JPH05295352A - Al2O3複合セラミック研摩材料、工具材料及びその製法 - Google Patents

Al2O3複合セラミック研摩材料、工具材料及びその製法

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JPH05295352A
JPH05295352A JP4125450A JP12545092A JPH05295352A JP H05295352 A JPH05295352 A JP H05295352A JP 4125450 A JP4125450 A JP 4125450A JP 12545092 A JP12545092 A JP 12545092A JP H05295352 A JPH05295352 A JP H05295352A
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composite ceramic
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JP4125450A
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Seiji Shimanoue
誠司 島ノ上
Kenji Oshima
健司 大島
Tsugio Ito
次男 伊藤
Hideyuki Tomita
秀幸 富田
Misao Iwata
美佐男 岩田
Eiichi Hisada
栄一 久田
Koichi Niihara
晧一 新原
Atsushi Nakahira
敦 中平
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Noritake Co Ltd
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Noritake Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】α−Al23を主成分とするマトリックス80
vol%〜99vol%と高耐火性SiC、Si34、Ti
C、TiN、TiCN中の1種以上の分散強化粒子1〜
20vol%とから本質上なり、該分散強化粒子はα−A
23粒子内に分散し粒子内破壊性であるAl23系複
合セラミック研摩材料、工具材料(分散粒子はSiC、
Si34)。 【効果】分散強化粒子のα−Al23粒子内での分散に
よりマトリックス破損時にα−Al23粒子が粒子内破
壊を起こすため、研摩粒及び工具先端に常に鋭利な切れ
刃を生ずる。破壊靱性値4.5MPam1/2以上、硬度20G
Pa以上を有し耐チッピング性、耐摩耗性に優れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は高靱性Al23系複合セ
ラミック研摩材料、工具材料(特に切削工具)、特に高
靱性高硬度、高耐摩耗なAl23系複合セラミック研摩
材料、工具材料及びその製法に関する。
【0002】
【従来技術および課題】従来よりAl23は電気的性
質、高硬度等の特性的な特徴や寸法安定性、易焼結性、
原料安価等の生産的な特徴により集積回路用の基板やパ
ッケージ、切削工具用チップ、研削工具用砥材、耐摩耗
部品、耐火材料として工業的に広く利用されている。工
具とした場合、その寿命はAl23の高硬度による耐摩
耗性のみに依存するだけでなく、実際には工具の欠け及
び割れに左右され、摩耗が非常に少ない状態でも交換し
なければならないことが多く、強度、特に靱性の一層の
向上が望まれる。しかし、Al23は絶対的な靱性が低
く、さらに幅広く高性能なセラミック工具をAl23
みで提供するには限界の状態である。
【0003】Al23の強度の増加、靱性の向上のため
に第2成分を添加、分散させる試みはなされている。例
えば、特開昭59−3766号公報、同61−2196
4号公報、同61−174165号公報、同63−28
2158号公報等である。これらではAl23の強度の
増加、靱性が述べられているが、添加される第2成分は
