JPH05312877A - Aging substrate inspecting device and inspecting method using it - Google Patents

Aging substrate inspecting device and inspecting method using it

Info

Publication number
JPH05312877A
JPH05312877A JP3089326A JP8932691A JPH05312877A JP H05312877 A JPH05312877 A JP H05312877A JP 3089326 A JP3089326 A JP 3089326A JP 8932691 A JP8932691 A JP 8932691A JP H05312877 A JPH05312877 A JP H05312877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
terminal
sample
switch
terminals
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3089326A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0769377B2 (en
Inventor
Akifumi Suyama
昭文 巣山
Takashi Nakayama
隆 中山
Hiroshi Ueishi
浩 上石
Koichi Arao
浩一 新穂
Takeshi Kumamoto
武 隈本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MIYAZAKI PREF GOV
Original Assignee
MIYAZAKI PREF GOV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MIYAZAKI PREF GOV filed Critical MIYAZAKI PREF GOV
Priority to JP3089326A priority Critical patent/JPH0769377B2/en
Publication of JPH05312877A publication Critical patent/JPH05312877A/en
Publication of JPH0769377B2 publication Critical patent/JPH0769377B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify inspection of abnormality in an aging substrate and inspect with a high accuracy by providing a switching mechanism capable of measuring output voltage through connecting only a test terminal of a circuit selected as an inspection target. CONSTITUTION:A power source terminal 3 and a terminal to be inspected 7 are connected to one specimen socket and only a power source switch 4 to which a specimen terminal (hereinfater referered to as the terminal) selected as the inspection target is put ON. Then, e.g. a switch 8 for inspection of B10 is put ON while e.g. the switch 8 of B8, B9 connected to another terminal belonging to the same circuit as the selected terminal is put OFF, and the switches of B1 to B7 connected to the terminal belonging to another circuit are put ON. Further, e.g. the switch 9 for inspection of C10 connected to the selected terminal is put ON while other switches 9 are all put OFF and voltage between the output terminal of the switch 9 and the ground is detected (11), thereby enabling judgement of abnormality in the circuit according to the intensity of the voltage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばIC等の電子部
品の初期不良検査に使用するエージング基板が、繰り返
しの使用によって断線や短絡を生じていないか否かを検
査するための装置及びそれを用いた検査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting whether or not an aging board used for initial failure inspection of electronic parts such as IC has been broken or short-circuited by repeated use. Relates to an inspection method using.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、IC等の電子部品は、使用開始
後数百時間以内に故障を生じる確率が高く、この初期不
良期間経過後は、その耐久限度まで長期間の使用に耐え
られることがほとんどである。このため、電子部品につ
いては、出荷前に、過酷な高温下で一定時間駆動させ、
初期不良を生じたものを取り除くことが行われている。
2. Description of the Related Art In general, electronic parts such as ICs have a high probability of failure within a few hundred hours after the start of use, and after the initial failure period, they can withstand long-term use up to their durability limit. Mostly. For this reason, electronic components are driven at a high temperature for a certain period of time before being shipped.
The thing which caused the initial failure is removed.

【0003】上記初期不良検査において、多量の電子部
品を取り付けて一度に駆動するために用いられるのがエ
ージング基板である。
In the above-mentioned initial defect inspection, an aging board is used for mounting a large number of electronic parts and driving them at once.

【0004】更にエージング基板について説明すると、
一般にエージング基板は、取り付けた電子部品を駆動す
るための電源を受け入れる複数の入力端子と、電子部品
を取り付ける複数の試料用ソケットを有し、各試料用ソ
ケットには電子部品の各接続端子に対応して複数の試料
用端子が設けられている。
Further explaining the aging substrate,
Generally, an aging board has a plurality of input terminals for receiving a power source for driving the mounted electronic parts and a plurality of sample sockets for mounting the electronic parts. Each sample socket corresponds to each connection terminal of the electronic parts. Then, a plurality of sample terminals are provided.

【0005】各試料用端子は、夫々電子部品を駆動する
に適した電気的特性の回路に接続されており、入力端子
は、この回路の電気的特性に応じて設けられているもの
である。
Each sample terminal is connected to a circuit having electric characteristics suitable for driving an electronic component, and an input terminal is provided according to the electric characteristics of this circuit.

【0006】ところで、このエージング基板は、繰り返
し使用され、また高温下にさらされることになる。高温
下での繰り返し使用によってエージング基板が劣化し、
断線や短絡を生じた場合、正常な電子部品の駆動ができ
なくなり、初期不良検査の意味が失われることになるの
で、このエージング基板の管理が必要となる。
By the way, this aging substrate is repeatedly used and is exposed to high temperature. Aging substrate deteriorates due to repeated use under high temperature,
When a disconnection or a short circuit occurs, normal electronic components cannot be driven and the meaning of the initial defect inspection is lost, so management of this aging board is required.

【0007】従来、エージング基板の管理は、一定期間
毎に、作業員が、導通試験のできるテスター等で主要部
分を一端子ごとに検査することや、このような検査を行
わずに、不良の有無に拘わらず、一定期間使用したエー
ジング基板は新しいものと交換してしまうこと等によっ
て行われている。
Conventionally, the management of the aging board is performed by a worker inspecting a main part for each terminal with a tester or the like capable of conducting a continuity test at regular intervals, or without performing such inspection. Regardless of the presence or absence, the aging substrate used for a certain period is replaced with a new one.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テスタ
ーでいちいち検査するのは極めて手間がかかると共に、
エージング基板の全配線をくまなく検査することはほと
んど不可能であり、検査精度上も問題がある。
However, it is extremely time-consuming to inspect each with a tester, and
It is almost impossible to inspect all the wiring of the aging board, and there is a problem in inspection accuracy.

【0009】また、一定期間経過後無条件でエージング
基板を交換してしまうのは、十分使用できるエージング
基板を廃棄してしまう無駄を生む。
Further, unconditionally exchanging the aging substrate after a certain period of time results in waste of discarding the aging substrate that can be used sufficiently.

【0010】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、エージング基板の異常の有無を、簡便にし
かも高精度で検査できるようにすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to enable easy and highly accurate inspection of the presence or absence of abnormality in an aging substrate.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このために請求項1の発
明では、エージング基板の各入力端子1に定電流源2を
接続するための電源端子3と、各電源端子3と定電流源
2との間に介在された電源スイッチ4と、エージング基
板の少なくとも1つの試料用ソケット5の各試料用端子
6に各々接続される複数の検査用端子7と、各検査用端
子7に順次接続された第1検査用スイッチ8及び第2検
査用スイッチ9と、この各第1検査用スイッチ8と第2
検査用スイッチ9の間に介在された接地抵抗10と、各
第2検査用スイッチ9が接続された電圧検出器11とか
らなるエージング基板の検査装置としているものであ
る。
For this reason, in the invention of claim 1, a power supply terminal 3 for connecting a constant current source 2 to each input terminal 1 of the aging board, each power supply terminal 3 and a constant current source 2 are provided. , A plurality of inspection terminals 7 respectively connected to each sample terminal 6 of at least one sample socket 5 of the aging board, and sequentially connected to each inspection terminal 7. The first inspection switch 8 and the second inspection switch 9, and the respective first inspection switch 8 and the second inspection switch 9.
This is a device for inspecting an aging board, which is composed of a ground resistance 10 interposed between the inspection switches 9 and a voltage detector 11 to which each second inspection switch 9 is connected.

【0012】また、請求項2の発明では、上記エージン
グ基板の検査装置の電源端子3をエージング基板の各入
力端子1に接続すると共に、エージング基板の少なくと
も1つの試料用ソケット5の各試料用端子6に検査用端
子7を接続し、検査用端子7が接続された試料用端子6
の内、検査対象として選択した1つの試料用端子6が接
続されている1つの電源スイッチ4をONにする一方、
他の電源スイッチ4を全てOFFとし、選択した試料用
端子6以外の試料用端子6であって、選択した試料用端
子6と同じ回路属性の試料用端子6に接続された第1検
査用スイッチ8を全てOFFとする一方、選択した試料
用端子6及び選択した試料用端子6と異なる回路属性の
試料用端子6に接続された第1検査用スイッチ8を全て
ONとし、選択した試料用端子6に接続された第2検査
用スイッチ9をONにする一方、他の第2検査用スイッ
チ9を全てOFFとし、電圧検出器11で第2検査用ス
イッチ9の出力端子とグラウンド間の出力電圧を測定す
ることとしているものである。
Further, according to the invention of claim 2, the power source terminal 3 of the aging board inspection device is connected to each input terminal 1 of the aging board, and each sample terminal of at least one sample socket 5 of the aging board is connected. 6 is connected to the inspection terminal 7, and the inspection terminal 7 is connected to the sample terminal 6
Among these, while turning on one power switch 4 to which one sample terminal 6 selected as an inspection target is connected,
All the other power switches 4 are turned off, and the first inspection switch is connected to the sample terminals 6 other than the selected sample terminal 6 and having the same circuit attribute as the selected sample terminal 6. While all 8 are turned off, all the first inspection switches 8 connected to the selected sample terminal 6 and the sample terminal 6 having a circuit attribute different from the selected sample terminal 6 are turned on to select the selected sample terminal. The second inspection switch 9 connected to 6 is turned on, while the other second inspection switches 9 are all turned off, and the voltage detector 11 outputs the output voltage between the output terminal of the second inspection switch 9 and the ground. Is to be measured.

