JPH05312863A - 誘導センサのインダクタンス測定方法 - Google Patents
誘導センサのインダクタンス測定方法Info
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- JPH05312863A JPH05312863A JP4257092A JP25709292A JPH05312863A JP H05312863 A JPH05312863 A JP H05312863A JP 4257092 A JP4257092 A JP 4257092A JP 25709292 A JP25709292 A JP 25709292A JP H05312863 A JPH05312863 A JP H05312863A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/10—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in inductance, i.e. electric circuits therefor
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
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- G—PHYSICS
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2611—Measuring inductance
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 変位を精確に測定する誘導センサの簡単かつ
安価なインダクタンス測定方法を提供する。 【構成】 変位測定用の誘導センサは，コイル１と，こ
のコイル１に対して変位可能な磁心と，変位に関係する
コイル１のインダクタンスを計算する電子装置とをもつ
ている。電子装置はマイクロコンピユータ３を含み，こ
のマイクロコンピユータ３がコイル１を電圧パルスで付
勢し，生ずる付勢電流から時間測定により，磁心の変位
に関係するインダクタンスの大きさを決定する。その際
マイクロコンピユータ３により制御される電子開閉器１
８の電流制限の開始まで，コイル１の付勢時間が計算さ
れる。電流制限の開始後，付勢電流はマイクロコンピユ
ータ３により遮断される。
安価なインダクタンス測定方法を提供する。 【構成】 変位測定用の誘導センサは，コイル１と，こ
のコイル１に対して変位可能な磁心と，変位に関係する
コイル１のインダクタンスを計算する電子装置とをもつ
ている。電子装置はマイクロコンピユータ３を含み，こ
のマイクロコンピユータ３がコイル１を電圧パルスで付
勢し，生ずる付勢電流から時間測定により，磁心の変位
に関係するインダクタンスの大きさを決定する。その際
マイクロコンピユータ３により制御される電子開閉器１
８の電流制限の開始まで，コイル１の付勢時間が計算さ
れる。電流制限の開始後，付勢電流はマイクロコンピユ
ータ３により遮断される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，コイル，このコイルに
対して変位可能な磁心，変位に関係するコイルのそのつ
どのインダクタンスを計算する電子装置を有し，電子装
置がマイクロコンピユータを含み，このマイクロコンピ
ユータがコイルを電圧パルスで付勢し，生ずる付勢電流
から時間測定により磁心の変位に関係するコイルのイン
ダクタンスの大きさを決定する，特に変位を測定する誘
導センサのインダクタンス測定方法に関する。
対して変位可能な磁心，変位に関係するコイルのそのつ
どのインダクタンスを計算する電子装置を有し，電子装
置がマイクロコンピユータを含み，このマイクロコンピ
ユータがコイルを電圧パルスで付勢し，生ずる付勢電流
から時間測定により磁心の変位に関係するコイルのイン
ダクタンスの大きさを決定する，特に変位を測定する誘
導センサのインダクタンス測定方法に関する。
【０００２】このようなセンサでは，磁心の変位により
コイルのインダクタンスが変化される。電子装置により
この変化が検出されて，変位に換算される。
コイルのインダクタンスが変化される。電子装置により
この変化が検出されて，変位に換算される。
【０００３】
【従来の技術】このためコイルを共振回路の周波数決定
素子として使用するのが普通である（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第２０４６３３６号明細書）。インダクタ
ンスが変化すると，共振回路が離調する。それにより生
ずる周波数変化が計算され，対応する変位信号に変換さ
れる。
素子として使用するのが普通である（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第２０４６３３６号明細書）。インダクタ
ンスが変化すると，共振回路が離調する。それにより生
ずる周波数変化が計算され，対応する変位信号に変換さ
れる。
【０００４】この手段の欠点は，必要な発振器の能動素
子が温度に関係し，それにより特に大きい温度変動では
測定値が不精確になることである。更に周波数とインダ
クタンス又は磁心の変位との関係ｆ＝１／２π（Ｌ・
Ｃ）１／２が直線的でなく，それにより場合によつては
補正回路が必要になる。
子が温度に関係し，それにより特に大きい温度変動では
測定値が不精確になることである。更に周波数とインダ
クタンス又は磁心の変位との関係ｆ＝１／２π（Ｌ・
Ｃ）１／２が直線的でなく，それにより場合によつては
補正回路が必要になる。
【０００５】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３２２３
３０７号明細書から圧力に関係して変化するインダクタ
ンスの測定回路が公知で，インダクタンスの巻線への電
圧の印加時点と生ずる電流の所定レベルまでの増大との
間の時間が測定される。インダクタンスの付勢及び計算
（時間測定）はマイクロコンピユータにより行われる。
マイクロコンピユータは固定周波数で変化する極性の電
圧パルスでインダクタンスを付勢する。インダクタンス
の磁心は飽和するまで使用される非晶質材料から成つて
いる。この公知の測定回路では，交流電圧による付勢に
よつて，高周波障害が生ずる。飽和範囲に達するまでの
付勢により，個別測定値が得られるまでに比較的長い時
間がかかる。更に飽和範囲における緩慢な電流増大によ
り，測定が比較的不精碓になる。
３０７号明細書から圧力に関係して変化するインダクタ
ンスの測定回路が公知で，インダクタンスの巻線への電
圧の印加時点と生ずる電流の所定レベルまでの増大との
間の時間が測定される。インダクタンスの付勢及び計算
（時間測定）はマイクロコンピユータにより行われる。
マイクロコンピユータは固定周波数で変化する極性の電
圧パルスでインダクタンスを付勢する。インダクタンス
の磁心は飽和するまで使用される非晶質材料から成つて
いる。この公知の測定回路では，交流電圧による付勢に
よつて，高周波障害が生ずる。飽和範囲に達するまでの
付勢により，個別測定値が得られるまでに比較的長い時
間がかかる。更に飽和範囲における緩慢な電流増大によ
り，測定が比較的不精碓になる。
【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２８５２
６３７号明細書から誘導センサ用計算回路が公知であ
り，計算すべきインダクタンスに，発振器により発生さ
れる一定周期の方形波電圧が供給される。低下する電圧
の零通過点までインダクタンスの付勢時間が測定され
て，インダクタンスの尺度となる。この計算回路の欠点
は，大きい値のインダクタンスも測定できるためには，
方形波電圧の周期を比較的長く設定せねばならないこと
である。それにより方形波電圧は，小さいインダクタン
スの測定の際よく利用されないことになる。
６３７号明細書から誘導センサ用計算回路が公知であ
り，計算すべきインダクタンスに，発振器により発生さ
れる一定周期の方形波電圧が供給される。低下する電圧
の零通過点までインダクタンスの付勢時間が測定され
て，インダクタンスの尺度となる。この計算回路の欠点
は，大きい値のインダクタンスも測定できるためには，
方形波電圧の周期を比較的長く設定せねばならないこと
である。それにより方形波電圧は，小さいインダクタン
スの測定の際よく利用されないことになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の基礎になつて
いる課題は，上記の欠点が回避されるように，最初にあ
げた種類のセンサを構成することである。さらに電子装
置が簡単かつ安価に構成されるようにする。
いる課題は，上記の欠点が回避されるように，最初にあ
げた種類のセンサを構成することである。さらに電子装
置が簡単かつ安価に構成されるようにする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
本発明によれば，マイクロコンピユータにより駆動可能
な電流制限電子開閉器により，特定の時点にコイルを電
源に接続し，電流制限の開始までのコイルの充電時間を
マイクロコンピユータにより計算して，変位に関係する
量に換算し，マイクロコンピユータにより規定される時
間後，マイクロコンピユータにより電子開閉器を再び遮
断し，マイクロコンピユータにより選ばれる特定の時点
にのみ測定を行う。
本発明によれば，マイクロコンピユータにより駆動可能
な電流制限電子開閉器により，特定の時点にコイルを電
源に接続し，電流制限の開始までのコイルの充電時間を
マイクロコンピユータにより計算して，変位に関係する
量に換算し，マイクロコンピユータにより規定される時
間後，マイクロコンピユータにより電子開閉器を再び遮
断し，マイクロコンピユータにより選ばれる特定の時点
にのみ測定を行う。
【０００９】
【実施例】図１に概略的に示すセンサの機械的部分はコ
イル１を含み，例えば鉄からなる可動磁心２が測定すべ
き変位に応じてこのコイル１へ押込まれる。磁心２の可
能な変位は約２ｃｍである。レバーを介して測定すべき
部材を枢着して，大きくされた変位を測定することもで
きる。
イル１を含み，例えば鉄からなる可動磁心２が測定すべ
き変位に応じてこのコイル１へ押込まれる。磁心２の可
能な変位は約２ｃｍである。レバーを介して測定すべき
部材を枢着して，大きくされた変位を測定することもで
きる。
【００１０】図２には計算電子装置がブロツク線図とし
て示されている。電流制限電子開開器１８を介して供給
電圧ＵＢがコイル１へ与えられる。電子開閉器１８は入
力レベル変換器１７を介してマイクロコンピユータ３の
出力端１５により制御される。この制御パルスは時点ｔ
０から時点ｔ２まで続く（図３のａ）。コイル１には電
圧ＵＥ＝ＵＢがかかる（図３のｂ）。
て示されている。電流制限電子開開器１８を介して供給
電圧ＵＢがコイル１へ与えられる。電子開閉器１８は入
力レベル変換器１７を介してマイクロコンピユータ３の
出力端１５により制御される。この制御パルスは時点ｔ
０から時点ｔ２まで続く（図３のａ）。コイル１には電
圧ＵＥ＝ＵＢがかかる（図３のｂ）。
【００１１】コイル電流ｉＬが固定値例えば４５ｍＡに
達すると，この電流が電子開閉器１８により制限または
保持される。この時間（ｔ１−ｔ２）中にコイル１にお
ける電圧低下はまだオーム抵抗によつてのみ決定され，
無視できるほど小さい。続いてｔ２−ｔ３のコイル電流
が遮断される。時点ｔ２はマイクロコンピユータ３によ
り規定される。その際生ずる電圧は遮断制眼器１９によ
り危険でない値例えば４５Ｖに制限され，時点ｔ１にお
ける電圧ＵＥの消失は，出力レベル変換器２０における
レベル変換後マイクロコンピユータ３へ与えられる。こ
れにより時間測定プログラムの動作が終了せしめられ，
コイルのインダクタンスに比例する測定結果ｔ１−ｔ０
が数値として別の処理のために準備される。
達すると，この電流が電子開閉器１８により制限または
保持される。この時間（ｔ１−ｔ２）中にコイル１にお
ける電圧低下はまだオーム抵抗によつてのみ決定され，
無視できるほど小さい。続いてｔ２−ｔ３のコイル電流
が遮断される。時点ｔ２はマイクロコンピユータ３によ
り規定される。その際生ずる電圧は遮断制眼器１９によ
り危険でない値例えば４５Ｖに制限され，時点ｔ１にお
ける電圧ＵＥの消失は，出力レベル変換器２０における
レベル変換後マイクロコンピユータ３へ与えられる。こ
れにより時間測定プログラムの動作が終了せしめられ，
コイルのインダクタンスに比例する測定結果ｔ１−ｔ０
が数値として別の処理のために準備される。
【００１２】現在の測定過程を終了して次の測定過程を
準備するために，マイクロコンピユータが出力信号した
がつてＵＥおよびｉＬを遮断する。コイル１の遮断エネ
ルギーは遮断制限器１９により短時間に無害な電圧ピー
クで吸収される。
準備するために，マイクロコンピユータが出力信号した
がつてＵＥおよびｉＬを遮断する。コイル１の遮断エネ
ルギーは遮断制限器１９により短時間に無害な電圧ピー
クで吸収される。
【００１３】図４には，電流制限電子開閉器１８，コイ
ル１および遮断制限器１９をもつ図２の回路の左の部分
が詳細に示されている。電流制眼電子開閉器１８は制御
電圧源Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｐ４と電圧で制御される電流
源Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，Ｄ１とから成つている。
ル１および遮断制限器１９をもつ図２の回路の左の部分
が詳細に示されている。電流制眼電子開閉器１８は制御
電圧源Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｐ４と電圧で制御される電流
源Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，Ｄ１とから成つている。
【００１４】電流源は接続点Ｋ３とＫ１との間に存在す
る制御電圧を比例する出力電流ｉＬに変換する。調整ト
うンジスタＴ１は制御電圧の抵折Ｒ１にかかる電圧に追
従する。トランジスタＴ３は電流増幅器として役立つ。
ダイオードＤ１は過電圧に対する保護を行う。
る制御電圧を比例する出力電流ｉＬに変換する。調整ト
うンジスタＴ１は制御電圧の抵折Ｒ１にかかる電圧に追
従する。トランジスタＴ３は電流増幅器として役立つ。
ダイオードＤ１は過電圧に対する保護を行う。
【００１５】制御電圧源は供給電圧ＵＢから比較電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１を取出す。この比較電圧から上記の制御電圧
ＵＫ３−Ｋ１が取出され，これは次の３つの状態をもつ
ている。 ａ）遮断 マイクロコンピユータ３の出力端１５は値０をもち，入
力レベル変換器１７により接続点Ｋ４を接続点Ｋ１の電
位にする。したがつてトランジスタＴ２は接続点Ｋ３を
接続点Ｋ２に対して遮断し，制御電圧は零である。その
結果トランジスタＴ１およびＴ３は不導通になる。 ｂ）浮動 出力端１５は値１をもち，入力レベル変換器１７を介し
て接続点Ｋ４を接地電位にする。それにより抵抗Ｒ１，
トランジスタＴ１のエミツターベース回路および抵抗Ｒ
２を通つて小さい電流が流れて，トランジスタＴ１およ
びＴ３を完全に導通させる。コイル１の自己インダクタ
ンス（図３参照）のため，電流ｉＬしたがつてＵ
Ｋ５−Ｋ１が零から，また電圧ＵＫ３−Ｋ１が約０．６
Ｖから所定の傾斜で増大し，トランジスタＴ２は電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１によりバイアスされてまず不導通になる。こ
の状態で接続点Ｋ３の電位が接続点Ｋ５の電位と共に浮
動する。 ｃ）制限 出力端１５が引続き値１をもつ。状態ｂ）の通過後電流
ｉＬは，トランジスタＴ２にかかるバイアス電圧がこれ
を不導通にするにはもはや不充分な大きさになる。トラ
ンジスタＴ２が今や導通することによつて，接続点Ｋ３
から抵抗Ｒ２を経て接続点Ｋ４へ流れる電流はもはやト
ランジスタＴ１だけからは供給されなくなる。これは，
トランジスタＴ１およひＴ３がもはや完全に導通せしめ
られず，電圧ＵＫ５−Ｋ１が比較電圧ＵＫ２−Ｋ１と精
確に同じになる程度だけ導通せしめられることを意味す
る。それによりコイル電流ｉＬが値ｉＬＭ＝１／Ｒ１・
ＵＫ１−Ｋ２に制限される。
Ｋ２−Ｋ１を取出す。この比較電圧から上記の制御電圧
ＵＫ３−Ｋ１が取出され，これは次の３つの状態をもつ
ている。 ａ）遮断 マイクロコンピユータ３の出力端１５は値０をもち，入
力レベル変換器１７により接続点Ｋ４を接続点Ｋ１の電
位にする。したがつてトランジスタＴ２は接続点Ｋ３を
接続点Ｋ２に対して遮断し，制御電圧は零である。その
結果トランジスタＴ１およびＴ３は不導通になる。 ｂ）浮動 出力端１５は値１をもち，入力レベル変換器１７を介し
て接続点Ｋ４を接地電位にする。それにより抵抗Ｒ１，
トランジスタＴ１のエミツターベース回路および抵抗Ｒ
２を通つて小さい電流が流れて，トランジスタＴ１およ
びＴ３を完全に導通させる。コイル１の自己インダクタ
ンス（図３参照）のため，電流ｉＬしたがつてＵ
Ｋ５−Ｋ１が零から，また電圧ＵＫ３−Ｋ１が約０．６
Ｖから所定の傾斜で増大し，トランジスタＴ２は電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１によりバイアスされてまず不導通になる。こ
の状態で接続点Ｋ３の電位が接続点Ｋ５の電位と共に浮
動する。 ｃ）制限 出力端１５が引続き値１をもつ。状態ｂ）の通過後電流
ｉＬは，トランジスタＴ２にかかるバイアス電圧がこれ
を不導通にするにはもはや不充分な大きさになる。トラ
ンジスタＴ２が今や導通することによつて，接続点Ｋ３
から抵抗Ｒ２を経て接続点Ｋ４へ流れる電流はもはやト
ランジスタＴ１だけからは供給されなくなる。これは，
トランジスタＴ１およひＴ３がもはや完全に導通せしめ
られず，電圧ＵＫ５−Ｋ１が比較電圧ＵＫ２−Ｋ１と精
確に同じになる程度だけ導通せしめられることを意味す
る。それによりコイル電流ｉＬが値ｉＬＭ＝１／Ｒ１・
ＵＫ１−Ｋ２に制限される。
【００１６】トランジスタＴ１とＴ２は熱的に結合され
ているので，これらトランジスタＴ１及びＴ２のベース
ーエミツタ電圧の温度補償が行なわれる。したがつてｉ
ＬＭの値は温度に対して安定である。
ているので，これらトランジスタＴ１及びＴ２のベース
ーエミツタ電圧の温度補償が行なわれる。したがつてｉ
ＬＭの値は温度に対して安定である。
【００１７】遮断制限器１９はダイオードＤ３及びＤ２
により形成される。ダイオードＤ３は，電流増大中にコ
イル１及び遮断制限器１９にかかる正の電圧がツエナダ
イオードＤ２にかからないようにする。
により形成される。ダイオードＤ３は，電流増大中にコ
イル１及び遮断制限器１９にかかる正の電圧がツエナダ
イオードＤ２にかからないようにする。
【００１８】コイル磁界の消失により高い負の遮断電圧
が生ずると，ダイオードＤ３が導通する。ツエナダイオ
ードＤ２は今や作用することができる。遮断電圧ピーク
はツエナ電圧（Ｄ２）と導通電圧（Ｄ３）との和に制限
される。
が生ずると，ダイオードＤ３が導通する。ツエナダイオ
ードＤ２は今や作用することができる。遮断電圧ピーク
はツエナ電圧（Ｄ２）と導通電圧（Ｄ３）との和に制限
される。
【００１９】制限電圧はコイル電流ｉＬの減少速度に影
響を及ぼす。この制限電圧の値は電流を生ずる供給電圧
ＵＢの４倍の大きさをもつているので，電流の減少は約
４倍の速さで行われる。それにより装置は短時間で新し
い測定のために準備される。
響を及ぼす。この制限電圧の値は電流を生ずる供給電圧
ＵＢの４倍の大きさをもつているので，電流の減少は約
４倍の速さで行われる。それにより装置は短時間で新し
い測定のために準備される。
【図１】センサの機械的部分の断面図である。
【図２】計算電子装置のブロツク線図である。
【図３】図２による電子装置の電圧及び電流を時間に関
して示す線図である。
して示す線図である。
【図４】図２による電流制眼電子開閉器の接続図であ
る。
る。
１ コイル ２ 磁心 ３ マイクロコンピユータ １８ 電流制限電子開閉器
フロントページの続き (72)発明者 ゲラルト・ウルブリヒ ドイツ連邦共和国ハノーヴアー81・ザール シユテツテル・シユトラーセ35ツエー (72)発明者 デトレフ・ノイハウス ドイツ連邦共和国ランゲンハーゲン・ハイ ンケンシユトラーセ１
Claims (6)
- 【請求項１】 コイル（１），このコイル（１）に対し
て変位可能な磁心（２），変位に関係するコイル（１）
のそのつどのインダクタンスを計算する電子装置を有
し，電子装置がマイクロコンピユータ（３）を含み，こ
のマイクロコンピユータ（３）がコイル（１）を電圧パ
ルスで付勢し，生ずる付勢電流から時間測定により磁心
（２）の変位に関係するコイル（１）のインダクタンス
の大きさを決定する方法において， ａ）マイクロコンピユータ（３）により駆動可能な電流
制限電子開閉器（１８）により，特定の時点（ｔ０）に
コイル（１）を電源（ＵＢ）に接続し， ｂ）電流制限の開始までのコイル（１）の充電時間をマ
イクロコンピユータ（３）により計算して，変位に関係
する量に換算し， ｃ）マイクロコンピユータ（３）により規定される時間
後，マイクロコンピユータ（３）により電子開閉器（１
８）を再び遮断し， ｄ）マイクロコンピユータ（３）により選ばれる特定の
時点にのみ測定を行うことを特徴とする，誘導センサの
インダクタンス測定方法。 - 【請求項２】ａ）電流制限電子開閉器（１８）の制御を
入力レベル変換器（１７）を介して行い， ｂ）マイクロコンピユータ（３）へのコイル（１）の付
勢時間の伝送を出力レベル変換器（２０）を介して行
い， ｃ）コイル（１）を遮断制限器（１９）に接続すること
を特徴とする，請求項２に記載の方法。 - 【請求項３】 電流制限電子開閉器（１８）を制御電圧
源（Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４）とその出力側に接続され
て電圧制御される電流源（Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，Ｄ）から
構成することを特徴とする，請求項２又は３に記載の方
法。 - 【請求項４】 制御電圧源及び電流源がそれぞれトラン
ジスタ（Ｔ１，Ｔ２）を含み，これらのトランジスタ
（Ｔ１，Ｔ２）を熱的に結合することを特徴とする，請
求項３に記載の方法。 - 【請求項５】 磁心（２）を圧力ダイヤフラムに結合す
ることを特徴とする，請求項１ないし４の１つに記載の
方法。 - 【請求項６】 マイクロコンピユータ（３）により測定
値のソフトウエアによる直線化を行うことを特徴とす
る，請求項１ないし５の１つに記載の方法。
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