JPH0530593U - ターンバツクル用張力調整治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ターンバックルの張力調整時にチェーンをナ
ットの回動に対して捩れないようにし、正確に張力調整
を行うこと。 【構成】 本考案はギア間に張架される無端状チェーン
の直線部分に配設されたターンバックルの張力を調整す
る治具であって、ターンバックルを跨いでその周囲に空
間を許容する凹部と、前記ターンバックル両端から延出
するチェーン部分が横断する前記凹部の両側部上にそれ
ぞれ配置され、チェーンの両側面に密接してチェーンを
挾持する一対の平行部材と、を備える板部材で構成した
ことを特徴としている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ギア間に張架される無端状チェーンの張力を調整するための治具 に関し、特に張力調整用に介設されたターンバックルを回動させるに際し、その 回動に付随するチェーン部分の捩れを防止するターンバックル用張力調整治具に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から、例えば第３図に示すように、一対のギア１，２に張架された無端状 チェーン３において直線部分にターンバックル４，５を設けてその張力を調整し 、チェーンとギアの相対運動を一方から他方へ確実に伝達する伝動装置が用いら れている。

【０００３】 この伝動装置はギア１，２間の距離が固定され、例えばギア１が固定、ギア２ が回転可能に軸支されており、ギア２がギア１の周囲を矢印Ａ方向（反時計方向 ）へ回動するとき、ギア２はその回動方向とは逆方向（時計方向）に回転する。 このため、スイングアーム６をギア２に対して一体に軸支すると、ギア２を中心 に矢印Ｂ方向へスイングアーム６を角度変化させることが可能となり、スイング アーム機構として各種搬送装置に利用されている。

【０００４】 このターンバックルの調整作業は、第４図を参照すると、先ず固定用ナット９ を締付け用ナット10との緊締から緩めて、次いで締付け用ナット10を回してチェ ーン部分11,11 の相対距離をボルト部12,12 を介して調整し、この距離を固定用 ナット９，９の締付けで固定する。しかし、チェーンとギアの運動、これに作用 する負荷およびその変動からの振動などによって、この固定用ナット９，９は経 時的に緩みチェーン張力の変動原因となっていた。

【０００５】 従来、この対策として固定用ナットに接着材を塗布したり、または回り止めを 有するナットを利用するなど試みられてきたが完全とはいえず、また煩雑であっ た。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

本考案はこのような事情に鑑みて、ターンバックルの調整作業におけるチェー ン相互の捩れを防止して、固定用ナットの緩みの発生を防止し、かつ頻繁な再調 整を不要にして伝動装置の確実な作動を可能にする簡便なターンバックル用張力 調整治具を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案はギア間に張架される無端状チェーンの直線 部分に配設されたターンバックルの張力を調整する治具であって、 ターンバックルを跨いでその周囲に空間を許容する凹部と、 前記ターンバックル両端から延出するチェーン部分が横断する前記凹部の両側 部上にそれぞれ配置され、チェーンの両側面に密接してチェーンを挾持する一対 の平行部材と、を備える板部材で構成したことを特徴としている。

【０００８】

【作用】

上記構成によれば、ターンバックルを治具の凹部で跨いで位置させるとともに ターンバックル両端から延出したチェーン部分を凹部の両側部に位置する一対の 平行部材に嵌込むと、ターンバックル両端近傍のチェーン部分の両側面が平行部 材の内壁に密着挾持され、チェーン部分の捩れが規制される。さらに、チェーン 部分の他の一側面を板部材に当接させるまで押し込むとチェーン部分は３つの側 面で保持され、より確実な捩れ防止が可能となる。治具がターンバックルの周囲 に空間を許容する凹部を有する板部材で構成されていることから、ターンバック ルの周囲には十分な広がり空間が得られスパナ等の作業工具の操作が容易となる 。

【０００９】 このため、治具を無端状チェーンにセットするだけで、固定用ナットの回し動 作，締め付け用ナットの回動と張力調整の一連の作業時に、チェーン部分は相互 に捩れることがなく固定される。

【００１０】

【実施例】

本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本考案のターンバックル用 張力調整治具を示す斜視図であり、その構成は凹部７を有する治具本体８に一対 の平行部材20,30 を配置したものからなる。

【００１１】 凹部７はターンバックル４，５の所定寸法よりも十分大きな空間を有しており 、ここに１つのターンバックルを跨ぐことを可能にする。この凹部７の両側部に は同一軸線上に平行部材20,30 を配置して治具本体８に一体に固着される。平行 部材20,30 の各々は、対向する１組の平行壁21,22;31,32 を有する断面コ字型の 部材からなり、その平行壁間隔はチェーンの両側面を内壁面に密着挾持できる寸 法となっている。このため平行部材20,30 の内部にチェーンを密に収納し保持す ることができる。

【００１２】 図２は図１の張力調整治具を無端状チェーンのターンバックルを中心としてそ の近傍にセットした状態を示す平面図であり、各部を示す符号は図４と同じであ る。この図２を用いてターンバックルの張力調整方法を説明する。

【００１３】 まず、チェーン部分11,11 を平行部材20,30 内に密に挿入し保持させる。この とき、チェーン部分を平行部材のコ字形の底部に当接するまで挿入するのが望ま しい。次いで、スパナで固定用ナット９，９を緩め、締付け用ナット10を回転さ せてボルト部12,12 を締付け用ナット10を挾んで接近または離間させ、チェーン の張力を所定の張力に調整した後、緩めた固定用ナット９，９を再度締付ける。

【００１４】 この間、ターンバックル両端のチェーン部分は、平行部材20,30 で保持されて いるため、回転、すなわち捩れることがない。また、治具本体８が板部材であり 、ターンバックルを跨ぐ凹部を形成しているので、ターンバックルの周囲空間は 十分な広がりを有しているので、スパナ等の締付け工具の作業の障害とならない 。

【００１５】 なお、必要に応じて治具本体を搬送装置に固定するための固定手段を設けても 良く、締付けトルクが大きいときには治具本体の回転を防ぐ意味から治具自体を 固定するのがよい。

【００１６】 また、平行部材20,30 の平行壁間の間隔はチェーンの両側面を挟むように保持 するためチェーンの大小に応じてその間隔を調整できるようにしてもよいし、あ るいは内壁部分をチェーンの輪郭線に沿って曲線で形作っても良い。

【００１７】 次に、本考案の治具を用いることにより、無端状チェーンの調整が容易になる 搬送装置、特に半導体製造技術において使用されるウエハ搬送装置のスイングア ーム機構について説明する。

【００１８】 この装置は半導体ウエハカセット40を受け台41に載置して左右に水平移動させ るもので、その受け台41を仮想線で示したＡ−Ａ線上の中央位置から最右端に移 動した状態が図５に示されている。

【００１９】 図６〜図８は、さらに各部の構造を明瞭に示すもので、図６は一対のスイング アーム機構が連結部材52を介して相対向する位置に配置ていることを示す図５の 搬送装置の側面図であり、図７はターンバックル54,55 付近のカバーを破断して チェーン53の連結部を露出して示す主スイングアーム42の正面図であり、図８は 図５のＡ−Ａ線に沿って見た側断面図である。

【００２０】 図８において、主ギア46を固定した中空軸57内には主軸44が回転可能に嵌挿さ れており、この主軸44に主スイングアーム42の一端が取り付けられる。一方、主 スイングアーム42の他端には第１無端状チェーン45に噛合した主ギア56を配置し ており、この主ギア56が回転軸58を介して副スイングアーム47を回動する。 また、主スイングアーム42の他端に固定された副ギア60と、受け台41と受け軸49 を介して固定された副ギア62との間に張架された無端状チェーン61にもその直線 上部分にターンバックル64,65 が設けられている。

【００２１】 この装置の作動は、図５に示す受け台41の最右端位置において主スイングア ーム42が主軸44の回りに矢印Ｃ方向（反時計方向）に回動すると、このアーム42 に張架された第１無端状チェーン45に噛合した主ギア46を時計方向に回転させる ため、主ギア46に固着された副スイングアーム47は主ギア46の回りに矢印Ｄ方向 に回動するようになっている。このため、これらのアーム42,47 の回動する角度 は正確に制御されており、受け台41を軸支する受け軸49が水平線50上に沿って左 方へ移動する。

【００２２】 また、受け台41の上面は副スイングアーム47に主スイングアーム42と同様に張 架された第２無端状チェーン51により受け軸49を反時計方向に回転することでそ の水平が保たれる。

【００２３】 この装置では、無端状チェーンはギアの回転角度の伝達用として作動するので 、わずかなチェーンの緩みがギアの回転角度に影響し大きな移動距離の変化をも たらすことになる。したがって、チェーンの調整は正確に行わなければならない が、本装置の治具を用いればターンバックル近傍のチェーンを両側から押さえて チェーンの捩れを防止するので、ターンバックルの調整後のチェーンの緩みが生 じない。

【００２４】

【考案の効果】

本考案の張力調整治具は、凹部でターンバックルを跨ぎ、ターンバックル両端 から延出するチェーン部分をそれぞれ平行部材に嵌込むだけで、チェーン部分を 固定でき、しかもターンバックルの張力調整時におけるナットの回動に対してチ ェーンが捩れることがないので、張力調整を正確に行うことができる。それゆえ 、スイングアーム機構を用いてギアの回転角度の伝達を極めて高い精度で行う場 合に特に有効である。

【００２５】 また、ターンバックルの張力調整時にはターンバックルの周囲に十分な広がり 空間が得られるので、スパナ等の作業工具の操作を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示すターンバックル用張力調
整治具の斜視図である。

【図２】図１の治具をターンバックルで連結されたチェ
ーン部分に取付けた状態を示す図である。

【図３】従来のスイングアーム機構を備えたチェーン伝
動装置の概略図である。

【図４】従来のターンバックルの張力調整方法を説明す
るためのチェーン連結部分の概略構成図である。

【図５】スイングアーム機構を備える半導体ウエハの搬
送装置を示す正面図である。

【図６】図５のウエハ搬送装置の側面図である。

【図７】ウエハ搬送装置に関するターンバックル部分を
露出させた主スイングアームの一部破断正面図である。

【図８】図７の主スイングアームを図５のＡ−Ａ線に沿
って見た側断面図である。

【符号の説明】

３ 無端状チェーン ４，５ ターンバックル ６ スイングアーム ７ 凹部 ８ 治具本体 ９ 固定用ナット 10 締付け用ナット 11 チェーン部分 12 ボルト部 20,30 平行部材 21,22,31,32 平行壁

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ギア間に張架される無端状チェーンの直線
   部分に配設されたターンバックルの張力を調整する治具
   であって、 ターンバックルを跨いでその周囲に空間を許容する凹部
   と、 前記ターンバックル両端から延出したチェーン部分が横
   断する前記凹部の両側部上にそれぞれ配置され、チェー
   ンの両側面に密接してチェーンを挾持する一対の平行部
   材と、を備える板部材で構成したターンバックル用張力
   調整治具。