【0013】更に請求項3の発明では、上記電源スイッ
チ4、第1検査用スイッチ8及び第2検査用スイッチ9
のON・OFFを、記憶装置12と制御器13によって
自動的に行うこととしているものである。
Further, in the invention of claim 3, the power switch 4, the first inspection switch 8 and the second inspection switch 9 are provided.
ON / OFF of the storage device 12 and the controller 13 are automatically performed.

【0014】尚、本明細書において、回路属性とは、回
路の電気的特性のことで、回路に供給される信号の種類
によって分類されるものである。この回路属性は、ある
周波数のクロックが印加される、所謂「クロック型」、
グラウンドに接続された、所謂「グラウンド型」、電源
電圧が供給される、所謂「電源型」に大別され、クロッ
ク型は、そのクロックの周波数毎に異なる回路属性とし
て分類されるものである。本明細書では、この周波数の
異なるクロック型を、「クロック1型」、「クロック2
型」、……として区別して記載する。また、クロック1
型、クロック2型、……の信号に抵抗を介して接続され
る信号回路はクロック1型、クロック2型、……に含ま
れ、グラウンドに抵抗を介して接続された信号回路はグ
ラウンド型に含まれ、抵抗を介して電源電圧が印加され
る、所謂プルアップされた信号回路は電源型に含まれる
ものである。
In this specification, the circuit attribute is an electrical characteristic of the circuit and is classified according to the type of signal supplied to the circuit. This circuit attribute is a so-called "clock type", in which a clock of a certain frequency is applied,
The clock type is roughly classified into a so-called "ground type" connected to the ground and a so-called "power source type" to which a power supply voltage is supplied, and the clock type is classified as a circuit attribute that differs for each frequency of the clock. In this specification, the clock types having different frequencies are referred to as “clock 1 type” and “clock 2”.
Type ", ... Also, clock 1
Type, clock 2 type, ... Signal circuits connected to the signal via a resistor are included in clock 1 type, clock 2 type, .. The signal circuit connected to the ground via a resistor is the ground type. A so-called pull-up signal circuit that is included and to which a power supply voltage is applied via a resistor is included in the power supply type.

【0015】[0015]

【作用】請求項1の発明において、電源スイッチ4は、
エージング基板の入力端子1の内、いずれか1つに検査
用の定電流源2を接続するためのもので、いずれの試料
用端子6を検査するかによって切り換えられる。
In the invention of claim 1, the power switch 4 is
This is for connecting the inspection constant current source 2 to any one of the input terminals 1 of the aging board, and can be switched depending on which sample terminal 6 is inspected.

【0016】第1検査用スイッチ8は、検査対象となる
試料用端子6と、この検査対象となる試料用端子6が接
続された回路からのリークによって、検査対象となる試
料用端子6に悪影響を与える回路に接続された他の試料
用端子6を選択するためのものである。
The first inspection switch 8 adversely affects the sample terminal 6 to be inspected due to leakage from the sample terminal 6 to be inspected and the circuit to which the sample terminal 6 to be inspected is connected. For selecting another sample terminal 6 connected to the circuit for applying

【0017】第2検査用スイッチ9は、検査対象となる
試料用端子6のみを選択するためのものである。
The second inspection switch 9 is for selecting only the sample terminal 6 to be inspected.

【0018】また、請求項1の発明における接地抵抗1
0は、第2検査用スイッチ9の出力端子とグラウンド間
の出力電圧を電圧検出器11で測定できるようにするた
めのものである。
Further, the ground resistance 1 according to the invention of claim 1
0 is for allowing the voltage detector 11 to measure the output voltage between the output terminal of the second inspection switch 9 and the ground.

【0019】請求項2の発明において、検査対象として
選択した試料用端子6が接続された1つの電源スイッチ
4のみをONとしているのは、この選択した試料用端子
6が接続された回路の状態を、他の回路からの影響を受
けずに正確に検査できるようにするためのものである。
In the second aspect of the present invention, only one power switch 4 to which the sample terminal 6 selected as the inspection target is connected is turned on because the state of the circuit to which the selected sample terminal 6 is connected. Is to be accurately inspected without being affected by other circuits.

【0020】選択した試料用端子6と異なる回路属性の
試料用端子6に接続された第1検査用スイッチを全てO
Nとしているのは、異なる回路属性の回路間でリークを
生じたときにリーク電流が接地抵抗10を通してグラウ
ンドに流れ、第2検査用スイッチ9の出力端子とグラウ
ンド間の出力電圧に変化を生じさせるためである。ま
た、選択した試料用端子6以外の試料用端子6であっ
て、選択した試料用端子と同じ回路属性の試料用端子6
に接続された第1検査用スイッチ8を全てOFFにして
いるのは、同じ回路属性の回路間が電気的に絶縁されて
いないため、リークが生じないようにするためである。
All the first inspection switches connected to the sample terminal 6 having a circuit attribute different from that of the selected sample terminal 6 are turned on.
N is set so that when a leak occurs between circuits having different circuit attributes, a leak current flows to the ground through the ground resistance 10 and causes a change in the output voltage between the output terminal of the second inspection switch 9 and the ground. This is because. In addition, the sample terminals 6 other than the selected sample terminals 6 having the same circuit attributes as the selected sample terminals 6
The reason why all the first inspection switches 8 connected to are turned off is that the circuits having the same circuit attribute are not electrically insulated from each other, so that no leak occurs.

【0021】更に請求項2の発明において、選択した試
料用端子6に接続された第2検査用スイッチ9のみをO
Nとしているのは、定電流源2を、選択した試料用端子
6の回路のみを介して電圧検出器11に接続し、この回
路における断線の有無を検査できるようにするものであ
る。
Further, in the invention of claim 2, only the second inspection switch 9 connected to the selected sample terminal 6 is turned on.
N is for connecting the constant current source 2 to the voltage detector 11 only through the circuit of the selected sample terminal 6 so that the presence or absence of disconnection in this circuit can be inspected.

【0022】そして、電圧検出器11で第2検査用スイ
ッチ9の出力端子とグラウンド間の出力電圧を測定する
ことにより、リークを出力電圧の低下、断線を出力電圧
の非検出として捕らえることができる。
By measuring the output voltage between the output terminal of the second inspection switch 9 and the ground with the voltage detector 11, it is possible to detect a leak as a decrease in the output voltage and a disconnection as a non-detection of the output voltage. ..

【0023】特に請求項3の発明は、検査操作の多くの
部分を自動化させるものである。
In particular, the invention of claim 3 automates many parts of the inspection operation.

【0024】[0024]

【実施例】図1は、本発明に係るエージング基板の検査
装置の一例を示すもので、図2はこの検査装置の検査対
象たるエージング基板の回路例を示すものである。
1 shows an example of an aging board inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 shows an example of a circuit of an aging board to be inspected by the inspection apparatus.

【0025】本検査装置は、入力側に、定電流源2と、
この定電流源2をエージング基板の入力端子1に接続す
るための電源端子3と、定電流源2と電源端子3との間
に介在された電源スイッチ4とを有している。
This inspection apparatus has a constant current source 2 on the input side,
It has a power supply terminal 3 for connecting the constant current source 2 to the input terminal 1 of the aging board, and a power supply switch 4 interposed between the constant current source 2 and the power supply terminal 3.

【0026】本実施例におけるエージング基板は、D1
〜D7の7つの入力端子1を有しており、本検査装置の
定電流源2及び電源端子3も、これに合わせて7つずつ
用意されている。また、各定電流源2と電源端子3の間
に、A1〜A7の7つの電源スイッチが夫々介在されて
いる。
The aging substrate in this embodiment is D1.
It has seven input terminals 1 to D7, and seven constant current sources 2 and three power supply terminals 3 of the present inspection apparatus are prepared in accordance with this. Further, seven power supply switches A1 to A7 are respectively interposed between each constant current source 2 and the power supply terminal 3.

【0027】一方、本検査装置の出力側は、エージング
基板の1つのソケット5に設けられている全ての試料用
端子6(本実施例ではE1〜E10の10個)に夫々接
続される10個の検査用端子7と、この検査用端子7に
夫々順次接続されたB1〜B10の10個の第1検査用
スイッチ8及びC1〜C10の10個の第2検査用スイ
ッチ9と、各第1検査用スイッチ8と第2検査用スイッ
チ9の間に介在された10個の接地抵抗10とを有して
いる。また、各第2検査用スイッチ9の出力端子は、電
圧検出器11に接続されている。
On the other hand, the output side of the present inspection apparatus is connected to all of the sample terminals 6 (10 terminals E1 to E10 in this embodiment) provided in one socket 5 of the aging board. Of the inspection terminals 7, 10 first inspection switches 8 of B1 to B10 and 10 second inspection switches 9 of C1 to C10, which are sequentially connected to the inspection terminals 7, respectively, and each of the first inspection switches 7. It has ten ground resistances 10 interposed between the inspection switch 8 and the second inspection switch 9. The output terminal of each second inspection switch 9 is connected to the voltage detector 11.

【0028】尚、本実施例では1つの試料用ソケット5
に対応して検査用端子7を設けているが、複数の試料用
ソケット5に対応して検査用端子7を用意することもで
きる。即ち、図示されるような10個の検査用端子7を
更に1組又は2組以上用意し、同時に複数の試料用ソケ
ット5についての検査を行えるようにすることもでき
る。この場合、1組の検査用端子7群毎に出力電圧を測
定できるようにしておけばよい。
In this embodiment, one sample socket 5 is used.
Although the inspection terminals 7 are provided corresponding to the above, the inspection terminals 7 can be prepared corresponding to the plurality of sample sockets 5. That is, it is possible to further prepare one set or two or more sets of ten inspection terminals 7 as shown in the drawing and simultaneously inspect a plurality of sample sockets 5. In this case, the output voltage may be measured for each set of the inspection terminals 7 group.

【0029】次に、本検査装置を用いた検査方法につい
て説明する。
Next, an inspection method using this inspection apparatus will be described.

【0030】まず、本検査装置の電源端子3を夫々エー
ジング基板の入力端子1に接続し、本検査装置の検査用
端子7を夫々エージング基板の1つの試料用ソケット5
の試料用端子に接続する。
First, the power supply terminals 3 of the inspection apparatus are connected to the input terminals 1 of the aging board, and the inspection terminals 7 of the inspection apparatus are respectively connected to one sample socket 5 of the aging board.
Connect to the sample terminal of.

【0031】説明の便宜上、A1〜A7の電源スイッチ
4に接続された電源端子3が順次D1〜D7の入力端子
1に接続され、B1〜B10の第1検査用スイッチ8が
接続された検査用端子7が順次E1〜E10の試料用端
子6に接続されたものとして説明する。また、図2に示
されるエージング基板のL1〜L10のラインの回路属
性は一例として次表の通りとする。
For convenience of description, the power supply terminals 3 connected to the power supply switches 4 of A1 to A7 are sequentially connected to the input terminals 1 of D1 to D7, and the first inspection switch 8 of B1 to B10 is connected for inspection. The description will be made assuming that the terminal 7 is sequentially connected to the sample terminals 6 of E1 to E10. The circuit attributes of the lines L1 to L10 of the aging board shown in FIG. 2 are as shown in the following table as an example.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】電源端子3と検査用端子7の接続後、電源
スイッチ4、第1検査用スイッチ8及び第2検査用スイ
ッチ9を適宜ON・OFFして検査を行う。
After the connection between the power supply terminal 3 and the inspection terminal 7, the power supply switch 4, the first inspection switch 8 and the second inspection switch 9 are appropriately turned ON / OFF to perform the inspection.

【0034】電源スイッチ4は、いずれか1つのみをO
Nとする。いずれの電源スイッチ4をONとするかは、
いずれの試料用端子6を検査対象として選択するかによ
って選択される。
Only one of the power switches 4 is turned on.
Let N. Which power switch 4 to turn on,
It is selected depending on which sample terminal 6 is selected as the inspection target.

【0035】例えばE10の試料用端子6を検査対象と
して選択した場合、このE10の試料用端子6はL6の
ラインに接続されており、このL6のラインの入力端子
1はD5であるので、これに接続されたA5の電源スイ
ッチ4がONとされる。また、例えばE5の試料用端子
6を選択した場合、このE5の試料用端子6はL2のラ
インに接続されており、このL2のラインの入力端子1
はD2とD3であるので、これに接続された電源スイッ
チ4としてはA2とA3が存在する。この場合、どちら
を選んでもよいが、いずれか一方のみをONとする。
For example, when the sample terminal 6 of E10 is selected as an inspection target, the sample terminal 6 of E10 is connected to the line of L6, and the input terminal 1 of the line of L6 is D5. The power switch 4 of A5 connected to is turned on. Further, for example, when the E6 sample terminal 6 is selected, the E5 sample terminal 6 is connected to the L2 line, and the L2 line input terminal 1
Are D2 and D3, therefore, there are A2 and A3 as the power switch 4 connected to them. In this case, either one may be selected, but only one of them is turned on.

【0036】第1検査用スイッチ8のON・OFFは、
次の3つの条件によって行われる。
ON / OFF of the first inspection switch 8 is
It is performed under the following three conditions.

【0037】(1)検査対象として選択した試料用端子
7に接続された第1検査用スイッチ8をONにする。
(1) The first inspection switch 8 connected to the sample terminal 7 selected as the inspection target is turned on.

【0038】(2)選択した試料用端子7と同じ回路属
性の他の試料用端子7に接続された第1検査用スイッチ
8を全てOFFにする。
(2) All the first inspection switches 8 connected to the other sample terminals 7 having the same circuit attributes as the selected sample terminal 7 are turned off.

【0039】(3)選択した試料用端子7と異なる回路
属性の試料用端子7に接続された第1検査用スイッチ8
を全てONにする。
(3) First inspection switch 8 connected to the sample terminal 7 having a circuit attribute different from that of the selected sample terminal 7
Turn all on.

