JPH0528945A - 表面観察用試料台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異形試料であっても迅速かつ容易に、試料の
任意の面を観察方向に向け導電性を保持して固定する。 【構成】 導電材料製容器２に金属粒１を充填し、この
金属粒中に試料３の一部を埋没して固定するようにした
表面観察用試料台で、試料の形状に関係なく迅速かつ容
易に固定することができ、また導電性が確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば反射型電子顕微
鏡で試料を観察する際に、試料を固定する表面観察用試
料台に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず本願発明の表面観察用試料台を使用
する電子顕微鏡についてその概略を説明する。図３は一
般的電子顕微鏡の電子光学系の概念を示す図で、11は試
料に照射される電子線、12は電子線11を発生する電子線
発生器、13は電子線11を加速し絞り込む電子レンズ系、
14は電子顕微鏡の電気回路系に接続されている試料室、
16は試料台15を介して試料室14に電気的に接続される試
料である。電子顕微鏡の電子光学系は上記のように構成
され、電子線発生器12と電子レンズ系13により必要なエ
ネルギ−強度、直径の電子線11を作り、試料室14内に設
置した試料16の観察面に照射し、電子線11の衝突エネル
ギ−により観察面から発生する二次電子を検出して電気
的に処理し、試料の表面状態を観察するものである。
以上のように、電子顕微鏡では、電子線11を観察面に照
射することにより観察面の状態を観察するが、試料16に
照射された電子線11がスム−ズに電子顕微鏡の電気回路
系に流れず試料16に蓄積されると、試料16が負に帯電
し、この試料16にさらに電子線11が照射されるので電子
線11は負に帯電した試料16上に存在する電界により影響
を受け、チャ−ジアップと呼ばれる、作られた像がちら
つく現象が生じる。したがって、前記現象を防止するた
め、試料16は試料室14に電気的に接続するように固定し
なければならない。

【０００３】従来、電子顕微鏡で観察する試料は、その
表面に金、銀、カ−ボンなどの導電性材料を蒸着し、こ
の表面に導電性薄膜を形成して導電性を付与した試料６
を図２Ａに示すように、銀粉などを混入した導電性ペ−
スト７で試料台５に固定している。また、図２Ｂに示す
ように、試料８が特殊な形状で観察面を上にして試料台
５上に自分では立たないような複雑な形状の試料（以
下、異形試料という）の場合には、試料８をアルミ箔９
などの導電性材料でくるみ、観察面を上にして試料台５
上に立てるようにしている。

【０００４】導電性ペ−ストを使用して試料を固定する
のには、試料の着脱に時間がかかり、また導電性ペ−ス
トで試料が汚れるなどして試料を損傷するおそれがあ
る。自立性のない異形試料の場合も同様に試料の装着に
手間と時間がかかり、数多くの試料を手早く測定するこ
とができない。実開昭６２−１９７２５０号公報には、
導電性線材の束を周りから締め込むように構成し、リ−
ド線などの試料を固定する表面観察器用試料台が記載さ
れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記公開公報に記載さ
れた試料台は、導電性ペ−ストを使用せずにリ−ド線な
どの棒状の試料を導電性を保持して固定することができ
るが、試料を周りから挟持するのが線材であるため、異
形試料の場合は接触面が少なくなって導電性を保持して
固定するのが困難となる。また、線材を周りから締め込
んで試料を固定するので、異形試料の任意の面を観察方
向に向けて固定することができない。

【０００６】本発明は、導電性ペ−ストを使用せずに、
異形試料であっても迅速かつ容易に、試料の任意の面を
観察方向に向け導電性を保持して固定することができる
表面観察用試料台を提供することを目的とするものであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、導電材料製容
器に金属粒を充填し、該金属粒中に試料の一部を埋没し
て固定するようにした表面観察用試料台である。

【０００８】

【作用】金属粒中に試料を差込みなどして、試料の形状
に関係なく迅速かつ容易に固定することができ、また導
電性が確保できる。

【０００９】

【実施例】図１において、２は導電性材料製の容器で、
この中に0．5〜1．0ｍｍ径の大きさの金属粒１を充填
し、この容器２を試料台に設置する。図１Ａは異形試料
３を容器２の金属粒１中に固定した状態を示すもので、
この試料の固定方法は、試料３の観察面３ａを上にして
金属粒１中に差込んで固定しても、空容器２の中に試料
３を保持しその周りに金属粒１を充填するようにしても
良い。図１Ｂは、棒状の試料４を金属粒１で固定した状
態を示すもので、観察面４ａの測定が済んだら、試料４
を抜取り、試料４を反転させて金属粒１中に差込むこと
で、試料４の反対側の端面を手早く測定することができ
る。

【００１０】以上のように、試料を固定するのに金属粒
を用いたので導電性が確保でき、また、試料の形状に関
係なく迅速かつ容易に固定することが可能となる。試料
の金属粒中への埋込み量が浅い場合には、小径の金属粒
を用いて試料との接触点を増加する必要がある。試料の
埋没量が４ｍｍ以下の場合には、0．5ｍｍ径の金属粒を
使用し、埋没量がそれ以上の場合には、１ｍｍ径の金属
粒を用いるのが適切である。

【００１１】このように、本発明の試料台は、金属粒を
試料の固定に使用するので微小な試料の固定には向かな
いが、比較的大きな試料にも適用でき、金属粒は、錆び
やゴミの付着などの表面の汚れを落とせば何回でも半永
久的に使用でき、測定コストの低減が図れる。以上の実
施例では、電子顕微鏡の試料台について説明したが、Ｘ
線マイクロアナライザ−の試料台にも適用できるのは勿
論である。

【００１２】

【発明の効果】本発明は、複雑な形状の試料であっても
任意の観察面に迅速かつ容易に固定でき、また、導電性
が確保できて測定上の障害が発生するおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の説明図。

【図２】従来の試料固定方法の説明図。

【図３】電子顕微鏡の概念図。

【符号の説明】

１ 金属粒 ２ 容器 ３ 異形試料 ４ 試料

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 導電材料製容器に金属粒を充填し、該金
   属粒中に試料の一部を埋没して固定するようにしたこと
   を特徴とする表面観察用試料台。