JPH05296849A - 波長測定器 - Google Patents
波長測定器Info
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- JPH05296849A JPH05296849A JP4101139A JP10113992A JPH05296849A JP H05296849 A JPH05296849 A JP H05296849A JP 4101139 A JP4101139 A JP 4101139A JP 10113992 A JP10113992 A JP 10113992A JP H05296849 A JPH05296849 A JP H05296849A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明の波長測定器にあっては、環境の変化
によってレーザ干渉測長が低下するため、環境の変化分
を含めた媒質中の波長を測定することを特徴とする。 【構成】この発明の波長測定器は、ステージ１０上に取
付けられたコの字状で参照鏡１２が取付けられた基準ブ
ロック１１と、基準鏡１５が取付けられた可動部１４を
有している。可動部１４は、ステージ１０の案内溝１３
に沿って基準ブロック１１の第３の部分の当接部から第
１の部分の当接部に移動自在とされる。上記可動部１４
が基準ブロックの２箇所の当接部に当接された状態で、
基準鏡１５からの反射光と参照鏡１２からの反射光との
間で生じる干渉縞が測定され、２つの干渉縞の差と可動
部１４の移動距離により、媒質中の波長が測定される。
によってレーザ干渉測長が低下するため、環境の変化分
を含めた媒質中の波長を測定することを特徴とする。 【構成】この発明の波長測定器は、ステージ１０上に取
付けられたコの字状で参照鏡１２が取付けられた基準ブ
ロック１１と、基準鏡１５が取付けられた可動部１４を
有している。可動部１４は、ステージ１０の案内溝１３
に沿って基準ブロック１１の第３の部分の当接部から第
１の部分の当接部に移動自在とされる。上記可動部１４
が基準ブロックの２箇所の当接部に当接された状態で、
基準鏡１５からの反射光と参照鏡１２からの反射光との
間で生じる干渉縞が測定され、２つの干渉縞の差と可動
部１４の移動距離により、媒質中の波長が測定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は媒質中の波長を測定す
る波長測定器に関し、特にレーザ干渉測長装置に使用さ
れる波長測定器に関するものである。
る波長測定器に関し、特にレーザ干渉測長装置に使用さ
れる波長測定器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザ干渉測長装置は、図５に
示されるように、レーザ光源１より出力される光を分割
するビームスプリッタ（半透鏡）２と、図示矢印Ａ方向
に移動自在の可動鏡３と、参照鏡４、及び検出器５を有
して構成されていた。
示されるように、レーザ光源１より出力される光を分割
するビームスプリッタ（半透鏡）２と、図示矢印Ａ方向
に移動自在の可動鏡３と、参照鏡４、及び検出器５を有
して構成されていた。
【０００３】いま、レーザ光源１から光が出力される
と、ビームスプリッタ２によってここを通過する光と反
射される光に分割される。そして、上記通過する光は可
動鏡３で、また上記ビームスプリッタ２で反射された光
は参照鏡４で、それぞれ反射されてビームスプリッタ２
に戻って重なり合う。すなわち、２つの光が干渉する。
ここで、可動鏡３が図示矢印Ａ方向に移動されることに
より、上記２つの光の光路長に差が生じて位相差が生じ
る。上記検出器５は、これら２つの光の位相差による干
渉状態を検出する。そして、この干渉状態に基いて可動
鏡３の移動距離を測定していた。
と、ビームスプリッタ２によってここを通過する光と反
射される光に分割される。そして、上記通過する光は可
動鏡３で、また上記ビームスプリッタ２で反射された光
は参照鏡４で、それぞれ反射されてビームスプリッタ２
に戻って重なり合う。すなわち、２つの光が干渉する。
ここで、可動鏡３が図示矢印Ａ方向に移動されることに
より、上記２つの光の光路長に差が生じて位相差が生じ
る。上記検出器５は、これら２つの光の位相差による干