【0040】更に具体的に説明すると、E10の試料用
端子6が接続されているL6のラインは、前記表から
「電源型」であるので、このE10の試料用端子の回路
属性は「電源型」となる。また、E5の試料用端子6が
接続されているL2のラインは、やはり前記表から「グ
ラウンド型」であるので、このE5の試料用端子6の回
路属性は「グラウンド型」となる。同様にして他の試料
用端子6の回路属性を整理すると、E1はクロック1
型、E2はグラウンド型、E3はグラウンド型、E4は
グラウンド型、E6はクロック2型、E7はクロック2
型、E8は電源型、E9は電源型である。
More specifically, since the line L6 to which the sample terminal 6 of E10 is connected is "power supply type" from the above table, the circuit attribute of the sample terminal of E10 is "power supply type". Will be Further, since the line L2 to which the sample terminal 6 of E5 is connected is also “ground type” from the above table, the circuit attribute of the sample terminal 6 of E5 is “ground type”. Similarly, if the circuit attributes of the other sample terminals 6 are arranged, E1 is the clock 1
Type, E2 is ground type, E3 is ground type, E4 is ground type, E6 is clock 2 type, E7 is clock 2
Type, E8 is a power source type, and E9 is a power source type.

【0041】例えばE10の試料用端子6を検査対象と
して選択した場合、このE10に接続されたB10の第
1検査用スイッチ8をONにする。ところで、このE1
0の回路属性は上記のように「電源型」であるので、こ
の「電源型」の他の試料用端子6に接続された第1検査
用スイッチ8、即ちE8及びE9の試料用端子6に接続
されたB8及びB9の第1検査用スイッチ8を全てOF
Fにする。また、「電源型」以外の回路属性の試料用端
子6、即ちE1、E2、E3、E4、E5、E6及びE
7に接続されたB1、B2、B3、B4、B5、B6及
びB7の第1検査用スイッチ8を全てONにする。
For example, when the sample terminal 6 of E10 is selected as the inspection target, the first inspection switch 8 of B10 connected to this E10 is turned on. By the way, this E1
Since the circuit attribute of 0 is "power supply type" as described above, the first inspection switch 8 connected to the other sample terminal 6 of this "power supply type", that is, the sample terminals 6 of E8 and E9 All of the connected first inspection switches 8 of B8 and B9 are OF
Set to F. Further, the sample terminals 6 having circuit attributes other than "power supply type", that is, E1, E2, E3, E4, E5, E6 and E.
All of the first inspection switches 8 of B1, B2, B3, B4, B5, B6 and B7 connected to 7 are turned on.

【0042】例えばE5の試料用端子6を検査対象とし
て選択した場合については、B5の第1検査用スイッチ
8をONにする一方、E5が「グラウンド型」であるの
で、「グラウンド型」の他の試料用端子6に接続された
B2、B3及びB4の第1検査用スイッチ8を全てOF
Fにする。また、「グラウンド型」以外の回路属性の試
料用端子6に接続されたB1、B6、B7、B8、B9
及びB10の第1検査用スイッチ8を全てONにする。
For example, when the sample terminal 6 of E5 is selected as the inspection target, the first inspection switch 8 of B5 is turned on, while E5 is the "ground type", so that other than the "ground type" is selected. All of the first inspection switches 8 of B2, B3 and B4 connected to the sample terminal 6 of
Set to F. Further, B1, B6, B7, B8, B9 connected to the sample terminals 6 having circuit attributes other than "ground type"
And all the first inspection switches 8 of B10 are turned on.

【0043】更に、第2検査用スイッチ9のON・OF
Fは、検査対象として選択した試料用端子6に接続され
た第2検査用スイッチ9のみをONにし、他の第2検査
用スイッチ9を全てOFFにすることで行われる。
Further, the second inspection switch 9 is turned on / off.
F is performed by turning on only the second inspection switch 9 connected to the sample terminal 6 selected as the inspection target and turning off all the other second inspection switches 9.

【0044】例えばE10の試料用端子6を選択した場
合、C10の第2検査用スイッチ9のみをONにし、他
の第2検査用スイッチ9は全てOFFにする。また、例
えばE5の試料用端子6を選択した場合、C5の第2検
査用スイッチ9のみをONにし、他の第2検査用スイッ
チ9を全てOFFにする。
For example, when the sample terminal 6 of E10 is selected, only the second inspection switch 9 of C10 is turned on and all the other second inspection switches 9 are turned off. Further, for example, when the sample terminal 6 of E5 is selected, only the second inspection switch 9 of C5 is turned on and all the other second inspection switches 9 are turned off.

【0045】以上の操作をした後、電圧検出器11で、
第2検査用スイッチ9の出力端子とグラウンド間の出力
電圧を測定する。そして、測定された出力電圧の大小か
ら、選択された試料用端子6が接続されている回路の異
常を判別することができる。即ち、測定された出力電圧
が基準値より小さければリークを生じていると認めら
れ、またほとんど出力電圧が測定されないときには断線
を生じていると認められる。尚、出力電圧の基準値は、
定電流電源2による電流値、エージング基板の回路特
性、接地抵抗10の抵抗値等に基づいて定められ、どの
程度厳格な検査とするかに応じて、やや低く設定したり
やや高く設定することもできる。
After the above operation, the voltage detector 11
The output voltage between the output terminal of the second inspection switch 9 and the ground is measured. Then, the abnormality of the circuit to which the selected sample terminal 6 is connected can be determined from the measured magnitude of the output voltage. That is, if the measured output voltage is smaller than the reference value, it is recognized that there is a leak, and when almost no output voltage is measured, it is recognized that a wire breakage has occurred. The reference value of the output voltage is
It is determined based on the current value of the constant current power supply 2, the circuit characteristics of the aging board, the resistance value of the grounding resistance 10, etc., and may be set to a slightly lower value or a slightly higher value depending on how strict the inspection is. it can.

