JPH05297282A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05297282A JPH05297282A JP12424292A JP12424292A JPH05297282A JP H05297282 A JPH05297282 A JP H05297282A JP 12424292 A JP12424292 A JP 12424292A JP 12424292 A JP12424292 A JP 12424292A JP H05297282 A JPH05297282 A JP H05297282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- rotary table
- sample
- objective lens
- samples
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 顕微鏡の試料台を使用後毎に洗浄したり各工
程毎に多数の顕微鏡を設置したりすることなく、性質の
異なる複数の試料を１台で検査することができる顕微鏡
を提供する。 【構成】 顕微鏡本体１１を支持するベース７に、回転
テーブル８を回転軸１２を中心としてほぼ水平状に回転
自在に設ける。顕微鏡本体１１の対物レンズ５と対向す
る回転テーブル８の回転円周に沿って、その回転テーブ
ル８上に複数の試料台９ａ，９ｂ，９ｃ・・・を設け
る。回転テーブル８を回転させることにより、回転テー
ブル８上に設けられたそれぞれの試料台９ａ，９ｂ，９
ｃ・・・を対物レンズ５の真下に位置させることができ
る。
程毎に多数の顕微鏡を設置したりすることなく、性質の
異なる複数の試料を１台で検査することができる顕微鏡
を提供する。 【構成】 顕微鏡本体１１を支持するベース７に、回転
テーブル８を回転軸１２を中心としてほぼ水平状に回転
自在に設ける。顕微鏡本体１１の対物レンズ５と対向す
る回転テーブル８の回転円周に沿って、その回転テーブ
ル８上に複数の試料台９ａ，９ｂ，９ｃ・・・を設け
る。回転テーブル８を回転させることにより、回転テー
ブル８上に設けられたそれぞれの試料台９ａ，９ｂ，９
ｃ・・・を対物レンズ５の真下に位置させることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡に関し、例えば
半導体装置の製造工程途中での抜き取り外観検査などに
用いて最適なものである。
半導体装置の製造工程途中での抜き取り外観検査などに
用いて最適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の顕微鏡は、１台の顕微鏡に、検査
しようとする試料を載置する試料台が１つしか備わって
いない。このため、１台の顕微鏡で性質の違う複数の試
料の検査を行う場合でも、これらの試料を同じ試料台に
載せなければならない。これにより、前に載せた試料の
特有成分などが試料台を介して次に載せた別の試料に異
物として付着してしまう等、複数の試料間の異物混入が
問題となっていた。
しようとする試料を載置する試料台が１つしか備わって
いない。このため、１台の顕微鏡で性質の違う複数の試
料の検査を行う場合でも、これらの試料を同じ試料台に
載せなければならない。これにより、前に載せた試料の
特有成分などが試料台を介して次に載せた別の試料に異
物として付着してしまう等、複数の試料間の異物混入が
問題となっていた。
【０００３】例えば、製造工程途中での抜き取り外観検
査などで１台の顕微鏡を共用する場合、特に半導体装置
の製造工程においては、前に載せた試料であるウエハの
金属イオンなどが試料台に付着すると、この金属イオン
が次に載せた別工程のウエハに付着してしまう。これに
より、ウエハの品質が低下したり、更には、ウエハを熱
酸化するのに用いられる拡散炉などの各種処理装置の汚
染の原因になることもあった。
査などで１台の顕微鏡を共用する場合、特に半導体装置
の製造工程においては、前に載せた試料であるウエハの
金属イオンなどが試料台に付着すると、この金属イオン
が次に載せた別工程のウエハに付着してしまう。これに
より、ウエハの品質が低下したり、更には、ウエハを熱
酸化するのに用いられる拡散炉などの各種処理装置の汚
染の原因になることもあった。
【０００４】そこで従来は、顕微鏡の使用後毎に試料台
を純水もしくはメタノール等で洗浄し、清浄度を保つよ
うにしたり、また、各工程毎に顕微鏡を専用化して用い
ることによって、性質の異なる複数の試料間の異物混入
を防止していた。
を純水もしくはメタノール等で洗浄し、清浄度を保つよ
うにしたり、また、各工程毎に顕微鏡を専用化して用い
ることによって、性質の異なる複数の試料間の異物混入
を防止していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のように、顕微鏡の使用後毎に試料台を洗浄する
