JPH05312214A - 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法 - Google Patents

磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法

Info

Publication number
JPH05312214A
JPH05312214A JP11888092A JP11888092A JPH05312214A JP H05312214 A JPH05312214 A JP H05312214A JP 11888092 A JP11888092 A JP 11888092A JP 11888092 A JP11888092 A JP 11888092A JP H05312214 A JPH05312214 A JP H05312214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing load
bearing
magnetic bearing
electromagnets
load
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11888092A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Hiwada
武史 桧皮
Hiroshi Sugawara
宏 菅原
Manabu Yoshimi
学 吉見
Hiroshi Fuchigami
博 渕上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Industries Ltd filed Critical Daikin Industries Ltd
Priority to JP11888092A priority Critical patent/JPH05312214A/ja
Publication of JPH05312214A publication Critical patent/JPH05312214A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 軸受負荷が変動する軸を支承する磁気軸受に
対し、無駄な消費電力を抑制する。 【構成】 ロータリ圧縮機1の回転軸2に配設された磁
気軸受に対し、圧縮機1の吸入圧及び吐出圧を検知し、
この検知信号に基づいて軸受負荷を推定する。そして、
この推定された軸受負荷に応じて磁気軸受の電磁石3に
供給する電力を調整する。これにより、軸受負荷が小さ
い状態での消費電力を抑制する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気軸受装置及び磁気
軸受の制御方法に係り、特に、軸受負荷が変動する回転
軸を支承するものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、例えば特開平2−28691
0号公報に示されているように、高速回転する回転軸を
非接触状態で支承するようにした磁気軸受が知られてい
る。この種の磁気軸受は、回転軸に対して同心円上に複
数の電磁石が配設され、各電磁石の電磁力の釣合いによ
って回転軸を非接触状態で支承することにより、回転軸
と軸受との摩擦抵抗を無くして回転軸の高速化や装置の
高性能化を図るようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
磁気軸受を圧縮機(例えばロータリピストン型圧縮機)
のクランク軸の軸受に採用しようとした場合、以下に述
べるような理由から実用し難かった。
【0004】つまり、この種の圧縮機は、冷媒等の圧縮
動作の際に圧縮室内が次第に高圧になり、これに伴って
軸受負荷も次第に大きくなることになり、この軸受負荷
の時間変動が大きい。この軸受負荷の時間変動状態の2
つの例を図6及び図7に示す。図6には高圧縮タイプ、
図7には低圧縮タイプの圧縮機における時間と軸受負荷
との関係を示している。このように、軸受負荷の時間変
動が大きいために、磁気軸受には、この軸受負荷の最大
値(図6における軸受負荷A、図7における軸受負荷
B)に適応した軸受能力が要求されることになり、常
に、この軸受負荷の最大値に適応した軸受能力を得るよ
うに電源出力を大きく設定しておく必要がある。従っ
て、圧縮室内が低圧であって軸受負荷が小さい状態にあ
っても高い電源出力が与えられていて無駄な消費電力を
浪費することになるため、ランニングコストの面から圧
縮機へは採用し難かった。
【0005】本発明は、この点に鑑みてなされたもので
あって、このような無駄な消費電力を抑制して、軸受負
荷が変動するような箇所への磁気軸受の採用を可能にす
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、軸受負荷の変動を推定し、この推定さ
れた軸受負荷に応じて供給電力を調整するようにした。
具体的に、請求項1記載の発明は、軸受負荷が変動する
回転軸(2)に対して同心円上に複数配置された電磁石
(3),(3),…を備え、該電磁石(3),(3),
…の電磁力によって前記回転軸(2)を非接触状態で支
承するようにした磁気軸受装置を対象としている。そし
て、前記軸受負荷の変動状態を推定する軸受負荷変動推
定手段(18)と、該軸受負荷変動推定手段(18)の
出力を受け、該出力に応じて前記電磁石(3),
(3),…ヘの供給電力を調整する電力調整手段(1
9)とを備えさせるような構成とした。
【0007】請求項2記載の発明は、前記請求項1記載
の磁気軸受装置において、電磁石(3),(3),…
を、圧縮機(1)の回転軸(2)に対して同心円上に複
数配置させる。そして、軸受負荷変動推定手段(18)
を、圧縮機(1)の吸入圧及び吐出圧を検知する圧力セ
ンサ(4),(5)を備えて成すような構成とした。
【0008】請求項3記載の発明は、前記請求項1また
は2記載の磁気軸受装置において、軸受負荷が所定周期
で変動されるものに対して、軸受負荷変動推定手段(1
8)を、軸受負荷変動の1サイクル毎に軸受負荷の変動
状態を推定するような構成とした。
【0009】請求項4記載の発明は、軸受負荷が変動す
る回転軸(2)に対して同心円上に複数の電磁石
(3),(3),…が配置されており、該電磁石
(3),(3),…の電磁力によって前記回転軸(2)
を非接触状態で支承する磁気軸受の制御方法を対象とし
ている。そして、前記軸受負荷の変動状態を推定し、こ
の推定値に基づいて前記電磁石(3),(3),…ヘの
供給電力を調整するようにした。
【0010】
【作用】上記の構成により本発明では以下に述べるよう
な作用が得られる。請求項1記載の発明では、軸受負荷
が変動する回転軸(2)に対して同心円上に複数配置さ
れた電磁石(3),(3),…の電磁力によって前記回
転軸(2)が非接触状態で支承される。そして、軸受負
荷変動推定手段(18)によって軸受負荷の変動状態を
推定し、電力調整手段(19)が、この推定された軸受
負荷に応じて前記電磁石(3),(3),…への供給電
力を調整する。これにより、軸受負荷が大きい状態の時
には供給電力も大きくし、軸受負荷が小さい状態の時に
は供給電力も小さくすることができ、全体的な消費電力
が抑制される。
【0011】請求項2記載の発明では、圧力センサ
(4),(5)によって圧縮機(1)の吸入圧及び吐出
圧を検知し、この検知された圧力に基づいて軸受負荷の
変動状態を推定する。これによって検出の難しい軸受負
荷を間接的に検出することができる。
【0012】請求項3記載の発明では、軸受負荷変動推
定手段(18)により、軸受負荷変動の1サイクル毎に
軸受負荷の変動状態を推定し、電磁石(3),(3),
…への供給電力を1サイクル毎に調整する。これによ
り、回転軸(2)の回転数の変化やトルク変動等に伴う
軸受負荷の変動パターンの変化に追従して電磁石
(3),(3),…への供給電力を調整することができ
る。
【0013】請求項4記載の発明の方法では、上記請求
項1記載の発明における作用と同様に、軸受負荷の変動
状態を推定し、この推定値に基づいて電磁石(3),
(3),…への供給電力を調整する。
【0014】
【実施例】
(第1実施例)次に、本発明に係る第1実施例を図面に
基づいて説明する。本例では、圧縮機のクランク軸を支
承するようにした磁気軸受について説明する。図2には
本例に係る圧縮機(1)周辺部の構成を、図3には磁気
軸受装置によって本発明でいう回転軸としての圧縮機
(1)のクランク軸(2)が支承された状態を示してい
る。この磁気軸受装置における電磁石(3)の基本構造
及び軸受原理について説明すると、図3の如く、この電
磁石(3)は、前記クランク軸(2)と同心円上に配設
された電磁石ステータ(3a)を備えており、この電磁
石ステータ(3a)から、求心方向、つまりクランク軸
(2)に向って偶数個(図3のものは8個)のマグネッ
ト(3b),(3b),…が延設されている。そして、
隣合う一対のマグネット(3b),(3b)にはコイル
(3c)が互いに逆向きに巻設されることによって前記
電磁石(3)が構成されている。そして、前記コイル
(3c)に電流が通電された際に、この一対のマグネッ
ト(3b),(3b)に亘る環状の磁界(図3の一点鎖
線参照)が形成されるようになっている。従って、各コ
イル(3c),(3c),…に通電されると電磁石
(3)の電磁力がクランク軸(2)を引合う方向に作用
し、この各電磁力の釣合いによってクランク軸(2)が
非接触状態で支承されるようになっている。
【0015】そして、本例の特徴としては、圧縮機
(1)の圧縮動作に伴う軸受負荷に応じて各コイル(3
c),(3c),…に印加する電圧を変更することにあ
る。以下に、この電流を変更するための構成について説
明する。
【0016】図2に示すように、圧縮機(1)の吐出管
(1a)及び吸入管(1b)には夫々圧力センサ
(4),(5)が配設されており、各管(1a),(1
b)の内圧を検出している。そして、この圧力センサ
(4),(5)によって本発明でいう軸受負荷変動推定
手段(18)が構成されており、この各圧力センサ
(4),(5)は軸受負荷変動の1サイクル毎、つまり
クランク軸(2)の1回転毎に検出した圧力信号を更新
して出力するようになっている。このため、クランク軸
(2)の回転数の変化やトルク変動等に伴う軸受負荷の
変動パターンの変化に追従して電磁石(3),(3),
…への供給電力を調整することができるようになってい
る。そして、この各圧力センサ(4),(5)によって
検出された圧力信号は演算器(6)に入力されるように
なっている。そして、この演算器(6)内には、前記圧
力信号に基づいて前記各コイル(3c),(3c),…
に流れる電流を変更する増幅回路(7)(図1参照)が
備えられている。つまり、前記圧力センサ(4),
(5)によって検知された圧力に基づいて軸受負荷の変
動状態を推定するようにしているために、検出の難しい
軸受負荷を間接的に検出することができ、軸受負荷の変
動状態の推定を簡単且つ正確に行うことができるように
なっている。
【0017】本例における各コイル(3c),(3
c),…に流れる電流を変更するための制御ブロックを
図4に基づいて説明すると、この制御ブロックは、補正
回路(8)、前記増幅回路(7)等を備えており、前記
圧力センサ(4),(5)の圧力信号等が補正回路
(8)に入力され、該補正回路(8)において補正され
た初期電圧信号が増幅回路(7)に入力されてコイル
(3c),(3c),…に流れる電流が決定されるよう
になっている。尚、この図4におけるKpは比例ゲイン、
Kiは積分ゲイン、Kdは微分ゲイン、Koはアンプゲイン、
Kmは電磁石正剛性、M は負荷質量、Keは電磁石負剛性、
Ksはセンサゲインである。
【0018】以下、前記増幅回路(7)について図1に
基づいて説明する。この増幅回路(7)は第1及び第2
の2つの増幅器(10),(11)(差動増幅器)及び
第1及び第2のトランジスタ(12),(13)(NPN
形)を備えており、第1増幅器(10)の正入力端子
(10a)は抵抗(R1)を介して接地されている一方、
負入力端子(10b)は、前記補正回路(8)の補正信
号に基づいた初期電圧信号が抵抗(R2)を経て入力され
るようになっていると共に、抵抗(R3)を介してバイア
ス回路(14)が接続されている。このバイアス回路
(14)は、電源に接続された可変抵抗(VR1) を備えて
成っている。このバイアス回路(14)は、定常バイア
スを所定値まで持上げることで前記各電磁石(3),
(3),…によってクランク軸(2)を引合う力を常時
得るようにするためのものである。更に、この第1増幅
器(10)の負入力端子(10b)には抵抗(R4)を有
する帰還回路(15)が接続されている。
【0019】また、第2増幅器(11)の正入力端子
(11a)は接地されている一方、負入力端子(11
b)には、前記第1増幅器(10)の出力端子(10
c)が抵抗(R5)を介して接続されている。また、前記
負入力端子(11b)には抵抗(R6)及びダイオード
(D1)を有する帰還回路(16)が接続されている。
【0020】そして、前記第1トランジスタ(12)の
ベース端子(12a)には前記第2増幅器(11)の出
力端子(11c)が抵抗(R7)を介して接続されている
と共にコレクタ端子(12b)はダイオード(D2)及び
抵抗(R8)を介して電源に接続されている。また、該第
1トランジスタ(12)のエミッタ端子(12c)は抵
抗(R9)を介して電流フィードバック回路(17)に接
続されている。
【0021】更に、前記第2トランジスタ(13)のベ
ース端子(13a)には前記第1トランジスタ(12)
のエミッタ端子(12c)が接続されていると共に該第
2トランジスタ(13)のエミッタ端子(13c)は抵
抗(R10 )を介して接地されている。そして、この第2
トランジスタ(13)のコレクタ端子(13b)には抵
抗(R11 )を介して前記電磁石(3)のコイル(3c)
に接続されており、このコイル(3c)は電源に接続さ
れていると共に、該電源とコイル(3c)との間はコン
デンサ(C)を介して接地されている。また、前記第1
トランジスタ(12)のコレクタ端子(12b)は抵抗
(R12 )を介して電源とコンデンサ(C)との間に接続
されている。
【0022】このような構成により、前記各圧力センサ
(4),(5)の検出信号に基づいた初期電圧信号に応
じて第1及び第2トランジスタ(12),(13)が作
動されて、前記電磁石(3)のコイル(3c)に流れる
電流を調整することによって電磁石(3)の電磁力発生
状態を変化させるようになっている。つまり、この増幅
回路(7)によって本発明でいう電力調整手段(19)
が構成されている。そして、この作動を具体的に説明す
ると、各圧力センサ(4),(5)によって検出される
圧力信号の圧力変動状態をモニタリングし、その変動状
態に基づいて軸受負荷の時間変動周期及び軸受負荷の最
大値を推定する。そして、この推定した軸受負荷の変動
状態に対応するように、第1及び第2トランジスタ(1
2),(13)を作動させる。これによって、軸受荷重
の変動値(dF/dc) に応じて電源電圧を設定することがで
きる。それにより、軸受荷重の変動(dF/dt) に追随して
制御量の変動(di/dt) をさせることができる。そして、
その結果、軸受負荷が小さい場合、電力消費V×Iを小
さく抑えることができる。
【0023】従って、従来では、軸受負荷の時間変動が
大きいものに磁気軸受を採用しようとすると、軸受負荷
の最大値に適応した軸受能力を得るように電源出力を大
きく設定しておく必要があり無駄な消費電力を浪費する
ことになっていたが、本例の構成に構成によれば、軸受
負荷が小さい状態には、軸受能力を小さくすることによ
って、消費電力を抑制することができ、軸受負荷が変動
するような箇所への磁気軸受の採用を可能にすることが
できることになり、磁気軸受の応用範囲を大幅に拡大す
ることができる。
【0024】(第2実施例)次に、第2実施例について
説明する。本例は、磁気軸受の制御回路及び圧縮機駆動
用回路に関し、その特徴とするところは、磁気軸受にお
ける各電磁石の制御回路及び圧縮機駆動用回路のコンパ
クト化を図ったことにある。
【0025】以下、本例の構成について説明する。図5
に示すように、本例における電磁石制御回路(21)及
び圧縮機駆動用回路(22)は、夫々PWM(パルス幅
変調)方式による制御が行われるようになっている。
【0026】つまり、電磁石制御回路(21)にあって
は、三角波発生器(23)から予め設定された所定周
期、所定振幅の三角波信号が発信されており、制御回路
(21a)から出力された制御信号がPWM回路(21
b)に送信され、このPWM回路(21b)において、
この制御信号と前記三角波とが比較され、その差に応じ
たパルス幅のパルス設定信号がスイッチング回路(21
c)に出力される。そして、このスイッチング回路(2
1c)では、前記パルス設定信号に基づいてトランジス
タのスイッチング動作が行われ、これによって電力の増
幅が行われて、この増幅された電力が電磁石(3)のコ
イルに送られるようになっている。
【0027】一方、圧縮機駆動用回路(22)にあって
は、制御回路(22a)から出力された制御信号がPW
M回路(22b)に送信され、このPWM回路(22
b)において、上記と同様に、制御信号と前記三角波と
が比較され、その差に応じたパルス幅のパルス設定信号
がスイッチング回路(22c)に出力される。そして、
このスイッチング回路(22c)では、前記パルス設定
信号に基づいてトランジスタのスイッチング動作が行わ
れ、これによって直流電流が三相交流電流に変換されて
圧縮機駆動用モータ(24)に送られるようになってい
る。つまり、この圧縮機駆動用回路(22)にあっては
インバータ制御が行われていることになる。
【0028】そして、本例の特徴とする構成としては、
電磁石制御回路(21)及び圧縮機駆動用回路(22)
において三角波発生器(23)と電源(25)とが共用
されていることにある。つまり、三角波発生器(23)
は1つしか備えておらず、この三角波発生器(23)で
発生された三角波は各電磁石制御回路(21),(2
1),…のPWM回路(21b),(21b),…及び
圧縮機駆動用回路(22)のPWM回路(22b)に夫
々送信されて各制御信号と比較されるようになってい
る。一方、電源(25)も直流電源1つしか備えておら
ず、この直流電源(25)から供給された電力は各電磁
石制御回路(21),(21),…のスイッチング回路
(21c),(21c),…及び圧縮機駆動用回路(2
2)のスイッチング回路(22c)に夫々送信され、こ
の圧縮機駆動用回路(22)のスイッチング回路(22
c)にあっては、上述した如く三相交流に変換されるよ
うになっている。
【0029】このように、本例の構成によれば、磁気軸
受を備えたものにおいて部品点数の低減に伴って制御回
路全体としてのコンパクト化を図ることができるばかり
でなく、生産工程の減少及びコストの低減を図ることが
できる。
【0030】尚、本例では圧縮機の磁気軸受について述
べたが本発明はこれに限るものではなく、軸受負荷が変
動するような種々の機器に適用することができる。
【0031】
【発明の効果】上述してきたように、本発明によれば以
下に述べるような効果が発揮される。請求項1記載の発
明によれば、軸受負荷が変動する回転軸を支承する磁気
軸受装置に対して、軸受負荷の変動状態を推定する軸受
負荷変動推定手段(18)と、該軸受負荷変動推定手段
(18)の出力を受け、該出力に応じて前記電磁石
(3),(3),…ヘの供給電力を調整する電力調整手
段(19)とを備えさせるようにしたために、軸受負荷
が大きい状態の時に供給電力を大きくし軸受負荷が小さ
い状態の時に供給電力を小さくすることができて、全体
的な消費電力を抑制することができるので、軸受負荷が
変動するような箇所への磁気軸受の採用を可能にするこ
とができ、磁気軸受の応用範囲を大幅に拡大することが
できる。
【0032】請求項2記載の発明によれば、磁気軸受に
よって圧縮機(1)の回転軸(2)を支承するようにし
たものに対して、圧力センサ(4),(5)によって、
圧縮機(1)の吸入圧及び吐出圧を検知し、この検知さ
れた圧力に基づいて軸受負荷の変動状態を推定するよう
にしたために、検出の難しい軸受負荷を間接的に検出す
ることができ、軸受負荷の変動状態の推定を簡単且つ正
確に行うことができ、安定した軸受状態を得ることがで
きる。
【0033】請求項3記載の発明によれば、軸受負荷が
所定周期で変動されるものに対して、軸受負荷変動推定
手段(18)によって、軸受負荷変動の1サイクル毎に
軸受負荷の変動状態を推定するようにしたために、回転
軸(2)の回転数の変化やトルク変動等に伴う軸受負荷
の変動パターンの変化に追従して電磁石(3),
(3),…への供給電力を調整することができ、これに
よっても安定した軸受状態を得ることができる。
【0034】請求項4記載の発明の方法では、上記請求
項1記載の発明における効果と同様に、全体的な消費電
力を抑制することができるので、軸受負荷が変動するよ
うな箇所への磁気軸受の採用を可能にすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例における増幅回路を示す図である。
【図2】圧縮機の周辺構造を示す図である。
【図3】磁気軸受によるクランク軸の軸受状態を示す図
である。
【図4】磁気軸受の制御ブロック図である。
【図5】第2実施例における制御ブロック図である。
【図6】軸受負荷の時間変動状態の一例を示す図であ
る。
【図7】軸受負荷の時間変動状態の他の例を示す図であ
る。
【符号の説明】
(1) 圧縮機 (2) クランク軸(回転軸) (3) 電磁石 (4),(5) 圧力センサ (18) 軸受負荷変動推定手段 (19) 電力調整手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉見 学 大阪府堺市金岡町1304番地 ダイキン工業 株式会社堺製作所金岡工場内 (72)発明者 渕上 博 大阪府堺市金岡町1304番地 ダイキン工業 株式会社堺製作所金岡工場内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軸受負荷が変動する回転軸(2)に対し
    て同心円上に複数配置された電磁石(3),(3),…
    を備え、該電磁石(3),(3),…の電磁力によって
    前記回転軸(2)を非接触状態で支承するようにした磁
    気軸受装置であって、 軸受負荷の変動状態を推定する軸受負荷変動推定手段
    (18)と、 該軸受負荷変動推定手段(18)の出力を受け、該出力
    に応じて前記電磁石(3),(3),…ヘの供給電力を
    調整する電力調整手段(19)とを備えていることを特
    徴とする磁気軸受装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の磁気軸受装置において、
    電磁石(3),(3),…は、圧縮機(1)の回転軸
    (2)に対して同心円上に複数配置されており、軸受負
    荷変動推定手段(18)は、圧縮機(1)の吸入圧及び
    吐出圧を検知する圧力センサ(4),(5)を備えて成
    っていることを特徴とする磁気軸受装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の磁気軸受装置に
    おいて、軸受負荷は所定周期で変動されるようになって
    おり、軸受負荷変動推定手段(18)は、軸受負荷変動
    の1サイクル毎に軸受負荷の変動状態を推定するように
    なっていることを特徴とする磁気軸受装置。
  4. 【請求項4】 軸受負荷が変動する回転軸(2)に対し
    て同心円上に複数の電磁石(3),(3),…が配置さ
    れており、該電磁石(3),(3),…の電磁力によっ
    て前記回転軸(2)を非接触状態で支承する磁気軸受の
    制御方法であって、 軸受負荷の変動状態を推定し、この推定値に基づいて前
    記電磁石(3),(3),…ヘの供給電力を調整するこ
    とを特徴とする磁気軸受の制御方法。
JP11888092A 1992-05-12 1992-05-12 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法 Withdrawn JPH05312214A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11888092A JPH05312214A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11888092A JPH05312214A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05312214A true JPH05312214A (ja) 1993-11-22

Family

ID=14747420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11888092A Withdrawn JPH05312214A (ja) 1992-05-12 1992-05-12 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05312214A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4427153A1 (de) * 1994-08-01 1996-02-08 Balzers Pfeiffer Gmbh Fluteinrichtung für magnetisch gelagerte Vakuumpumpen
US7138739B2 (en) 2004-05-06 2006-11-21 Rolls-Royce Plc Magnetic bearing
JP2013068309A (ja) * 2011-09-26 2013-04-18 Daikin Industries Ltd 磁気軸受及びそれを用いた圧縮機
WO2013099158A1 (ja) * 2011-12-28 2013-07-04 ダイキン工業株式会社 磁気軸受装置および圧縮機

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4427153A1 (de) * 1994-08-01 1996-02-08 Balzers Pfeiffer Gmbh Fluteinrichtung für magnetisch gelagerte Vakuumpumpen
US7138739B2 (en) 2004-05-06 2006-11-21 Rolls-Royce Plc Magnetic bearing
US7215054B2 (en) 2004-05-06 2007-05-08 Rolls-Royce Plc Magnetic bearing
JP2013068309A (ja) * 2011-09-26 2013-04-18 Daikin Industries Ltd 磁気軸受及びそれを用いた圧縮機
CN103827526A (zh) * 2011-09-26 2014-05-28 大金工业株式会社 磁性轴承及使用该磁性轴承的压缩机
US9660499B2 (en) 2011-09-26 2017-05-23 Daikin Industries, Ltd. Compressor having biased controlled magnetic bearings
WO2013099158A1 (ja) * 2011-12-28 2013-07-04 ダイキン工業株式会社 磁気軸受装置および圧縮機
JP2013139836A (ja) * 2011-12-28 2013-07-18 Daikin Industries Ltd 磁気軸受装置および圧縮機
CN104024667A (zh) * 2011-12-28 2014-09-03 大金工业株式会社 磁轴承装置和压缩机
US9689398B2 (en) 2011-12-28 2017-06-27 Daikin Industries, Ltd. Magnetic bearing device and compressor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10619669B2 (en) Magnetic bearing control device and vacuum pump
US11015609B2 (en) Magnetic levitation control device and vacuum pump
JP2015010716A (ja) 改良された能動型磁気軸受制御システム
JP4642482B2 (ja) 電子的に転流されるモータの制御方法及び制御装置
JPH05312214A (ja) 磁気軸受装置及び磁気軸受の制御方法
JP2004147430A (ja) 電動機のセンサレス駆動制御方法及び駆動制御システム
US6965182B2 (en) Pole-change type motor
JP2001295769A (ja) 圧縮機用モータの制御装置
JP2001086704A (ja) モータ一体構造の磁気軸受装置
JP5817546B2 (ja) 磁気軸受制御装置
EP1318310A1 (en) Magnetic bearing control device
US20070080594A1 (en) Power amplification device and magnetic bearing
JP4059313B2 (ja) 磁気軸受制御装置
EP3940255A1 (en) Control device, and vacuum pump provided with said control device
JP2005061580A (ja) 磁気軸受
JP3185938B2 (ja) 磁気軸受制御装置
JP2697316B2 (ja) ブラシレスモータ
JP2590646Y2 (ja) ブラシレスモータ
JPH1122730A (ja) 磁気軸受および磁気軸受ユニット
JPH02201101A (ja) 磁気軸受用変位センサ
JP2742255B2 (ja) 可変リラクタンスモータの倍速駆動方法および装置
JP2024094920A (ja) 電動オイルポンプシステム
JPH06109019A (ja) 磁気軸受スピンドル装置のインバータ制御装置
JP2000110835A (ja) 高速回転体に用いる磁気軸受の通電制御方法とその制御回路
JPH1187136A (ja) 磁気浮上方式

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990803