【0046】本検査装置を用いた検査方法は、電源スイ
ッチ4、第1検査用スイッチ8及び第2検査用スイッチ
9のON・OFF操作を全て手動で行って実施すること
も可能であるが、図3に示されるように記憶装置12及
び制御器13を用いて行うと、これらのON・OFF操
作を自動化することができ、操作が極めて容易となり、
操作ミスを防止することができる。
In the inspection method using the present inspection apparatus, it is possible to carry out all ON / OFF operations of the power switch 4, the first inspection switch 8 and the second inspection switch 9 manually. When the storage device 12 and the controller 13 are used as shown in FIG. 3, these ON / OFF operations can be automated, and the operation becomes extremely easy.
Operation mistakes can be prevented.

【0047】これについて更に説明する。This will be further described.

【0048】各電源スイッチ4と、各第1検査用スイッ
チ8と、各第2検査用スイッチ9は、各々制御器13に
接続されており、制御器13からの信号によってON・
OFFされるものとなっている。各第2検査用スイッチ
9は、電圧検出器11を介して制御器13に接続されて
おり、更に制御器13には入力装置14、記憶装置12
及び表示器15が接続されている。
Each power switch 4, each first inspection switch 8 and each second inspection switch 9 are connected to a controller 13 and turned on by a signal from the controller 13.
It is turned off. Each second inspection switch 9 is connected to a controller 13 via a voltage detector 11, and the controller 13 further includes an input device 14 and a storage device 12.
And the display 15 is connected.

【0049】まず、いずれの試料用端子6を検査対象と
して選択したときにいずれの電源スイッチ4をONとす
るかを記憶装置12に記憶させる。これと同時に、各試
料用端子6の回路属性と、どの試料用端子6にどの検査
用端子7が接続されているか、換言するとどの試料用端
子6にどの第1検査用スイッチ8と第2検査用スイッチ
9が接続されているかを記憶装置12に記憶させる。こ
の記憶は、入力装置14によって行われ、常に同じエー
ジング基板の同じ位置に各電源端子3と検査用端子7を
接続する場合、1度記憶させた後はこの記憶を繰り返し
利用することが可能である。
First, the storage device 12 stores which power supply switch 4 is turned on when which sample terminal 6 is selected as an inspection target. At the same time, the circuit attribute of each sample terminal 6 and which inspection terminal 7 is connected to which sample terminal 6, in other words, which sample terminal 6 is connected to which first inspection switch 8 and second inspection The storage device 12 stores whether or not the switch 9 for connection is connected. This storage is performed by the input device 14, and when each power supply terminal 3 and the inspection terminal 7 are always connected to the same position of the same aging board, this storage can be repeatedly used after it is stored once. is there.

【0050】そして、いずれかの試料用端子6が検査対
象として選択されると、選択された試料用端子6に対応
して記憶されている1つの電源スイッチ4のみがONさ
れると共に、この選択された試料用端子6について記憶
されている回路属性と、その他の試料用端子6について
記憶されている回路属性とに基づき、前述の3つの条件
に合わせて第1検査用スイッチ8が自動的にON・OF
Fされ、また選択された試料用端子6に接続されている
ことが記憶されている第2検査用スイッチ9のみがON
される。
When any one of the sample terminals 6 is selected as an inspection target, only one power switch 4 stored in correspondence with the selected sample terminal 6 is turned on and the selection is made. Based on the circuit attributes stored for the sample terminals 6 and the circuit attributes stored for the other sample terminals 6, the first inspection switch 8 automatically operates in accordance with the above-mentioned three conditions. ON / OF
Only the second inspection switch 9 which is stored in F and is connected to the selected sample terminal 6 is turned on.
To be done.

【0051】上記ON・OFF制御は、制御器13とし
て例えばCPUを用い、記憶装置12の記憶に基づい
て、各電源スイッチ4、第1検査用スイッチ8及び第2
検査用スイッチ9に対し選択的に制御器13からON・
OFF信号を送ることで行われる。そして、このON・
OFF制御後に、電圧検出器11からの信号が制御器1
3に送られ、この信号が示す出力電圧値と、予め記憶装
置12に記憶されている基準値が比較され、その結果が
表示器15に表示されるものである。
For the ON / OFF control, for example, a CPU is used as the controller 13, and each power switch 4, the first inspection switch 8 and the second inspection switch 8 are stored based on the storage of the storage device 12.
The inspection switch 9 is selectively turned on by the controller 13.
This is done by sending an OFF signal. And this ON
After the OFF control, the signal from the voltage detector 11 is changed to the controller 1
3, the output voltage value indicated by this signal is compared with the reference value stored in the storage device 12 in advance, and the result is displayed on the display unit 15.

