JPH0530760A - 回転アクチユエ−タ - Google Patents
回転アクチユエ−タInfo
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- JPH0530760A JPH0530760A JP3176579A JP17657991A JPH0530760A JP H0530760 A JPH0530760 A JP H0530760A JP 3176579 A JP3176579 A JP 3176579A JP 17657991 A JP17657991 A JP 17657991A JP H0530760 A JPH0530760 A JP H0530760A
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- rotating body
- driving piezoelectric
- elastic body
- casing
- piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、弾性体に進行波を発生させて回転
体を回転駆動する場合に、回転体の回転駆動を長期間に
わたって安定して行えるようにした回転アクチュエ−タ
を提供することを目的とする。 【構成】ケ−シング21と、円盤部24aと軸部24b
を有し、軸部24bがケ−シング21に回転自在に支持
されて設けられた回転体24と、ア−ム状に形成され一
端がケ−シング21の周辺部に固定され他端が円盤部2
4aに対向して設けられた複数の駆動用圧電素子26
と、リング状に形成され各駆動用圧電素子26の他端に
結合されて設けられ駆動用圧電素子26によって振動さ
せられて進行波を発生する弾性体27と、弾性体27と
回転体24の円盤部24aとの間にこれら両者に接触し
て設けられた転動体30とを具備したことを特徴とす
る。
体を回転駆動する場合に、回転体の回転駆動を長期間に
わたって安定して行えるようにした回転アクチュエ−タ
を提供することを目的とする。 【構成】ケ−シング21と、円盤部24aと軸部24b
を有し、軸部24bがケ−シング21に回転自在に支持
されて設けられた回転体24と、ア−ム状に形成され一
端がケ−シング21の周辺部に固定され他端が円盤部2
4aに対向して設けられた複数の駆動用圧電素子26
と、リング状に形成され各駆動用圧電素子26の他端に
結合されて設けられ駆動用圧電素子26によって振動さ
せられて進行波を発生する弾性体27と、弾性体27と
回転体24の円盤部24aとの間にこれら両者に接触し
て設けられた転動体30とを具備したことを特徴とす
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は圧電素子を利用して回
転体を回転駆動する回転アクチュエ−タに関する。
転体を回転駆動する回転アクチュエ−タに関する。
【0002】
【従来の技術】近時、回転アクチュエ−タの小型、軽量
化を計るために、駆動源として駆動用圧電素子をステ−
タとして利用して進行波を発生させ、その進行波によっ
てロ−タを回転駆動する、いわゆる超音波モ−タが実用
化されている。
化を計るために、駆動源として駆動用圧電素子をステ−
タとして利用して進行波を発生させ、その進行波によっ
てロ−タを回転駆動する、いわゆる超音波モ−タが実用
化されている。
【0003】図3は従来の回転アクチュエ−タを示す。
同図中1はケ−シングである。このケ−シング1は容器
状の本体部1aと、この本体部1aの開口を閉塞した蓋
部1bとから構成されている。
同図中1はケ−シングである。このケ−シング1は容器
状の本体部1aと、この本体部1aの開口を閉塞した蓋
部1bとから構成されている。
【0004】上記蓋部1bの中央部分には下部ラジアル
軸受3が設けられ、この下部ラジアル軸受3にはロ−タ
となる回転体4の円盤部5の下面側に突設された第1の
支軸6が回転自在に設けられている。上記円盤部5の上
面側には第2の支軸7が突設されている。この第2の支
軸7は上記本体部1aに設けられた上部ラジアル軸受8
に回転自在に支持されている。
軸受3が設けられ、この下部ラジアル軸受3にはロ−タ
となる回転体4の円盤部5の下面側に突設された第1の
支軸6が回転自在に設けられている。上記円盤部5の上
面側には第2の支軸7が突設されている。この第2の支
軸7は上記本体部1aに設けられた上部ラジアル軸受8
に回転自在に支持されている。
【0005】上記ケ−シング1内の上記蓋部1bと円盤
部5との間には、ステ−タとなるリング状の駆動用圧電
気素子8と、この駆動用圧電素子8に接合された同じく
リング状の弾性体9とが設けられている。この弾性体9
の上面には環状突起10が突設されている。この環状突
起10には周方向に所定間隔で多数の溝11が形成さ
れ、それによって環状突起10を周方向に振動し易くし
ている。
部5との間には、ステ−タとなるリング状の駆動用圧電
気素子8と、この駆動用圧電素子8に接合された同じく
リング状の弾性体9とが設けられている。この弾性体9
の上面には環状突起10が突設されている。この環状突
起10には周方向に所定間隔で多数の溝11が形成さ
れ、それによって環状突起10を周方向に振動し易くし
ている。
【0006】上記駆動用圧電素子8には周知のように周
方向に分割された複数の電極(図示せず)が接合されて
いる。これら電極には交流電圧が位相をπ/4づつずら
して印加されるようになっている。駆動用圧電素子8に
交流電圧を印加すれば、超音波振動が発生し、その超音
波振動によって上記弾性体9の環状突起10には周方向
に沿って進行する進行波が発生する。
方向に分割された複数の電極(図示せず)が接合されて
いる。これら電極には交流電圧が位相をπ/4づつずら
して印加されるようになっている。駆動用圧電素子8に
交流電圧を印加すれば、超音波振動が発生し、その超音
波振動によって上記弾性体9の環状突起10には周方向
に沿って進行する進行波が発生する。
【0007】一方、上記回転体4の円盤部5の下面に
は、周方向に沿って環状溝12が形成されている。この
環状溝12の底面には摩擦係数の大きな材料からなるラ
イニング材13が設けられている。このライニング材1
3は上記環状突起10に圧接している。
は、周方向に沿って環状溝12が形成されている。この
環状溝12の底面には摩擦係数の大きな材料からなるラ
イニング材13が設けられている。このライニング材1
3は上記環状突起10に圧接している。
【0008】したがって、上記駆動用圧電素子8に交流
電圧を印加し、弾性体9の環状突起10に進行波を発生
させれば、この環状突起10にライニング材13を介し
て圧接した回転体4が上記ライニング材13との摩擦抵
抗によって回転駆動されることになる。
電圧を印加し、弾性体9の環状突起10に進行波を発生
させれば、この環状突起10にライニング材13を介し
て圧接した回転体4が上記ライニング材13との摩擦抵
抗によって回転駆動されることになる。
【0009】ところで、このような構成の回転アクチュ
エ−タによると、弾性体9に発生する進行波をライニン
グ材13の摩擦抵抗によって回転体4に伝達するように
している。そのため、使用にともなうライニング材13
の摩耗によって上記ライニング材13と回転体4との摩
擦抵抗が低下することが避けられないので、回転体4の
出力が早期に低下するということがあった。つまり、回
転アクチュエ−タの寿命が短いということがあった。
エ−タによると、弾性体9に発生する進行波をライニン
グ材13の摩擦抵抗によって回転体4に伝達するように
している。そのため、使用にともなうライニング材13
の摩耗によって上記ライニング材13と回転体4との摩
擦抵抗が低下することが避けられないので、回転体4の
出力が早期に低下するということがあった。つまり、回
転アクチュエ−タの寿命が短いということがあった。
【0010】また、ケ−シング1から突出した回転体4
の第2の支軸7に力を加えて上記回転体4を回転させる
と、回転体4の円盤部5とライニング材13とが無理に
擦られることになる。すると、ライニング13が損傷し
て、上記円盤部5との接触抵抗が低下するから、その場
合も回転体4の出力が低下することになる。
の第2の支軸7に力を加えて上記回転体4を回転させる
と、回転体4の円盤部5とライニング材13とが無理に
擦られることになる。すると、ライニング13が損傷し
て、上記円盤部5との接触抵抗が低下するから、その場
合も回転体4の出力が低下することになる。
【0011】さらに、駆動用圧電素子8の超音波振動に
よって弾性体9に大きな振幅の進行波を発生させるた
め、上記弾性体9に環状突起10を形成し、この環状突
起10の周方向に所定間隔で多数の溝11を形成するよ
うにしている。そのため、弾性体9を厚手の材料で形成
しなければならないから、アクチュエ−タの大型化や高
重量化を招くばかりか、溝11の加工は切削加工によら
なければならないから、製作に多くの手間が掛かるなど
のことがあった。
よって弾性体9に大きな振幅の進行波を発生させるた
め、上記弾性体9に環状突起10を形成し、この環状突
起10の周方向に所定間隔で多数の溝11を形成するよ
うにしている。そのため、弾性体9を厚手の材料で形成
しなければならないから、アクチュエ−タの大型化や高
重量化を招くばかりか、溝11の加工は切削加工によら
なければならないから、製作に多くの手間が掛かるなど
のことがあった。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波振動による進行波を利用した回転アクチュエ−タ
は、弾性体に発生する進行波をライニング材の摩擦抵抗
を利用して回転体に伝達していたので、寿命が短いばか
りか、回転体に外力を加えて回転させると、上記ライニ
ング材を損傷させてしまうことがあり、さらには弾性体
の厚肉化や加工の複雑化を招くなどのことがあった。
音波振動による進行波を利用した回転アクチュエ−タ
は、弾性体に発生する進行波をライニング材の摩擦抵抗
を利用して回転体に伝達していたので、寿命が短いばか
りか、回転体に外力を加えて回転させると、上記ライニ
ング材を損傷させてしまうことがあり、さらには弾性体
の厚肉化や加工の複雑化を招くなどのことがあった。
【0013】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、弾性体に発生する進行
波をライニング材を用いずに回転体に伝達することがで
きるとともに、上記弾性体を薄肉化できるようにした回
転アクチュエ−タを提供することにある。
ので、その目的とするところは、弾性体に発生する進行
波をライニング材を用いずに回転体に伝達することがで
きるとともに、上記弾性体を薄肉化できるようにした回
転アクチュエ−タを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、軸部とこの軸部に同軸になる円盤部とを
有し上記軸部を中心にして回転自在になる回転体と、こ
の回転体を上記軸部と同軸に収納したケ−シングと、こ
のケ−シング内に放射方向にほぼ等角度で設けられそれ
ぞれ一端部が上記円盤部の円盤面に対向し他端部が固定
された複数の駆動用圧電素子と、リング状に形成され上
記円盤面と上記駆動用圧電素子の各一端部との間になる
とともにこれら一端部に結合されて設けられ上記駆動用
圧電素子によって振動させられることで進行波を発生す
る弾性体と、この弾性体と上記回転体の円盤面にそれぞ
れ接触して設けられた転動体とを具備したことを特徴と
する。
にこの発明は、軸部とこの軸部に同軸になる円盤部とを
有し上記軸部を中心にして回転自在になる回転体と、こ
の回転体を上記軸部と同軸に収納したケ−シングと、こ
のケ−シング内に放射方向にほぼ等角度で設けられそれ
ぞれ一端部が上記円盤部の円盤面に対向し他端部が固定
された複数の駆動用圧電素子と、リング状に形成され上
記円盤面と上記駆動用圧電素子の各一端部との間になる
とともにこれら一端部に結合されて設けられ上記駆動用
圧電素子によって振動させられることで進行波を発生す
る弾性体と、この弾性体と上記回転体の円盤面にそれぞ
れ接触して設けられた転動体とを具備したことを特徴と
する。
【0015】
【作用】上記の構成によれば、駆動用圧電素子は一端が
ケ−シングに固定されたア−ム状であるから、他端にお
ける振動の振幅を大きくすることができ、それによって
弾性体を厚肉化しなくとも、この弾性体に振幅の大きな
超音波振動の進行波を発生させることができるとととも
に、その進行波によって転動体を転動させることができ
るから、その転動による回転力で回転体が回転駆動され
る。
ケ−シングに固定されたア−ム状であるから、他端にお
ける振動の振幅を大きくすることができ、それによって
弾性体を厚肉化しなくとも、この弾性体に振幅の大きな
超音波振動の進行波を発生させることができるとととも
に、その進行波によって転動体を転動させることができ
るから、その転動による回転力で回転体が回転駆動され
る。
【0016】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図1と図2を参
照して説明する。図1に示す回転アクチュエ−タは上部
ケ−シング21aと下部ケ−シング21bとに分割され
たケ−シング21を備えている。上記上部ケ−シング2
1aの中央部分内面側には環状の収容部22が形成さ
れ、この収容部22にはラジアル軸受23が設けられて
いる。このラジアル軸受23は上記収容部22の内周面
に保持された外輪23aと、この外輪23aにボ−ル2
3bを介して回転自在に設けられた内輪23cとからな
る。この内輪23cには、円盤部24aおよびこの円盤
部24aの上面から突設された軸部24bとからなる回
転体24の上記軸部24bが回転自在かつ外部に突出さ
せて支持されている。
照して説明する。図1に示す回転アクチュエ−タは上部
ケ−シング21aと下部ケ−シング21bとに分割され
たケ−シング21を備えている。上記上部ケ−シング2
1aの中央部分内面側には環状の収容部22が形成さ
れ、この収容部22にはラジアル軸受23が設けられて
いる。このラジアル軸受23は上記収容部22の内周面
に保持された外輪23aと、この外輪23aにボ−ル2
3bを介して回転自在に設けられた内輪23cとからな
る。この内輪23cには、円盤部24aおよびこの円盤
部24aの上面から突設された軸部24bとからなる回
転体24の上記軸部24bが回転自在かつ外部に突出さ
せて支持されている。
【0017】上記上部ケ−シング21aの内面周辺部に
は周方向全長にわたって段部25が形成されている。こ
の段部25にはア−ム状に形成された2本で組をなす複
数組、この実施例では3組の駆動用圧電素子26がそれ
ぞれ一端を固定して設けられている。各駆動用圧電素子
26には交流電圧を印加するための図示しない電極が設
けられているとともに、各組の駆動用圧電素子26の一
方と他方とには交流電圧が位相をπ/4づつずらして印
加されるようになっている。
は周方向全長にわたって段部25が形成されている。こ
の段部25にはア−ム状に形成された2本で組をなす複
数組、この実施例では3組の駆動用圧電素子26がそれ
ぞれ一端を固定して設けられている。各駆動用圧電素子
26には交流電圧を印加するための図示しない電極が設
けられているとともに、各組の駆動用圧電素子26の一
方と他方とには交流電圧が位相をπ/4づつずらして印
加されるようになっている。
【0018】各駆動用圧電素子26の他端側下面には、
金属などの薄い板材をプレス加工してリング状に形成さ
れた弾性体27の上面が接合されている。この弾性体2
7の下面と、上記回転体24の円盤部24aの上面に周
方向全長にわたって形成されたガイド溝28との間に
は、リング状の保持板29に形成された保持孔29aに
回転自在に保持された鋼球からなる転動体30が上記弾
性体27と円盤部24aとに圧接して回転自在に設けら
れている。
金属などの薄い板材をプレス加工してリング状に形成さ
れた弾性体27の上面が接合されている。この弾性体2
7の下面と、上記回転体24の円盤部24aの上面に周
方向全長にわたって形成されたガイド溝28との間に
は、リング状の保持板29に形成された保持孔29aに
回転自在に保持された鋼球からなる転動体30が上記弾
性体27と円盤部24aとに圧接して回転自在に設けら
れている。
【0019】各組の駆動用圧電素子26の一方と他方と
に、それぞれ位相をπ/4ずらした交流電圧を印加する
ことで、上記弾性体27には超音波振動による進行波を
発生させることができるようになっている。
に、それぞれ位相をπ/4ずらした交流電圧を印加する
ことで、上記弾性体27には超音波振動による進行波を
発生させることができるようになっている。
【0020】上記構成の回転アクチュエ−タによれば、
組をなす一方の駆動用圧電素子26と他方の駆動用圧電
素子26とに位相がπ/4ずれた交流電圧を印加し、弾
性体27に超音波振動による進行波を発生させると、こ
の進行波によって弾性体27に圧接した転動体30が回
転体24の円盤部24aの上面で転動する。転動体30
が転動すれば、この転動体30が圧接した上記回転体2
4が転動体30の転動方向と同方向に回転駆動されるこ
とになる。
組をなす一方の駆動用圧電素子26と他方の駆動用圧電
素子26とに位相がπ/4ずれた交流電圧を印加し、弾
性体27に超音波振動による進行波を発生させると、こ
の進行波によって弾性体27に圧接した転動体30が回
転体24の円盤部24aの上面で転動する。転動体30
が転動すれば、この転動体30が圧接した上記回転体2
4が転動体30の転動方向と同方向に回転駆動されるこ
とになる。
【0021】すなわち、上記回転アクチュエ−タは、弾
性体27に発生する進行波によって転動体30を転動さ
せ、この転動体30の転動によって回転体24を回転さ
せる、いわゆる転がり摩擦を利用した構成であるから、
転動体30と回転体24の円盤部24aとの接触状態が
変化しずらい。そのため、回転体24を長期間にわたっ
て安定した状態で回転させることができる。
性体27に発生する進行波によって転動体30を転動さ
せ、この転動体30の転動によって回転体24を回転さ
せる、いわゆる転がり摩擦を利用した構成であるから、
転動体30と回転体24の円盤部24aとの接触状態が
変化しずらい。そのため、回転体24を長期間にわたっ
て安定した状態で回転させることができる。
【0022】また、回転体24が転動体30との転がり
摩擦によって回転駆動されるため、転動体30の転動が
上記回転体24に確実に伝達される。それによって、回
転体24を効率よく回転させることができる。つまり、
回転体24の回転速度を速くすることができる。さら
に、回転体24の軸部24bに外力を加えて回転させて
も、この回転体24の円盤部24aに圧接した転動体3
0が転動し、上記円盤部24aと転動体30との間に無
理な力が発生するようなことがないから、回転体24や
転動体30などが損傷することがない。
摩擦によって回転駆動されるため、転動体30の転動が
上記回転体24に確実に伝達される。それによって、回
転体24を効率よく回転させることができる。つまり、
回転体24の回転速度を速くすることができる。さら
に、回転体24の軸部24bに外力を加えて回転させて
も、この回転体24の円盤部24aに圧接した転動体3
0が転動し、上記円盤部24aと転動体30との間に無
理な力が発生するようなことがないから、回転体24や
転動体30などが損傷することがない。
【0023】一方、上記駆動用圧電素子26は一端が上
部ケ−シング21aの内周部に固定されたア−ム状に形
成され、他端に弾性体27が接合されている。つまり、
上記駆動用圧電素子26は片持ち梁となっているから、
超音波振動させたときに他端が大きな振幅で振動する。
そのため、弾性体27を薄い金属板で形成しても、この
弾性体27を大きな振幅で振動させ、進行波を効率よく
発生させることができるから、回転体24の回転駆動も
効率よく行える。
部ケ−シング21aの内周部に固定されたア−ム状に形
成され、他端に弾性体27が接合されている。つまり、
上記駆動用圧電素子26は片持ち梁となっているから、
超音波振動させたときに他端が大きな振幅で振動する。
そのため、弾性体27を薄い金属板で形成しても、この
弾性体27を大きな振幅で振動させ、進行波を効率よく
発生させることができるから、回転体24の回転駆動も
効率よく行える。
【0024】上記弾性体27を薄い金属板で形成するこ
とができれば、この弾性体27をプレス加工することが
可能となる。すなわち、従来のように厚手の板材を用
い、しかもその板材が振動し易いように溝加工するとい
うことをせずにすむから、上記弾性体27の製作が容易
となるばかりか、全体形状の薄型化や軽量化が可能とな
る。
とができれば、この弾性体27をプレス加工することが
可能となる。すなわち、従来のように厚手の板材を用
い、しかもその板材が振動し易いように溝加工するとい
うことをせずにすむから、上記弾性体27の製作が容易
となるばかりか、全体形状の薄型化や軽量化が可能とな
る。
【0025】なお、上記一実施例では転動体として球体
を用いた場合について説明したが、球体に代わりロ−ラ
であってもよい。また、駆動用圧電素子を3組設けた
が、その数はなんら限定されるものでなく、さらにケ−
シングの周方向に所定間隔で複数の駆動用圧電素子を設
け、1つおきの駆動用圧電素子に位相がπ/4づつずれ
た交流電圧を印加するようにしてもい。
を用いた場合について説明したが、球体に代わりロ−ラ
であってもよい。また、駆動用圧電素子を3組設けた
が、その数はなんら限定されるものでなく、さらにケ−
シングの周方向に所定間隔で複数の駆動用圧電素子を設
け、1つおきの駆動用圧電素子に位相がπ/4づつずれ
た交流電圧を印加するようにしてもい。
【0026】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、ケ−シン
グに回転体を回転自在に設ける一方、このケ−シングの
内周部にア−ム状に形成された複数の駆動用圧電素子の
一端を固定して設け、これら駆動用圧電素子の他端にリ
ング状の弾性体を設け、この弾性体と上記回転体の円盤
部との間に、これら両者に圧接させて転動体を設けるよ
うにした。
グに回転体を回転自在に設ける一方、このケ−シングの
内周部にア−ム状に形成された複数の駆動用圧電素子の
一端を固定して設け、これら駆動用圧電素子の他端にリ
ング状の弾性体を設け、この弾性体と上記回転体の円盤
部との間に、これら両者に圧接させて転動体を設けるよ
うにした。
【0027】そのため、上記回転体は、上記弾性体に発
生する進行波によって転動される転動体とのころがり摩
擦で回転駆動されるから、上記回転体を長期間にわたっ
て安定した状態で駆動することができる。しかも、回転
体と転動体とはころがり摩擦なので、回転体に転動体の
転動を効率よく伝達することができる。さらに、回転体
に外力を加えて回転させても、転動体が回転して回転体
との間に無理な力が生じることがないから、回転体や転
動体が損傷するようなことがない。
生する進行波によって転動される転動体とのころがり摩
擦で回転駆動されるから、上記回転体を長期間にわたっ
て安定した状態で駆動することができる。しかも、回転
体と転動体とはころがり摩擦なので、回転体に転動体の
転動を効率よく伝達することができる。さらに、回転体
に外力を加えて回転させても、転動体が回転して回転体
との間に無理な力が生じることがないから、回転体や転
動体が損傷するようなことがない。
【0028】また、ア−ム状に形成された駆動用圧電素
子の一端をケ−シングに固定し、他端に弾性体を結合し
たので、弾性体を薄い板材で形成しても、超音波振動に
よる進行波を効率よく発生させることができる。つま
り、弾性体を薄い板材で形成することが可能となるか
ら、アクチュエ−タの薄型化や軽量化を計ることができ
るばかりか、その製造の容易化を計ることもできる。
子の一端をケ−シングに固定し、他端に弾性体を結合し
たので、弾性体を薄い板材で形成しても、超音波振動に
よる進行波を効率よく発生させることができる。つま
り、弾性体を薄い板材で形成することが可能となるか
ら、アクチュエ−タの薄型化や軽量化を計ることができ
るばかりか、その製造の容易化を計ることもできる。
【図1】この発明の一実施例の全体構成を示す縦断面
図。
図。
【図2】同じく図1のA−A線に沿う横断面図。
【図3】従来の構造を示す断面図。
21…ケ−シング、24…回転体、24a…円盤部、2
4b…軸部、26…駆動用圧電素子、27…弾性体、3
0…転動体。
4b…軸部、26…駆動用圧電素子、27…弾性体、3
0…転動体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 軸部とこの軸部に同軸になる円盤部とを
有し上記軸部を中心にして回転自在になる回転体と、こ
の回転体を上記軸部と同軸に収納したケ−シングと、こ
のケ−シング内に放射方向にほぼ等角度で設けられそれ
ぞれ一端部が上記円盤部の円盤面に対向し他端部が固定
された複数の駆動用圧電素子と、リング状に形成され上
記円盤面と上記駆動用圧電素子の各一端部との間になる
とともにこれら一端部に結合されて設けられ上記駆動用
圧電素子によって振動させられることで進行波を発生す
る弾性体と、この弾性体と上記回転体の円盤面にそれぞ
れ接触して設けられた転動体とを具備したことを特徴と
する回転アクチュエ−タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3176579A JPH0530760A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 回転アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3176579A JPH0530760A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 回転アクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0530760A true JPH0530760A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16016033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3176579A Pending JPH0530760A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 回転アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0530760A (ja) |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP3176579A patent/JPH0530760A/ja active Pending
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