JPH0530588B2 - - Google Patents
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- JPH0530588B2 JPH0530588B2 JP653790A JP653790A JPH0530588B2 JP H0530588 B2 JPH0530588 B2 JP H0530588B2 JP 653790 A JP653790 A JP 653790A JP 653790 A JP653790 A JP 653790A JP H0530588 B2 JPH0530588 B2 JP H0530588B2
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- upper shaft
- cylinder
- optical component
- lifting
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学部品加工装置に係り、さらに詳
細には、その上端部に砥石を装備した下軸部を回
転駆動自在に構成し、前記砥石に対して上軸下部
に保持された光学部品を当接、押圧させることに
より光学部品を加工しうるように構成してなる光
学部品加工装置に関する。
細には、その上端部に砥石を装備した下軸部を回
転駆動自在に構成し、前記砥石に対して上軸下部
に保持された光学部品を当接、押圧させることに
より光学部品を加工しうるように構成してなる光
学部品加工装置に関する。
上記この種の光学部品加工装置は、従来、例え
ば第3図にて示すごとく構成されていた。以下、
第3図を用いて従来技術の構成とその構成上の問
題点について説明する。
ば第3図にて示すごとく構成されていた。以下、
第3図を用いて従来技術の構成とその構成上の問
題点について説明する。
第3図は、光学部品加工装置1の従来構成を示
す簡略縦断面図である。図に示すごとく光学部品
加工装置1は、上軸部2と下軸部3とにより構成
されている。
す簡略縦断面図である。図に示すごとく光学部品
加工装置1は、上軸部2と下軸部3とにより構成
されている。
下軸部3は、回転自在に支承された下軸4と、
下軸4の上端部に固装された砥石5とにより構成
されており、下軸部3は図示を省略している駆動
装置により回転駆動自在の構成となつている。
下軸4の上端部に固装された砥石5とにより構成
されており、下軸部3は図示を省略している駆動
装置により回転駆動自在の構成となつている。
上軸部2は、外筒6の軸心部に内装したリニア
ガイド7を介して上下動自在に支承された上軸
(シヤフト)8と、上軸8昇降用シリンダー9等
により構成されており、上軸8の上端はシリンダ
ー9におけるピストンロツド(作動杆)10の先
端部に固定されている。シリンダー装置9は、中
空パイプ状の外筒6の上部に固定してあり、上昇
用エアーポート11、下降用エアーポート12の
各エアーポートにエアー13,14を圧送するこ
とにより、ピストン15、ピストンロツド10を
介して上軸8を昇降操作しうるようになつてい
る。
ガイド7を介して上下動自在に支承された上軸
(シヤフト)8と、上軸8昇降用シリンダー9等
により構成されており、上軸8の上端はシリンダ
ー9におけるピストンロツド(作動杆)10の先
端部に固定されている。シリンダー装置9は、中
空パイプ状の外筒6の上部に固定してあり、上昇
用エアーポート11、下降用エアーポート12の
各エアーポートにエアー13,14を圧送するこ
とにより、ピストン15、ピストンロツド10を
介して上軸8を昇降操作しうるようになつてい
る。
上軸8の下端部には、光学部品16のホルダー
(保持部材)17が取付けてあり、ホルダー17
には光学部品16が吸着機構(図示省略)を介し
て吸着保持自在の構成になつている。
(保持部材)17が取付けてあり、ホルダー17
には光学部品16が吸着機構(図示省略)を介し
て吸着保持自在の構成になつている。
上記構成によれば、次のような操作にて光学部
品16を下降しうるものである。即ち、まず、上
昇用エアーポート11にエアー13を圧送して上
軸8を上昇せしめる。次に、上昇位置にあるホル
ダー17に光学部品(被加工体)16を吸着保持
せしめ、しかる後に下降用エアーポート12にエ
アー14を圧送せしめて上軸8を下降せしめる。
上軸8の下降に伴い、光学部品16の被加工面1
6aが砥石5に当接し、さらに上軸8をシリンダ
ー9を介して下降せしめるべく加圧することによ
り、この加圧力と高速回転される砥石5との協働
作用により光学部品16を研磨加工しうるもので
ある。
品16を下降しうるものである。即ち、まず、上
昇用エアーポート11にエアー13を圧送して上
軸8を上昇せしめる。次に、上昇位置にあるホル
ダー17に光学部品(被加工体)16を吸着保持
せしめ、しかる後に下降用エアーポート12にエ
アー14を圧送せしめて上軸8を下降せしめる。
上軸8の下降に伴い、光学部品16の被加工面1
6aが砥石5に当接し、さらに上軸8をシリンダ
ー9を介して下降せしめるべく加圧することによ
り、この加圧力と高速回転される砥石5との協働
作用により光学部品16を研磨加工しうるもので
ある。
しかしながら、上記従来構成においては次のよ
うな問題点があつた。
うな問題点があつた。
(1) 小さな光学部品16を研磨加工する際には、
小さな加圧力に設定する必要があるが、上記従
来構成においては、光学部品16の昇降操作と
砥石5に対する加圧操作とを1個のシリンダー
9にて行つているので、加圧力を小さく設定し
ようとすると昇降操作力が不足となり、そのた
めにノツキング現象を起したりして昇降操作が
スムーズに行なえなくなるという問題点があつ
た。
小さな加圧力に設定する必要があるが、上記従
来構成においては、光学部品16の昇降操作と
砥石5に対する加圧操作とを1個のシリンダー
9にて行つているので、加圧力を小さく設定し
ようとすると昇降操作力が不足となり、そのた
めにノツキング現象を起したりして昇降操作が
スムーズに行なえなくなるという問題点があつ
た。
(2) 上記従来構成におけるシリンダー9のピスト
ン15とシリンダー内壁との間には、摺動抵抗
の大きいOリング等のシール部材が装備されて
いるので、昇降操作の際の摺動抵抗が大きく、
光学部品16に微小加圧力を付加できないとい
う問題点があつた。そのために、微小圧から高
圧までの広範囲の加工圧力の調整ができず、特
に小径光学部品の加工が困難となつていた。
ン15とシリンダー内壁との間には、摺動抵抗
の大きいOリング等のシール部材が装備されて
いるので、昇降操作の際の摺動抵抗が大きく、
光学部品16に微小加圧力を付加できないとい
う問題点があつた。そのために、微小圧から高
圧までの広範囲の加工圧力の調整ができず、特
に小径光学部品の加工が困難となつていた。
(3) 上記従来構成においては、1個のシリンダー
9にて上軸8の昇降操作と加工時の加圧操作と
を行つているので、大きな圧力を必要とすると
いう問題点があつた。
9にて上軸8の昇降操作と加工時の加圧操作と
を行つているので、大きな圧力を必要とすると
いう問題点があつた。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされ
たものであつて、微小圧から高圧までの広範囲の
加工圧力の調整が可能であり、かつ、微小加工圧
設定時においてもスムーズな上軸の昇降作動が行
ないうるようにした光学部品加工装置を提供する
ことを目的とする。
たものであつて、微小圧から高圧までの広範囲の
加工圧力の調整が可能であり、かつ、微小加工圧
設定時においてもスムーズな上軸の昇降作動が行
ないうるようにした光学部品加工装置を提供する
ことを目的とする。
本発明は、上軸部の昇降操作部と、上軸下端部
に保持された光学部品を下軸側砥石に対して加圧
するための加圧操作部とを別体の操作部にて構成
するとともに、加圧操作部の摺動抵抗を昇降操作
部の摺動抵抗よりも小さくしている。
に保持された光学部品を下軸側砥石に対して加圧
するための加圧操作部とを別体の操作部にて構成
するとともに、加圧操作部の摺動抵抗を昇降操作
部の摺動抵抗よりも小さくしている。
上記構成によつて、光学部品を砥石に対して加
圧する際、微小圧から高圧までの広範囲の加工圧
力の調整が行なえるようになり、かつ微小加工圧
設定時においてもスムーズな上軸の昇降作動が行
ないうるようになる。
圧する際、微小圧から高圧までの広範囲の加工圧
力の調整が行なえるようになり、かつ微小加工圧
設定時においてもスムーズな上軸の昇降作動が行
ないうるようになる。
以下、図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。
細に説明する。
(第1実施例)
第1図は、本発明に係る光学部品加工装置の第
1の実施例を示すものであり、特に本発明の要部
である上軸部18の構成を示す簡略縦断面図であ
る。図において符号19で示すのは、その下端部
に光学部品20の保持部(ホルダー)21を有す
る上軸(シヤフト)で、中空パイプ状の外筒22
の軸心部の下部に内装したリニアガイド23を介
して上下動自在に支承されている。
1の実施例を示すものであり、特に本発明の要部
である上軸部18の構成を示す簡略縦断面図であ
る。図において符号19で示すのは、その下端部
に光学部品20の保持部(ホルダー)21を有す
る上軸(シヤフト)で、中空パイプ状の外筒22
の軸心部の下部に内装したリニアガイド23を介
して上下動自在に支承されている。
外筒22の上部には、昇降操作用シリンダー2
4が固装してあり、昇降操作用シリンダー24の
ピストンロツド25は、外筒22の上部軸心部に
設けた孔(シールされている)26に挿通してあ
る。27で示すのはピストン、28で示すのは上
昇操作用のエアーポート、29で示すのは下降操
作用のエアーポートである。
4が固装してあり、昇降操作用シリンダー24の
ピストンロツド25は、外筒22の上部軸心部に
設けた孔(シールされている)26に挿通してあ
る。27で示すのはピストン、28で示すのは上
昇操作用のエアーポート、29で示すのは下降操
作用のエアーポートである。
孔26を貫通して外筒22の軸心部内に貫入さ
れたピストンロツド25の先端部(図において下
端部)には、上軸19加圧操作用のシリンダー3
0が固設してある。このシリンダー30は昇降操
作用シリンダー24よりも小さいものである。シ
リンダー30のシリンダー室37内には、上軸1
9の上端部と固定された加圧ロツド部32及びピ
ストン33が挿入されている。このピストン33
は前記ピストン27よりも小さく、軽量となる。
れたピストンロツド25の先端部(図において下
端部)には、上軸19加圧操作用のシリンダー3
0が固設してある。このシリンダー30は昇降操
作用シリンダー24よりも小さいものである。シ
リンダー30のシリンダー室37内には、上軸1
9の上端部と固定された加圧ロツド部32及びピ
ストン33が挿入されている。このピストン33
は前記ピストン27よりも小さく、軽量となる。
このピストン33の上面と接して、前記シリン
ダー室37内には、テトロン布等の上にゴム等を
被覆して構成した気密性を有する薄膜38が上下
方向に弾性変形自在に内装してあり、薄膜38の
上端部はシリンダー30に固定してある。薄膜3
8を隔壁として分割された上側のシリンダー室内
には、加圧操作用エアーポート39を介してエア
ーが圧送されるようになつている。この加圧操作
エアーポート39を介して圧送されるエアーを介
して、加圧ロツド部32と一体構成された上軸1
9は、シリンダー24とは別個に下降操作される
ようになつている。即ち、光学部品20が砥石3
5に当接した後さらに上軸19を下降させた際に
は、上軸19上部のピストン33がシリンダー室
31内を相対的に上昇しうるように設定構成して
あり、この上昇したピストン33をその上昇分だ
けエアーポート39から圧送されるエアーを介し
て加圧操作しうるように設定構成してある。36
で示すのは、加圧ロツド部32挿通用の孔(シー
ルしてある)である。
ダー室37内には、テトロン布等の上にゴム等を
被覆して構成した気密性を有する薄膜38が上下
方向に弾性変形自在に内装してあり、薄膜38の
上端部はシリンダー30に固定してある。薄膜3
8を隔壁として分割された上側のシリンダー室内
には、加圧操作用エアーポート39を介してエア
ーが圧送されるようになつている。この加圧操作
エアーポート39を介して圧送されるエアーを介
して、加圧ロツド部32と一体構成された上軸1
9は、シリンダー24とは別個に下降操作される
ようになつている。即ち、光学部品20が砥石3
5に当接した後さらに上軸19を下降させた際に
は、上軸19上部のピストン33がシリンダー室
31内を相対的に上昇しうるように設定構成して
あり、この上昇したピストン33をその上昇分だ
けエアーポート39から圧送されるエアーを介し
て加圧操作しうるように設定構成してある。36
で示すのは、加圧ロツド部32挿通用の孔(シー
ルしてある)である。
上記構成において、その作用について説明す
る。
る。
まず、上軸19を昇降操作用シリンダー24を
介して上昇させる。次に、上昇した上軸19のホ
ルダー21に被加工体である光学部品20を吸着
手段等にて保持させ、昇降操作用シリンダー24
を介して上軸19を下降せしめる。上軸19が下
降して光学部品20が砥石35に当接するが、さ
らに昇降操作用シリンダー24のピストンロツド
25を若干量下降操作すると、光学部品20が砥
石35に当接しているため加圧ロツド部32が相
対的に上昇して薄膜38を上方向に弾性変形させ
る。ここで、エアーポート39からエアーを圧送
して弾性変形された薄膜38を下方向に押圧し、
ピストン33、加圧ロツド部32、上軸19、ホ
ルダー21を介して光学部品20を砥石35に加
圧し、砥石35の高速回転と協働して光学部品2
0を研磨加工等しうるものである。
介して上昇させる。次に、上昇した上軸19のホ
ルダー21に被加工体である光学部品20を吸着
手段等にて保持させ、昇降操作用シリンダー24
を介して上軸19を下降せしめる。上軸19が下
降して光学部品20が砥石35に当接するが、さ
らに昇降操作用シリンダー24のピストンロツド
25を若干量下降操作すると、光学部品20が砥
石35に当接しているため加圧ロツド部32が相
対的に上昇して薄膜38を上方向に弾性変形させ
る。ここで、エアーポート39からエアーを圧送
して弾性変形された薄膜38を下方向に押圧し、
ピストン33、加圧ロツド部32、上軸19、ホ
ルダー21を介して光学部品20を砥石35に加
圧し、砥石35の高速回転と協働して光学部品2
0を研磨加工等しうるものである。
上記構成によつて、上軸19の昇降操作用シリ
ンダー24と光学部品20の加圧操作用シリンダ
ー30とを別個のシリンダーにて構成してあるの
で、光学部品20の加圧操作は上軸19の昇降操
作とは無関係に操作できるものである。
ンダー24と光学部品20の加圧操作用シリンダ
ー30とを別個のシリンダーにて構成してあるの
で、光学部品20の加圧操作は上軸19の昇降操
作とは無関係に操作できるものである。
又、昇降操作用シリンダー24は、加圧操作と
は無関係であるので、小径の光学部品20を加工す
る場合でも大きな圧力にて昇降操作でき、従つて
光学部品20の大、小に関係なく常にスムーズな
昇降操作が可能となるものである。
は無関係であるので、小径の光学部品20を加工す
る場合でも大きな圧力にて昇降操作でき、従つて
光学部品20の大、小に関係なく常にスムーズな
昇降操作が可能となるものである。
特に、上記構成においては、摺動抵抗の極めて
小さな薄膜38の変形を介して小さいピストン3
3を加圧操作しうるように構成してあるので、光
学部品20に対して微小な加圧力から高圧の加圧
力まで作用することができ、広範囲の加工圧力の
調整が容易に行なえるものであり、小径の光学部
品20に対しても最適の加圧力にて加工しうるも
のである。
小さな薄膜38の変形を介して小さいピストン3
3を加圧操作しうるように構成してあるので、光
学部品20に対して微小な加圧力から高圧の加圧
力まで作用することができ、広範囲の加工圧力の
調整が容易に行なえるものであり、小径の光学部
品20に対しても最適の加圧力にて加工しうるも
のである。
又、上記構成において、加圧操作用シリンダー
30に常時微圧を付加させておくことにより、昇
降操作用シリンダー24の昇降操作をスムーズに
行なえるとともに、昇降操作の動きに影響される
ことなく微圧を加圧ロツド部32に付加しうるも
のである。
30に常時微圧を付加させておくことにより、昇
降操作用シリンダー24の昇降操作をスムーズに
行なえるとともに、昇降操作の動きに影響される
ことなく微圧を加圧ロツド部32に付加しうるも
のである。
さらに外筒22の内部の下方にリニアガイド2
3を介して上軸19が支持されているので、上軸
に対して各シリンダーが直列的で位置合わせが容
易であり、且つ上軸19が径方向に位置決めされ
ているので、各シリンダーのロツドに生じるガタ
(ロツドとシリンダー室の孔との間で生じるガタ)
が吸収でき、砥石35と光学部品20との加工中
における芯ずれがなく安定した加工を行なうこと
ができるものである。
3を介して上軸19が支持されているので、上軸
に対して各シリンダーが直列的で位置合わせが容
易であり、且つ上軸19が径方向に位置決めされ
ているので、各シリンダーのロツドに生じるガタ
(ロツドとシリンダー室の孔との間で生じるガタ)
が吸収でき、砥石35と光学部品20との加工中
における芯ずれがなく安定した加工を行なうこと
ができるものである。
さらに光学部品20の加工に際して研磨液が用
いられても、加圧ロツド部32側の上軸19とリ
ニアガイド23との摺動部分が外筒22により保
護されているので、研磨液の飛散による汚れがな
く、安定した上軸の上下移動を確保することがで
きるものである。
いられても、加圧ロツド部32側の上軸19とリ
ニアガイド23との摺動部分が外筒22により保
護されているので、研磨液の飛散による汚れがな
く、安定した上軸の上下移動を確保することがで
きるものである。
(第2実施例)
第2図に本発明の第2実施例を示す。本実施例
の特徴は、加圧操作用シリンダー30を下加圧操
作用シリンダー部40と上加圧操作用シリンダー
部41との2つのシリンダー部にて構成し、か
つ、互のシリンダー部40,41を対向配設して
構成した点にある。各シリンダー部40,41
は、第1図にて示した加圧操作用シリンダー30
と同様に構成してあり、それぞれのシリンダー部
40,41には第1図にて示したものと同様の薄
膜42,43が固設装備してある。各薄膜42,
43間には加圧ロツド部44が配設してあり、加
圧ロツド部44の両端部には、下加圧ピストン4
5と上加圧ピストン46とが固設してある。加圧
ロツド部44は、ロツド支持部47を有する枠体
状のスライダー48により固定支持されており、
スライダー48は、連結軸部49を介して上軸1
9と固定されている。スライダー48は、各シリ
ンダー部40,41間に設けた中間支持部50に
より上下方向にスライドガイドされるようになつ
ている。51,52で示すのは、エアーポートで
ある。
の特徴は、加圧操作用シリンダー30を下加圧操
作用シリンダー部40と上加圧操作用シリンダー
部41との2つのシリンダー部にて構成し、か
つ、互のシリンダー部40,41を対向配設して
構成した点にある。各シリンダー部40,41
は、第1図にて示した加圧操作用シリンダー30
と同様に構成してあり、それぞれのシリンダー部
40,41には第1図にて示したものと同様の薄
膜42,43が固設装備してある。各薄膜42,
43間には加圧ロツド部44が配設してあり、加
圧ロツド部44の両端部には、下加圧ピストン4
5と上加圧ピストン46とが固設してある。加圧
ロツド部44は、ロツド支持部47を有する枠体
状のスライダー48により固定支持されており、
スライダー48は、連結軸部49を介して上軸1
9と固定されている。スライダー48は、各シリ
ンダー部40,41間に設けた中間支持部50に
より上下方向にスライドガイドされるようになつ
ている。51,52で示すのは、エアーポートで
ある。
その他の構成は、第1図にて示したものと同様
であるので、同一部材については同一符号を付し
てその説明を省略する。
であるので、同一部材については同一符号を付し
てその説明を省略する。
上記構成において、その作用について説明す
る。
る。
昇降操作用シリンダー24のエアーポート29
にエアーを圧送してピストンロツド25を下降せ
しめる。これにより、加圧操作用シリンダー3
0、スライダー48、上軸19が下降せしめら
れ、さらに、下加圧操作用シリンダー部40の加
圧作用によりホルダー21に保持された光学部品
20を砥石35に対して所定加圧力にて加圧して
加工をする。この加圧の際、上加圧操作用シリン
ダー部41のエアーポート52にエアーを圧送し
てスライダー48、上軸19を上方向に付勢する
ことにより、上軸19部自体の重量の影響をなく
して加圧操作することができる。従つて、より小
さな微圧を加工圧として設定しうるものである。
にエアーを圧送してピストンロツド25を下降せ
しめる。これにより、加圧操作用シリンダー3
0、スライダー48、上軸19が下降せしめら
れ、さらに、下加圧操作用シリンダー部40の加
圧作用によりホルダー21に保持された光学部品
20を砥石35に対して所定加圧力にて加圧して
加工をする。この加圧の際、上加圧操作用シリン
ダー部41のエアーポート52にエアーを圧送し
てスライダー48、上軸19を上方向に付勢する
ことにより、上軸19部自体の重量の影響をなく
して加圧操作することができる。従つて、より小
さな微圧を加工圧として設定しうるものである。
上軸19の上昇操作は、エアーポート28にエ
アーを圧送してピストンロツド25を上昇させる
ことにより行いうる。
アーを圧送してピストンロツド25を上昇させる
ことにより行いうる。
その他の作用、効果は、前記第1の実施例と同
様であるので、その説明を省略する。
様であるので、その説明を省略する。
以上のように、本発明によれば、被加工体であ
る光学部品の加工圧の大小に関係なく上軸のスム
ーズな昇降操作が行なえるとともに、小径の光学
部品の加工時に必要な微圧から高圧までの広範囲
の加工圧力を設定することが可能となるものであ
る。さらに加圧操作用シリンダーの摺動抵抗を小
さくできることにより、被加工物への加圧量の微
細、微妙な設定が容易に行なえるばかりでなく、
加圧操作用シリンダーがリニアに作動するので、
加圧時における加圧のタイミングが取りやすいも
のである。
る光学部品の加工圧の大小に関係なく上軸のスム
ーズな昇降操作が行なえるとともに、小径の光学
部品の加工時に必要な微圧から高圧までの広範囲
の加工圧力を設定することが可能となるものであ
る。さらに加圧操作用シリンダーの摺動抵抗を小
さくできることにより、被加工物への加圧量の微
細、微妙な設定が容易に行なえるばかりでなく、
加圧操作用シリンダーがリニアに作動するので、
加圧時における加圧のタイミングが取りやすいも
のである。
第1図は本発明に係る装置の第1の実施例を示
す断面説明図、第2図は本発明に係る装置の第2
の実施例を示す断面説明図、第3図は従来技術の
構成を示す断面説明図である。 19……上軸、20……光学部材、22……外
筒、24……昇降操作用シリンダー、25……ピ
ストンロツド、30……加圧操作用シリンダー、
32……加圧ロツド部、35……砥石。
す断面説明図、第2図は本発明に係る装置の第2
の実施例を示す断面説明図、第3図は従来技術の
構成を示す断面説明図である。 19……上軸、20……光学部材、22……外
筒、24……昇降操作用シリンダー、25……ピ
ストンロツド、30……加圧操作用シリンダー、
32……加圧ロツド部、35……砥石。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 回転駆動自在に構成された砥石を装備した下
軸部と、被加工体である光学部品のホルダーを上
軸に有する上軸部と、前記上軸部の上軸を昇降
し、上軸の下降時に前記ホルダーにて保持された
光学部品を前記砥石に対して加圧するための操作
部とを有する光学部品加工装置において、 前記操作部は、ホルダーを有する上軸を加圧ロ
ツドの下端部に固設し、該ホルダーに保持した光
学部品を砥石に対して加圧する加圧操作用シリン
ダー装置と、該加圧操作用シリンダー装置を昇降
用ピストンロツドの下端部に固設して加圧操作用
シリンダー装置とともに前記上軸を昇降させる昇
降操作用シリンダー装置と、を別体に備えるとと
もに、 加圧操作用シリンダー装置は、昇降操作用シリ
ンダー装置を上部に固装した中空状外筒の内部に
配置するとともに、加圧操作用シリンダー装置の
摺動抵抗が昇降操作用シリンダー装置の摺動抵抗
よりも小さくしたことを特徴とする光学部品加工
装置。 2 前記加圧操作用シリンダー装置は、前記昇降
操作用シリンダー装置のピストンロツド下端部に
固定されたシリンダー室と、該シリンダー室内に
弾性変形自在に内装された気密性を有する薄膜部
材と、前記シリンダー室に挿通されかつその上端
部を前記薄膜部材に固定した加圧操作用ピストン
ロツドと、前記薄膜部材を前記加圧用ピストンロ
ツドを押圧する方向に弾性変形するための流体圧
送用ポートとより構成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の光学部品加工装
置。 3 前記加圧操作用シリンダー装置は、前記昇降
操作用シリンダー装置のピストンロツド下端部に
固定された加圧操作を行うシリンダー部と、上軸
の重量の影響をなくすためのシリンダー部との2
個のシリンダー部を対向配設して構成されるとと
もに、該2個のシリンダー部は、それぞれのシリ
ンダー室内に互いに対向させて内装備した弾性変
形自在の気密性を有する薄膜部材と、該対向装備
した薄膜部材のそれぞれに各端部を固定されると
ともに前記上軸と固定構成された加圧ロツドと、
前記対向装備した薄膜部材を介してそれぞれ加圧
操作または上軸重量軽減操作を行う流体圧送用ポ
ートを有していることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の光学部品加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP653790A JPH02224963A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 光学部品加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP653790A JPH02224963A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 光学部品加工装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2807985A Division JPS61188064A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 光学部品加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02224963A JPH02224963A (ja) | 1990-09-06 |
| JPH0530588B2 true JPH0530588B2 (ja) | 1993-05-10 |
Family
ID=11641099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP653790A Granted JPH02224963A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 光学部品加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02224963A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7364493B1 (en) | 2006-07-06 | 2008-04-29 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Lap grinding and polishing machine |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP653790A patent/JPH02224963A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02224963A (ja) | 1990-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |