JPH0530909U - マスフローコントローラー - Google Patents
マスフローコントローラーInfo
- Publication number
- JPH0530909U JPH0530909U JP7615291U JP7615291U JPH0530909U JP H0530909 U JPH0530909 U JP H0530909U JP 7615291 U JP7615291 U JP 7615291U JP 7615291 U JP7615291 U JP 7615291U JP H0530909 U JPH0530909 U JP H0530909U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- signal
- flow rate
- flow controller
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】気体の質量流量を制御するマスフローコントロ
ーラーにおいて、マスフローセンサーの経時変化等によ
る質量流量の変化を容易に検出する。 【構成】マスフローコントローラーが校正された状態で
の設定信号８と制御信号１０との関係を、あらかじめ記
憶部１２に記憶させておき、設定信号８に対して出力さ
れた制御信号１０と、記憶部１２に記憶してある制御信
号１３とを比較・警報出力回路１４で比較し、両者の差
が一定の割合をこえた場合には、警報信号１５を出力す
る。
ーラーにおいて、マスフローセンサーの経時変化等によ
る質量流量の変化を容易に検出する。 【構成】マスフローコントローラーが校正された状態で
の設定信号８と制御信号１０との関係を、あらかじめ記
憶部１２に記憶させておき、設定信号８に対して出力さ
れた制御信号１０と、記憶部１２に記憶してある制御信
号１３とを比較・警報出力回路１４で比較し、両者の差
が一定の割合をこえた場合には、警報信号１５を出力す
る。
Description
【０００１】
本考案はマスフローコントローラーにかかり、とくに気体の質量流量を制御す るマスフローコントローラーの自己診断機能に関する。
【０００２】
従来のマスフローコントローラーは、図２に示すように、導入ガス１はバイパ スライン２からセンサーライン３へ一定の割合で分流され、センサーライン２に 流れるガスにより、センサーライン２に巻かれたマスフローセンサー４の抵抗値 が変化し、これをブリッジ回路５と増幅回路６により出力信号７へと変換し、こ の出力信号７が、設定信号８と同一の値となるように流量制御バルブ９へ制御信 号１０を比較制御回路１１から出力し、一定の質量流量が得られる様になってい る。
【０００３】
この従来のマスフローコントローラーでは、ガス圧力や周囲温度等の外部要因 が一定であれば、ある一定の設定信号に対する流量制御バルブへの制御信号は一 定の値となるはずである。しかし、センサーの経時変化やセンサーライン内部へ の堆積物等によりセンサーのゼロ点のシフトや感度変化が生じる為、制御信号つ まり流量制御バルブの開度が変化し、実際の質量流量も変化してしまうが、それ を検出する機能が無い為、質量流量の異常を検知できないという問題点があった 。
【０００４】
本考案のマスフローコントローラーは、使用時の実際の質量流量が、校正直後 の正確な質量流量と異なる場合に警報を出力する機能を備えている。
【０００５】
【実施例】 次に本考案について図面を参照して説明する。図１は本考案の一実施例の構成 図である。
【０００６】 導入ガス１はバイパスライン２からセンサーライン３へ一定の割合で分流され る。センサーライン３にガスが流れると、マスフローセンサー４の抵抗値が変化 するので、これをブリッジ回路５と増幅回路６により出力信号７へと変換し、出 力信号７が出力信号８と同一の値となるように流量制御バルブ９へ制御信号１０ を比較制御回路１１から出力し、一定の質量流量を得る。この時、マスフローコ ントローラーの使用条件に変動が無ければ、ある一定の設定信号８に対して制御 信号１０は常に一定となる。そこで、校正された状態での設定信号８と制御信号 １０との関係をあらかじめ記憶部１２に記憶させておき、設定信号８に対して出 力された制御信号１０と、記憶部１２に記憶してある制御信号１３とを比較・警 報出力回路１４で比較し、両者の差が一定の割合をこえた場合には、警報信号１ ５を出力する。
【０００７】 またこの実施例では、設定信号８に対する制御信号１０の変動の有無を検出し ているが、他の実施例として出力信号７に対する制御信号１０の変動の有無を検 出しても良い。
【０００８】
以上説明したように本考案は、使用時の流量制御バルブへの制御信号が、校正 直後の制御信号と異なる場合に警報信号を出力する機能を有しているので、マス フローセンサーの経時変化やセンサーライン内部への堆積物等が原因となってい る質量流量の変動を容易に検知できるという効果を有する。
【図１】一実施例の原理を示す図である。
【図２】従来のマスフローコントローラーの原理を示す
図である。
図である。
１ 導入ガス ２ バイパスライン ３ センサーライン ４ マスフローセンサー ５ ブリッジ回路 ６ 増幅回路 ７ 出力信号 ８ 設定信号 ９ 流量制御バルブ １０ 制御信号 １１ 比較・制御回路 １２ 記憶部 １３ 制御信号 １４ 比較・警報出力回路 １５ 警報信号
Claims (1)
- 【請求項１】 気体の質量流量を制御するマスフローコ
ントローラーにおいて、使用時の実際の質量流量が、校
正直後の質量流量と異なる場合に警報を出力する機能を
備えることを特徴とするマスフローコントローラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7615291U JPH0530909U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | マスフローコントローラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7615291U JPH0530909U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | マスフローコントローラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0530909U true JPH0530909U (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=13597056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7615291U Pending JPH0530909U (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | マスフローコントローラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0530909U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016510925A (ja) * | 2013-03-12 | 2016-04-11 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | ターニングベーン |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP7615291U patent/JPH0530909U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016510925A (ja) * | 2013-03-12 | 2016-04-11 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | ターニングベーン |
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