渉状態を検出する。そして、この干渉状態に基いて可動
鏡３の移動距離を測定していた。
【０００４】しかしながら、このような構成のレーザ干
渉測長装置では、可動鏡３と参照鏡４との間に環境（屈
折率）変化が生じると、レーザの波長が変化して、正確
な測定を行うことができないものであった。ここで、環
境変化とは、気温、気圧、または水蒸気圧の変化によ
り、屈折率が変化することを指す。例えば気温（ΔＴ）
が１℃、気圧（ΔＰ）が２．８mmＨｇ、または水蒸気圧
（Δｅ）が１９．６mmＨｇ上昇すると、屈折率Δｎは１
×１０-6（１ｐｐｍ）変化する。
渉測長装置では、可動鏡３と参照鏡４との間に環境（屈
折率）変化が生じると、レーザの波長が変化して、正確
な測定を行うことができないものであった。ここで、環
境変化とは、気温、気圧、または水蒸気圧の変化によ
り、屈折率が変化することを指す。例えば気温（ΔＴ）
が１℃、気圧（ΔＰ）が２．８mmＨｇ、または水蒸気圧
（Δｅ）が１９．６mmＨｇ上昇すると、屈折率Δｎは１
×１０-6（１ｐｐｍ）変化する。
【０００５】これらの環境変化を把握するため、従来は
可動鏡側の光路の近傍に、それぞれの環境測定を行うセ
ンサを配置していた。そして、各センサで得られた値か
ら、測定データに対して補正を行っていた。
可動鏡側の光路の近傍に、それぞれの環境測定を行うセ
ンサを配置していた。そして、各センサで得られた値か
ら、測定データに対して補正を行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、こうした測
長装置では、測長値はレーザの波長を基準に測定してい
るが、上述したように、レーザの波長は環境の変化によ
り変動してしまう。そのため、変動を補正するために環
境測定を行うセンサを配置しているが、その補正データ
も各センサの精度に依存するものである。しかも、測定
データは、相対的ではなく絶対値であるので、高精度の
測定には不向きであった。また、上記環境変化の要因
（例えば気温、気圧水蒸気圧等）を安定化させたうえで
測長を行うため、その作業に時間を要するものであっ
た。更に、媒質中に於けるレーザ光源自体のレーザの波
長の変動は全くわからないという不利益があった。
長装置では、測長値はレーザの波長を基準に測定してい
るが、上述したように、レーザの波長は環境の変化によ
り変動してしまう。そのため、変動を補正するために環
境測定を行うセンサを配置しているが、その補正データ
も各センサの精度に依存するものである。しかも、測定
データは、相対的ではなく絶対値であるので、高精度の
測定には不向きであった。また、上記環境変化の要因
（例えば気温、気圧水蒸気圧等）を安定化させたうえで
測長を行うため、その作業に時間を要するものであっ
た。更に、媒質中に於けるレーザ光源自体のレーザの波
長の変動は全くわからないという不利益があった。
【０００７】この発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、環境の変化によって精度が低下することなく、測定
時間を短縮し、媒質中の波長を測定することのできる波
長測定器を提供することを目的とする。
で、環境の変化によって精度が低下することなく、測定
時間を短縮し、媒質中の波長を測定することのできる波
長測定器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわちこの発明は、入
射されるべく光を透過させると共に反射させる第１のビ
ームスプリッタと、この第１のビームスプリッタからの
光を透過させると共に反射させる第２のビームスプリッ
タと、この第２のビームスプリッタを透過した光を再度
第２のビームスプリッタを介して上記第１のビームスプ
リッタに反射させる第１の反射鏡と、この第１の反射鏡
が取付けられて上記光軸方向に摺動自在の可動部材と、
この可動部材を上記光軸方向に駆動させる駆動手段と、
上記第２のビームスプリッタで反射された光を再度第２
のビームスプリッタを介して上記第１のビームスプリッ
タに反射させる第２の反射鏡と、この第２の反射鏡が取
付けられるもので、上記可動部材の摺動方向に対向する
ように一対の当接部を有して上記可動部材の移動距離を
規制する規制部材と、上記第１の反射鏡からの反射光と
上記第２の反射鏡からの反射光による干渉縞を検出する
検出手段とを具備し、上記検出手段は上記可動部材を上
記光軸方向に可動させて上記移動距離を基に干渉縞を検
出することにより媒質中の波長を測定することを特徴と
する。
射されるべく光を透過させると共に反射させる第１のビ
ームスプリッタと、この第１のビームスプリッタからの
光を透過させると共に反射させる第２のビームスプリッ
タと、この第２のビームスプリッタを透過した光を再度
第２のビームスプリッタを介して上記第１のビームスプ
リッタに反射させる第１の反射鏡と、この第１の反射鏡
が取付けられて上記光軸方向に摺動自在の可動部材と、
この可動部材を上記光軸方向に駆動させる駆動手段と、
上記第２のビームスプリッタで反射された光を再度第２
のビームスプリッタを介して上記第１のビームスプリッ
タに反射させる第２の反射鏡と、この第２の反射鏡が取
付けられるもので、上記可動部材の摺動方向に対向する
ように一対の当接部を有して上記可動部材の移動距離を
規制する規制部材と、上記第１の反射鏡からの反射光と
上記第２の反射鏡からの反射光による干渉縞を検出する
検出手段とを具備し、上記検出手段は上記可動部材を上
記光軸方向に可動させて上記移動距離を基に干渉縞を検
出することにより媒質中の波長を測定することを特徴と
する。
【０００９】
【作用】この発明の波長測定器にあっては、規制部材の
一方の当接部に可動部材が当接された状態で、可動部材
に取付けられた基準鏡からの反射光と参照鏡からの反射
光との間で生じる干渉縞を測定しておく。そして、上記
可動部材を、上記規制部材の他方の当接部に当接させた
状態で再び基準鏡からの反射光と参照鏡からの反射光と
の間で生じる干渉縞を測定する。２つの干渉縞の差と、
可動部材の移動距離により、媒質中の波長が測定され
る。
一方の当接部に可動部材が当接された状態で、可動部材
に取付けられた基準鏡からの反射光と参照鏡からの反射
光との間で生じる干渉縞を測定しておく。そして、上記
可動部材を、上記規制部材の他方の当接部に当接させた
状態で再び基準鏡からの反射光と参照鏡からの反射光と
の間で生じる干渉縞を測定する。２つの干渉縞の差と、
可動部材の移動距離により、媒質中の波長が測定され
る。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１１】図２は、この発明の一実施例で、レーザ光
源の波長測定器を使用したレーザ干渉測長装置を概略的
に示したブロック図である。同図に於いて、レーザ干渉
測長装置は、レーザ光源１と、このレーザ光源１より出
力される光を分割するビームスプリッタ２及び６と、図
示矢印Ａ方向に移動自在の可動鏡３と、参照鏡４、及び
検出器５を有している。また、このレーザ干渉測長装置
は、ビームスプリッタ６で反射された光から媒質中の波
長を測定する波長測定器７と、この波長測定器７内のビ
ームスプリッタ８を経た光を検出する検出器９を具備し
ている。
源の波長測定器を使用したレーザ干渉測長装置を概略的
に示したブロック図である。同図に於いて、レーザ干渉
測長装置は、レーザ光源１と、このレーザ光源１より出
力される光を分割するビームスプリッタ２及び６と、図
示矢印Ａ方向に移動自在の可動鏡３と、参照鏡４、及び
検出器５を有している。また、このレーザ干渉測長装置
は、ビームスプリッタ６で反射された光から媒質中の波
長を測定する波長測定器７と、この波長測定器７内のビ
ームスプリッタ８を経た光を検出する検出器９を具備し
ている。
【００１２】上記波長測定器７は、図１に示されるよう
に構成されている。すなわち、所定の厚さを有するステ
ージ１０上には、図示の如く、コの字状の基準ブロック
１１が取付けられている。これらステージ１０及び基準
ブロック１１は、熱の変動を受けない低膨脹材、例えば
ゼロデュア（ＺＥＲＯＤＵＲ：ドイツ、ＳＣＨＯＴＴ社
の商標）等を用いて構成されている。上記基準ブロック
１１は、それぞれ直線状の第１の部分１１ａ、第２の部
分１１ｂ及び第３の部分１１ｃから成っている。そし
て、この第３の部分１１ｃであって、基準ブロックの外
側の面には、参照鏡１２が取付けられている。
に構成されている。すなわち、所定の厚さを有するステ
ージ１０上には、図示の如く、コの字状の基準ブロック
１１が取付けられている。これらステージ１０及び基準
ブロック１１は、熱の変動を受けない低膨脹材、例えば
ゼロデュア（ＺＥＲＯＤＵＲ：ドイツ、ＳＣＨＯＴＴ社
の商標）等を用いて構成されている。上記基準ブロック
１１は、それぞれ直線状の第１の部分１１ａ、第２の部
分１１ｂ及び第３の部分１１ｃから成っている。そし
て、この第３の部分１１ｃであって、基準ブロックの外
側の面には、参照鏡１２が取付けられている。
【００１３】また、上記ステージ１０にはその断面が台
形状の案内溝１３が設けられており、この案内溝１３に
沿って、図示矢印Ｂ方向に摺動自在の低膨張材で形成さ
れた可動部１４が、ステージ１０に載置されている。可
動部１４は、上記基準ブロック１１の第１の部分１１ａ
と第３の部分１１ｃの間を摺動可能にされているもの
で、上記第２の部分１１ｂとは所定間隔を於いて形成さ
れる。また、可動部１４は、参照鏡１２が取付けられて
いる基準ブロック１１の第３の部分１１ｃと同一の方向
の面に、基準鏡１５を取付けている。この基準鏡１５と
上記参照鏡１２は、干渉計を構成している。
形状の案内溝１３が設けられており、この案内溝１３に
沿って、図示矢印Ｂ方向に摺動自在の低膨張材で形成さ
れた可動部１４が、ステージ１０に載置されている。可
動部１４は、上記基準ブロック１１の第１の部分１１ａ
と第３の部分１１ｃの間を摺動可能にされているもの
で、上記第２の部分１１ｂとは所定間隔を於いて形成さ
れる。また、可動部１４は、参照鏡１２が取付けられて
いる基準ブロック１１の第３の部分１１ｃと同一の方向
の面に、基準鏡１５を取付けている。この基準鏡１５と
上記参照鏡１２は、干渉計を構成している。
【００１４】更に、上記可動部１４の側面には、この可
動部１４が図示矢印Ｂ方向に摺動自在となるように、ベ
ルト１６が取付けられている。このベルト１６は、駆動
手段としてのモータ１７及びプーリ１８間に巻回されて
いるもので、後述するＣＰＵ２２の制御により、可動部
１４を図示矢印Ｂ方向に移動させるべく移動する。
動部１４が図示矢印Ｂ方向に摺動自在となるように、ベ
ルト１６が取付けられている。このベルト１６は、駆動
手段としてのモータ１７及びプーリ１８間に巻回されて
いるもので、後述するＣＰＵ２２の制御により、可動部
１４を図示矢印Ｂ方向に移動させるべく移動する。
【００１５】尚、１９はビームスプリッタ８からの光を
通過させると共に反射するビームスプリッタであり、２
０はこのビームスプリッタ１９からの光を反射する反射
ミラーである。図３は、同実施例の制御系を示すブロッ
ク図である。
通過させると共に反射するビームスプリッタであり、２
０はこのビームスプリッタ１９からの光を反射する反射
ミラーである。図３は、同実施例の制御系を示すブロッ
ク図である。
【００１６】検出器９からは、検出された干渉縞に応じ
てカウントアップ若しくはカウントダウンの指示がカウ
ンタ２１に供給される。ＣＰＵ２２は、このカウンタ２
１から計数値を受取る一方、カウンタ２１をリセットす
る信号を供給する。また、ＣＰＵ２２は、上記計数値に
基いてドライバ２３に制御信号を出力し、更にモータ１
７を所定方向に回転駆動させる。また、出力部２４は、
例えばモニタ等で構成されるもので、測定された媒質中
の波長等を出力するためのものである。次に、図４のフ
ローチャートを参照して、レーザ干渉測長装置の動作を
説明する。
てカウントアップ若しくはカウントダウンの指示がカウ
ンタ２１に供給される。ＣＰＵ２２は、このカウンタ２
１から計数値を受取る一方、カウンタ２１をリセットす
る信号を供給する。また、ＣＰＵ２２は、上記計数値に
基いてドライバ２３に制御信号を出力し、更にモータ１
７を所定方向に回転駆動させる。また、出力部２４は、
例えばモニタ等で構成されるもので、測定された媒質中
の波長等を出力するためのものである。次に、図４のフ
ローチャートを参照して、レーザ干渉測長装置の動作を
説明する。
【００１７】いま、基準ブロック１１の第２の部分１１
ｃに於ける、第１の部分１１ａの可動部１４との当接部
と、第３の部分１１ｃの可動部１４との当接部との間隔
をｌ1 とする。そして、可動部１４の摺動方向の長さを
ｌ2 とする。尚、これらの間隔ｌ1 及び長さｌ2 は、予
め高精度に測長されているものとする。
ｃに於ける、第１の部分１１ａの可動部１４との当接部
と、第３の部分１１ｃの可動部１４との当接部との間隔
をｌ1 とする。そして、可動部１４の摺動方向の長さを
ｌ2 とする。尚、これらの間隔ｌ1 及び長さｌ2 は、予
め高精度に測長されているものとする。
【００１８】電源がオンされて、レーザ光源１より光が
出力されると、先ずステップＳ１にて可動部１４が基準
ブロック１１の当接部、例えば第３の部分の当接部に移
動される。次いで、ステップＳ２に於いて、ＣＰＵ２２
はカウンタ２１をリセットしておく。この状態で、先ず
ステップＳ３で１回目の測定を行う。
出力されると、先ずステップＳ１にて可動部１４が基準
ブロック１１の当接部、例えば第３の部分の当接部に移
動される。次いで、ステップＳ２に於いて、ＣＰＵ２２
はカウンタ２１をリセットしておく。この状態で、先ず
ステップＳ３で１回目の測定を行う。
【００１９】ここで行う測定は、レーザ光源１１から出
力された光を、ビームスプリッタ６、８及び１９と反射
ミラー２０を介し、参照鏡１２と基準鏡１５により得ら
れた干渉縞を、検出器９により検出して測定を行う。
力された光を、ビームスプリッタ６、８及び１９と反射
ミラー２０を介し、参照鏡１２と基準鏡１５により得ら
れた干渉縞を、検出器９により検出して測定を行う。
【００２０】次に、ステップＳ４にて、基準ブロック１
１の第３の部分１１ｃの当接部から第１の部分１１ａの
当接部まで（間隔ｌ1 ）、可動部１４を移動させる。す
なわち、ＣＰＵ２２がドライバ２３を介して波長測定器
７のモータ１７を駆動する。このモータ１７の駆動によ
り、ベルト１６を介して可動部１４が、ステージ １０
に設けられた案内溝１３に沿って（図示矢印Ｂ方向）基
準ブロック１１の第１の部分１１ａの当接部に向かって
移動させる。
１の第３の部分１１ｃの当接部から第１の部分１１ａの
当接部まで（間隔ｌ1 ）、可動部１４を移動させる。す
なわち、ＣＰＵ２２がドライバ２３を介して波長測定器
７のモータ１７を駆動する。このモータ１７の駆動によ
り、ベルト１６を介して可動部１４が、ステージ １０
に設けられた案内溝１３に沿って（図示矢印Ｂ方向）基
準ブロック１１の第１の部分１１ａの当接部に向かって
移動させる。
【００２１】そして、ステップＳ５に於いて、可動部１
４が基準ブロック１１の第１の部分１１ａの当接部に当
接された状態で、２回目の測定を行う。この場合、可動
部１４に取付けられた基準鏡１５の位置が移動されてい
るので、この基準鏡１５とビームスプリッタ１９間の光
路長は、１回目の測定時とは異なっている。この移動分
の幾何学的距離をＬとすると、Ｌ＝ｌ1 −ｌ2 として求
められる。
４が基準ブロック１１の第１の部分１１ａの当接部に当
接された状態で、２回目の測定を行う。この場合、可動
部１４に取付けられた基準鏡１５の位置が移動されてい
るので、この基準鏡１５とビームスプリッタ１９間の光
路長は、１回目の測定時とは異なっている。この移動分
の幾何学的距離をＬとすると、Ｌ＝ｌ1 −ｌ2 として求
められる。
【００２２】したがって、検出器９で検出された干渉縞
の数に応じて、カウンタ２１でカウントされる計数値は
増減される。そして、ステップＳ６にて、カウンタ２１
の計数値と上記幾何学的距離Ｌを基に、ＣＰＵ２２で媒
質中の波長が算出される。可動部１４の移動により生じ
た幾何学的距離Ｌの２倍を上記カウントされた干渉縞の
数で割ることにより、実際の波長が求められる。この場
合、上述したように、ステージ１０及び基準ブロック１
１は、環境変化による変動を受け難い部材で構成されて
いるので、カウンタ２１はその変動分だけ、変動した値
をカウントすることになる。
の数に応じて、カウンタ２１でカウントされる計数値は
増減される。そして、ステップＳ６にて、カウンタ２１
の計数値と上記幾何学的距離Ｌを基に、ＣＰＵ２２で媒
質中の波長が算出される。可動部１４の移動により生じ
た幾何学的距離Ｌの２倍を上記カウントされた干渉縞の
数で割ることにより、実際の波長が求められる。この場
合、上述したように、ステージ１０及び基準ブロック１
１は、環境変化による変動を受け難い部材で構成されて
いるので、カウンタ２１はその変動分だけ、変動した値
をカウントすることになる。
【００２３】尚、上記カウンタ２１でカウントされる値
は、屈折率変化及びレーザの真空の波長変動を含んだも
のである。そして、ＣＰＵ２２は、その波長の測定値を
モニタ等の出力部２４に出力させる。こうして、媒質中
の波長の測定を行うことができる。また、変動の量に応
じて検出器５でカウントされた値を補正することによ
り、より高精度の測長が可能になる。このように、同実
施例によれば、気温、気圧、湿度、実際のレーザの真空
の波長等の変動を見込んだ媒質中の波長の測定値を得る
ことができる。
は、屈折率変化及びレーザの真空の波長変動を含んだも
のである。そして、ＣＰＵ２２は、その波長の測定値を
モニタ等の出力部２４に出力させる。こうして、媒質中
の波長の測定を行うことができる。また、変動の量に応
じて検出器５でカウントされた値を補正することによ
り、より高精度の測長が可能になる。このように、同実
施例によれば、気温、気圧、湿度、実際のレーザの真空
の波長等の変動を見込んだ媒質中の波長の測定値を得る
ことができる。
【００２４】また、１つの基準値を利用することによ
り、従来のように気温、気圧、湿度、実際のレーザの真
空の波長等の値を安定させて測定するという作業が不要
になる。加えて、媒質中の波長がどうなっているかを測
定しているので、レーザ光源の発振波長や屈折率が揺ら
いでも影響はない。尚、同実施例では、案内溝を断面が
台形状のものとし、駆動手段としてベルトを使用した
が、これに限られるものではない。
り、従来のように気温、気圧、湿度、実際のレーザの真
空の波長等の値を安定させて測定するという作業が不要
になる。加えて、媒質中の波長がどうなっているかを測
定しているので、レーザ光源の発振波長や屈折率が揺ら
いでも影響はない。尚、同実施例では、案内溝を断面が
台形状のものとし、駆動手段としてベルトを使用した
が、これに限られるものではない。
【００２５】更に、上記実施例では電源を投入した後
に、可動部１４を基準ブロック１１の第３の部分１１ｃ
の当接部から第１の部分１１ａの当接部へ移動させて測
定しているが、これに限られるものではない。
に、可動部１４を基準ブロック１１の第３の部分１１ｃ
の当接部から第１の部分１１ａの当接部へ移動させて測
定しているが、これに限られるものではない。
【００２６】例えば、電源投入時に現在の波長を調べ、
その後、この当接部の位置で可動部１４で止めといて、
適宜測定するようにしてもよい。この場合、気圧等が変
動するとカウンタの計数値が変わるため、実際の媒質中
の波長がどう変わったかを出力部２４でモニタすること
ができる。
その後、この当接部の位置で可動部１４で止めといて、
適宜測定するようにしてもよい。この場合、気圧等が変
動するとカウンタの計数値が変わるため、実際の媒質中
の波長がどう変わったかを出力部２４でモニタすること
ができる。
【００２７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、環境の
変化によって精度が低下することなく、測定時間を短縮
し、媒質中の波長を測定することのできる波長測定器を
提供することができる。
変化によって精度が低下することなく、測定時間を短縮
し、媒質中の波長を測定することのできる波長測定器を
提供することができる。
【図１】この発明の一実施例でレーザ干渉測長装置内の
波長測定器の構成を示す外観斜視図である。
波長測定器の構成を示す外観斜視図である。
【図２】この発明の一実施例で、レーザ光源の波長測定
器を使用したレーザ干渉測長装置を概略的に示したブロ
ック図である。
器を使用したレーザ干渉測長装置を概略的に示したブロ
ック図である。
【図３】この発明の一実施例の制御系を示すブロック図
である。
である。
【図４】この発明の一実施例であるレーザ干渉測長装置
の動作を説明するフローチャートである。
の動作を説明するフローチャートである。
【図５】従来のレーザ干渉縞測長装置の例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１…レーザ光源、２、６、８、１９…ビームスプリッ
タ、３…可動鏡、４、１２…参照鏡、５、９…検出器、
７…波長測定器、１０…ステージ、１１…基準ブロッ
ク、１１ａ…第１の部分、１１ｂ…第２の部分、１１ｃ
…第３の部分、１３…案内溝、１４…可動部、１５…基
準鏡、１６…ベルト、１７…モータ、２０…反射ミラ
ー、２１…カウンタ、２２…ＣＰＵ。
タ、３…可動鏡、４、１２…参照鏡、５、９…検出器、
７…波長測定器、１０…ステージ、１１…基準ブロッ
ク、１１ａ…第１の部分、１１ｂ…第２の部分、１１ｃ
…第３の部分、１３…案内溝、１４…可動部、１５…基
準鏡、１６…ベルト、１７…モータ、２０…反射ミラ
ー、２１…カウンタ、２２…ＣＰＵ。
Claims (3)
- 【請求項１】 入射されるべく光を透過させると共に反
射させる第１のビームスプリッタと、 この第１のビームスプリッタからの光を透過させると共
に反射させる第２のビームスプリッタと、 この第２のビームスプリッタを透過した光を再度第２の
ビームスプリッタを介して上記第１のビームスプリッタ
に反射させる第１の反射鏡と、 この第１の反射鏡が取付けられて上記光軸方向に摺動自
在の可動部材と、 この可動部材を上記光軸方向に駆動させる駆動手段と、 上記第２のビームスプリッタで反射された光を再度第２
のビームスプリッタを介して上記第１のビームスプリッ
タに反射させる第２の反射鏡と、 この第２の反射鏡が取付けられるもので、上記可動部材
の摺動方向に対向するように一対の当接部を有して上記
可動部材の移動距離を規制する規制部材と、 上記第１の反射鏡からの反射光と上記第２の反射鏡から
の反射光による干渉縞を検出する検出手段とを具備し、 上記検出手段は上記可動部材を上記光軸方向に可動させ
て上記移動距離を基に干渉縞を検出することにより媒質
中の波長を測定することを特徴とする波長測定器。 - 【請求項２】 上記検出手段は、上記可動部材を上記規
制部材の当接部に固定させた状態で媒質中の波長を測定
し、その後の該媒質中の波長変動を継続的に測定可能で
ある請求項１に記載の波長測定器。 - 【請求項３】 光として、レーザ光を使用する請求項１
に記載の波長測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101139A JPH05296849A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 波長測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101139A JPH05296849A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 波長測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296849A true JPH05296849A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14292754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4101139A Withdrawn JPH05296849A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 波長測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05296849A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025088872A1 (ja) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 測距装置 |
| CN120778004A (zh) * | 2025-09-08 | 2025-10-14 | 山东润龙机床有限公司 | 一种基于激光干涉的长度测量设备 |
-
1992
- 1992-04-21 JP JP4101139A patent/JPH05296849A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025088872A1 (ja) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 測距装置 |
| CN120778004A (zh) * | 2025-09-08 | 2025-10-14 | 山东润龙机床有限公司 | 一种基于激光干涉的长度测量设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |