JPH05299757A - レーザ発振器における発振条件制御装置 - Google Patents
レーザ発振器における発振条件制御装置Info
- Publication number
- JPH05299757A JPH05299757A JP10625292A JP10625292A JPH05299757A JP H05299757 A JPH05299757 A JP H05299757A JP 10625292 A JP10625292 A JP 10625292A JP 10625292 A JP10625292 A JP 10625292A JP H05299757 A JPH05299757 A JP H05299757A
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】レーザ発振器から出力されるレーザ光のエネル
ギーが予め設定された範囲内に入るように自動的に調整
する。 【構成】操作盤１４に設定された条件に従ってレーザ発
振器１３から発振されたレーザ光を受光して電気信号に
変換する検出器２０と、この検出器２０に接続され、検
出器２０の出力を増幅する増幅器２１と、この増幅器２
１に接続され、増幅器２１の出力をＡ−Ｄ変換するＡ−
Ｄ変換器２２と、前記操作盤とＡ−Ｄ変換器２２に接続
され、操作盤１４に設定された条件とＡ−Ｄ変換器２２
から印加される検出値とを比較し、その結果を補正デー
タとして操作盤１４に印加する比較器２３とを設けた。
ギーが予め設定された範囲内に入るように自動的に調整
する。 【構成】操作盤１４に設定された条件に従ってレーザ発
振器１３から発振されたレーザ光を受光して電気信号に
変換する検出器２０と、この検出器２０に接続され、検
出器２０の出力を増幅する増幅器２１と、この増幅器２
１に接続され、増幅器２１の出力をＡ−Ｄ変換するＡ−
Ｄ変換器２２と、前記操作盤とＡ−Ｄ変換器２２に接続
され、操作盤１４に設定された条件とＡ−Ｄ変換器２２
から印加される検出値とを比較し、その結果を補正デー
タとして操作盤１４に印加する比較器２３とを設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器における
発振条件制御装置に関するものである。
発振条件制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はレーザ発振器を示すもので、電源
１に接続されたアノード２とカソード３が封入された放
電管４の一端に共振器を構成する反射鏡５、他端に出力
鏡６を配置した構成になっている。そして、放電管４の
中には炭酸ガス、窒素ガス、ヘリウムガスなどが混合さ
れたレーザガスが、循環装置７によって供給されてい
る。また、放電管４の外周には、冷却水の供給装置（図
示せず）に接続された冷却器（図示せず）が巻かれてい
る。
１に接続されたアノード２とカソード３が封入された放
電管４の一端に共振器を構成する反射鏡５、他端に出力
鏡６を配置した構成になっている。そして、放電管４の
中には炭酸ガス、窒素ガス、ヘリウムガスなどが混合さ
れたレーザガスが、循環装置７によって供給されてい
る。また、放電管４の外周には、冷却水の供給装置（図
示せず）に接続された冷却器（図示せず）が巻かれてい
る。
【０００３】そして、前記放電管４は、ベース８上に固
定され、ロッド９で結合されたマウント１０、１１の間
に支持されている。また、反射鏡５および出力鏡６は、
それぞれマウント１０、１１の端面に取付けられてい
る。前記マウント１１には、レーザ光を出射する出射口
１２が形成されている。
定され、ロッド９で結合されたマウント１０、１１の間
に支持されている。また、反射鏡５および出力鏡６は、
それぞれマウント１０、１１の端面に取付けられてい
る。前記マウント１１には、レーザ光を出射する出射口
１２が形成されている。
【０００４】このようなレーザ発振器において出射され
るレーザ光のエネルギーは、アノード２とカソード３に
印加される放電電流値の大小によって調整されている。
そして、レーザ光で安定した加工を行なうためには、常
に図４に示すように、予め設定された範囲（破線で囲ま
れた範囲）に入る（実線で表示した）エネルギーを出力
することが必要である。
るレーザ光のエネルギーは、アノード２とカソード３に
印加される放電電流値の大小によって調整されている。
そして、レーザ光で安定した加工を行なうためには、常
に図４に示すように、予め設定された範囲（破線で囲ま
れた範囲）に入る（実線で表示した）エネルギーを出力
することが必要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】レーザ光のエネルギー
は、アノード２とカソード３に印加される電流値により
調整されるが、実際には、共振器を構成する反射鏡５と
出力鏡６の軸心のアライメント精度がレーザ光のエネル
ギーの大小に大きく影響している。そして、反射鏡５と
出力鏡６のアライメント精度は、機械的な振動に弱く、
機械的な振動があるところでは、微小な狂いが生じやす
い。反射鏡５と出力鏡６のアライメント精度が狂うと、
レーザ光のエネルギーは、図５にａ、ｂ、ｃで示すよう
に、予め設定された範囲（破線で囲まれた範囲）からは
ずれ、所要のエネルギーが得られなくなる。
は、アノード２とカソード３に印加される電流値により
調整されるが、実際には、共振器を構成する反射鏡５と
出力鏡６の軸心のアライメント精度がレーザ光のエネル
ギーの大小に大きく影響している。そして、反射鏡５と
出力鏡６のアライメント精度は、機械的な振動に弱く、
機械的な振動があるところでは、微小な狂いが生じやす
い。反射鏡５と出力鏡６のアライメント精度が狂うと、
レーザ光のエネルギーは、図５にａ、ｂ、ｃで示すよう
に、予め設定された範囲（破線で囲まれた範囲）からは
ずれ、所要のエネルギーが得られなくなる。
【０００６】このようにレーザ光のエネルギーが変化す
ると、例えばプリント基板の穴明け加工のように、パル
ス加工を行なうものでは、その加工結果に過不足を生じ
るため、加工開始直前に、試し加工を行なって、放電電
流を調整しなければならず、作業性を低下させている。
ると、例えばプリント基板の穴明け加工のように、パル
ス加工を行なうものでは、その加工結果に過不足を生じ
るため、加工開始直前に、試し加工を行なって、放電電
流を調整しなければならず、作業性を低下させている。
【０００７】本発明の目的は、上記の事情に鑑み、レー
ザ発振器から出力されるレーザ光のエネルギーが予め設
定された範囲内に入るように自動的に調整し得るように
したレーザ発振器における発振条件制御装置を提供する
ことにある。
ザ発振器から出力されるレーザ光のエネルギーが予め設
定された範囲内に入るように自動的に調整し得るように
したレーザ発振器における発振条件制御装置を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては、操作盤に設定された条件に従っ
てレーザ発振器から発振されたレーザ光を受光して電気
信号に変換する検出器と、この検出器に接続され、検出
器の出力を増幅する増幅器と、この増幅器に接続され、
増幅器の出力をＡ−Ｄ変換するＡ−Ｄ変換器と、前記操
作盤とＡ−Ｄ変換器に接続され、操作盤に設定された条
件とＡ−Ｄ変換器から印加される検出値とを比較し、そ
の結果を補正データとして操作盤に印加する比較器とを
設けた。
め、本発明においては、操作盤に設定された条件に従っ
てレーザ発振器から発振されたレーザ光を受光して電気
信号に変換する検出器と、この検出器に接続され、検出
器の出力を増幅する増幅器と、この増幅器に接続され、
増幅器の出力をＡ−Ｄ変換するＡ−Ｄ変換器と、前記操
作盤とＡ−Ｄ変換器に接続され、操作盤に設定された条
件とＡ−Ｄ変換器から印加される検出値とを比較し、そ
の結果を補正データとして操作盤に印加する比較器とを
設けた。
【０００９】
【作用】そして、レーザ発振器から発振されたレーザ光
を検出器でアナログの電気信号に変換し、増幅器で増幅
した後、Ａ−Ｄ変換機でディジタル信号に変換する。比
較器で前記ディジタル信号と、操作盤に設定された条件
を比較すると共に、その比較結果を操作盤に、放電電流
の補正データとして印加することにより、操作盤からレ
ーザ発振器に印加する電流値を補正する。
を検出器でアナログの電気信号に変換し、増幅器で増幅
した後、Ａ−Ｄ変換機でディジタル信号に変換する。比
較器で前記ディジタル信号と、操作盤に設定された条件
を比較すると共に、その比較結果を操作盤に、放電電流
の補正データとして印加することにより、操作盤からレ
ーザ発振器に印加する電流値を補正する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２に基
づいて説明する。同図において、１３はレーザ発振器
で、レーザ光を出射する出射口１２が形成されている。
１４は操作盤で、レーザ発振器１３に放電電流を供給す
る電源と、放電電流値を制御する制御手段と、レーザ発
振器１３から発振されるべきレーザパルスの幅とピーク
の基準値となる範囲が設定される設定手段とを備えてい
る。１５はレーザ加工ヘッドで、レーザ発振器１３から
発振されたレーザ光の光路に配置され、レーザ光を反射
する反射鏡１６と、集光レンズ１７を備えている。１８
は被加工物で、レーザ加工ヘッド１５の下方に配置され
ている。なお、レーザ加工ヘッド１５と被加工物１８
は、図示しない駆動手段によって、平行平面内を相対移
動するようになっている。１９はスライダで、前記光路
と直交する方向に移動可能に配置されている。２０は検
出器で、前記スライダ１９に支持されている。２１は増
幅器で、前記検出器２０に接続されている。２２はＡ−
Ｄ変換器で、前記増幅器２１に接続されている。２３は
比較器で、前記操作盤１４と増幅器２２に接続されてい
る。
づいて説明する。同図において、１３はレーザ発振器
で、レーザ光を出射する出射口１２が形成されている。
１４は操作盤で、レーザ発振器１３に放電電流を供給す
る電源と、放電電流値を制御する制御手段と、レーザ発
振器１３から発振されるべきレーザパルスの幅とピーク
の基準値となる範囲が設定される設定手段とを備えてい
る。１５はレーザ加工ヘッドで、レーザ発振器１３から
発振されたレーザ光の光路に配置され、レーザ光を反射
する反射鏡１６と、集光レンズ１７を備えている。１８
は被加工物で、レーザ加工ヘッド１５の下方に配置され
ている。なお、レーザ加工ヘッド１５と被加工物１８
は、図示しない駆動手段によって、平行平面内を相対移
動するようになっている。１９はスライダで、前記光路
と直交する方向に移動可能に配置されている。２０は検
出器で、前記スライダ１９に支持されている。２１は増
幅器で、前記検出器２０に接続されている。２２はＡ−
Ｄ変換器で、前記増幅器２１に接続されている。２３は
比較器で、前記操作盤１４と増幅器２２に接続されてい
る。
【００１１】このような構成で、操作盤１４は、予め設
定された基準値を比較器２３に印加すると共に、放電電
流をレーザ発振器１３に印加する。すると、放電電流が
印加されたレーザ発振器１３からは、印加された放電電
流値に応じたレーザ光が出射される。
定された基準値を比較器２３に印加すると共に、放電電
流をレーザ発振器１３に印加する。すると、放電電流が
印加されたレーザ発振器１３からは、印加された放電電
流値に応じたレーザ光が出射される。
【００１２】この時、レーザ光の光路に検出器２０が配
置されていると、レーザ光は検出器２０によって検出さ
れる。レーザ光が照射された検出器２０は、照射された
レーザ光の強さ（エネルギーの大きさ）に応じたアナロ
グ電気信号を発振し、増幅回路２１に印加する。増幅器
２１は、印加されたアナログ電気信号を、以後の処理に
必要な大きさに増幅して、Ａ−Ｄ変換器２２に印加す
る。増幅されたアナログ電気信号を印加されたＡ−Ｄ変
換器２２は、アナログ電気信号をディジタル電気信号に
変換して、比較器２３に印加する。ディジタル電気信号
が印加された比較器２３は、予め印加されている基準値
とディジタル電気信号を比較して、その差を操作盤１４
に印加する。比較結果が印加された操作盤１４は、その
比較結果に基づいて、レーザ発振器１３に印加する放電
電流値を制御する。
置されていると、レーザ光は検出器２０によって検出さ
れる。レーザ光が照射された検出器２０は、照射された
レーザ光の強さ（エネルギーの大きさ）に応じたアナロ
グ電気信号を発振し、増幅回路２１に印加する。増幅器
２１は、印加されたアナログ電気信号を、以後の処理に
必要な大きさに増幅して、Ａ−Ｄ変換器２２に印加す
る。増幅されたアナログ電気信号を印加されたＡ−Ｄ変
換器２２は、アナログ電気信号をディジタル電気信号に
変換して、比較器２３に印加する。ディジタル電気信号
が印加された比較器２３は、予め印加されている基準値
とディジタル電気信号を比較して、その差を操作盤１４
に印加する。比較結果が印加された操作盤１４は、その
比較結果に基づいて、レーザ発振器１３に印加する放電
電流値を制御する。
【００１３】そして、レーザ発振器１３から発振される
レーザ光のエネルギーが、設定範囲に入ったら、スライ
ダ１９を移動させ、検出器２０をレーザ光の光路から退
避させて加工を開始する。
レーザ光のエネルギーが、設定範囲に入ったら、スライ
ダ１９を移動させ、検出器２０をレーザ光の光路から退
避させて加工を開始する。
【００１４】図２は、本発明の他の実施例を示すもの
で、同図において、図１と同じものは、同じ符号を付け
て示してある。２４はビームスプリッタで、レーザ発振
器１３から発振されたレーザ光の光路を横切るように配
置されている。検出器２０は、このビームスプリッタ２
４で分割されたレーザ光の一方のレーザ光を検出するよ
うに配置されている。
で、同図において、図１と同じものは、同じ符号を付け
て示してある。２４はビームスプリッタで、レーザ発振
器１３から発振されたレーザ光の光路を横切るように配
置されている。検出器２０は、このビームスプリッタ２
４で分割されたレーザ光の一方のレーザ光を検出するよ
うに配置されている。
【００１５】このような構成とすることにより、加工中
のレーザ光のエネルギーの変動を監視し、エネルギーが
設定範囲から外れるような状態になると、直ちに調整す
ることができるので、長時間安定した作業を行なうこと
ができ、作業性を向上させることができる。
のレーザ光のエネルギーの変動を監視し、エネルギーが
設定範囲から外れるような状態になると、直ちに調整す
ることができるので、長時間安定した作業を行なうこと
ができ、作業性を向上させることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、操作
盤に設定された条件に従ってレーザ発振器から発振され
たレーザ光を受光して電気信号に変換する検出器と、こ
の検出器に接続され、検出器の出力を増幅する増幅器
と、この増幅器に接続され、増幅器の出力をＡ−Ｄ変換
するＡ−Ｄ変換器と、前記操作盤とＡ−Ｄ変換器に接続
され、操作盤に設定された条件とＡ−Ｄ変換器から印加
される検出値とを比較し、その結果を補正データとして
操作盤に印加する比較器とを設けたので、レーザ発振器
から出力されるレーザ光のエネルギーが予め設定された
範囲内に入るように自動的に調整することができる。ま
た、加工中にレーザ光のエネルギーを調整するようにす
れば、作業性を向上させることができる。
盤に設定された条件に従ってレーザ発振器から発振され
たレーザ光を受光して電気信号に変換する検出器と、こ
の検出器に接続され、検出器の出力を増幅する増幅器
と、この増幅器に接続され、増幅器の出力をＡ−Ｄ変換
するＡ−Ｄ変換器と、前記操作盤とＡ−Ｄ変換器に接続
され、操作盤に設定された条件とＡ−Ｄ変換器から印加
される検出値とを比較し、その結果を補正データとして
操作盤に印加する比較器とを設けたので、レーザ発振器
から出力されるレーザ光のエネルギーが予め設定された
範囲内に入るように自動的に調整することができる。ま
た、加工中にレーザ光のエネルギーを調整するようにす
れば、作業性を向上させることができる。
【図１】本発明によるレーザ発振器における発振条件制
御装置を示すブロック線図。
御装置を示すブロック線図。
【図２】本発明によるレーザ発振器における発振条件制
御装置の他の例を示すブロック線図。
御装置の他の例を示すブロック線図。
【図３】レーザ発振器の構成を示す側面断面図。
【図４】レーザ光の出力波形を示す特性図。
【図５】レーザ光の出力波形の変化を示す特性図。
１３・・レーザ発振器、 １４・・操作盤、 ２０・・検出器、 ２１・・増幅器、 ２２・・Ａ−Ｄ変換器、 ２３・・比較器。
Claims (1)
- 【請求項１】操作盤に設定された条件に従ってレーザ発
振器から発振されたレーザ光を受光して電気信号に変換
する検出器と、この検出器に接続され、検出器の出力を
増幅する増幅器と、この増幅器に接続され、増幅器の出
力をＡ−Ｄ変換するＡ−Ｄ変換器と、前記操作盤とＡ−
Ｄ変換器に接続され、操作盤に設定された条件とＡ−Ｄ
変換器から印加される検出値とを比較し、その結果を補
正データとして操作盤に印加する比較器とを設けたこと
を特徴とするレーザ発振器における発振条件制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10625292A JPH05299757A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | レーザ発振器における発振条件制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10625292A JPH05299757A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | レーザ発振器における発振条件制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299757A true JPH05299757A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14428915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10625292A Withdrawn JPH05299757A (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | レーザ発振器における発振条件制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299757A (ja) |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP10625292A patent/JPH05299757A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |