JPH0530150B2 - - Google Patents
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- JPH0530150B2 JPH0530150B2 JP62107003A JP10700387A JPH0530150B2 JP H0530150 B2 JPH0530150 B2 JP H0530150B2 JP 62107003 A JP62107003 A JP 62107003A JP 10700387 A JP10700387 A JP 10700387A JP H0530150 B2 JPH0530150 B2 JP H0530150B2
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
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-
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- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はモータ、特に圧電素子に生じた振動を
利用する振動波モータに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a motor, and particularly to a vibration wave motor that utilizes vibrations generated in a piezoelectric element.
電気モータは近年の技術進歩によつて非常に小
型化できるようになつたため、カメラを初めとし
て種々の小型ポータブル機器にも小型のモータが
搭載され、該モータが該機器の性能の向上に寄与
している。
As electric motors have become extremely compact due to recent technological advances, small motors are now installed in various small portable devices such as cameras, and these motors contribute to improving the performance of the devices. ing.
しかしながら、カメラ等に搭載されている小型
のモータは高速回転はできるが、低速回転で大ト
ルクを発生することはできないので減速機構が必
要であり、従つて、該減速機構のために該モータ
と該減速機構とを含めた動力発生機構の体積がか
なり大きくなつてしまうという欠点があつた。そ
れ故、減速機構を必要とせず、低速で大トルクを
発生でき、しかも小型且つ軽量のモータの開発が
望まれていた。 However, although the small motors installed in cameras and the like can rotate at high speeds, they cannot generate large torque at low speeds, so a reduction mechanism is required. A disadvantage is that the volume of the power generation mechanism including the speed reduction mechanism becomes considerably large. Therefore, it has been desired to develop a small and lightweight motor that can generate large torque at low speed without requiring a speed reduction mechanism.
このような事情を背景として、近年、圧電素子
が動力発生源として利用しようとする試みが行わ
れた結果、圧電素子によつて生ずる超音波振動を
回転運動に変換させる形式の超音波モータが最
近、開発されている。 Against this background, in recent years, attempts have been made to use piezoelectric elements as a power generation source, and as a result, an ultrasonic motor that converts the ultrasonic vibrations generated by piezoelectric elements into rotational motion has recently been developed. , has been developed.
この公知の超音波モータは円環形のステータ
と、円環形のロータとを有しており、該ステータ
の端面に環状に接着されている圧電素子によつて
該ステータの端面に環状に弾性表面波を発生さ
せ、これにより該ステータの端面に接している該
ローターを回転させるように構成されている。 This known ultrasonic motor has an annular stator and an annular rotor, and a piezoelectric element annularly bonded to the end surface of the stator generates an annular surface acoustic wave on the end surface of the stator. is generated, thereby rotating the rotor that is in contact with the end surface of the stator.
この公知の超音波モータは低速で大トルクを発
生することができるので減速機構が不要となり、
従つて、カメラ等の小型機器への搭載用モータと
して適しており、また、形状が円環形であるた
め、カメラのオートフオーカス用モータとして好
適ではあるが、この公知の超音波モータではステ
ータに生じる振動が減衰しやすく、振動減衰を生
じさせぬようにステータを支持するのが難かし
い、という問題点があつた。特にカメラのように
外部から衝撃が加わる可能性のある機器において
は、該ステータの支持が困難になるという問題点
があつた。 This known ultrasonic motor can generate large torque at low speeds, eliminating the need for a reduction mechanism.
Therefore, it is suitable as a motor for mounting on small devices such as cameras, and because it has an annular shape, it is suitable as an autofocus motor for cameras. However, in this known ultrasonic motor, the stator There was a problem in that the generated vibrations were easily attenuated and it was difficult to support the stator without causing vibration attenuation. Particularly in devices such as cameras that may be subjected to external shocks, there is a problem in that it becomes difficult to support the stator.
そこでロータの軸線と平行に延在する振動棒を
設け、圧電素子が固着された該振動棒の端部に生
じる円運動によつてロータに回転運動を生じさ
せ、これにより振動減衰の問題、環状ステータの
支持の困難性の問題を解決したモータが本件出願
人より特願昭61−286242号として提案された。 Therefore, a vibrating rod extending parallel to the axis of the rotor is provided, and the circular motion generated at the end of the vibrating rod to which the piezoelectric element is fixed causes rotational motion in the rotor. A motor that solved the problem of difficulty in supporting the stator was proposed by the applicant in Japanese Patent Application No. 1986-286242.
しかしながら、前述の振動波モータの振動棒の
形状はほぼ正方形断面を有する棒状のものである
為に入力電圧に対する振動振幅が小さく、効率が
悪く、小型化することが困難であつた。 However, since the vibrating rod of the above-mentioned vibrating wave motor is rod-like with a substantially square cross section, the vibration amplitude with respect to the input voltage is small, the efficiency is poor, and it is difficult to miniaturize the motor.
本発明の目的は上記従来モータの欠点を解決し
た、高効率で小型化が可能であり、かつ剛性の低
下を低く抑えることが可能な棒状の振動波モータ
を提供せんとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a rod-shaped vibration wave motor that solves the above-mentioned drawbacks of conventional motors, is highly efficient, can be miniaturized, and can suppress a decrease in rigidity.
本発明の特徴とする処は、端面に固着された圧
電素子に生じた振動により外周面の端部が回転運
動をする振動棒と、該振動棒に生じた回転運動に
より摩擦駆動される移動体とを有する振動波モー
タにおいて前記振動棒の少なくとも中央部に凹部
を設けた点に存する。本発明は斯様な構成の為に
効率は向上し、又剛性の低下も小さく抑えること
ができるものである。
The present invention is characterized by a vibrating rod whose outer circumferential end rotates due to vibration generated in a piezoelectric element fixed to the end surface, and a movable body that is frictionally driven by the rotational movement generated in the vibrating rod. The vibration wave motor has a recessed portion at least in the center of the vibrating rod. In the present invention, the efficiency is improved due to such a configuration, and the decrease in rigidity can be suppressed to a small level.
以下図面を参照して本発明について説明する。 The present invention will be explained below with reference to the drawings.
第1図は本発明を適用した振動波モータにおけ
る振動棒の要部構成図を示すもので、1は電気−
機械エネルギー変換素子としてのPZT2〜5が
貼着される凹部を4つの端面に有する振動棒であ
り、ステータを構成する四角柱の振動棒1は真ち
ゆうで構成され、振動棒1の振動の節の位置にお
いて一端が不図示の構造部材に支持されている。
正方形断面を有する振動棒1の4つの端面には第
2図に示されるように圧電素子PZT2−5が接
着剤で貼着されている。振動棒1に屈曲性の振動
を与えるPZT2〜5の夫々は対応するPZT同志
が同一方向に屈曲するように第2図に明示されて
いるように矢印方向に分極される。尚各PZT2
〜5の終端部2a,2b,3a,3b,4a,4
b,5a,5b(但し、5a,5bは不図示)と
振動棒1の端部1a,bとは第1図には明示され
ていないが各PZTと振動棒1の端部1a,1b
とが導通することを防ぐ為に離間されている。9
は交流電源で、該電源9から出力される、例えば
正弦波の交流信号は90°移送器7を介してPZT2,
3の電極に接続され、一方、PZT4,5の電極
は交流電源9の出力端に直接接続される。従つて
これら位相差のある交流信号がPZT2〜5に印
加されると、振動棒1はPZT2,3により同時
にy方向へ屈曲し、又PZT4,5により移相器
7による位相差分だけ異なつた時点で同時にx方
向へ屈曲する。これらの屈曲は印加される交流信
号に応じて繰り返えされる為に振動棒1の先端1
bは移相器7の位相量に応じて円運動、楕円運動
をする。尚これら回転運動の原理については本件
出願人が先に提案した特願昭61−286242号に詳述
されているのでここでは省略する。
FIG. 1 shows a main part configuration diagram of a vibrating rod in a vibrating wave motor to which the present invention is applied.
It is a vibrating rod that has recesses on four end faces to which PZTs 2 to 5 as mechanical energy conversion elements are attached. One end is supported by a structural member (not shown) at the node position.
As shown in FIG. 2, piezoelectric elements PZT2-5 are adhered to four end faces of the vibrating rod 1 having a square cross section with an adhesive. Each of the PZTs 2 to 5, which impart bending vibration to the vibrating rod 1, is polarized in the direction of the arrow as shown in FIG. 2 so that the corresponding PZTs bend in the same direction. Furthermore, each PZT2
~5 terminal parts 2a, 2b, 3a, 3b, 4a, 4
b, 5a, 5b (however, 5a, 5b are not shown) and the ends 1a, b of the vibrating rod 1 are not clearly shown in FIG.
They are spaced apart to prevent electrical conduction. 9
is an AC power supply, and the AC signal, for example, a sine wave, output from the power supply 9 is passed through a 90° transfer device 7 to the PZT 2,
On the other hand, the electrodes of PZTs 4 and 5 are directly connected to the output terminal of AC power supply 9. Therefore, when these AC signals with a phase difference are applied to PZTs 2 to 5, the vibrating rod 1 is simultaneously bent in the y direction by PZTs 2 and 3, and the point in time is different by the phase difference caused by the phase shifter 7 by PZTs 4 and 5. simultaneously bends in the x direction. These bends are repeated according to the applied AC signal, so the tip 1 of the vibrating rod 1
b makes a circular motion or an elliptical motion depending on the phase amount of the phase shifter 7. The principles of these rotational movements are detailed in Japanese Patent Application No. 1986-286242, which was previously proposed by the applicant of the present invention, and will therefore be omitted here.
ここで振動棒1(第1図)の撓み振動における
一方向の振動について考える。振動棒1の先端部
1bの振幅をa、振動棒1の先端部1bの断面方
向の速度をv、振動棒1の一次共振角速度をωと
すると、v=aωsinωtと定義され、この式から速
度vの最大値vmaxは、vmax=aωとなる。第4
図は最大速度vmaxについて正方形断面形状の従
来の振動棒と本発明による中央部に凹部を有する
振動棒1とを(即ち断面積比1の振動棒。第4図
参照)比較した結果を表わす図であるが、第4図
の曲線C1から明らかなように本発明の振動棒の
方が前述の従来の振動棒よりも高い最大速度を得
た。次に振動棒の剛性について考える。 Here, let us consider the unidirectional vibration in the bending vibration of the vibrating rod 1 (FIG. 1). If the amplitude of the tip 1b of the vibrating rod 1 is a, the velocity of the tip 1b of the vibrating rod 1 in the cross-sectional direction is v, and the primary resonance angular velocity of the vibrating rod 1 is ω, then v=aωsinωt is defined, and from this equation, the speed is The maximum value vmax of v is vmax=aω. Fourth
The figure shows the results of a comparison of a conventional vibrating rod with a square cross-sectional shape and the vibrating rod 1 having a concave portion in the center according to the present invention (i.e., a vibrating rod with a cross-sectional area ratio of 1, see FIG. 4) regarding the maximum speed vmax. However, as is clear from the curve C1 in FIG. 4, the vibrating rod of the present invention achieved a higher maximum speed than the conventional vibrating rod described above. Next, consider the rigidity of the vibrating rod.
振動棒1の剛性EIは、EI=ES0 2/12×H2(但し、
Eはヤング率、S0は基準断面積、Hは断面積比、
0<H≦1)と定義される。従つて断面積比が小
さくなると急激に振動棒の剛性は低下し、移動体
(不図示)に対する加圧力が加わると振動棒はそ
の曲げ限度を越え、折れることになる。その為振
動棒1の凹部の深さは浅い方が良い訳である。こ
の剛性について第3図のように両端1Aa,1Ab
を細くした振動棒1Aと本発明による振動棒1
(第1図)とを比較したところ、第4図示の曲線
C2に示されるように同一断面積比(例えば断面
積比0.4)において第3図示振動棒1Aはv1、本
発明のものはv2を示した。即ち本発明によれば剛
性を損うことなく高い質点速度が得られたもので
ある。換言すればわずかなエネルギーで高い質点
速度、即ち高効率が得られ、かつ剛性の低下も小
さく抑えることができたものである。尚第4図は
横軸が断面積比を示し、縦軸が振動棒の質点最大
速度を示す。そして曲線C1は本発明による振動
棒の断面積比対質点最大速度の関係を示し、曲線
C2は本発明の振動棒と第3図示による振動棒の
特性の差を示す為の曲線で、第3図示振動棒の断
面積比対質点最大速度の関係を示す。因みに断面
積比1の振動棒は前述の先願に示されるような正
方形の均一な断面を有する振動棒である。 The rigidity EI of the vibrating rod 1 is EI=ES 0 2 /12×H 2 (where, E is Young's modulus, S 0 is the standard cross-sectional area, H is the cross-sectional area ratio,
0<H≦1). Therefore, when the cross-sectional area ratio decreases, the rigidity of the vibrating rod rapidly decreases, and when a pressing force is applied to a moving body (not shown), the vibrating rod exceeds its bending limit and breaks. Therefore, the shallower the depth of the concave portion of the vibrating rod 1, the better. Regarding this rigidity, as shown in Figure 3, both ends are 1Aa and 1Ab.
Vibrating rod 1A with thinner vibration rod 1A and vibrating rod 1 according to the present invention
(Fig. 1) and the curve shown in Fig. 4.
As shown in C 2 , at the same cross-sectional area ratio (for example, cross-sectional area ratio 0.4), the third illustrated vibrating rod 1A exhibited v 1 and the one of the present invention exhibited v 2 . That is, according to the present invention, a high mass point velocity can be obtained without impairing rigidity. In other words, a high mass point velocity, that is, high efficiency, can be obtained with a small amount of energy, and a decrease in rigidity can be suppressed to a small level. In FIG. 4, the horizontal axis shows the cross-sectional area ratio, and the vertical axis shows the maximum velocity of the mass point of the vibrating rod. And the curve C1 shows the relationship between the cross-sectional area ratio of the vibrating rod according to the present invention and the maximum velocity of the mass point, and the curve
C 2 is a curve showing the difference in characteristics between the vibrating rod of the present invention and the vibrating rod shown in the third diagram, and shows the relationship between the cross-sectional area ratio and the maximum velocity of the mass point of the vibrating rod shown in the third diagram. Incidentally, the vibrating rod having a cross-sectional area ratio of 1 is a vibrating rod having a uniform square cross section as shown in the above-mentioned earlier application.
また振動波モーターを構成する振動棒1は第1
図示のように四角柱である必要はなく第5図示の
ように三角柱、或いは円柱(不図示)でも第1図
示の場合と同様な動作、効果が得られるし、更に
はPZT2〜5は第1図示のように振動棒1の中
央を挾んで等距離の位置に貼着される心要は必ず
しもなく、第6図示のようにいずれか一方の側に
寄せて貼着しても良い。 In addition, the vibration rod 1 constituting the vibration wave motor is the first
It does not have to be a square prism as shown in the figure, but a triangular prism or a cylinder (not shown) as shown in the fifth figure can also provide the same operation and effect as in the case of the first figure. It is not necessary to stick them at equidistant positions across the center of the vibrating rod 1 as shown in the figure, but they may be stuck to either side as shown in the sixth figure.
第7図は第1図示ステータを組込んだ振動波モ
ーターの要部縦断面図である。尚第1図示と同一
機能を有する機素には同一符号を付して、その詳
細な説明を省略する。 FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of a main part of a vibration wave motor incorporating the first illustrated stator. Elements having the same functions as those shown in the first figure are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
第7図において、11は段付き円環体として構
成されたロータであり、該ロータ11はそれ自身
の軸線Z0を中心として回転しうるように不図示の
構造部材に支持されている。ロータ11の小直径
部分11Aの内周面には摩擦係数が大きく且つ柔
軟な被覆材13が接着剤等によつて固定されてい
る。 In FIG. 7, reference numeral 11 denotes a rotor configured as a stepped torus, and the rotor 11 is supported by a structural member (not shown) so as to be rotatable about its own axis Z 0 . A flexible covering material 13 having a large coefficient of friction is fixed to the inner peripheral surface of the small diameter portion 11A of the rotor 11 with an adhesive or the like.
ロータ11に回転運動を生じさせるための振動
棒1がロータ11の軸線と平行に配置され、該振
動棒1の先端部1bがロータ11の小直径部分1
1Aに挿入されるとともに該先端1bの上面が該
小直径部分11Aの被覆材13に近接するように
位置決めされている。 A vibrating rod 1 for causing rotational movement in the rotor 11 is arranged parallel to the axis of the rotor 11, and a tip end 1b of the vibrating rod 1 is connected to a small diameter portion 1 of the rotor 11.
1A and positioned so that the upper surface of the tip 1b is close to the covering material 13 of the small diameter portion 11A.
中央に凹部を有する振動棒1は本実施例では方
形の横断面形状を有した角棒として構成され、該
振動棒1の外周面は一対の水平面と一対の鉛直面
とによつて構成されている。そして、該振動棒1
の先端部1bに円軌道もしくは楕円軌道の振動変
位を生じさせるための振動励起手段としての圧電
素子2〜5が第2図示のように該振動棒1の鉛直
面と水平面とにそれぞれ接着されている。該圧電
素子2〜5の接着位置は該振動棒1の長手方向の
中央位置であり、該振動棒1に生ずる駆動の腹と
なる位置に接着されている。 In this embodiment, the vibrating rod 1 having a concave portion in the center is configured as a square rod having a rectangular cross-sectional shape, and the outer peripheral surface of the vibrating rod 1 is constituted by a pair of horizontal surfaces and a pair of vertical surfaces. There is. Then, the vibrating rod 1
As shown in the second figure, piezoelectric elements 2 to 5 as vibration excitation means for producing vibrational displacement in a circular or elliptical orbit at the tip 1b of the vibrating rod 1 are adhered to the vertical and horizontal surfaces of the vibrating rod 1, respectively. There is. The piezoelectric elements 2 to 5 are bonded at the central position in the longitudinal direction of the vibrating rod 1, and are bonded to the center of the drive generated in the vibrating rod 1.
振動棒1の外周面には該振動棒1に生ずる振動
の節となる位置に細い孔が貫設され、この細い孔
に嵌合して該振動棒1に固定された細い支持棒1
5及び17が振動棒1の鉛直面と水平面からそれ
ぞれ突出している。該支持棒15及び17は鋼線
であり、該支持棒15の両端は支持リング19に
固定され、該支持棒17の両端は支持リング21
に固定されている。支持リング19及び21は同
一の内径寸法と同一の外径寸法を有したリングで
あり該支持リング19及び21は円筒状の支持台
23の両端部のインロー部に嵌入されるとともに
固定リング25で支持台23に固定されている。 A thin hole is penetrated through the outer peripheral surface of the vibrating rod 1 at a position that becomes a node of vibration generated in the vibrating rod 1, and a thin support rod 1 is fitted into the thin hole and fixed to the vibrating rod 1.
5 and 17 protrude from the vertical and horizontal surfaces of the vibrating rod 1, respectively. The support rods 15 and 17 are steel wires, both ends of the support rod 15 are fixed to the support ring 19, and both ends of the support rod 17 are fixed to the support ring 21.
is fixed. The support rings 19 and 21 have the same inner diameter and the same outer diameter, and the support rings 19 and 21 are fitted into the spigots at both ends of the cylindrical support base 23 and fixed ring 25. It is fixed to a support stand 23.
支持台23はばね27によつて不図示の静止部
材上に弾性的に支持されるとともに該ばね27に
よつて鉛直上向きに附勢されている。従つて、振
動棒1もばね27の力によりロータ11の被覆材
13に向つて附勢されている。 The support stand 23 is elastically supported by a spring 27 on a stationary member (not shown), and is biased vertically upward by the spring 27. Therefore, the vibrating rod 1 is also urged toward the covering material 13 of the rotor 11 by the force of the spring 27.
支持台23の下面には4個の接続端子27〜3
3が設けられており、該接続端子27〜33は第
1図に示すような制御回路7,9に接続されるよ
うになつている。また、接続端子27は圧電素子
としてのPZT4にリード線を介して接続され、
接続端子29は圧電素子としてのPZT3にリー
ド線を介して接続され、更に接続端子33は
PZT2に接続され、接続端子31はPZT5(不
図示)に接続されている。なお、振動棒1の本体
に接続される接地用端子で省略されている。 There are four connection terminals 27 to 3 on the bottom surface of the support stand 23.
3 are provided, and the connection terminals 27 to 33 are connected to control circuits 7 and 9 as shown in FIG. Moreover, the connection terminal 27 is connected to PZT4 as a piezoelectric element via a lead wire,
The connection terminal 29 is connected to PZT3 as a piezoelectric element via a lead wire, and the connection terminal 33 is
It is connected to PZT2, and the connection terminal 31 is connected to PZT5 (not shown). Note that the grounding terminal connected to the main body of the vibrating rod 1 is omitted.
かかる構成において電源9から駆動の為に交流
信号がPZT2〜5に印加されると、振動棒1の
先端部1bは回転運動をするので、移動体として
のロータ11は軸線Z0を中心として回転運動をす
る。 In this configuration, when an AC signal is applied from the power source 9 to the PZTs 2 to 5 for driving, the tip 1b of the vibrating rod 1 rotates, so the rotor 11 as a moving body rotates around the axis Z0 . exercise.
第8図は振動棒1の中央側面を切削して、
PZT2〜5(PZT4は不図示)を棒1に貼着す
ると共に、更に振動の節の位置を更に深く切削し
て節部分の支持を容易とし、節部分を支点とする
曲げ振動が大きくなるようにして、先端部1bの
回転速度を上げるようにしたものである。 Figure 8 shows the center side of the vibrating rod 1 being cut.
PZT2 to 5 (PZT4 is not shown) are attached to the rod 1, and the positions of the vibration nodes are cut deeper to make it easier to support the nodes, so that the bending vibration using the nodes as fulcrums becomes larger. In this way, the rotation speed of the tip portion 1b is increased.
尚第8図示実施例におけるその他の構成は第7
図示実施例と同様であるので省略されている。 The other configurations in the eighth illustrated embodiment are the same as those in the seventh embodiment.
Since it is the same as the illustrated embodiment, it is omitted.
以上の実施例では圧電素子としては2対の圧電
素子を用いたが、1対の圧電素子だけを用いても
同様な効果を得られることは言うまでもない。 Although two pairs of piezoelectric elements are used as the piezoelectric elements in the above embodiment, it goes without saying that the same effect can be obtained even if only one pair of piezoelectric elements is used.
以上説明した様に、本発明ではステータを構成
する振動棒の両端部間に凹部を設けたので、本発
明によれば、ステータの一方の端部に接触した移
動体の速度を増大させ、高効率を得ることができ
るものである。
As explained above, in the present invention, since the recess is provided between both ends of the vibrating rod that constitutes the stator, the speed of the moving body that is in contact with one end of the stator is increased, and the Efficiency can be obtained.
尚1,1Bが棒状弾性体、2,4が第1、第2
の電気−機械エネルギー変換素子の夫々を構成し
ている。 Note that 1 and 1B are rod-shaped elastic bodies, and 2 and 4 are first and second
The electrical-mechanical energy conversion elements are configured respectively.
第1図は本発明を適用した振動波モータにおけ
るステータ並びに駆動回路部分の要部構成図、第
2図は第1図示ステータのA−A断面図、第3図
は本発明と比較対照されるステータの要部構成
図、第4図は第1図示実施例の振動波モータの特
性図、第5図、第6図は本発明の他の実施例にお
ける振動波モータのステータの要部構成図、第7
図、第8図は、本発明を適用した振動波モータの
要部構成図である。
図において、1……ステータを構成する振動
棒、2〜5……圧電素子、11……ロータであ
る。
Fig. 1 is a main part configuration diagram of a stator and drive circuit portion in a vibration wave motor to which the present invention is applied, Fig. 2 is a sectional view taken along line AA of the stator shown in Fig. 1, and Fig. 3 is a comparison and contrast with the present invention. FIG. 4 is a characteristic diagram of the vibration wave motor of the first illustrated embodiment; FIGS. 5 and 6 are diagrams of the main part of the stator of the vibration wave motor in other embodiments of the present invention. , 7th
8 are main part configuration diagrams of a vibration wave motor to which the present invention is applied. In the figure, 1... vibrating rod constituting the stator, 2 to 5... piezoelectric elements, and 11... rotor.
Claims (1)
ネルギー変換素子2と、第2の電気−機械エネル
ギー変換素子4とを有する、超音波モータのため
の振動装置であつて、 前記弾性体1;1Bは、2つの端部1a,1
b;1Ba,1Bbを有するものであつて、該両端
部1a,1b;1Ba,1Bbに挟まれた部分には
凹部が形成されており、また前記第1並びに第2
の電気−機械エネルギー変換素子2;4は前記弾
性体1;1Bに固着されるものであり、 更に該第1電気−機械エネルギー変換素子2
は、与えられる交流信号に応答して、前記弾性体
1;1Bに第1の方向の曲げ振動を発生させるも
のであり、第2電気−機械エネルギー変換素子4
は、与えられる交流信号に応答して、前記弾性体
1;1Bに前記第1の方向とは異なる第2の方向
の曲げ振動を発生させるものであり、この2つの
曲げ振動により前記弾性体1;1Bの一方の端部
1bは、回転運動をするものであり、この一方の
端部に接触した部材11と前記弾性体1;1Bと
は、この回転運動により相対運動するものである
ことを特徴とする、超音波モータのための振動装
置。[Claims] 1. A vibration device for an ultrasonic motor, comprising a rod-shaped elastic body 1; 1B, a first electro-mechanical energy conversion element 2, and a second electro-mechanical energy conversion element 4. The elastic body 1; 1B has two ends 1a, 1
b; 1Ba, 1Bb, a recess is formed in the portion sandwiched between the two end portions 1a, 1b; 1Ba, 1Bb;
The electric-mechanical energy conversion element 2; 4 is fixed to the elastic body 1; 1B, and the first electric-mechanical energy conversion element 2
generates bending vibration in the first direction in the elastic body 1; 1B in response to an applied alternating current signal, and the second electro-mechanical energy conversion element 4
is to generate bending vibration in a second direction different from the first direction in the elastic body 1; 1B in response to an applied alternating current signal, and these two bending vibrations cause the elastic body 1 to One end 1b of 1B makes a rotational movement, and the member 11 in contact with this one end and the elastic body 1; 1B make a relative movement due to this rotational movement. A vibration device for ultrasonic motors.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107003A JPS63274377A (en) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | Vibration device for ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107003A JPS63274377A (en) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | Vibration device for ultrasonic motor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63274377A JPS63274377A (en) | 1988-11-11 |
| JPH0530150B2 true JPH0530150B2 (en) | 1993-05-07 |
Family
ID=14448023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62107003A Granted JPS63274377A (en) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | Vibration device for ultrasonic motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63274377A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5292849B2 (en) * | 2007-02-28 | 2013-09-18 | カシオ計算機株式会社 | Piezoelectric actuator, camera device, and moving stage device |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP62107003A patent/JPS63274377A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63274377A (en) | 1988-11-11 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |