JPH05297765A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH05297765A JPH05297765A JP4448292A JP4448292A JPH05297765A JP H05297765 A JPH05297765 A JP H05297765A JP 4448292 A JP4448292 A JP 4448292A JP 4448292 A JP4448292 A JP 4448292A JP H05297765 A JPH05297765 A JP H05297765A
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Landscapes
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 実装の支持機構を簡便にし高密度で高出力の
多チャンネル型の薄膜磁気ヘッドを提供するところにあ
る。 【構成】 薄膜磁気ヘッドは、記録媒体との間隙保持機
構を備えた可とう性の基板に、１組の孔を通じて下面で
ギャップをはさんで、上面で接続されている磁性層２を
磁気回路としている構造である。さらに、これらが多数
個基板１に高精度・高密度に配置され、更に基板１にヘ
ッドの駆動集積回路が実装された多チャンネル型薄膜磁
気ヘッド。 【効果】 高精度・高密度の多チャンネル型ヘッドで、
しかも実装の簡便な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
多チャンネル型の薄膜磁気ヘッドを提供するところにあ
る。 【構成】 薄膜磁気ヘッドは、記録媒体との間隙保持機
構を備えた可とう性の基板に、１組の孔を通じて下面で
ギャップをはさんで、上面で接続されている磁性層２を
磁気回路としている構造である。さらに、これらが多数
個基板１に高精度・高密度に配置され、更に基板１にヘ
ッドの駆動集積回路が実装された多チャンネル型薄膜磁
気ヘッド。 【効果】 高精度・高密度の多チャンネル型ヘッドで、
しかも実装の簡便な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気印刷装置などのド
ラム表面に形成された記録媒体に高密度の磁気記録を高
速に行なうために必要な薄膜磁気ヘッドに関する
ラム表面に形成された記録媒体に高密度の磁気記録を高
速に行なうために必要な薄膜磁気ヘッドに関する
【０００２】
【従来の技術】磁気印刷装置のプロセスは特公昭５０−
４０６２２、特公昭５７−４６７９５などに記載されて
いるように、潜像消去（消磁）、磁気潜像形成、現像、
転写、定着、クリーニングからなり、現像剤としては乾
式現像剤（トナー）または湿式現像剤（磁性インク）を
使用しており高精細印刷が可能である。磁気印刷装置の
磁気潜像形成には磁気記録が利用されており、おもに磁
気ヘッドと記録媒体からなる。磁気潜像の解像度が印刷
の解像度を決めてしまうので重要な工程である。たとえ
ば、３００ＤＰＩの解像度を得るためには約８５μｍの
ドットを構成する必要があり、Ａ４サイズの紙（２１０
ｘ２９７ｍｍ）では約２５００ｘ３５００個のドットが
必要となる。これだけのドットが磁気潜像に対応し、磁
気ヘッドからの漏れ磁束によって記録媒体に磁化領域を
形成することになる。従って磁気ヘッドのチャンネル数
は多いほど高速に記録することができる。望ましくはフ
ルライン磁気ヘッド（２５００チャンネル）ができれ
ば、磁気ヘッドを走査する必要がなく構造が簡単にな
り、しかも走査による位置ずれ等がなく良好な印字が得
られる。磁気印刷装置の潜像形成には、現像材料を磁気
的に吸引するだけのエネルギーが必要になるが、その代
わりに記録を行なうだけで、再生する必要がない。
４０６２２、特公昭５７−４６７９５などに記載されて
いるように、潜像消去（消磁）、磁気潜像形成、現像、
転写、定着、クリーニングからなり、現像剤としては乾
式現像剤（トナー）または湿式現像剤（磁性インク）を
使用しており高精細印刷が可能である。磁気印刷装置の
磁気潜像形成には磁気記録が利用されており、おもに磁
気ヘッドと記録媒体からなる。磁気潜像の解像度が印刷
の解像度を決めてしまうので重要な工程である。たとえ
ば、３００ＤＰＩの解像度を得るためには約８５μｍの
ドットを構成する必要があり、Ａ４サイズの紙（２１０
