JPH05293783A - 半導体装置の搬送装置 - Google Patents
半導体装置の搬送装置Info
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- JPH05293783A JPH05293783A JP12998092A JP12998092A JPH05293783A JP H05293783 A JPH05293783 A JP H05293783A JP 12998092 A JP12998092 A JP 12998092A JP 12998092 A JP12998092 A JP 12998092A JP H05293783 A JPH05293783 A JP H05293783A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数個の半導体装置を同時に搬送しながら半
導体装置の回転方向を揃えると同時に、半導体装置間ピ
ッチを変更できる装置を得る。 【構成】 アクチュエータＡ１２によりリンク棒１７を
介してプレート２１ａ，２１ｂ，２１ｃの配置ピッチを
変えるようにし、このプレートの他端に回動自在に吸着
棒を保持し、各吸着棒にプーリーを設け、プーリーにベ
ルト３７，４１をかけてアクチュエータＢ２２により吸
着棒を回動するようにし、さらに、ベルトの緩みを防止
するローラー３８，４２と引張りバネ３９，４３を設け
た。
導体装置の回転方向を揃えると同時に、半導体装置間ピ
ッチを変更できる装置を得る。 【構成】 アクチュエータＡ１２によりリンク棒１７を
介してプレート２１ａ，２１ｂ，２１ｃの配置ピッチを
変えるようにし、このプレートの他端に回動自在に吸着
棒を保持し、各吸着棒にプーリーを設け、プーリーにベ
ルト３７，４１をかけてアクチュエータＢ２２により吸
着棒を回動するようにし、さらに、ベルトの緩みを防止
するローラー３８，４２と引張りバネ３９，４３を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置を保持、
搬送する搬送装置に関するものである。
搬送する搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の半導体装置の搬送装置を示
す断面図であり、図において、１は半導体装置、１ａは
その上面、２は吸着穴２ａ及び吸着面２ｂを有する吸着
パッド、３は通し穴３ａを有する直管、４は直管３が貫
通する貫通穴４ａを有する基台Ａ、５は基台Ａ４に対し
て直管３を固定する固定ボルトである。
す断面図であり、図において、１は半導体装置、１ａは
その上面、２は吸着穴２ａ及び吸着面２ｂを有する吸着
パッド、３は通し穴３ａを有する直管、４は直管３が貫
通する貫通穴４ａを有する基台Ａ、５は基台Ａ４に対し
て直管３を固定する固定ボルトである。
【０００３】次に動作について説明する。通常、半導体
装置１は所定の位置に独立して位置決めされている。こ
こで、吸着穴２ａ及び吸着面２ｂを有する吸着パッド
２、及びこれと連結した直管３、基台Ａ４、固定ボルト
５は一体となっており、基台Ａ４は回転軸を持つ搬送ユ
ニット（図示省略）に固定されている。次に搬送ユニッ
トの動作により、半導体装置上面１ａと吸着パッド２の
吸着面２ｂは密着し、真空吸引装置（図示省略）の吸引
力により、吸着弁２ａ及び通し穴３ａ内は真空となり、
製品である半導体装置１が吸着、保持される。ここで、
搬送ユニットの所定の動作の後、半導体装置１を搬送先
での収納方向に合わせるため、搬送ユニット内にて回転
動作を行い、真空吸引装置の吸引力を解除することによ
り、半導体装置１の保持を解除し、搬送動作を完了して
いる。
装置１は所定の位置に独立して位置決めされている。こ
こで、吸着穴２ａ及び吸着面２ｂを有する吸着パッド
２、及びこれと連結した直管３、基台Ａ４、固定ボルト
５は一体となっており、基台Ａ４は回転軸を持つ搬送ユ
ニット（図示省略）に固定されている。次に搬送ユニッ
トの動作により、半導体装置上面１ａと吸着パッド２の
吸着面２ｂは密着し、真空吸引装置（図示省略）の吸引
力により、吸着弁２ａ及び通し穴３ａ内は真空となり、
製品である半導体装置１が吸着、保持される。ここで、
搬送ユニットの所定の動作の後、半導体装置１を搬送先
での収納方向に合わせるため、搬送ユニット内にて回転
動作を行い、真空吸引装置の吸引力を解除することによ
り、半導体装置１の保持を解除し、搬送動作を完了して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の搬送装置は以上
のように構成されているので、半導体装置１を保持した
時に、半導体装置１の収納方向を吸着位置に対して変更
する場合、基台Ａ４を含むユニット全体での回転で行わ
なければならず、そのため、必然的に単数個の搬送しか
出来ないという問題があった。
のように構成されているので、半導体装置１を保持した
時に、半導体装置１の収納方向を吸着位置に対して変更
する場合、基台Ａ４を含むユニット全体での回転で行わ
なければならず、そのため、必然的に単数個の搬送しか
出来ないという問題があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、複数個の半導体装置を同時に搬
送しながら、各々の製品を任意の角度に揃え、かつ製品
間ピッチも変更出来る装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、複数個の半導体装置を同時に搬
送しながら、各々の製品を任意の角度に揃え、かつ製品
間ピッチも変更出来る装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体装
置の搬送装置は、複数の吸着棒と保持ユニット、伝達具
を有し、ピッチ方向の移動手段と回転方向の回転手段を
備えたものである。
置の搬送装置は、複数の吸着棒と保持ユニット、伝達具
を有し、ピッチ方向の移動手段と回転方向の回転手段を
備えたものである。
【０００７】
【作用】この発明における半導体の搬送装置は、吸着棒
の回転により半導体装置が任意の角度回転でき、また、
移動手段により半導体装置が任意のピッチに変更出来
る。
の回転により半導体装置が任意の角度回転でき、また、
移動手段により半導体装置が任意のピッチに変更出来
る。
【０００８】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１、図２において、１１は抜穴１１ａを有する
基台Ｂ、１２は基台Ｂ１１に固定されたアクチュエータ
Ａ、１３は基台Ｂ１１上に設けられ、アクチュエータＡ
１２により作用を受ける移動装置であり、この中で、１
４はアクチュエータＡ１２から力を受ける力点、１５は
移動装置の支点であり、これは基台Ｂ１１に固定され、
回転は自由となっている。１６ａ，１６ｂ，１６ｃはそ
れぞれ作用点、１７は移動装置を構成するリンク棒、１
８はリンク点である。基台Ｂ１１上には直動ガイド１９
が固定されており、この直動ガイド１９上をガイドテー
ブル２０ａ，２０ｂ，２０ｃがＲ−Ｓ方向に自在に動け
る様になっている。各々のガイドテーブル２０ａ，２０
ｂ，２０ｃ上には、それぞれプレート２１ａ，２１ｂ，
２１ｃが固定されており、それぞれのプレート２１ａ，
２１ｂ，２１ｃの一端は、前述の移動装置１３の作用点
１６ａ，１６ｂ，１６ｃに固定されている。プレート２
１ａの他端には、アクチュエータＢ２２がボルト２３に
より固定されており、アクチュエータＢ２２にはプーリ
ーＡ２４が固定されている。この時、アクチュエータＢ
２２は抜穴１１ａの内に入り、基台Ｂ１１との干渉はな
い。一方、プレート２１ｂ，２１ｃの他端には、それぞ
れ保持ユニットｂ２５ｂ、保持ユニットｃ２５ｃが固定
されている。保持ユニットｂ２５ｂは、パッド２６ｂを
装着した吸着棒２７ｂと、吸着棒２７ｂをＴ−Ｕ方向に
案内する直動軸受ｂ２８ｂ、該直動軸受ｂ２８ｂの外輪
に挿入されたカラーｂ２９ｂ、該カラーｂ２９ｂを内輪
側に挿入し、プレート２１ｂを外輪側に挿入した回転軸
受ｂ３０ｂ、吸着棒の抜け止めのためのストッパｂ３１
ｂとネジ３２ｂ及び吸着棒２７ｂとパッド２６ｂ間にあ
って吸着棒２７ｂに挿入されたコイルバネｂ３３ｂより
構成されている。ここで保持ユニットｂ２５ｂの一部は
抜穴１１ａ内に入り、基台Ｂ１１との干渉はない。軸受
ユニットｃ２５ｃの構成も軸受ユニットｂ２５ｂと同様
である。吸着棒２７ｂには、プーリーＢ３４、プーリー
Ｃ３５が挿入され、直動軸受ｃ２８ｃにはプーリーＤ３
６が挿入されている。プーリーＡ２４とプーリーＢ３４
間にはベルト３７が張られているが、テンションとして
ローラー３８、引張バネ３９、ピン４０が設けられてい
る。同様に、プーリーＣ３５とプーリーＤ３６間にも、
同様にベルト４１が張られており、テンションとしてロ
ーラー４２、引張バネ４３、ピン４４が設けられてい
る。尚、ピン４０，４４はそれぞれ基台Ｂ１１に固定さ
れている。１０１、１０２は半導体装置である。
する。図１、図２において、１１は抜穴１１ａを有する
基台Ｂ、１２は基台Ｂ１１に固定されたアクチュエータ
Ａ、１３は基台Ｂ１１上に設けられ、アクチュエータＡ
１２により作用を受ける移動装置であり、この中で、１
４はアクチュエータＡ１２から力を受ける力点、１５は
移動装置の支点であり、これは基台Ｂ１１に固定され、
回転は自由となっている。１６ａ，１６ｂ，１６ｃはそ
れぞれ作用点、１７は移動装置を構成するリンク棒、１
８はリンク点である。基台Ｂ１１上には直動ガイド１９
が固定されており、この直動ガイド１９上をガイドテー
ブル２０ａ，２０ｂ，２０ｃがＲ−Ｓ方向に自在に動け
る様になっている。各々のガイドテーブル２０ａ，２０
ｂ，２０ｃ上には、それぞれプレート２１ａ，２１ｂ，
２１ｃが固定されており、それぞれのプレート２１ａ，
２１ｂ，２１ｃの一端は、前述の移動装置１３の作用点
１６ａ，１６ｂ，１６ｃに固定されている。プレート２
１ａの他端には、アクチュエータＢ２２がボルト２３に
より固定されており、アクチュエータＢ２２にはプーリ
ーＡ２４が固定されている。この時、アクチュエータＢ
２２は抜穴１１ａの内に入り、基台Ｂ１１との干渉はな
い。一方、プレート２１ｂ，２１ｃの他端には、それぞ
れ保持ユニットｂ２５ｂ、保持ユニットｃ２５ｃが固定
されている。保持ユニットｂ２５ｂは、パッド２６ｂを
装着した吸着棒２７ｂと、吸着棒２７ｂをＴ−Ｕ方向に
案内する直動軸受ｂ２８ｂ、該直動軸受ｂ２８ｂの外輪
に挿入されたカラーｂ２９ｂ、該カラーｂ２９ｂを内輪
側に挿入し、プレート２１ｂを外輪側に挿入した回転軸
受ｂ３０ｂ、吸着棒の抜け止めのためのストッパｂ３１
ｂとネジ３２ｂ及び吸着棒２７ｂとパッド２６ｂ間にあ
って吸着棒２７ｂに挿入されたコイルバネｂ３３ｂより
構成されている。ここで保持ユニットｂ２５ｂの一部は
抜穴１１ａ内に入り、基台Ｂ１１との干渉はない。軸受
ユニットｃ２５ｃの構成も軸受ユニットｂ２５ｂと同様
である。吸着棒２７ｂには、プーリーＢ３４、プーリー
Ｃ３５が挿入され、直動軸受ｃ２８ｃにはプーリーＤ３
６が挿入されている。プーリーＡ２４とプーリーＢ３４
間にはベルト３７が張られているが、テンションとして
ローラー３８、引張バネ３９、ピン４０が設けられてい
る。同様に、プーリーＣ３５とプーリーＤ３６間にも、
同様にベルト４１が張られており、テンションとしてロ
ーラー４２、引張バネ４３、ピン４４が設けられてい
る。尚、ピン４０，４４はそれぞれ基台Ｂ１１に固定さ
れている。１０１、１０２は半導体装置である。
【０００９】次に動作について説明する。基台Ｂ１１に
固定されたアクチュエータＡ１２は位置制御を伴ったも
のであり、変位量を制御している。ここで、所望の変位
の指令によりアクチュエータＡ１２は動作し、これによ
り移動装置１３はリンク棒１７、リンク点１８を介して
力点１４の変位を、支点１５により、それぞれの作用点
１６ａ，１６ｂ，１６ｃに伝える。各々の作用点１６
ａ，１６ｂ，１６ｃでの変位は、基台Ｂ１１上の直動ガ
イド１９上の各々のガイドテーブル２０ａ，２０ｂ，２
０ｃに固定されたプレート２１ａ，２１ｂ，２１ｃに伝
えられ、各々の作用点１６ａ，１６ｂ，１６ｃ間のピッ
チはセットされる。基台Ｂ１１は搬送ユニット（図示省
略）に固定されている。通常半導体装置１０１、１０２
は所定の位置に位置決めされており、搬送ユニットの動
作により半導体装置１０１、１０２と、パッド２６ｂ，
２６ｃが密着し、真空吸引装置（図示省略）により半導
体装置１０１、１０２は吸着される。次に、搬送ユニッ
トの所定の動作中に回転制御を伴う角度の制御を行うア
クチュエータＢ２２の回転により半導体装置１０１、１
０２の収納方向を合わせるため回転はプーリーＡ２４、
ベルト３７を介して、プーリーＢ３４に伝えられる。プ
ーリーＢ３４に伝えられた回転力は、直動軸受ｂ２８ｂ
を回転させることにより、パッド２６ｂ、吸着棒ｂ２７
ｂを回転させ、半導体装置１０１を所望の量だけ回転さ
せる。また同様に、プーリーＢ３４に伝えられた回転力
は、プーリーＣ３５、ベルト４１、プーリーＤ３６を介
して吸着棒２７ｃに伝えられ、前述と同様に半導体装置
１０２を所望の量だけ回転させる。所望の回転を終え、
収納方向を揃えた半導体装置１０１、１０２は、搬送ユ
ニットの所定の動作の後、真空吸着装置の吸引力の解除
により、半導体装置１０１、１０２の保持を解除し、搬
送動作を完了する。ここで、アクチュエータＡ１２の動
作を移動装置１３を介してプーリーＡ２４、軸受ユニッ
トｂ２５ｂ、軸受ユニットｃ２５ｃに伝えた結果、これ
らのピッチ間距離も変わり、ベルト３７、４１自身では
必要な張力を保てないが、ローラー３８，４２、引張バ
ネ３９，４３、ピン４０，４４によるアイドラーのた
め、常に必要な張力は確保出来る。
固定されたアクチュエータＡ１２は位置制御を伴ったも
のであり、変位量を制御している。ここで、所望の変位
の指令によりアクチュエータＡ１２は動作し、これによ
り移動装置１３はリンク棒１７、リンク点１８を介して
力点１４の変位を、支点１５により、それぞれの作用点
１６ａ，１６ｂ，１６ｃに伝える。各々の作用点１６
ａ，１６ｂ，１６ｃでの変位は、基台Ｂ１１上の直動ガ
イド１９上の各々のガイドテーブル２０ａ，２０ｂ，２
０ｃに固定されたプレート２１ａ，２１ｂ，２１ｃに伝
えられ、各々の作用点１６ａ，１６ｂ，１６ｃ間のピッ
チはセットされる。基台Ｂ１１は搬送ユニット（図示省
略）に固定されている。通常半導体装置１０１、１０２
は所定の位置に位置決めされており、搬送ユニットの動
作により半導体装置１０１、１０２と、パッド２６ｂ，
２６ｃが密着し、真空吸引装置（図示省略）により半導
体装置１０１、１０２は吸着される。次に、搬送ユニッ
トの所定の動作中に回転制御を伴う角度の制御を行うア
クチュエータＢ２２の回転により半導体装置１０１、１
０２の収納方向を合わせるため回転はプーリーＡ２４、
ベルト３７を介して、プーリーＢ３４に伝えられる。プ
ーリーＢ３４に伝えられた回転力は、直動軸受ｂ２８ｂ
を回転させることにより、パッド２６ｂ、吸着棒ｂ２７
ｂを回転させ、半導体装置１０１を所望の量だけ回転さ
せる。また同様に、プーリーＢ３４に伝えられた回転力
は、プーリーＣ３５、ベルト４１、プーリーＤ３６を介
して吸着棒２７ｃに伝えられ、前述と同様に半導体装置
１０２を所望の量だけ回転させる。所望の回転を終え、
収納方向を揃えた半導体装置１０１、１０２は、搬送ユ
ニットの所定の動作の後、真空吸着装置の吸引力の解除
により、半導体装置１０１、１０２の保持を解除し、搬
送動作を完了する。ここで、アクチュエータＡ１２の動
作を移動装置１３を介してプーリーＡ２４、軸受ユニッ
トｂ２５ｂ、軸受ユニットｃ２５ｃに伝えた結果、これ
らのピッチ間距離も変わり、ベルト３７、４１自身では
必要な張力を保てないが、ローラー３８，４２、引張バ
ネ３９，４３、ピン４０，４４によるアイドラーのた
め、常に必要な張力は確保出来る。
【００１０】実施例２．また、上記実施例では、搬送ユ
ニットの動作前に、アクチュエータＡ１２、移動装置１
３により、半導体装置１０１，１０２間ピッチを変更し
たが、アクチュエータＢ２２の動作と同様、搬送ユニッ
トの動作中にアクチュエータＡ１２の動作により半導体
装置１０１，１０２間ピッチを変更してもよい。また上
記とは逆に、搬送ユニットの動作の前にアクチュエータ
Ｂ２２により回転動作を行ってもよい。
ニットの動作前に、アクチュエータＡ１２、移動装置１
３により、半導体装置１０１，１０２間ピッチを変更し
たが、アクチュエータＢ２２の動作と同様、搬送ユニッ
トの動作中にアクチュエータＡ１２の動作により半導体
装置１０１，１０２間ピッチを変更してもよい。また上
記とは逆に、搬送ユニットの動作の前にアクチュエータ
Ｂ２２により回転動作を行ってもよい。
【００１１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、吸着棒
を複数個有し、アクチュエータＡにより半導体装置を各
々回転出来るようにし、なおかつ、アクチュエータＢに
より製品間ピッチを変更出来るようにしたので、品種情
報に応じて多くの製品を一度に任意の方向に揃え、かつ
製品ピッチを変更して搬送することが出来、処理能力の
高い装置を得ることが出来る。
を複数個有し、アクチュエータＡにより半導体装置を各
々回転出来るようにし、なおかつ、アクチュエータＢに
より製品間ピッチを変更出来るようにしたので、品種情
報に応じて多くの製品を一度に任意の方向に揃え、かつ
製品ピッチを変更して搬送することが出来、処理能力の
高い装置を得ることが出来る。
【図１】この発明の一実施例による搬送装置の平面図で
ある。
ある。
【図２】この発明の一実施例を示す正面断面図である。
【図３】従来の搬送装置を示す正面断面図である。
１１ 基台Ｂ １２ アクチュエータＡ １３ 移動装置 １７ リンク棒 １９ 直動ガイド ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ プレート ２２ アクチュエータＢ ２７ｂ，２７ｃ 吸着棒 ２４，３４，３５，３６ プーリー ３７，４１ ベルト １０１，１０２ 半導体装置
Claims (1)
- 【請求項１】 吸着棒にて半導体装置を吸着、搬送する
搬送装置において、直動軸に支持されて移動するように
配置されたプレートの一端に吸着棒を回動自在に保持せ
しめ、一方上記各プレートの他端は一連のリンクにより
第１のアクチュエータに連結して上記吸着棒の配置ピッ
チを変え得るようにすると共に、上記吸着棒にはそれぞ
れプーリーを設けて各プーリーをベルトで結んで第２の
アクチュエータに連動せしめることにより上記吸着棒を
回動するようにし、上記ベルトには上記吸着棒の配置ピ
ッチの変更にかかわらずベルトが緩まないようにアイド
ラーとしてのローラー及び引張りバネを設けたことを特
徴とする半導体装置の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12998092A JPH05293783A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 半導体装置の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12998092A JPH05293783A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 半導体装置の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293783A true JPH05293783A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=15023191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12998092A Pending JPH05293783A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | 半導体装置の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05293783A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100611737B1 (ko) * | 2005-04-20 | 2006-08-10 | (주)제이티 | 회전 로터를 구비한 반도체 디바이스의 이송용 공압 픽커모듈, 및 트레이 또는 캐리어 테이프의 이동과 연계된반도체 디바이스의 이송 방법 |
| WO2007058459A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| EP4005742A1 (de) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | Bizerba SE & Co. KG | Etikettenapplikator |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP12998092A patent/JPH05293783A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100611737B1 (ko) * | 2005-04-20 | 2006-08-10 | (주)제이티 | 회전 로터를 구비한 반도체 디바이스의 이송용 공압 픽커모듈, 및 트레이 또는 캐리어 테이프의 이동과 연계된반도체 디바이스의 이송 방법 |
| WO2007058459A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| US7954869B2 (en) | 2005-11-15 | 2011-06-07 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| EP4005742A1 (de) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | Bizerba SE & Co. KG | Etikettenapplikator |
| US11535414B2 (en) | 2020-11-27 | 2022-12-27 | Bizerba SE & Co. KG | Label applicator |
| US11760526B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-09-19 | Bizerba SE & Co. KG | Label applicator |
| US11760527B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-09-19 | Bizerba SE & Co. KG | Label applicator |
| US11794937B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-10-24 | Bizerba SE & Co. KG | Label applicator |
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