JPH0529244B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0529244B2 JPH0529244B2 JP61267122A JP26712286A JPH0529244B2 JP H0529244 B2 JPH0529244 B2 JP H0529244B2 JP 61267122 A JP61267122 A JP 61267122A JP 26712286 A JP26712286 A JP 26712286A JP H0529244 B2 JPH0529244 B2 JP H0529244B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protrusion
- magnetic head
- disk
- height
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、固定磁気デイスク装置に用いる磁気
デイスクなどの表面に存在し、デイスクへのデー
タの書き込み、読み出しに際してトラブルを生じ
たり、磁気ヘツドに損傷を与えたりする突起につ
いて、その高さを測定する方法に関する。
デイスクなどの表面に存在し、デイスクへのデー
タの書き込み、読み出しに際してトラブルを生じ
たり、磁気ヘツドに損傷を与えたりする突起につ
いて、その高さを測定する方法に関する。
磁気デイスクはデイスク状の基板表面に磁性
層、保護潤滑層などをめつき、スパツタ、コーテ
イングなど種々の方法で形成して作製されるが、
基板表面の粗さが充分均一でなく突起が存在した
り、あるいは各層の成膜中に不純物が混入したり
すると、磁気デイスクの表面に突起が発生するこ
とがある。固定磁気デイスク装置ではCSS方式が
採られるが、そのような、磁気ヘツドが磁気デイ
スク面からわずかに浮上走行しながらデータの書
き込み、読み出しを行う場合でも、このような突
起が存在すると誤りが発生することがあり、ま
た、突起が高い場合には、磁気ヘツドが突起に衝
突して損傷を受けることがある。また、CSS方式
では装置の駆動開始時には磁気ヘツドは磁気デイ
スク面に接触している状態から摺動し浮上走行状
態にはいり、装置の停止時には浮上状態から磁気
デイスク面に接触摺動して停止する。このとき、
突起が存在すると磁気ヘツドとの衝突が起こり、
両者は多少とも損傷を受ける。従つて、突起の数
は少ない程望ましく、また、その高さは低い方が
好ましい。
層、保護潤滑層などをめつき、スパツタ、コーテ
イングなど種々の方法で形成して作製されるが、
基板表面の粗さが充分均一でなく突起が存在した
り、あるいは各層の成膜中に不純物が混入したり
すると、磁気デイスクの表面に突起が発生するこ
とがある。固定磁気デイスク装置ではCSS方式が
採られるが、そのような、磁気ヘツドが磁気デイ
スク面からわずかに浮上走行しながらデータの書
き込み、読み出しを行う場合でも、このような突
起が存在すると誤りが発生することがあり、ま
た、突起が高い場合には、磁気ヘツドが突起に衝
突して損傷を受けることがある。また、CSS方式
では装置の駆動開始時には磁気ヘツドは磁気デイ
スク面に接触している状態から摺動し浮上走行状
態にはいり、装置の停止時には浮上状態から磁気
デイスク面に接触摺動して停止する。このとき、
突起が存在すると磁気ヘツドとの衝突が起こり、
両者は多少とも損傷を受ける。従つて、突起の数
は少ない程望ましく、また、その高さは低い方が
好ましい。
突起の個数、高さを知る方法として、従来アコ
ーステイツク・エミツシヨン（以下、AEと略記
する）法が知られている。この方法は磁気ヘツド
のスライダアームにAEセンサを取り付けておき、
磁気デイスクを所定の回転数で回転させ磁気ヘツ
ドを浮上走行させる。磁気ヘツドに突起が接触す
るとスライダアームが振動し、AEセンサの出力
信号電圧にピーク電圧が発生する。このピーク電
圧により突起の個数およびその高さを知る。磁気
ヘツドを磁気デイスクの半径方向全体にわたつて
移動させることにより、磁気デイスク全面の突起
の情報を得ることができる。
ーステイツク・エミツシヨン（以下、AEと略記
する）法が知られている。この方法は磁気ヘツド
のスライダアームにAEセンサを取り付けておき、
磁気デイスクを所定の回転数で回転させ磁気ヘツ
ドを浮上走行させる。磁気ヘツドに突起が接触す
るとスライダアームが振動し、AEセンサの出力
信号電圧にピーク電圧が発生する。このピーク電
圧により突起の個数およびその高さを知る。磁気
ヘツドを磁気デイスクの半径方向全体にわたつて
移動させることにより、磁気デイスク全面の突起
の情報を得ることができる。
ところが、突起の個数はピーク電圧の数をカウ
ントすることにより簡単に知ることができるが、
その高さを知るためには、個々の突起毎に磁気デ
イスクの回転数を変化させて測定を繰り返す必要
があつた。すなわち、その高さを測定しようとす
る突起について、磁気デイスクの回転数をあげて
いき、磁気ヘツドの浮上量が多くなり突起と接触
しなくなつてAEセンサの出力信号電圧にピーク
電圧がでなくなりノイズレベルとなる回転数を測
定し、磁気ヘツドの走行速度を算出する。磁気ヘ
ツドの走行速度と浮上量の関係はわかつている
（ガラス基板を用いた白色干渉法による）ので、
AEセンサの出力信号電圧にピーク電圧が発生し
たときとそのピーク電圧が消滅してノイズレベル
となつたときとの磁気ヘツドの走行速度がわかれ
ば、それぞれの磁気ヘツドの浮上量がわかり、そ
の差として突起高さを知ることができる。しかし
ながら、一つ一つの突起についてこのような測定
を行うことは非常に手間のかかることであつた。
ントすることにより簡単に知ることができるが、
その高さを知るためには、個々の突起毎に磁気デ
イスクの回転数を変化させて測定を繰り返す必要
があつた。すなわち、その高さを測定しようとす
る突起について、磁気デイスクの回転数をあげて
いき、磁気ヘツドの浮上量が多くなり突起と接触
しなくなつてAEセンサの出力信号電圧にピーク
電圧がでなくなりノイズレベルとなる回転数を測
定し、磁気ヘツドの走行速度を算出する。磁気ヘ
ツドの走行速度と浮上量の関係はわかつている
（ガラス基板を用いた白色干渉法による）ので、
AEセンサの出力信号電圧にピーク電圧が発生し
たときとそのピーク電圧が消滅してノイズレベル
となつたときとの磁気ヘツドの走行速度がわかれ
ば、それぞれの磁気ヘツドの浮上量がわかり、そ
の差として突起高さを知ることができる。しかし
ながら、一つ一つの突起についてこのような測定
を行うことは非常に手間のかかることであつた。
本発明は、前述の欠点を除去して、簡便に突起
の高さを知ることができる突起高さ測定法を提供
することを目的とする。
の高さを知ることができる突起高さ測定法を提供
することを目的とする。
本発明によれば、磁気デイスクを所定の回転数
で回転させ、該デイスク面から小間隙を隔てて走
行している磁気ヘツドが該デイスク面上に存在す
る突起に接触したとき、磁気ヘツドのスライダア
ームに取り付けられたAEセンサより発生する出
力信号電圧のピーク電圧Vpとそのピーク電圧を
発生させた突起のデイスク回転中心からの距離Ｒ
との積Vp・Ｒを算出し、あらかじめ求めてある
磁気デイスクを前記所定の回転数で回転させたと
きのVp・Ｒ値と突起高さとの関係線図により、
前記の算出したVp.R値となる突起の高さを知る
ことによつて、上記の目的を達成する。
で回転させ、該デイスク面から小間隙を隔てて走
行している磁気ヘツドが該デイスク面上に存在す
る突起に接触したとき、磁気ヘツドのスライダア
ームに取り付けられたAEセンサより発生する出
力信号電圧のピーク電圧Vpとそのピーク電圧を
発生させた突起のデイスク回転中心からの距離Ｒ
との積Vp・Ｒを算出し、あらかじめ求めてある
磁気デイスクを前記所定の回転数で回転させたと
きのVp・Ｒ値と突起高さとの関係線図により、
前記の算出したVp.R値となる突起の高さを知る
ことによつて、上記の目的を達成する。
第２図は本発明による測定を行うための装置の
一例の概念図であつて、測定すべき磁気デイスク
１は回転軸２に取り付けられており、デイスク１
の面に対向配置される磁気ヘツド３は板ばね４を
介してスライダアーム５に取り付けられており、
スライダアーム５にはAEセンサ６が取り付けて
あり、これにより磁気ヘツドの微少振動を信号化
し、その出力信号を増幅器７により増幅し、実効
値（R.M.S）電圧計８で読みとつたり、オシロス
コープ９に電圧波形を出力したりする。スライダ
アーム５は磁気ヘツド３がデイスク１の面の半径
方向全体にわたつて移動することができ、磁気ヘ
ツド３がデイスク１の面上の適切な位置にくるよ
う調節できる。
一例の概念図であつて、測定すべき磁気デイスク
１は回転軸２に取り付けられており、デイスク１
の面に対向配置される磁気ヘツド３は板ばね４を
介してスライダアーム５に取り付けられており、
スライダアーム５にはAEセンサ６が取り付けて
あり、これにより磁気ヘツドの微少振動を信号化
し、その出力信号を増幅器７により増幅し、実効
値（R.M.S）電圧計８で読みとつたり、オシロス
コープ９に電圧波形を出力したりする。スライダ
アーム５は磁気ヘツド３がデイスク１の面の半径
方向全体にわたつて移動することができ、磁気ヘ
ツド３がデイスク１の面上の適切な位置にくるよ
う調節できる。
このような装置を用いて、デイスク１と回転軸
２により1500rpmで回転させる。磁気ヘツド３は
デイスク１の面より僅かに浮上して走行する。デ
イスク１の面上に突起が存在しそれが磁気ヘツド
３に接触すると、ノイズレベルのAEセンサの出
力信号電圧に突起の接触によるピーク電圧が発生
する。第３図にオシロスコープ９に見られるAE
センサの典型的な出力信号電圧波形を示す。正常
なデイスク面に対応してはAEセンサの出力波形
はVnのようなノイズレベルを示してるが、突起
が存在して磁気ヘツドに接触すると出力波形に
Vpのようなピーク電圧が発生する。ピーク電圧
はすぐ減衰してノイズレベルにもどる。このピー
ク電圧は突起の高さに応じて高くなる。デイスク
１の回転数をあげると磁気ヘツド３の走行速度が
速くなりデイスク面よりの浮上量が大きくなり、
磁気ヘツド３は突起に接触しなくなり、第３図に
おけるピーク電圧Vpは発生しなくなる。このと
きの回転数と、デイスク回転中心から磁気ヘツド
までの距離（この距離は、突起までの距離と同等
である）より磁気ヘツドの走行速度が算出でき、
磁気ヘツドのデイスク面からの浮上量を知ること
ができる。
２により1500rpmで回転させる。磁気ヘツド３は
デイスク１の面より僅かに浮上して走行する。デ
イスク１の面上に突起が存在しそれが磁気ヘツド
３に接触すると、ノイズレベルのAEセンサの出
力信号電圧に突起の接触によるピーク電圧が発生
する。第３図にオシロスコープ９に見られるAE
センサの典型的な出力信号電圧波形を示す。正常
なデイスク面に対応してはAEセンサの出力波形
はVnのようなノイズレベルを示してるが、突起
が存在して磁気ヘツドに接触すると出力波形に
Vpのようなピーク電圧が発生する。ピーク電圧
はすぐ減衰してノイズレベルにもどる。このピー
ク電圧は突起の高さに応じて高くなる。デイスク
１の回転数をあげると磁気ヘツド３の走行速度が
速くなりデイスク面よりの浮上量が大きくなり、
磁気ヘツド３は突起に接触しなくなり、第３図に
おけるピーク電圧Vpは発生しなくなる。このと
きの回転数と、デイスク回転中心から磁気ヘツド
までの距離（この距離は、突起までの距離と同等
である）より磁気ヘツドの走行速度が算出でき、
磁気ヘツドのデイスク面からの浮上量を知ること
ができる。
この浮上量と、デイスクが1500rpmで回転する
ときの浮上量との差が突起の高さであり、従来は
個々の突起毎にこの作業を行つてその高さを測定
していたが非常に手間がかかつていた。
ときの浮上量との差が突起の高さであり、従来は
個々の突起毎にこの作業を行つてその高さを測定
していたが非常に手間がかかつていた。
本発明者等は、デイスク面上の突起によるAE
センサの出力信号のピーク電圧と突起高さとの関
係を種々検討した結果、ピーク電圧Vpとそのと
きの突起のデイスク回転中心からの距離Ｒmmの積
Vp・Ｒと突起の高さとの間の関係が、VP・Ｒを
対数目盛とすると直線となることを見いだし第１
図に示す線図を作製した。あらかじめ作製したこ
のような関係線図を利用すると、従来のように突
起毎に回転数を変化させAEセンサの出力信号の
ピーク電圧Vpの消滅する回転数を見いだすとい
うような手間のかかる作業を行うことなく、ピー
ク電圧を読みとるだけでこの線図より簡単に突起
高さを知ることが可能となる。
センサの出力信号のピーク電圧と突起高さとの関
係を種々検討した結果、ピーク電圧Vpとそのと
きの突起のデイスク回転中心からの距離Ｒmmの積
Vp・Ｒと突起の高さとの間の関係が、VP・Ｒを
対数目盛とすると直線となることを見いだし第１
図に示す線図を作製した。あらかじめ作製したこ
のような関係線図を利用すると、従来のように突
起毎に回転数を変化させAEセンサの出力信号の
ピーク電圧Vpの消滅する回転数を見いだすとい
うような手間のかかる作業を行うことなく、ピー
ク電圧を読みとるだけでこの線図より簡単に突起
高さを知ることが可能となる。
本実施例では、磁気デイスクの回転数を
1500rpmとしたがこの回転数に限定されるもので
はなく、どの程度の突起高さまで検出する必要が
あるか、その検出精度に応じて適切な回転数を選
ぶことができる。
1500rpmとしたがこの回転数に限定されるもので
はなく、どの程度の突起高さまで検出する必要が
あるか、その検出精度に応じて適切な回転数を選
ぶことができる。
本発明によれば、磁気ヘツドに取り付けたAE
センサの出力信号電圧に発生するデイスク面上の
突起に起因するピーク電圧Vpと突起のデイスク
回転中心からの距離Ｒmmとの積Vp・Ｒと突起高
さとの関係線図を活用することにより、所定の回
転数で磁気デイスクを回転させながら、磁気ヘツ
ドに取り付けたAEセンサの出力信号のピーク電
圧を読み取り積Vp・Ｒを算出するだけで突起高
さを簡単に知ることができる。しかも磁気ヘツド
を磁気デイスクの半径方向全体に移動させながら
前述の測定を行うことにより、非常に簡便な手法
でデイスク表面全体の突起の数およびその高さを
知ることができることになり、実用上極めて有効
な測定法である。
センサの出力信号電圧に発生するデイスク面上の
突起に起因するピーク電圧Vpと突起のデイスク
回転中心からの距離Ｒmmとの積Vp・Ｒと突起高
さとの関係線図を活用することにより、所定の回
転数で磁気デイスクを回転させながら、磁気ヘツ
ドに取り付けたAEセンサの出力信号のピーク電
圧を読み取り積Vp・Ｒを算出するだけで突起高
さを簡単に知ることができる。しかも磁気ヘツド
を磁気デイスクの半径方向全体に移動させながら
前述の測定を行うことにより、非常に簡便な手法
でデイスク表面全体の突起の数およびその高さを
知ることができることになり、実用上極めて有効
な測定法である。
第１図は本発明の一実施例のAEセンサの出力
信号のピーク電圧と突起のデイスク回転中心から
の距離との積と突起高さとの関係を示す線図、第
２図は本発明による測定を行うための装置の一例
の概念図、第３図はAEセンサの出力信号電圧の
一例を示す電圧波形図である。 １…磁気デイスク、２…回転軸、３…磁気ヘツ
ド、４…板ばね、５…スライダアーム、６…AE
センサ、７…増幅器、８…R.M.S.電圧計、９…
オシロスコープ。
信号のピーク電圧と突起のデイスク回転中心から
の距離との積と突起高さとの関係を示す線図、第
２図は本発明による測定を行うための装置の一例
の概念図、第３図はAEセンサの出力信号電圧の
一例を示す電圧波形図である。 １…磁気デイスク、２…回転軸、３…磁気ヘツ
ド、４…板ばね、５…スライダアーム、６…AE
センサ、７…増幅器、８…R.M.S.電圧計、９…
オシロスコープ。
１ 被検体が該被検体を着脱自在に嵌装する保持
具を介し、その軸心を一致させて装着される回動
軸を有する回転装置と、前記被検体等の任意の位
置へ探触子を移動させるスキヤナとを有し、被検
体の種類の判別および測定のための各動作を、
CPUを介して自動的に行う超音波測定装置にお
いて、前記保持具の外径寸法が、被検体固有の形
状および寸法に形成されていることを特徴とする
超音波測定装置。
具を介し、その軸心を一致させて装着される回動
軸を有する回転装置と、前記被検体等の任意の位
置へ探触子を移動させるスキヤナとを有し、被検
体の種類の判別および測定のための各動作を、
CPUを介して自動的に行う超音波測定装置にお
いて、前記保持具の外径寸法が、被検体固有の形
状および寸法に形成されていることを特徴とする
超音波測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61267122A JPS63120209A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気デイスク面上の突起高さ測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61267122A JPS63120209A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気デイスク面上の突起高さ測定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63120209A JPS63120209A (ja) | 1988-05-24 |
| JPH0529244B2 true JPH0529244B2 (ja) | 1993-04-28 |
Family
ID=17440374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61267122A Granted JPS63120209A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気デイスク面上の突起高さ測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63120209A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2709991B2 (ja) * | 1991-11-22 | 1998-02-04 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 磁気ディスクの突起検出装置 |
| KR100449683B1 (ko) * | 2002-01-08 | 2004-09-22 | 엘지전선 주식회사 | 고밀도 파장 분할 다중화 필터의 구성물을 고정하는방법과 고정튜브 |
-
1986
- 1986-11-10 JP JP61267122A patent/JPS63120209A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63120209A (ja) | 1988-05-24 |
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