ｘ２９７ｍｍ）では約２５００ｘ３５００個のドットが
必要となる。これだけのドットが磁気潜像に対応し、磁
気ヘッドからの漏れ磁束によって記録媒体に磁化領域を
形成することになる。従って磁気ヘッドのチャンネル数
は多いほど高速に記録することができる。望ましくはフ
ルライン磁気ヘッド（２５００チャンネル）ができれ
ば、磁気ヘッドを走査する必要がなく構造が簡単にな
り、しかも走査による位置ずれ等がなく良好な印字が得
られる。磁気印刷装置の潜像形成には、現像材料を磁気
的に吸引するだけのエネルギーが必要になるが、その代
わりに記録を行なうだけで、再生する必要がない。
【０００３】しかしながら、モノリシックタイプの磁気
ヘッドでは高密度、高出力、隣接チャンネル間の干渉の
ないフルライン磁気ヘッドをつくることは困難である。
コアやコイルの寸法及び磁気回路から制限されるため、
フルライン型は現実的ではなく磁気ヘッドを走査する必
要がでてくる。その場合、各チャンネルの位置が精度良
くできていないと、磁気潜像にずれが生じ結果的には印
刷画像にずれが生じることになる。
ヘッドでは高密度、高出力、隣接チャンネル間の干渉の
ないフルライン磁気ヘッドをつくることは困難である。
コアやコイルの寸法及び磁気回路から制限されるため、
フルライン型は現実的ではなく磁気ヘッドを走査する必
要がでてくる。その場合、各チャンネルの位置が精度良
くできていないと、磁気潜像にずれが生じ結果的には印
刷画像にずれが生じることになる。
【０００４】高密度化には薄膜プロセスが適しているこ
とから、フルライン型磁気ヘッドには薄膜磁気ヘッドが
向いている。従来の薄膜磁気ヘッドは、フェライトまた
はセンダストのような剛性の高い磁性基板上に、絶縁
層、コイル、絶縁層、上部磁性層保護膜をフォトリソグ
ラフィ技術によるパターン形成とともに逐次成膜してい
き、ギャップ部端面を精度良く研磨して作成する。また
は、基板をガラス、シリコン、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの
非磁性基板として、まず下部保護層を形成した後下部磁
性層を形成し以降上記と同様のプロセスによって作成す
る方法もある。図２に従来の薄膜磁気ヘッドの例を示
す。絶縁層にはＳｉＯ、ＳｉＯ2、Ｓｉ3Ｎ4，Ａｌ
2Ｏ3，ポリイミド、ホトレジストなどが、コイルにはＡ
ｕ／Ｃｒ、Ａｌ、Ｃｕなどの導電材料が、上部または下
部磁性層にはＦｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、センダ
スト、アモルファスなどの高透磁率材料が、保護層には
Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ4などの絶縁性で機械的強度のある材
料がそれぞれ適している。これらの薄膜磁気ヘッドの実
装は、該薄膜磁気ヘッドにスライダー、ジンバル、サス
ペンションなどを組み付けて記録媒体との距離を一定に
保持する機構を備えて完成となる。このような方法は、
磁気ヘッドのチャンネルが少ない場合には適用できる
が、チャンネル数が多い場合には高密度実装、組立精度
のばらつき、価格の点からかなり困難である。
とから、フルライン型磁気ヘッドには薄膜磁気ヘッドが
向いている。従来の薄膜磁気ヘッドは、フェライトまた
はセンダストのような剛性の高い磁性基板上に、絶縁
層、コイル、絶縁層、上部磁性層保護膜をフォトリソグ
ラフィ技術によるパターン形成とともに逐次成膜してい
き、ギャップ部端面を精度良く研磨して作成する。また
は、基板をガラス、シリコン、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの
非磁性基板として、まず下部保護層を形成した後下部磁
性層を形成し以降上記と同様のプロセスによって作成す
る方法もある。図２に従来の薄膜磁気ヘッドの例を示
す。絶縁層にはＳｉＯ、ＳｉＯ2、Ｓｉ3Ｎ4，Ａｌ
2Ｏ3，ポリイミド、ホトレジストなどが、コイルにはＡ
ｕ／Ｃｒ、Ａｌ、Ｃｕなどの導電材料が、上部または下
部磁性層にはＦｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、センダ
スト、アモルファスなどの高透磁率材料が、保護層には
Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ4などの絶縁性で機械的強度のある材
料がそれぞれ適している。これらの薄膜磁気ヘッドの実
装は、該薄膜磁気ヘッドにスライダー、ジンバル、サス
ペンションなどを組み付けて記録媒体との距離を一定に
保持する機構を備えて完成となる。このような方法は、
磁気ヘッドのチャンネルが少ない場合には適用できる
が、チャンネル数が多い場合には高密度実装、組立精度
のばらつき、価格の点からかなり困難である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこの様な問題
点を解決するもので、その目的とするところは、実装の
支持機構を簡便にし高密度で高出力の多チャンネル型の
薄膜磁気ヘッドを提供するところにある。
点を解決するもので、その目的とするところは、実装の
支持機構を簡便にし高密度で高出力の多チャンネル型の
薄膜磁気ヘッドを提供するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜磁気ヘッド
は、１組の孔を有する可とう性基板に薄膜コアを含む薄
層コイルを作成し、該１組の孔を磁性体で充填して磁極
を形成し且つ該薄層コアと接続し、該基板の裏面に該磁
極に一方から他方の磁極方向に磁性層を形成したことを
特徴とする。更に、上記１組の穴内面に触媒処理を施し
た後、銅めっきで薄層を形成し、その上に磁性めっきで
該穴を充填することを特徴とする。更に、上記薄膜磁気
ヘッドを同一基板上に多数個形成したことを特徴とす
る。更に、上記薄膜磁気ヘッドの駆動集積回路を同一基
板上に実装したことを特徴とする。更に、上記薄膜磁気
ヘッドの基板を弾性支持体として記録媒体との間隙保持
機構とすることを特徴とする。
は、１組の孔を有する可とう性基板に薄膜コアを含む薄
層コイルを作成し、該１組の孔を磁性体で充填して磁極
を形成し且つ該薄層コアと接続し、該基板の裏面に該磁
極に一方から他方の磁極方向に磁性層を形成したことを
特徴とする。更に、上記１組の穴内面に触媒処理を施し
た後、銅めっきで薄層を形成し、その上に磁性めっきで
該穴を充填することを特徴とする。更に、上記薄膜磁気
ヘッドを同一基板上に多数個形成したことを特徴とす
る。更に、上記薄膜磁気ヘッドの駆動集積回路を同一基
板上に実装したことを特徴とする。更に、上記薄膜磁気
ヘッドの基板を弾性支持体として記録媒体との間隙保持
機構とすることを特徴とする。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００８】図１ａ，ｂに本発明の薄膜磁気ヘッドの構
造例を示す。この薄膜磁気ヘッドの磁気回路は基板１の
１組の孔を通じて基板１を抱き込む形で下面にあるギャ
ップをはさんで上面でつながっている構造であり、これ
らのものが同一基板上に多数個精度良く配置されてい
る。それ以外の構成は従来と同様である。この構造にす
れば、基板１の一部を支点として固定することによっ
て、基板１の可とう性を利用して記録媒体との間隙保持
機構に利用できる。従来のスライダー、ジンバル、サス
ペンション等を実装して記録媒体との間隙保持機構にし
ている場合は、各ヘッド毎にこれらの機構を実装しなけ
ればならない。本発明の薄膜磁気ヘッドはこれらの実装
が不要となる。更に、ヘッドが多チャンネルになるほど
実装は簡便になる。又、別の実施例の構造図を図３ａ，
ｂに示す。一般に、図１に示した例が垂直記録用ヘッ
ド、図３に示した例が水平記録用ヘッドに適する。
造例を示す。この薄膜磁気ヘッドの磁気回路は基板１の
１組の孔を通じて基板１を抱き込む形で下面にあるギャ
ップをはさんで上面でつながっている構造であり、これ
らのものが同一基板上に多数個精度良く配置されてい
る。それ以外の構成は従来と同様である。この構造にす
れば、基板１の一部を支点として固定することによっ
て、基板１の可とう性を利用して記録媒体との間隙保持
機構に利用できる。従来のスライダー、ジンバル、サス
ペンション等を実装して記録媒体との間隙保持機構にし
ている場合は、各ヘッド毎にこれらの機構を実装しなけ
ればならない。本発明の薄膜磁気ヘッドはこれらの実装
が不要となる。更に、ヘッドが多チャンネルになるほど
実装は簡便になる。又、別の実施例の構造図を図３ａ，
ｂに示す。一般に、図１に示した例が垂直記録用ヘッ
ド、図３に示した例が水平記録用ヘッドに適する。
【０００９】次にこの薄膜磁気ヘッドの製造方法につい
て説明する。可とう性を有する基板１にはポリイミドを
用い、これに上面と下面の磁極を接続するためにφ５０
μｍの孔をエキシマレーザーで加工する。基板１には、
そのほかにポリエチレン、高真空中で成膜した高純度の
アルミナなども使用できる。まず基板上に従来と同様の
方法により下層コイル、絶縁層３を形成する。次に加工
した孔を充填するためにまず、触媒を付与したい孔の内
壁面を除いた全ての部位にめっきレジストを塗布しＳｎ
Ｃｌ2，ＰｄＣｌ2２液型触媒液によってＰｄ核付与の触
媒処理を行なう。触媒化法にはこの他にＰｄＣｌ2／Ｓ
ｎＣｌ2型触媒液が有るが、基板の材質等によって適正
なものを選択する必要がある。触媒処理した孔に無電解
銅めっきを薄く均一につける。このような方法を取るこ
とによって均一な導電層が得られこの後、処理する磁性
めっきが均一に成長し、孔の充填にすが入ったりするこ
とがない。このように処理した孔を磁性めっきによって
充填する。磁性めっきは軟磁性特性を持つＮｉ−Ｆｅを
用いたが、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｃｒなどの軟磁性材の使用
もできる。次に、上面では前述磁性めっきで充填した磁
極間を接続するように、下面ではギャップをはさんだ形
状で磁気回路となる磁性層２を形成する。めっきレジス
トを剥離して、新たに磁性層２のパターンをめっきレジ
ストで形成し、前述と同様の方法を用いて触媒処理、無
電解銅めっき、磁性めっきの処理をし磁気回路となる磁
性層２を完成させる。この上へ絶縁層３、上層コイル、
絶縁層３を順に積層する。そして下面を研磨して図１、
３に示す薄膜磁気ヘッドとする。
て説明する。可とう性を有する基板１にはポリイミドを
用い、これに上面と下面の磁極を接続するためにφ５０
μｍの孔をエキシマレーザーで加工する。基板１には、
そのほかにポリエチレン、高真空中で成膜した高純度の
アルミナなども使用できる。まず基板上に従来と同様の
方法により下層コイル、絶縁層３を形成する。次に加工
した孔を充填するためにまず、触媒を付与したい孔の内
壁面を除いた全ての部位にめっきレジストを塗布しＳｎ
Ｃｌ2，ＰｄＣｌ2２液型触媒液によってＰｄ核付与の触
媒処理を行なう。触媒化法にはこの他にＰｄＣｌ2／Ｓ
ｎＣｌ2型触媒液が有るが、基板の材質等によって適正
なものを選択する必要がある。触媒処理した孔に無電解
銅めっきを薄く均一につける。このような方法を取るこ
とによって均一な導電層が得られこの後、処理する磁性
めっきが均一に成長し、孔の充填にすが入ったりするこ
とがない。このように処理した孔を磁性めっきによって
充填する。磁性めっきは軟磁性特性を持つＮｉ−Ｆｅを
用いたが、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｃｒなどの軟磁性材の使用
もできる。次に、上面では前述磁性めっきで充填した磁
極間を接続するように、下面ではギャップをはさんだ形
状で磁気回路となる磁性層２を形成する。めっきレジス
トを剥離して、新たに磁性層２のパターンをめっきレジ
ストで形成し、前述と同様の方法を用いて触媒処理、無
電解銅めっき、磁性めっきの処理をし磁気回路となる磁
性層２を完成させる。この上へ絶縁層３、上層コイル、
絶縁層３を順に積層する。そして下面を研磨して図１、
３に示す薄膜磁気ヘッドとする。
【００１０】これらの薄膜磁気ヘッドの実装の実施例を
図４に示す。この図は、ドラム状記録媒体９へ磁気記録
するために、本発明の薄膜磁気ヘッドを実装した図であ
る。図示される薄膜磁気ヘッドの特徴は、前述の方法で
作成された多数個の薄膜磁気ヘッド１０を載せた基板１
上にヘッドの駆動集積回路７と入力端子８が実装されて
いることである。この構造をとることにより、ヘッドの
実装がヘッドの位置出しをし入力端子８を元基板１１へ
接続固定することのみで完了し、従来の実装作業より簡
便になる。
図４に示す。この図は、ドラム状記録媒体９へ磁気記録
するために、本発明の薄膜磁気ヘッドを実装した図であ
る。図示される薄膜磁気ヘッドの特徴は、前述の方法で
作成された多数個の薄膜磁気ヘッド１０を載せた基板１
上にヘッドの駆動集積回路７と入力端子８が実装されて
いることである。この構造をとることにより、ヘッドの
実装がヘッドの位置出しをし入力端子８を元基板１１へ
接続固定することのみで完了し、従来の実装作業より簡
便になる。
【００１１】
【発明の効果】以上のような本発明により、高精度・高
密度の多チャンネル型ヘッドで、しかも基板の可とう性
を用いて記録媒体との間隙保持機構としているため従来
のスライダー、ジンバル、サスペンション等の実装が不
要な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
密度の多チャンネル型ヘッドで、しかも基板の可とう性
を用いて記録媒体との間隙保持機構としているため従来
のスライダー、ジンバル、サスペンション等の実装が不
要な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
【図１】 本発明の薄膜磁気ヘッドの実施例の構造を示
す図。
す図。
【図２】 従来の薄膜磁気ヘッドの構造を示す図。
【図３】 本発明の薄膜磁気ヘッドの別の実施例の構造
を示す図。
を示す図。
【図４】 本発明の薄膜磁気ヘッドの実装の実施例の構
造を示す図。
造を示す図。
１ 基板 ２ 磁性層 ３ 絶縁層 ４ 導体層 ５ 保護層 ６ パッド ７ ヘッドの駆動集積回路 ８ 入力端子 ９ 記録媒体 １０ 多数個の薄膜磁気ヘッド １１ 元基板
Claims (5)
- 【請求項１】 １組の孔を有する可とう性基板に薄膜コ
アを含む薄層コイルを作成し、該１組の孔を磁性体で充
填して磁極を形成し且つ該薄膜コアと接続し、該基板の
裏面に該磁極に一方から他方の磁極方向に磁性層を形成
したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 上記１組の穴内面に触媒処理を施した
後、銅めっきで薄層を形成し、その上に磁性めっきで該
穴を充填することを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気
ヘッド。 - 【請求項３】 上記薄膜磁気ヘッドを同一基板上に多数
個形成したことを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘ
ッド。 - 【請求項４】 上記薄膜磁気ヘッドの駆動集積回路を同
一基板上に実装したことを特徴とする請求項１記載の薄
膜磁気ヘッド。 - 【請求項５】 上記薄膜磁気ヘッドの基板を弾性支持体
として記録媒体との間隙保持機構とすることを特徴とす
る請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4448292A JPH05297765A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4448292A JPH05297765A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297765A true JPH05297765A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=12692763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4448292A Pending JPH05297765A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297765A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2742622A1 (fr) * | 1995-12-15 | 1997-06-20 | Nipson Printing Sys Sa | Ensemble de tetes d'enregistrement magnetographique longitudinal |
-
1992
- 1992-03-02 JP JP4448292A patent/JPH05297765A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2742622A1 (fr) * | 1995-12-15 | 1997-06-20 | Nipson Printing Sys Sa | Ensemble de tetes d'enregistrement magnetographique longitudinal |
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