場合には、非常に手間がかかり、検査効率が極めて悪い
という問題があった。また、各工程毎に顕微鏡を専用化
して用いる場合には、多数の顕微鏡を揃えねばならない
ので、コストが大幅にアップするとともに、顕微鏡を設
置するために相当なスペースが必要になるという問題が
あった。
た従来のように、顕微鏡の使用後毎に試料台を洗浄する
場合には、非常に手間がかかり、検査効率が極めて悪い
という問題があった。また、各工程毎に顕微鏡を専用化
して用いる場合には、多数の顕微鏡を揃えねばならない
ので、コストが大幅にアップするとともに、顕微鏡を設
置するために相当なスペースが必要になるという問題が
あった。
【０００６】そこで本発明は、顕微鏡の試料台を使用後
毎に洗浄したり各工程毎に多数の顕微鏡を設置したりす
ることなく、性質の異なる複数の試料を１台で検査する
ことができる顕微鏡を提供することを目的とする。
毎に洗浄したり各工程毎に多数の顕微鏡を設置したりす
ることなく、性質の異なる複数の試料を１台で検査する
ことができる顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による顕微鏡は、顕微鏡本体を支持するベー
スに、回転テーブルを軸を中心としてほぼ水平状に回転
自在に設け、前記顕微鏡本体の対物レンズと対向する前
記回転テーブルの回転円周に沿って、その回転テーブル
上に複数の試料台を設けたものである。
に、本発明による顕微鏡は、顕微鏡本体を支持するベー
スに、回転テーブルを軸を中心としてほぼ水平状に回転
自在に設け、前記顕微鏡本体の対物レンズと対向する前
記回転テーブルの回転円周に沿って、その回転テーブル
上に複数の試料台を設けたものである。
【０００８】
【作用】上記のように構成された顕微鏡によれば、回転
テーブルを軸を中心として回転させることにより、回転
テーブル上に設けられたそれぞれの試料台を対物レンズ
の真下に位置させることができるので、性質の異なる複
数の試料を検査する場合に、１台の顕微鏡で、それぞれ
の試料台を同一種類の試料毎に専用化することができ
る。
テーブルを軸を中心として回転させることにより、回転
テーブル上に設けられたそれぞれの試料台を対物レンズ
の真下に位置させることができるので、性質の異なる複
数の試料を検査する場合に、１台の顕微鏡で、それぞれ
の試料台を同一種類の試料毎に専用化することができ
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を適用した顕微鏡の一実施例を
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１０】図１及び図２に示すように、顕微鏡１は、
接眼レンズ２、鏡筒３、回転可能なレボルバー４に取り
付けられた複数の対物レンズ５等からなる顕微鏡本体１
１と、この顕微鏡本体１１を支柱６を介して支持するベ
ース７と、円形の回転テーブル８上に設けられた複数の
試料台９ａ〜９ｄとを具備している。
接眼レンズ２、鏡筒３、回転可能なレボルバー４に取り
付けられた複数の対物レンズ５等からなる顕微鏡本体１
１と、この顕微鏡本体１１を支柱６を介して支持するベ
ース７と、円形の回転テーブル８上に設けられた複数の
試料台９ａ〜９ｄとを具備している。
【００１１】上記回転テーブル８は、ベース７に軸受１
０を介して回転自在に支持された回転軸１２に水平状に
取り付けられている。回転テーブル８には、レボルバー
４により選択された対物レンズ５と対向する回転円周に
沿って、等間隔に４つの試料台９ａ〜９ｄが載置されて
いる。すなわち、この顕微鏡１は、性質の異なる複数の
試料であるウエハ１３ａ〜１３ｄを、複数の試料台９ａ
〜９ｄにそれぞれ載せることができるように構成されて
いる。
０を介して回転自在に支持された回転軸１２に水平状に
取り付けられている。回転テーブル８には、レボルバー
４により選択された対物レンズ５と対向する回転円周に
沿って、等間隔に４つの試料台９ａ〜９ｄが載置されて
いる。すなわち、この顕微鏡１は、性質の異なる複数の
試料であるウエハ１３ａ〜１３ｄを、複数の試料台９ａ
〜９ｄにそれぞれ載せることができるように構成されて
いる。
【００１２】そして、上記回転テーブル８は手動で回転
させることができ、これにより、それぞれの試料台９ａ
〜９ｄを対物レンズ５の真下に、すなわち光軸の方向に
位置させて停止させることができる。この停止には、例
えばクリックストップ機構１４を用いることができる。
させることができ、これにより、それぞれの試料台９ａ
〜９ｄを対物レンズ５の真下に、すなわち光軸の方向に
位置させて停止させることができる。この停止には、例
えばクリックストップ機構１４を用いることができる。
【００１３】なお、回転テーブル８をモータ駆動によっ
て回転させるように構成してもよい。この場合には、例
えば操作スイッチの切替え毎にあるいは自動検出によっ
て、それぞれの試料台９ａ〜９ｄを対物レンズ５の真下
に位置させることができる。
て回転させるように構成してもよい。この場合には、例
えば操作スイッチの切替え毎にあるいは自動検出によっ
て、それぞれの試料台９ａ〜９ｄを対物レンズ５の真下
に位置させることができる。
【００１４】また、試料台９ａ〜９ｄを回転テーブル８
上にＸＹ微動機構を介して載置し、対物レンズ５とウエ
ハ１３ａ〜１３ｄとの位置関係を正確に調整することが
できるように構成してもよい。
上にＸＹ微動機構を介して載置し、対物レンズ５とウエ
ハ１３ａ〜１３ｄとの位置関係を正確に調整することが
できるように構成してもよい。
【００１５】次に、上述のように構成された顕微鏡１に
よる各ウエハ１３ａ〜１３ｄの検査の方法を説明する。
よる各ウエハ１３ａ〜１３ｄの検査の方法を説明する。
【００１６】対物レンズ５の真下に位置する試料台９ａ
上のウエハ１３ａを検査し、この検査が終了したら、回
転テーブル８を例えば図２における矢印方向へ１／４回
転させる。これによって、次の試料台９ｂを対物レンズ
５の真下に位置させて、次のウエハ１３ｂを検査する。
そして、順次、回転テーブル８を１／４回転させていく
ことにより、試料台９ｃ，９ｄの上に載せられたウエハ
１３ｃ，１３ｄを検査する。
上のウエハ１３ａを検査し、この検査が終了したら、回
転テーブル８を例えば図２における矢印方向へ１／４回
転させる。これによって、次の試料台９ｂを対物レンズ
５の真下に位置させて、次のウエハ１３ｂを検査する。
そして、順次、回転テーブル８を１／４回転させていく
ことにより、試料台９ｃ，９ｄの上に載せられたウエハ
１３ｃ，１３ｄを検査する。
【００１７】上記のように構成されかつ使用される顕微
鏡によれば、回転テーブル８を回転させることによっ
て、４つのそれぞれの試料台９ａ〜９ｄを対物レンズ５
の真下に位置させて、それぞれの試料台９ａ〜９ｄの上
に載せられた性質の異なる４つのウエハ１３ａ〜１３ｄ
を順次検査することができる。このため、同一種類のウ
エハ１３ａ〜１３ｄ毎にそれぞれの試料台９ａ〜９ｄを
専用化できるので、試料台９ａ〜９ｄを介しての各ウエ
ハ１３ａ〜１３ｄ間の異物混入などを防止することがで
きる。
鏡によれば、回転テーブル８を回転させることによっ
て、４つのそれぞれの試料台９ａ〜９ｄを対物レンズ５
の真下に位置させて、それぞれの試料台９ａ〜９ｄの上
に載せられた性質の異なる４つのウエハ１３ａ〜１３ｄ
を順次検査することができる。このため、同一種類のウ
エハ１３ａ〜１３ｄ毎にそれぞれの試料台９ａ〜９ｄを
専用化できるので、試料台９ａ〜９ｄを介しての各ウエ
ハ１３ａ〜１３ｄ間の異物混入などを防止することがで
きる。
【００１８】また、回転テーブル８の回転により各ウエ
ハ１３ａ〜１３ｄを順次検査することによって、性質の
異なる各ウエハ１３ａ〜１３ｄを検査する場合に限ら
ず、すべての試料台９ａ〜９ｄに同一種類のウエハを載
せる場合でも、顕微鏡検査のスピードアップを図ること
もできる。
ハ１３ａ〜１３ｄを順次検査することによって、性質の
異なる各ウエハ１３ａ〜１３ｄを検査する場合に限ら
ず、すべての試料台９ａ〜９ｄに同一種類のウエハを載
せる場合でも、顕微鏡検査のスピードアップを図ること
もできる。
【００１９】ところで、このように回転テーブル８を回
転させることができる構成は、検査位置と反対側の試料
台の位置、例えば図２においては試料台９ｃの位置を、
一点鎖線で示すように、各ウエハの載置及び取出位置と
することができる。従って、この顕微鏡１は、製造工程
におけるウエハの自動搬送機との併用が容易に可能とな
る。
転させることができる構成は、検査位置と反対側の試料
台の位置、例えば図２においては試料台９ｃの位置を、
一点鎖線で示すように、各ウエハの載置及び取出位置と
することができる。従って、この顕微鏡１は、製造工程
におけるウエハの自動搬送機との併用が容易に可能とな
る。
【００２０】以上、本発明の一実施例に付き説明した
が、本発明は実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更が可能である。例
えば、実施例ではウエハの検査に用いたが、液体試料の
検査にも最適である。
が、本発明は実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更が可能である。例
えば、実施例ではウエハの検査に用いたが、液体試料の
検査にも最適である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、性
質の異なる複数の試料を検査する場合に、１台の顕微鏡
で、それぞれの試料台を同一種類の試料毎に専用化する
ことができるので、試料台を介しての複数の試料間の異
物混入などを未然に防止することができる。これによ
り、試料台を使用後毎に清浄する必要がなくなり、ま
た、各工程毎に多数の顕微鏡を揃える必要もなくなる。
従って、例えば製造工程途中での抜き取り外観検査など
において、検査効率を著しく向上させることができ、ま
た、顕微鏡設置のためのコスト並びにスペースの大幅な
削減を図ることができる。
質の異なる複数の試料を検査する場合に、１台の顕微鏡
で、それぞれの試料台を同一種類の試料毎に専用化する
ことができるので、試料台を介しての複数の試料間の異
物混入などを未然に防止することができる。これによ
り、試料台を使用後毎に清浄する必要がなくなり、ま
た、各工程毎に多数の顕微鏡を揃える必要もなくなる。
従って、例えば製造工程途中での抜き取り外観検査など
において、検査効率を著しく向上させることができ、ま
た、顕微鏡設置のためのコスト並びにスペースの大幅な
削減を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例による顕微鏡の一部破断側面
図である。
図である。
【図２】上記顕微鏡の平面図である。
１ 顕微鏡 ５ 対物レンズ ７ ベース ８ 回転テーブル ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ 試料台 １１ 顕微鏡本体 １２ 回転軸 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】 顕微鏡本体を支持するベースに、回転テ
ーブルを軸を中心としてほぼ水平状に回転自在に設け、 前記顕微鏡本体の対物レンズと対向する前記回転テーブ
ルの回転円周に沿って、その回転テーブル上に複数の試
料台を設けたことを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12424292A JPH05297282A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12424292A JPH05297282A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297282A true JPH05297282A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14880488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12424292A Withdrawn JPH05297282A (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297282A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5768033A (en) * | 1996-06-14 | 1998-06-16 | Brock; Dennis | Microscope assembly comprising a supported and movable specimen wheel and fine adjustment means |
| EP0896238A3 (de) * | 1997-08-06 | 1999-12-15 | Carl Zeiss Jena GmbH | Stereomikroskop mit einem Probenwechsler |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12424292A patent/JPH05297282A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5768033A (en) * | 1996-06-14 | 1998-06-16 | Brock; Dennis | Microscope assembly comprising a supported and movable specimen wheel and fine adjustment means |
| EP0896238A3 (de) * | 1997-08-06 | 1999-12-15 | Carl Zeiss Jena GmbH | Stereomikroskop mit einem Probenwechsler |
| US6137628A (en) * | 1997-08-06 | 2000-10-24 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Stereomicroscope having a specimen changer |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |