JPH05307156A - ビームシフタ装置 - Google Patents
ビームシフタ装置Info
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- JPH05307156A JPH05307156A JP4137871A JP13787192A JPH05307156A JP H05307156 A JPH05307156 A JP H05307156A JP 4137871 A JP4137871 A JP 4137871A JP 13787192 A JP13787192 A JP 13787192A JP H05307156 A JPH05307156 A JP H05307156A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shift
- light beam
- optical path
- parallel
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、ビーム光のシフトの発生を検出
し、そのシフトを吸収するようにビーム光を自動的に平
行移動させて元の光路上に戻す。 【構成】 この発明は、ビーム光αがシフトすると、光
量分布センサ３から出力する信号によってビーム光αの
シフト方向を検出し、このシフト方向とは反対方向にビ
ーム光αを戻すように制御部５からシフト機構６へ制御
信号が出力される。このシフト機構６によりビームシフ
タ２を構成する平行平面板２１，２２が微小移動される
と共にフィードバック制御され、ビーム光αがシフト前
の所定の光路上に戻される。
し、そのシフトを吸収するようにビーム光を自動的に平
行移動させて元の光路上に戻す。 【構成】 この発明は、ビーム光αがシフトすると、光
量分布センサ３から出力する信号によってビーム光αの
シフト方向を検出し、このシフト方向とは反対方向にビ
ーム光αを戻すように制御部５からシフト機構６へ制御
信号が出力される。このシフト機構６によりビームシフ
タ２を構成する平行平面板２１，２２が微小移動される
と共にフィードバック制御され、ビーム光αがシフト前
の所定の光路上に戻される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光源から出射され試
料に向けて進行するビーム光の光路が変動する場合にこ
れを検出してビーム光の光路をシフトさせ、試料に対し
て常時定位置にビーム光を投光させるビームシフタ装置
に関するものである。
料に向けて進行するビーム光の光路が変動する場合にこ
れを検出してビーム光の光路をシフトさせ、試料に対し
て常時定位置にビーム光を投光させるビームシフタ装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば露光装置、ホログラフィ装置等の
種々の光学装置には、光源として各種のレーザが使用さ
れている。このレーザから出射するビーム光は、一般に
指向性が強く一方向に進行するという特長を有するが、
レーザの備えた共振器の熱的な変化等の内的要因や熱や
応力等の外的要因により、ビーム光の進行光路がシフト
する所謂ビームシフトを発生することがある。そこで、
このビームシフトを吸収する手段として、例えば図８に
示すような反射ミラー１００，１０１に回転機構（図
略）を設け、これによってビーム光のシフトを随時吸収
するように構成したものが知られている。なお、図中符
号１０２はレーザ，１０３はスリット，１０４は試料を
示すものである。
種々の光学装置には、光源として各種のレーザが使用さ
れている。このレーザから出射するビーム光は、一般に
指向性が強く一方向に進行するという特長を有するが、
レーザの備えた共振器の熱的な変化等の内的要因や熱や
応力等の外的要因により、ビーム光の進行光路がシフト
する所謂ビームシフトを発生することがある。そこで、
このビームシフトを吸収する手段として、例えば図８に
示すような反射ミラー１００，１０１に回転機構（図
略）を設け、これによってビーム光のシフトを随時吸収
するように構成したものが知られている。なお、図中符
号１０２はレーザ，１０３はスリット，１０４は試料を
示すものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成のものは、そのミラーの角度調整が非常に困難であ
り、またミラーが複数枚あればそのミラーの数だけ角度
調整する必要があるため、非常に面倒な作業となってい
る。さらに、このような構成のものは、ビーム光が平行
移動するわけではないので、複数のスリットを途中に設
けている場合には、前側のスリットを通過するようにビ
ーム光の位置を調整しても後のスリットをうまく通過で
きない場合があり、しかも試料に対して斜入射するとい
った問題を生じている。そこで、この発明は、上記した
問題点に鑑み、ビーム光のシフトの発生を検出し、この
シフトを吸収するようにビーム光を自動的に平行移動さ
せて元の光路上に戻すことができるビームシフタ装置を
提供することを目的とするものである。
構成のものは、そのミラーの角度調整が非常に困難であ
り、またミラーが複数枚あればそのミラーの数だけ角度
調整する必要があるため、非常に面倒な作業となってい
る。さらに、このような構成のものは、ビーム光が平行
移動するわけではないので、複数のスリットを途中に設
けている場合には、前側のスリットを通過するようにビ
ーム光の位置を調整しても後のスリットをうまく通過で
きない場合があり、しかも試料に対して斜入射するとい
った問題を生じている。そこで、この発明は、上記した
問題点に鑑み、ビーム光のシフトの発生を検出し、この
シフトを吸収するようにビーム光を自動的に平行移動さ
せて元の光路上に戻すことができるビームシフタ装置を
提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、光源
から出射し、試料に向けて投光するビーム光の光量バラ
ンスからビーム光のシフトを検出し、前記シフトを吸収
するようにビーム光を平行移動させて所定の光路上に戻
すビームシフタ装置であって、前記ビーム光の光軸に対
して夫々直交する２方向へのシフト用に配置した平行平
面板を有する光軸上に配置したビームシフタと、このビ
ームシフタの平行平面板を微動させるシフト手段と、前
記試料に投光されるビーム光の光量バランスを検出する
光量分布検出手段と、この光量分布検出手段から出力さ
れる信号からビーム光の試料に対するシフト方向を検出
すると共に、前記シフト手段の作動を制御し、ビーム光
のシフトを吸収する方向に光路を平行移動させる制御手
段とを備えたものである。
から出射し、試料に向けて投光するビーム光の光量バラ
ンスからビーム光のシフトを検出し、前記シフトを吸収
するようにビーム光を平行移動させて所定の光路上に戻
すビームシフタ装置であって、前記ビーム光の光軸に対
して夫々直交する２方向へのシフト用に配置した平行平
面板を有する光軸上に配置したビームシフタと、このビ
ームシフタの平行平面板を微動させるシフト手段と、前
記試料に投光されるビーム光の光量バランスを検出する
光量分布検出手段と、この光量分布検出手段から出力さ
れる信号からビーム光の試料に対するシフト方向を検出
すると共に、前記シフト手段の作動を制御し、ビーム光
のシフトを吸収する方向に光路を平行移動させる制御手
段とを備えたものである。
【０００５】
【作用】この発明では、ビーム光がシフトすると、光量
分布検出手段がビーム光のシフト方向を検出し、このシ
フトを吸収すべくシフト方向とは反対方向にビーム光を
戻すように制御手段から制御信号がシフト手段に出力さ
れ、このシフト手段によって平行平面板が微小移動され
ると共にフィードバック制御され、ビーム光がシフト前
の所定光路上に戻される。
分布検出手段がビーム光のシフト方向を検出し、このシ
フトを吸収すべくシフト方向とは反対方向にビーム光を
戻すように制御手段から制御信号がシフト手段に出力さ
れ、このシフト手段によって平行平面板が微小移動され
ると共にフィードバック制御され、ビーム光がシフト前
の所定光路上に戻される。
【０００６】
【実施例】以下この発明の一実施例について添付図面を
参照しながら説明する。図１はこの発明に係るビームシ
フタ装置を示すものであり、このビームシフタ装置１
は、ビームシフタ２と、光量分布センサ３と、センサ信
号入力部４と、制御部５と、シフト機構６とを備えてい
る。なお、図中符号７はレーザ、８は試料、９は発散レ
ンズ、１０はスペイシャルフィルタを示すものである。
ビームシフタ２は、図２に示す如く、ビーム光αの光軸
に対して夫々直交する２方向へのシフト用に配置した第
１，第２の平行平面板２１，２２で構成されており、同
図に示すようなモータ６１によって駆動するシフト機構
６により夫々所定方向に微動するようになっている。即
ち、第１平行平面板２１は、図２においてＸ−Ｚ平面に
対して垂直（Ｙ軸方向に平行）方向に立設配置されてお
り、Ｘ−Ｚ平面に沿いδ方向に回転させてビーム光αを
Ｘ方向に平行移動させるようになっている。また第２平
行平面板２２は、第１平行平面板２１と同様の方向に配
置されており、Ｘ軸方向に沿いβ，γ方向に回転させて
ビーム光αをＹ方向に平行移動させるようになってい
る。なお、これら第１，第２の平行平面板２１，２２
は、図３においてビーム光αが入射する入射面２１Ａ
（２２Ａ）と出射する出射面２１Ｂ（２２Ｂ）とが平行
になるように形成された屈折率ｎ，厚さｄを有する透明
な平面板である。
参照しながら説明する。図１はこの発明に係るビームシ
フタ装置を示すものであり、このビームシフタ装置１
は、ビームシフタ２と、光量分布センサ３と、センサ信
号入力部４と、制御部５と、シフト機構６とを備えてい
る。なお、図中符号７はレーザ、８は試料、９は発散レ
ンズ、１０はスペイシャルフィルタを示すものである。
ビームシフタ２は、図２に示す如く、ビーム光αの光軸
に対して夫々直交する２方向へのシフト用に配置した第
１，第２の平行平面板２１，２２で構成されており、同
図に示すようなモータ６１によって駆動するシフト機構
６により夫々所定方向に微動するようになっている。即
ち、第１平行平面板２１は、図２においてＸ−Ｚ平面に
対して垂直（Ｙ軸方向に平行）方向に立設配置されてお
り、Ｘ−Ｚ平面に沿いδ方向に回転させてビーム光αを
Ｘ方向に平行移動させるようになっている。また第２平
行平面板２２は、第１平行平面板２１と同様の方向に配
置されており、Ｘ軸方向に沿いβ，γ方向に回転させて
ビーム光αをＹ方向に平行移動させるようになってい
る。なお、これら第１，第２の平行平面板２１，２２
は、図３においてビーム光αが入射する入射面２１Ａ
（２２Ａ）と出射する出射面２１Ｂ（２２Ｂ）とが平行
になるように形成された屈折率ｎ，厚さｄを有する透明
な平面板である。
【０００７】そして、このビームシフタ２は、図３に示
す如く入射角θでビーム光αが斜入射すると、ビームシ
ェアリング作用によりビーム光αの光軸が次式で示すよ
うな横ずらし（シュアリング）δを受けることを利用し
てビーム光の平行移動を行なうようになっている。 δ＝〔（ｎ−１）ｄ／ｎ〕θ （ただし sinθ≒θのとき） 光量分布センサ３は、この実施例では透明な平面板３０
の一面において中央，上下，左右の都合５個所設けたフ
ォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５で構成されており、これらの
センサから出力される信号から光量バランスを検出し、
これによってビーム光のシフト方向を随時検出するよう
になっている。また、この実施例の光量分布センサ３
は、光量分布測定を行い、ビーム光のシフトの調整を行
うとき以外、即ち試料８へのビーム光の投光時にはビー
ム光の光路α上から後退させておくため、平面板３０に
は移動機構３１が付設されており、制御部５からの制御
によって移動機構３１を駆動させるようになっている。
なお、この光量分布センサは、ビーム光の光路の一部を
本来の光学系の光路から分岐させその分岐光路上に設け
てもよく、この場合には先の移動機構は必要ない。
す如く入射角θでビーム光αが斜入射すると、ビームシ
ェアリング作用によりビーム光αの光軸が次式で示すよ
うな横ずらし（シュアリング）δを受けることを利用し
てビーム光の平行移動を行なうようになっている。 δ＝〔（ｎ−１）ｄ／ｎ〕θ （ただし sinθ≒θのとき） 光量分布センサ３は、この実施例では透明な平面板３０
の一面において中央，上下，左右の都合５個所設けたフ
ォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５で構成されており、これらの
センサから出力される信号から光量バランスを検出し、
これによってビーム光のシフト方向を随時検出するよう
になっている。また、この実施例の光量分布センサ３
は、光量分布測定を行い、ビーム光のシフトの調整を行
うとき以外、即ち試料８へのビーム光の投光時にはビー
ム光の光路α上から後退させておくため、平面板３０に
は移動機構３１が付設されており、制御部５からの制御
によって移動機構３１を駆動させるようになっている。
なお、この光量分布センサは、ビーム光の光路の一部を
本来の光学系の光路から分岐させその分岐光路上に設け
てもよく、この場合には先の移動機構は必要ない。
【０００８】制御部５は、光量分布センサ３から出力さ
れる信号にもとづきビームシフタ２にフィードバック制
御をかけるようになっており、ＣＰＵが使用されてい
る。即ち、この制御部５は、センサ信号入力部４を介し
て光量分布センサ３からの信号を入力すると、ビーム光
がシフトしている場合にこの信号によりそのシフト方向
を検出し、そのシフトを吸収すべく、シフト機構６を随
時制御してシフト方向とは逆方向にビーム光を戻すよう
になっている。シフト機構６は、光量分布センサ３から
出力される信号にもとづき、制御部５を介して第１，第
２平行平面板２１，２２を微小移動させるものであり、
図２に示すような構成となっている。即ち、この実施例
のシフト機構６は、第１，第２シフト機構６Ａ，６Ｂか
ら構成されており、第１シフト機構６Ａは図示外のモー
タで基台６０を微小回転し、この基台６０上に載置した
第１平行平面板２１を微小回動させるようになってい
る。第２シフト機構６Ｂは、図２及びこの図２の要部を
示す図５において、モータ６１によって回転する回転体
６２に固着した偏心カム６２Ａを微小回動させ、引張り
バネ６３の弾性力でこの偏心カム６２Ａと圧接している
摩擦体６４を回動し、この摩擦体６４を固着した回転体
６５を微小回動することによって、軸６６と一体に第２
平行平面板２２を微小回動させるようになっている。
れる信号にもとづきビームシフタ２にフィードバック制
御をかけるようになっており、ＣＰＵが使用されてい
る。即ち、この制御部５は、センサ信号入力部４を介し
て光量分布センサ３からの信号を入力すると、ビーム光
がシフトしている場合にこの信号によりそのシフト方向
を検出し、そのシフトを吸収すべく、シフト機構６を随
時制御してシフト方向とは逆方向にビーム光を戻すよう
になっている。シフト機構６は、光量分布センサ３から
出力される信号にもとづき、制御部５を介して第１，第
２平行平面板２１，２２を微小移動させるものであり、
図２に示すような構成となっている。即ち、この実施例
のシフト機構６は、第１，第２シフト機構６Ａ，６Ｂか
ら構成されており、第１シフト機構６Ａは図示外のモー
タで基台６０を微小回転し、この基台６０上に載置した
第１平行平面板２１を微小回動させるようになってい
る。第２シフト機構６Ｂは、図２及びこの図２の要部を
示す図５において、モータ６１によって回転する回転体
６２に固着した偏心カム６２Ａを微小回動させ、引張り
バネ６３の弾性力でこの偏心カム６２Ａと圧接している
摩擦体６４を回動し、この摩擦体６４を固着した回転体
６５を微小回動することによって、軸６６と一体に第２
平行平面板２２を微小回動させるようになっている。
【０００９】次に、制御部６によるビームシフトの補正
制御方法について図６を参照しながら説明する。まず、
制御部６を介して移動機構３１を作動し、光量分布セン
サ３をビーム光αの光路上に繰り出して定位置にセット
しておく。 （１）レーザ７を作動し、ビーム光αを出射する（第１
ステップＳ１）。 （２）すると、光量分布センサ３からは受光した光量に
応じた検出信号がセンサ信号入力部４を介して制御部５
に出力され、光量測定される（第２ステップＳ２）。な
お、ここでフォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５から出力される
検出信号をそれぞれＰ１〜Ｐ５とする。 （３）次に、これらの信号Ｐ１〜Ｐ５を入力した制御部
５が次に示す所定の演算を行う（第３ステップＳ３）。 左方偏位の検出：ＰＬ＝Ｐ１−Ｐ４ 右方偏位の検出：ＰＲ＝Ｐ１−Ｐ５ 上方偏位の検出：ＰＵ＝Ｐ１−Ｐ２ 下方偏位の検出：ＰＤ＝Ｐ１−Ｐ３ （４）第３ステップＳ３にて算出したデータから、次式
が許容値（Ｃ1 ）内にあるか否か、即ち
制御方法について図６を参照しながら説明する。まず、
制御部６を介して移動機構３１を作動し、光量分布セン
サ３をビーム光αの光路上に繰り出して定位置にセット
しておく。 （１）レーザ７を作動し、ビーム光αを出射する（第１
ステップＳ１）。 （２）すると、光量分布センサ３からは受光した光量に
応じた検出信号がセンサ信号入力部４を介して制御部５
に出力され、光量測定される（第２ステップＳ２）。な
お、ここでフォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５から出力される
検出信号をそれぞれＰ１〜Ｐ５とする。 （３）次に、これらの信号Ｐ１〜Ｐ５を入力した制御部
５が次に示す所定の演算を行う（第３ステップＳ３）。 左方偏位の検出：ＰＬ＝Ｐ１−Ｐ４ 右方偏位の検出：ＰＲ＝Ｐ１−Ｐ５ 上方偏位の検出：ＰＵ＝Ｐ１−Ｐ２ 下方偏位の検出：ＰＤ＝Ｐ１−Ｐ３ （４）第３ステップＳ３にて算出したデータから、次式
が許容値（Ｃ1 ）内にあるか否か、即ち
【００１０】
【数１】
【００１１】を満足するか否かを判別し、これから左右
方向でのビーム光の偏位の有無を検出する（第４ステッ
プＳ４）。 （５）このＡ式を満す場合には、次式が許容値（Ｃ2 ）
内にあるか否か、即ち
方向でのビーム光の偏位の有無を検出する（第４ステッ
プＳ４）。 （５）このＡ式を満す場合には、次式が許容値（Ｃ2 ）
内にあるか否か、即ち
【００１２】
【数２】
【００１３】を満足するか否かを判別し、これから上下
方向でのビーム光の偏位の有無を検出する（第５ステッ
プＳ５）。 （６）そして、このＢ式を満す場合には、ビーム光には
ビームシフトが発生していないと判別して、ビームシフ
トの補正が必要なくこれにより補正作業が終了する（第
６ステップＳ６）。 （７）また、第４ステップＳ４において、（Ａ）式を満
していない場合には、第７ステップＳ７へ移り、ＰＬ＞
ＰＲ……（Ｃ）を満すか否かを判別する（第７ステップ
Ｓ７）。
方向でのビーム光の偏位の有無を検出する（第５ステッ
プＳ５）。 （６）そして、このＢ式を満す場合には、ビーム光には
ビームシフトが発生していないと判別して、ビームシフ
トの補正が必要なくこれにより補正作業が終了する（第
６ステップＳ６）。 （７）また、第４ステップＳ４において、（Ａ）式を満
していない場合には、第７ステップＳ７へ移り、ＰＬ＞
ＰＲ……（Ｃ）を満すか否かを判別する（第７ステップ
Ｓ７）。
【００１４】（８）この第７ステップＳ７において、
（Ｃ）式を満足する場合にはビーム光が右方へ偏位して
いるので、第８ステップＳ８へ移り、図７において第１
平行平面板２１を反時計回りに微小・回動させるべく、
制御部５から第１シフト機構６Ａのモータへ制御信号が
出力される（第８ステップＳ８）。これにより、右方に
偏位していたビーム光の光路が左方へ戻されるが、この
とき光量分布センサ３によってフィードバック制御させ
るため、第２ステップＳ２以下の操作が自動的に繰り返
される。即ち、フォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５から出力さ
れる信号Ｐ１〜Ｐ５が逐次制御部５へ出力され、各式
（Ａ），（Ｂ）を満足するところで先のモータへの信号
の出力が停止する。 （９）また、第７ステップＳ７において、（Ｃ）式を満
足しない場合にはビーム光が左方へ偏位しているので、
第９ステップＳ９へ移り、図７において第１平行平面板
２１を第８ステップＳ８とは逆に時計回りに微小回動さ
せるべく、制御部５から先のモータへ所定の制御信号が
出力される（第９ステップＳ９）。
（Ｃ）式を満足する場合にはビーム光が右方へ偏位して
いるので、第８ステップＳ８へ移り、図７において第１
平行平面板２１を反時計回りに微小・回動させるべく、
制御部５から第１シフト機構６Ａのモータへ制御信号が
出力される（第８ステップＳ８）。これにより、右方に
偏位していたビーム光の光路が左方へ戻されるが、この
とき光量分布センサ３によってフィードバック制御させ
るため、第２ステップＳ２以下の操作が自動的に繰り返
される。即ち、フォトセンサＰＳ１〜ＰＳ５から出力さ
れる信号Ｐ１〜Ｐ５が逐次制御部５へ出力され、各式
（Ａ），（Ｂ）を満足するところで先のモータへの信号
の出力が停止する。 （９）また、第７ステップＳ７において、（Ｃ）式を満
足しない場合にはビーム光が左方へ偏位しているので、
第９ステップＳ９へ移り、図７において第１平行平面板
２１を第８ステップＳ８とは逆に時計回りに微小回動さ
せるべく、制御部５から先のモータへ所定の制御信号が
出力される（第９ステップＳ９）。
【００１５】（10）また、第５ステップＳ５において、
（Ｂ）式を満足していない場合には、第１０ステップＳ
１０へ移り、ＰＵ＞ＰＤ……（Ｄ）を満すか否かを判別
する（第１０ステップＳ１０）。 （11）この第１０ステップＳ１０において、（Ｄ）式を
満足する場合には、ビーム光が下方に偏位しているの
で、第１１ステップＳ１１へ移り、図２において第２平
行平面板２２をγ方向に微小回動させるべく、制御部５
から第２シフト機構６Ｂのモータ６１へ制御信号が出力
される（第１１ステップＳ１１）。これにより、下方に
偏位していたビーム光の光路が上方に戻されるが、フィ
ードバック制御させるため、ビーム光が元の位置に戻る
まで第２ステップＳ２以下の操作が自動的に繰り返され
る。 （12）また、第１０ステップＳ１０において、（Ｄ）式
を満足していない場合には、第１２ステップＳ１２へ移
り、図２において第１１ステップＳ１１とは逆に第２平
行平面板２２をβ方向に微小回動させるべく、先のモー
タ６１へ制御部５から所定の信号が出力される（第１２
ステップＳ１２）。 これにより、上方に偏位していたビーム光の光路が下方
に戻されるが、フィードバック制御させるため、ビーム
光が元の位置に戻るまで第２ステップＳ２以下の操作が
自動的に繰り返される。
（Ｂ）式を満足していない場合には、第１０ステップＳ
１０へ移り、ＰＵ＞ＰＤ……（Ｄ）を満すか否かを判別
する（第１０ステップＳ１０）。 （11）この第１０ステップＳ１０において、（Ｄ）式を
満足する場合には、ビーム光が下方に偏位しているの
で、第１１ステップＳ１１へ移り、図２において第２平
行平面板２２をγ方向に微小回動させるべく、制御部５
から第２シフト機構６Ｂのモータ６１へ制御信号が出力
される（第１１ステップＳ１１）。これにより、下方に
偏位していたビーム光の光路が上方に戻されるが、フィ
ードバック制御させるため、ビーム光が元の位置に戻る
まで第２ステップＳ２以下の操作が自動的に繰り返され
る。 （12）また、第１０ステップＳ１０において、（Ｄ）式
を満足していない場合には、第１２ステップＳ１２へ移
り、図２において第１１ステップＳ１１とは逆に第２平
行平面板２２をβ方向に微小回動させるべく、先のモー
タ６１へ制御部５から所定の信号が出力される（第１２
ステップＳ１２）。 これにより、上方に偏位していたビーム光の光路が下方
に戻されるが、フィードバック制御させるため、ビーム
光が元の位置に戻るまで第２ステップＳ２以下の操作が
自動的に繰り返される。
【００１６】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明に係
るビームシフタ装置によれば、ビーム光がシフトする
と、光量分布検出手段がビーム光のシフト方向を検出
し、このシフト方向とは反対向きにビーム光を戻すよう
に制御手段からシフト手段に出力され、ビームシフタを
構成する平行平面板がそのシフト手段によって微小移動
される。これによってビーム光が自動的にシフト前の所
定光路上に戻されるようになるので、ビームシフトの発
生に対して自動補正を行うことが可能となり、しかも正
確に、かつ確実にビームシフトの補正が可能となる。
るビームシフタ装置によれば、ビーム光がシフトする
と、光量分布検出手段がビーム光のシフト方向を検出
し、このシフト方向とは反対向きにビーム光を戻すよう
に制御手段からシフト手段に出力され、ビームシフタを
構成する平行平面板がそのシフト手段によって微小移動
される。これによってビーム光が自動的にシフト前の所
定光路上に戻されるようになるので、ビームシフトの発
生に対して自動補正を行うことが可能となり、しかも正
確に、かつ確実にビームシフトの補正が可能となる。
【図１】この発明に係るビームシフタ装置を示す構成ブ
ロック図。
ロック図。
【図２】この発明に係るビームシフタとその駆動を行う
シフト機構を示す破断平面図。
シフト機構を示す破断平面図。
【図３】この発明に係るビームシフタの作用を示す説明
図。
図。
【図４】この発明に係る光量分布センサを示す正面図。
【図５】図２に示すシフト機構のＶ−Ｖ矢視断面図。
【図６】この発明に係るビームシフトの補正方法を示す
フローチャート。
フローチャート。
【図７】この発明に係るビームシフタの作用を示す光路
図。
図。
【図８】従来のビームシフト補正方法を示す説明図。
１ ビームシフタ装置 ２ ビームシフタ ３ 光量分布センサ（光量分布検出手段） ５ 制御部 ６ シフト機構 ７ 光源 ８ 試料 ２１，２２ 第１，第２平行平面板
Claims (1)
- 【請求項１】 光源から出射し試料に向けて投光するビ
ーム光の光量バランスからビーム光のシフトを検出し、
前記シフトを吸収するようにビーム光を平行移動させて
所定の光路上に戻すビームシフタ装置であって、 前記ビーム光の光軸に対して夫々直交する２方向に配置
した平行平面板を有し、光軸上に配置したビームシフタ
と、 このビームシフタの平行平面板を微動させるシフト手段
と、 前記試料に投光されるビーム光の光量バランスを検出す
る光量分布検出手段と、 この光量分布検出手段から出力される信号からビーム光
の試料に対するシフト方向を検出すると共に、前記シフ
ト手段の作動を制御し、ビーム光のシフトを吸収する方
向に光路を平行移動させる制御手段とを備えたことを特
徴とするビームシフタ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4137871A JPH05307156A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | ビームシフタ装置 |
| US08/055,016 US5299049A (en) | 1992-04-30 | 1993-04-30 | Beam shifting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4137871A JPH05307156A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | ビームシフタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05307156A true JPH05307156A (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=15208663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4137871A Pending JPH05307156A (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | ビームシフタ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5299049A (ja) |
| JP (1) | JPH05307156A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175451A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5877806A (en) * | 1994-10-31 | 1999-03-02 | Ohtsuka Patent Office | Image sensing apparatus for obtaining high resolution computer video signals by performing pixel displacement using optical path deflection |
| WO1997006462A1 (en) * | 1995-08-09 | 1997-02-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Rotating optical system for laser machining apparatus |
| JP3257961B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2002-02-18 | 富士通株式会社 | 画像形成装置 |
| US6560382B1 (en) | 1999-02-18 | 2003-05-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | System for alternately directing optical energy through multiple optical modulation channels |
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| DE102005019757A1 (de) * | 2005-04-28 | 2006-11-02 | Sms Elotherm Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln von Flächen metallischer Bauelemente mittels Laserstrahls |
| IT202100015224A1 (it) * | 2021-06-10 | 2022-12-10 | Giorgio Pisani | Sistema migliorato di misurazione di spostamenti o scorrimenti longitudinali di rotaia, per controlli anche su binari ferroviari in esercizio |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2180736B1 (ja) * | 1972-04-15 | 1977-04-29 | Elektro Optik Gmbh & Co Kg | |
| US3762793A (en) * | 1972-05-24 | 1973-10-02 | Aga Ab | Optical compensation device |
| US4850686A (en) * | 1987-02-06 | 1989-07-25 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Apparatus for adjusting light beam direction |
-
1992
- 1992-04-30 JP JP4137871A patent/JPH05307156A/ja active Pending
-
1993
- 1993-04-30 US US08/055,016 patent/US5299049A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175451A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5299049A (en) | 1994-03-29 |
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