主に、マトリックスを形成するAl23の粒子間、即ち
粒界に存在する。このために、破壊時に粒界破壊を生じ
るAl23焼結体にあっては限界があり、これ以上の強
度及び靱性の向上は望めない。さらに、粒界破壊を生じ
るために、粒成長を充分に制御してない焼結体では、チ
ッピングが大きく、工具先端も、粒子の形状の如く丸味
をおび、鋭利な切れ刃は期待できない。
【0004】一方、Al23質研摩材は溶融法または焼
結法により、製造されている。一般的に、上記の方法に
より製造された研摩材は重研削用である。近年、研摩材
に必要とされる項目の中には、精密研削加工があるが、
これは超砥粒であるダイヤモンド、立方晶窒化ほう素
(CBN)が主流であり、Al23質研摩材は適さな
い。
【0005】しかし、かかる超砥粒はAl23質研摩材
に対して100〜200倍という高価格であり、大量に
消費される研摩材としては実用的でない。そのため低価
格のAl23質研摩材に種々の改良を加え、精密研削加
工に充分使用できるAl23質研摩材料の製造が試みら
れている。特開昭56−32369号公報、同60−2
31462号公報では、ゾル−ゲル法を用いてなる焼結
体研摩材が提案されているが、一般にゾル−ゲル法は工
程が繁雑であり、大量生産に際しては、不安定な因子が
多い。また精密研削の大半を占める湿式研削においては
充分な効果が得られていない。また、焼結法により製造
された研摩材の破損及び、摩耗時には、前述のように、
Al23の粒界により生じ、焼成の際の粒成長が充分に
抑えられていないと、チッピング量が大きく、さらに研
摩材の先端は粒子の形状の如く、丸味を呈する。このた
めに、研摩材の損傷が著しくかつ、切れ味も悪くなる。
【0006】さらに一般的構造材料としてのAl2O基
焼結体としては、アルミナ結晶粒子内にTiN、Si
C、TiC、Si34等の粒内分散粒子を含むことによ
り、靱性及び強度を向上させることは一般にナノ複合材
料として知られている(特願昭64−87552、特開
平1−188454、2−229756、2−2297
57及び NIKKEI MECHANICAL 1990.6.25号1〜8頁 新
原論文等)。しかし構造材としての靱性強化は、従来研
摩材に必要な特殊な特性とは一般には合致しないことが
知られている。
【0007】本発明の目的は、従来のAl23質研摩
材、工具における上述の欠点を克服し、耐摩耗性、耐チ
ッピング性に優れ、常に安定な切れ味を提供可能なAl
23系複合セラミック研摩材料及び工具材料と、その製
法を提供することである。
【0008】
【問題点を解決するための手段】本発明のAl23系複
合セラミック研摩材料はα−Al23を主成分とするマ
トリックス80vol%〜99vol%と、Si、Tiの炭化
物、窒化物及び炭窒化物中の1種以上の分散強化粒子1
〜20vol%とから本質上なり、該分散強化粒子はα−
Al23粒子内に分散し粒子内破壊性であることを特徴
とする。本発明の工具材料(特に切削工具として使用可
能)は、上述の「Si、Ti」を「Si」としたもので
ある。
【0009】上記分散強化粒子がマトリックスを形成す
るα−Al23粒子内に分散する効果により、破壊靱性
値が4.5MPam1/2以上、硬度17GPa以上(好ましくは
20GPa以上)を有する、耐チッピング性、耐摩耗性に
優れる。分散強化粒子は典型的にはナノ粒子(粒径1μ
m未満)であるが、本発明の目的にはAl23マトリッ
クス結晶粒子の寸法に対応して約2μm以下とすること
ができる。
【0010】すなわち、Al23と(好ましくはある程
度の熱膨張差を持つ)高耐火性分散強化粒子が、α−A
23粒子内に分散することにより、充分に強度、靱性
ともに増大がなされ、材料破損時に、α−Al23粒子
が粒子内破壊を起こすために、工具先端に常に鋭利な切
れ刃を提供することにより、安定な切れ味を提供できる
Al23系複合セラミック研摩材料及び工具材料が提供
される。
【0011】また、本発明の製造法では粒径1μm以下
の上記分散強化粒子を1vol%〜20vol%含み、残部が
粒径1μm以下のAl23粉末である調合粉末を調製
し、1400゜〜1800℃で焼結して粒子内分散強化
されかつ粒子内破壊性のAl23系複合セラミック研摩
材料を得ることを特徴とする。
【0012】
【好適な実施の態様】本発明でAl23結晶粒子内の分
散強化粒子としては、Al23よりも本質上十分高い耐
火度及び硬度を有するセラミック粒子を用いる。この強
化分散粒子としては、研摩材料としては、Si、Tiの
炭化物、窒化物、炭窒化物等が挙げられ、SiC、Si
34、TiC、TiN、TiCN等がある。但し、工具
材料としてはSiの炭化物、窒化物、炭窒化物等が挙げ
られる。
【0013】強化分散粒子の量は好ましくは2〜10vo
l%とする。強化分散粒子の粒子径は約2μm以下と
し、アルミナマトリックス結晶粒子の寸法に比し凡そ5
分の1〜20分の1とすることが好ましく、典型的には
0.2μm〜0.7μm程度のものが得られる。アルミ
ナ結晶粒子の寸法は0.5〜100μmの範囲にあるこ
とが本発明の目的上好ましい。
【0014】
【作用】本発明のAl23系複合セラミック材料をさら
に詳しく説明する。
【0015】Al23は本来、異方性粒子であり、焼成
後の冷却時に、熱膨張の異方性により粒界に剪断応力が
発生する。このため、焼結体の破損時に常に粒界破壊を
生じる。この粒界破壊を防ぐために、Al23粒子中に
Al23よりも高耐火性或いは熱膨張の異なる粒子を分
散させ、Al23の焼成後の冷却過程においてAl23
粒子内に局所的な残留応力ないしは空隙効果を発生させ
て、これを利用する。この局部応力により、分散させた
粒子の周りに転移が発生する。この転移はAl23より
高温まで硬い分散粒子によりピニングされ、サブ粒界を
形成し、マトリックスの粒内を分割、実質的に微細粒化
する。これにより破壊源の寸法が小さくなる。また、A
23粒子内に存在する分散粒子によって、破壊時のク
ラックを偏向させたりトラップする。このような機構に
より、Al23系複合セラミック材料は実質的に大幅に
強度増大、破壊靱性向上が達成される。即ち、高強度か
つ特に高靱性の該Al23系複合セラミック材料を使用
することにより、工具材料の欠け及び割れを低減するこ
とが可能であり、各材料本来の性能を発揮させ、かつ、
長寿命化でき、無用な工具の交換を省くことができる。
また、本発明のAl23系複合セラミック材料を研摩粒
子に使用すれば、従来のAl23系の研摩粒子に比較し
て、格段に優れた強度かつ特に靱性により研削時の研摩
粒子の破損を激減でき、材料そのものの性能を発揮でき
る。
【0016】なお、熱膨張係数についてみると、Al2
3の8×10-6cm/℃に対し、SiC4.3〜4.5
×10-6、Si344.8×10-6、TiC7.61×
10-6、TiN9.35×10-6cm/℃であり、熱膨張
の差はそれほど大きくない場合でも同様の効果がある。
【0017】これに加え、前述のように分散粒子の添加
によりマトリックスであるAl23粒子内に形成された
サブ粒界が本発明のAl23系複合セラミック研摩材料
及び工具材料を非常に特徴付けるものとする。これにつ
いて以下に詳細に説明する。
【0018】Al23質の切削工具や焼結砥粒が摩耗す
る状態を微視的に観察すると、Al23粒子そのものが
削れるように摩耗する場合のみではなく、Al23粒子
が粒界より脱落する場合が多い。これは前述のようにA
23が異方性であるために、粒界に残留応力を有する
ためである。このために、Al23が本来有する高硬度
を充分に活かし切っていない場合が多い。粒子の脱落を
軽減するためには焼成時の粒成長を充分に抑制する必要
があるが、これは、不安定な要素が多く大量に生産する
際には不適当であり、確率論的に存在する粗大粒は不可
避である。一方、Al23に何らかの添加物を導入して
複合材を焼成し、添加物により粒成長を抑制する試みも
なされているが、いずれの方法にしても粒界よりの脱落
は不可避であった。粒界よりの脱落が生じると、工具又
は研摩粒子の先端には常に粒界が存在し、粒子の形状の
ままであるため微視的には丸味を帯びた形状を呈する。
一方、本発明によるAl23系複合セラミック研摩材料
及び工具材料によれば、分散粒子によりAl23の粒界
には残留応力が無くなり、粒界よりの破壊を抑制でき
る。このために、該材料が本来有する硬度を活用可能で
ある。また、サブ粒界を粒子内に形成することから、実
質的に粒成長を抑制した効果がある。破壊はサブ粒界よ
り生じるため、従来のAl23質工具に比較して破壊時
の脱落量は圧倒的に少ないものとなる。即ち摩耗量が低
減でき、工具寿命に効果がある。加えてサブ粒界よりの
粒内破壊であるために、工具又は研摩粒子の先端は鋭利
な形状を有し、切れ味を良好にする効果がある。本発明
のAl23系複合工具材料又は研摩材料によれば、切れ
味が良好、長寿命であり欠け割れの少ない工具又は、切
れ味が良く、寿命の長い研摩粒子が得られる。
【0019】本発明のAl23系複合セラミック材料に
ついて、さらに説明する。
【0020】該複合材料のマトリックスは、α−Al2
3よりなり、分散粒子はSiC、Si34、TiC、
TiN、およびTiCNのうちの一種よりなり、切削工
具用材料としては好ましくはSiC、Si34の一種以
上よりなる。焼成後のAl23の粒子径は0.5〜10
0μmであり(但し、平均粒子径は数十μmのオーダ以
下とすることが好ましい)、分散粒子の粒子径はAl2
3の粒子径に対応して約2.0μm以下の数値をと
り、分散粒子はAl23粒子内に分散する。これらの粒
子径および粒子の分散状態は透過型電子顕微鏡により、
観察される。分散粒子の量は1vol%〜20vol%、好ま
しくは2vol%〜10vol%である。1vol%以下では、
粒子の粒内分散効果が充分に出ない。20vol%以上で
は焼結が進行しにくく、焼成温度を高くすると不経済的
なばかりか、異常粒成長の恐れがあるためである。Al
23の粒子径は0.5〜100μmにおいて、強度、靱
性の特性が良好な値を示す。(より好ましくは0.5〜
5μmとする)
【0021】本発明のAl23系複合セラミック材料の
製法についてさらに説明する。
【0022】該複合材料の出発原料は、1μm以下の平
均結晶粒径を有するα−Al23もしくはγ−Al23
粉と、1μm以下の平均結晶粒径を有するSiC、Si
34、TiC、TiN、およびTiCNのうち一種の分
散強化粒子を混合したものよりなる。Al23が1μm
以下の平均結晶粒径が好ましいのは、焼結が進行し易
く、焼成中に分散粒子をマトリックス粒子内に取り込む
必要があるためである。分散強化粒子の粒径が1μm以
下であるのは、マトリックスのAl23粒子に取り込ま
れ易くするためである。原料のAl23は焼成後α型に
なるものであればαもしくはγでも構わないが、可能な
限り高純度であることが望ましい。これは、焼結後の特
性に大きく影響を与えるためである。(例えば純度9
9.8%以上、より好ましくは99.9%以上)高純度
Al23の使用により、複合焼結体のAl23結晶粒子
の粒界相成分を最低限に抑えることができる。
【0023】原料粉末の混合は、湿式または乾式のいず
れかまたは双方により行なえば良いが、充分に混合され
ている必要がある。混合が不充分であると、焼成密度が
向上しないばかりか、焼成温度を高くする必要が生じ、
焼成後の特性を劣化させる原因となる。
【0024】焼成は分散粒子の酸化を防ぐために、分散
粒子に応じて真空雰囲気、N2、Ar等の不活性雰囲
気、H2等の還元雰囲気のいずれかが好ましい。焼成が
充分に行なえ、焼結体の緻密化が進行すれば、常圧炉、
ホットプレス炉、HIP炉のいずれの方法でも良いが、
緻密化と粒成長の制御のため、焼成温度は1400゜〜
1800℃が好ましい。焼結に際しては必要に応じ予成
形を行うことが好ましい。
【0025】研摩粒子の製法について特に記述する。混
合粉末はCIP成形により圧粉体とする。圧粉体を圧潰
し、その後、所望の粒径に揃う様に篩分けを行なう。焼
成時の粒子同志の固着を防ぐために耐火性粉末媒体とし
て六方晶窒化ほう素粉末(hBN)を予じめ混ぜる。焼
成後はこのhBNを洗浄した後、再篩分けを行ない、所
望の粒径とする。
【0026】以下本発明をさらに例示的に実施例に基づ
いて説明する。
【0027】
【実施例】
(実施例1) 混合粉体調製 市販のγ−Al23(純度99.9%以上、平均粒径
0.4μm以下)とβ−SiC(純度98%以上、平均
粒径0.3μm以下)を出発原料に用いた。γ−Al2
3 95vol%、β−SiC 5vol%となるように、
全量100gとした。これを500mlポリエチレン製の
広口びんに、Al23玉石約100gと、エタノールを
共に入れ、湿式混合を10時間行なった。混合粉体は充
分に乾燥した後、Al23玉石約100gと共に再度、
乾式混合24時間を行なった。
【0028】(実施例2) 焼成 混合粉体をカーボン製のダイス(内寸法直径50mm)に
充填し、1600℃、30MPa N2雰囲気中にて1時間
ホットプレス焼成(焼成後厚み5mm)を行なった。これ
を供試材として以下の試験を行なった。
【0029】(実施例3) 特性評価 焼結体の密度をアルキメデス法により測定した結果、
3.89g/cm3であった。これは95vol%−αAl23
および5vol%−βSiCの理論密度より算術的に求め
た理論比重に対して、99.0%であり、焼結の緻密化
が進行していることが確認できた。微細組織について、
TEM観察を行なったところ、α−Al23の平均結晶
粒子径は10μm、β−SiCについては0.5μmで
あり、β−SiC粒子は、マトリックスであるα−Al
23粒子中に分散していることが確認できた。次に、供
試材よりJIS R1601に準じて、3点曲げ試験片
を作製した。これについてJIS R1601に準じ
て、室温における3点曲げ強度を測定した。この結果、
曲げ強度の平均値は935.1MPaであり充分に高強度
化されていることが確認できた。破壊靱性値について
は、曲げ強度測定後の試験片を用いて、IM法により測
定した。
【0030】その結果、本供試材の破壊靱性値は4.8
MPam1/2であり、同時に測定したビッカース硬度は2
0.1GPaであった。以上の結果より分散強化粒子がマ
トリックスであるAl23粒子中に分散し、これにより
本材料が充分に高強度、高靱性化されたことが確認でき
た。
【0031】(実施例4) 砥石の作製、および評価 1.混合粉体の調製にて、作製した混合粉体を、冷間静
水圧成形(CIP)用のビニール袋の中に入れ脱気し
て、真空パック処理した。この袋ごと約1.5Ton/cm2
の圧力により、CIPを行なった後、圧粉体を取り出
し、乳鉢で圧潰した。これを所望の粒径に篩分けし、六
方晶窒化ほう素(hBN)粉末200gとビニール袋中
で軽く混合した。この粉体を黒鉛型に充填した後、ホッ
トプレスにて1600℃ 30MPa、窒化雰囲気中で1
時間焼成した。焼成物は圧力媒体のhBN粉と篩分けさ
れその後、超音波洗浄器にて完全に分離、洗浄を繰り返
した。洗浄した本焼結体は乾燥器にて乾燥して充分、水
分を除去し、再び#60の篩分けして研摩粒子とした。
これについて、特性を測定したところ、密度:3.89
g/cm3、ビッカース硬度、20.0GPaであり、TEM観
察結果から、マトリックスであるα−Al23の粒子径
は平均10μmであり、このAl23の粒子中に平均粒
子径0.5μmのβ−SiC粒子が分散していることが
観察された。以上より、3の特性評価にて評価した試験
片とほぼ同等の特性が、本成形、焼結方法により得るこ
とが確認できた。
【0032】この研摩粒子を用いて、ビトリファイド砥
石を次の様に作製した。研摩粒子89.7重量部、ビト
リファイド結合剤10.3重量部、デキストリン(有機
バインダー)3.1重量部を添加、混合後、加圧して成
形密度2.20g/cm3に成形することにより、製造し
た。次にこれらの生砥石を電気炉に入れ、50℃/hr
の昇温速度で1100℃まで加熱し、同温で6時間焼成
した。その後加熱を止め、炉内で密閉放冷した。ビトリ
ファイド結合剤としては長石、粘土及びフリットガラス
(ホウケイ酸ガラス)から、成るものを用いた。得られ
た研削砥石は、研摩粒子が46.9vol%、結合剤8.
1vol%、気孔45vol%であり、密度は2.07g/cm3
であった。
【0033】尚、研削砥石の寸法は、外径200mm×厚
み19mm×内径76.2mmとした。これを試験用砥石と
した。
【0034】次にこの砥石を用いて研削試験を行なっ
た。この砥石の比較のため、溶融型アルミナ単結晶を使
用研摩粒子を用いた研削砥石を使用した。この比較用砥
石は、試験用砥石と、研摩粒子が異なる以外はすべて試
験砥石と同様に製造した。研削試験の条件は次の通りで
あった。
【0035】機械 :岡本平研 CFG−52AN 砥石周速:2000m/min 切込み :△R20μm/passの乾式プランジ Down Cut 被削材 :SKD−1(硬度HRC−60) 寸法 :長さ100×高さ50×幅10(mm) 被削幅 :10mm ドレス :単石ドレッサー
【0036】
【表1】
【0037】研削試験の結果を表1に示す。なお、最大
電力値は砥石幅10mm当りの値である。表1から明らか
なように、本実施例の試験用研削砥石は、溶融型Al2
3単結晶を用いた比較用砥石に対して、研削比が約4
倍と極めて優れており、面粗さ、最大電力値はほぼ同等
であり、低騒音である性能を示した。さらに、研削焼け
も少ないことが認められた。
【0038】(実施例5) 切削用バイトの作製及び評価 1.混合粉体の調製および2.焼成により得られた、S
iC−Al23系複合セラミック工具材料を使用して切
削工具を作製した。工具形状はSNGN433であり、
これを以下の試験に供した。比較試料として高純度Al
23系の市販のSNGN433形状のものを、用いた。
【0039】切削試験には、精密旋盤を、逃げ面摩耗幅
(VB)の測定には工具顕微鏡をそれぞれ用いた。切削
試験の条件は次の通りであった。
【0040】切削速度 :400m/min 送り量 :0.2mm/rev 切り込み量 :1.5mm 工具付き出し長さ :40mm 心押し台突き出し量:35mm 被削材 :鋳鉄FC20(硬度HB250) 被削材寸法 :φ110×600mm丸棒
【0041】次に逃げ面摩耗幅(VB)の測定は、チッ
プホルダーにより5℃の傾きで被削材を削り取っている
ため、工具顕微鏡に対して、チップを5゜傾け、工具逃
げ面が平行となるように取付けて行なった。切削試験は
乾式外周旋削とし、また、工具寿命判定基準として逃げ
面摩耗幅VB=0.2mmを設定して行なった。
【0042】試験結果を表2に示す。
【0043】
【表2】
【0044】表2から明らかなように、本実施例のSi
C−Al23系複合セラミック工具材料を使用した切削
用バイトは比較用に使用したバイトに対して約1.7倍
の工具寿命を確認することができた。また、工具の摩耗
面を、試験後観察したが、異常摩耗、チッピング等は認
められず、本実施例の工具用バイトの寿命は工具の純粋
な摩耗のみに依存することが確認できた。
【0045】
【発明の効果】以上の如く本発明のAl23基複合セラ
ミック研摩材料によれば、マトリックスであるα−Al
23粒子よりも高い耐火性を有するSiC、Si34
TiC、TiN、TiCN等のうちの1種以上の分散強
化粒子が、α−Al23粒子内に分散した微細組織を持
ち、粒子内破壊性を有する研摩材料ないし工具材料(但
し、分散強化粒子はSiC、Si34等とする)を得る
ことが可能である。この材料は強度、破壊靱性値が従来
のAl23質材料に比較して格段に向上すること、破壊
時に粒子内破壊を生じることの特徴を持つ。かかる材料
を切削工具、研摩用粒子に使用すれば、高破壊靱性値の
ため、チッピング異常摩耗の低減による長寿命化(切削
工具)、粒子内破壊のため、脱落粒子の減少による摩耗
の低減(切削工具、研摩粒子)、粒子内破壊による切れ
味の向上(切削工具、研摩粒子)が可能となる。このよ
うに本発明によるAl23系複合セラミック研摩材料、
工具材料を使用することにより、切削用工具、研摩粒子
等の種々の工具ばかりでなく一般に耐摩耗用材料の性能
を大幅に向上させるものであり、構造材料としても利用
可能である(以上請求項1〜5、8〜10について)。
請求項6、7により、上記複合セラミック研摩材料の工
業的製造方法が実現される。
【0046】又、著しく高価である超高度材料(ダイヤ
モンド、立方晶窒化ほう素CBN)に対して格段に安価
であるため、大量に使用する場合の多い、工具に非常に
好適である。
【0047】即ち、本発明によれば、高性能、長寿命か
つ安価な研摩材料、工具材料が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】Al23系複合セラミック研摩材料、工具材料
の一実施例の結晶構造を示す写真であり、SiC−Al
23系の微細組織を透過型電子顕微鏡(TEM)により
観察したものである。マトリツクスであるAl23結晶
粒子中にSiC粒子が分散している。
【図2】本発明のAl23系複合セラミック工具材料を
用いて工具(例えば切削用バイト)を作製し、これを使
用した際に生じる摩耗の様子をモデル的に示す図であ
る。マトリックスであるAl23粒子は粒界破壊せず、
本発明の材料の特徴である粒子内のサブ粒界より粒子内
破壊する。このため、通常のAl23特有の粒界破壊に
比べ、脱落量が低下し、鋭利な切れ刃が生じる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 健司 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 伊藤 次男 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 富田 秀幸 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 岩田 美佐男 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 久田 栄一 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 新原 晧一 大阪府枚方市香里ヶ丘9−7−1142 (72)発明者 中平 敦 大阪府吹田市青山台1−2 C33−307号 室

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】α−Al23を主成分とするマトリックス
    80vol%〜99vol%とSi及びTiの炭化物、窒化物
    及び炭窒化物中の1種以上の分散強化粒子1〜20vol
    %とから本質上なり、該分散強化粒子はα−Al23
    子内に分散し、粒子内破壊性であることを特徴とする、
    Al23系複合セラミック研摩材料。
  2. 【請求項2】破壊靱性値が4.5MPam1/2以上、硬度1
    7GPa以上を有する、耐チッピング性、耐摩耗性に優れ
    た請求項1に記載のAl23系複合セラミック研摩材
    料。
  3. 【請求項3】硬度が20GPa以上である請求項2に記載
    のAl23系複合セラミック研摩材料。
  4. 【請求項4】請求項1〜3の一に記載の研摩材料を用い
    た研削砥石。
  5. 【請求項5】請求項1〜3の一に記載の研摩材料を用い
    た研摩布紙。
  6. 【請求項6】1μm以下の平均結晶粒径を有するα−A
    23もしくはγ−Al23粉と、1μm以下の平均結
    晶粒径を有するSi及びTiの炭化物、窒化物及び炭窒
    化物のうち1種以上の分散強化粒子1vol%〜20vol%
    を混合しこれを1400〜1800℃で焼結して粒子内
    分散強化されかつ粒子内破壊性のAl23系複合セラミ
    ック研摩材料をうることを特徴とするAl23系複合セ
    ラミック研摩材料の製法。
  7. 【請求項7】前記混合物を予成形し、耐火性粉末媒体中
    で焼結して粒状焼結体を得ることを特徴とする請求項6
    に記載のAl23系複合セラミック研摩材料の製法。
  8. 【請求項8】α−Al23を主成分とするマトリックス
    80vol%〜99vol%とSiの炭化物、窒化物及び炭窒
    化物中の1種以上の分散強化粒子1〜20vol%とから
    本質上なり、該分散強化粒子はα−Al23粒子内に分
    散し、粒子内破壊性であることを特徴とする、研削工具
    として使用可能なAl23系複合セラミック工具材料。
  9. 【請求項9】破壊靱性値が4.5MPam1/2以上、硬度1
    7GPa以上を有する耐チッピング性、耐摩耗性に優れた
    請求項8に記載の工具材料。
  10. 【請求項10】硬度が20GPa以上である請求項9に記
    載の工具材料。
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