が、窒素生成コラムからではなく、頂部凝縮器から第１
精製コラムへ供給物を通すようにした実施例の概略図で
ある。
が、窒素生成コラムからではなく、頂部凝縮器から第１
精製コラムへ供給物を通すようにした実施例の概略図で
ある。
【図３】図３は、空気膨脹式窒素生成サイクルに適用す
るのに特に適した本発明の一実施例の概略図である。
るのに特に適した本発明の一実施例の概略図である。
【図４】図４は、底部リボイラーを備えた窒素生成コラ
ムを用いるハイブリッド窒素生成サイクルに適用するの
に特に適した本発明の一実施例の概略図である。
ムを用いるハイブリッド窒素生成サイクルに適用するの
に特に適した本発明の一実施例の概略図である。
１：供給空気 ２：酸素富化液体の流れ ３，４：酸素富化液体の流れ２の一部分 ５，６：廃蒸気の流れ ７：酸素濃縮蒸気 ８：酸素濃縮液体 ９：超高純度酸素液体の流れ３５の一部分 １０：超高純度酸素蒸気の流れ３４の一部分 １３：窒素豊富蒸気の流れ３０の一部分 １５：窒素豊富液体の還流３１の一部分 ３０：窒素豊富蒸気の流れ ３１：窒素豊富液体の還流 ３２：窒素豊富液体の還流 ３４：超高純度酸素蒸気の流れ ３５：超高純度酸素液体の流れ ４０，４１：供給空気 ５０，５１，５３：供給空気 １００：窒素生成コラム １５０：頂部凝縮器 １７５：底部リボイラー ２００：第１精製コラム ２５０：底部リボイラー ２７５：ポンプ ３００：第２精製コラム ３５０：頂部凝縮器
Claims (10)
- 【請求項１】供給空気の極低温精留によって窒素と超高
純度酸素を生成するための方法であって、 （Ａ）コラムと頂部凝縮器から成る単コラム型システム
内へ供給空気を導入し、該供給空気を単コラム型システ
ム内で極低温精留によって窒素豊富蒸気と、８０％未満
の酸素、重質成分及び軽質成分を含有した酸素富化液体
とに分離する工程と、 （Ｂ）前記窒素豊富蒸気の第１部分を前記単コラム型シ
ステムのコラムから生成物窒素として回収し、該窒素豊
富蒸気の第２部分を前記頂部凝縮器内で凝縮させて、得
られた窒素豊富液体を該コラムのための還流として使用
する工程と、 （Ｃ）前記単コラム型システムから酸素富化液体を、底
部リボイラーを有する第１精製コラムに下向きに通して
該第１精製コラムの下方部分内で実質的に軽質成分を含
まない酸素濃縮流体を生成する工程と、 （Ｄ）前記第１精製コラムの底部リボイラーから酸素濃
縮液体を前記単コラム型システムの頂部凝縮器内へ通し
て、間接熱交換により窒素豊富蒸気を凝縮させる工程
と、 （Ｅ）前記第１精製コラムの底部リボイラーより少くと
も１平衡段上方の地点から酸素濃縮蒸気を第２精製コラ
ムに上向きに通し、該第２精製コラムの上方部分内で実
質的に重質成分を含まない超高純度酸素を生成する工程
と、 （Ｆ）前記第２精製コラムから超高純度酸素を回収する
工程と、から成る方法。 - 【請求項２】前記単コラム型システムのコラムから前記
酸素富化液体を前記第１精製コラム内へ通すことを特徴
とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】前記単コラム型システムの頂部凝縮器から
前記酸素富化液体を前記第１精製コラム内へ通すことを
特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】前記第１精製コラムの底部リボイラーから
の酸素濃縮液体を前記単コラム型システムの頂部凝縮器
内へ通す前に該酸素濃縮液体の圧力を増大させることを
特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項５】前記単コラム型システムのコラムから回収
された前記窒素豊富蒸気の前記第１部分を凝縮させ、液
体として回収することを特徴とする請求項１に記載の方
法。 - 【請求項６】供給流体の極低温精留によって窒素と超高
純度酸素を生成するための装置であって、 （Ａ）コラムと頂部凝縮器から成る単コラム型システム
と、該コラム内へ供給流体空気を導入するための手段
と、該コラムから頂部凝縮器へ流体を通すための手段及
び該頂部凝縮器からコラムへ流体を通ための手段と、該
コラムから生成物を回収するための手段と、 （Ｂ）底部リボイラーを有する第１精製コラムと、前記
単コラム型システムから該第１精製コラムの上方部分へ
流体を通すための手段と、該第１精製コラムの底部リボ
イラーから前記単コラム型システムの頂部凝縮器内へ流
体を通すための手段と、 （Ｃ）第２精製コラムと、前記第１精製コラムの底部リ
ボイラーから第２精製コラム内へ流体を通すための手段
と、 （Ｄ）前記第２精製コラムから生成物を回収するための
手段と、から成る装置。 - 【請求項７】単コラム型システムから第１精製コラムの
上方部分へ流体を通すための前記手段は、該単コラム型
システムのコラムに連通していることを特徴とする請求
項６に記載の装置。 - 【請求項８】単コラム型システムから第１精製コラムの
上方部分へ流体を通すための前記手段は、該単コラム型
システムの頂部凝縮器に連通していることを特徴とする
請求項６に記載の装置。 - 【請求項９】第１精製コラムの底部リボイラーから単コ
ラム型システムの頂部凝縮器内へ流体を通すための前記
手段は、ポンプを含むことを特徴とする請求項６に記載
の装置。 - 【請求項１０】前記単コラム型システムは、底部リボイ
ラーを含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/854,094 US5195324A (en) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Cryogenic rectification system for producing nitrogen and ultra high purity oxygen |
| US854094 | 1992-03-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05288464A true JPH05288464A (ja) | 1993-11-02 |
| JP2694592B2 JP2694592B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=25317716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5017876A Expired - Lifetime JP2694592B2 (ja) | 1992-03-19 | 1993-01-11 | 窒素と超高純度酸素を生成するための極低温式精留方法及び装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5195324A (ja) |
| EP (1) | EP0561109B1 (ja) |
| JP (1) | JP2694592B2 (ja) |
| KR (1) | KR0144127B1 (ja) |
| BR (1) | BR9300109A (ja) |
| CA (1) | CA2087044C (ja) |
| DE (1) | DE69301046D1 (ja) |
| ES (1) | ES2081140T3 (ja) |
| MX (1) | MX9300117A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| GB9410696D0 (en) * | 1994-05-27 | 1994-07-13 | Boc Group Plc | Air separation |
| US5528906A (en) * | 1995-06-26 | 1996-06-25 | The Boc Group, Inc. | Method and apparatus for producing ultra-high purity oxygen |
| DE19543953C1 (de) * | 1995-11-25 | 1996-12-19 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung von Sauerstoff und Stickstoff unter überatmosphärischem Druck |
| US5669236A (en) * | 1996-08-05 | 1997-09-23 | Praxair Technology, Inc. | Cryogenic rectification system for producing low purity oxygen and high purity oxygen |
| US5682763A (en) * | 1996-10-25 | 1997-11-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Ultra high purity oxygen distillation unit integrated with ultra high purity nitrogen purifier |
| US5918482A (en) * | 1998-02-17 | 1999-07-06 | Praxair Technology, Inc. | Cryogenic rectification system for producing ultra-high purity nitrogen and ultra-high purity oxygen |
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| US6327873B1 (en) | 2000-06-14 | 2001-12-11 | Praxair Technology Inc. | Cryogenic rectification system for producing ultra high purity oxygen |
| US6460373B1 (en) | 2001-12-04 | 2002-10-08 | Praxair Technology, Inc. | Cryogenic rectification system for producing high purity oxygen |
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| DE3722746A1 (de) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Linde Ag | Verfahren und vorrichtung zur luftzerlegung durch rektifikation |
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-
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-
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