【0052】この検査方法において、検査対象としてい
ずれの試料用端子6を選択するかは、入力装置14から
手動で入力することで行ってもよいが、予め選択順を記
憶装置12に記憶させておき、その順番で順次検査対象
となる試料用端子6を自動的に切り換えながら検査して
もよい。
In this inspection method, which sample terminal 6 to be selected as an inspection target may be manually input from the input device 14, but the selection order is stored in the storage device 12 in advance. Alternatively, the inspection may be performed by automatically switching the sample terminals 6 to be inspected in that order.

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明は、以上説明した通りのものであ
り、エージング基板の1つの回路を検査するときに、当
該回路と他の回路との関係をも加味した検査ができるの
で、厳格で無駄の無い検査が行え、異常を生じたエージ
ング基板を継続使用することによる初期不良検査の不全
や、使用できるエージング基板の無駄な廃棄を防止でき
るものである。
The present invention is as described above, and when inspecting one circuit of the aging board, the inspection can be performed in consideration of the relationship between the circuit and other circuits, so that it is strict. The inspection can be performed without waste, and the failure of the initial defect inspection due to the continuous use of the abnormal aging board and the wasteful disposal of the usable aging board can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るエージング基板の検査装置の一実
施例を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of an inspection apparatus for an aging board according to the present invention.

【図2】図1の検査装置の検査対象であるエージング基
板の一例を示す回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of an aging board which is an inspection target of the inspection apparatus of FIG.

【図3】本発明の他の実施例に係るエージング基板の検
査装置を示す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing an aging board inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 1 入力端子 2 定電流源 3 電源端子 4 電源スイッチ 5 試料用ソケット 6 試料用端子 7 検査用端子 8 第1検査用スイッチ 9 第2検査用スイッチ 10 接地抵抗 11 電圧検出器 12 記憶装置 13 制御器 14 入力装置 15 表示器[Explanation of symbols] 1 input terminal 2 constant current source 3 power supply terminal 4 power supply switch 5 sample socket 6 sample terminal 7 inspection terminal 8 first inspection switch 9 second inspection switch 10 ground resistance 11 voltage detector 12 Storage device 13 Control device 14 Input device 15 Display device

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エージング基板の各入力端子に定電流源
を接続するための電源端子と、 各電源端子と定電流源との間に介在された電源スイッチ
と、 エージング基板の少なくとも1つの試料用ソケットの各
試料用端子に各々接続される複数の検査用端子と、 各検査用端子に順次接続された第1検査用スイッチ及び
第2検査用スイッチと、 この各第1検査用スイッチと第2検査用スイッチの間に
介在された接地抵抗と、 各第2検査用スイッチが接続された電圧検出器とからな
ることを特徴とするエージング基板の検査装置。
1. A power supply terminal for connecting a constant current source to each input terminal of the aging board, a power supply switch interposed between each power supply terminal and the constant current source, and at least one sample of the aging board. A plurality of inspection terminals each connected to each sample terminal of the socket, a first inspection switch and a second inspection switch sequentially connected to each inspection terminal, each of the first inspection switch and the second inspection switch An aging board inspection apparatus comprising a ground resistance interposed between inspection switches and a voltage detector to which each second inspection switch is connected.
【請求項2】 請求項1のエージング基板の検査装置の
電源端子をエージング基板の各入力端子に接続すると共
に、エージング基板の少なくとも1つの試料用ソケット
の各試料用端子に検査用端子を接続し、 検査用端子が接続された試料用端子の内、検査対象とし
て選択した1つの試料用端子が接続されている1つの電
源スイッチをONにする一方、他の電源スイッチを全て
OFFとし、 選択した試料用端子以外の試料用端子であって、選択し
た試料用端子と同じ回路属性の試料用端子に接続された
第1検査用スイッチを全てOFFとする一方、選択した
試料用端子及び選択した試料用端子と異なる回路属性の
試料用端子に接続された第1検査用スイッチを全てON
とし、 選択した試料用端子に接続された第2検査用スイッチを
ONにする一方、他の第2検査用スイッチを全てOFF
とし、 電圧検出器で第2検査用スイッチの出力端子とグラウン
ド間の出力電圧を測定することを特徴とするエージング
基板の検査方法。
2. The power supply terminal of the aging board inspection device according to claim 1 is connected to each input terminal of the aging board, and the inspection terminal is connected to each sample terminal of at least one sample socket of the aging board. , Of the sample terminals to which the inspection terminals are connected, one of the sample terminals selected for inspection is connected to one power switch, while all other power switches are turned off. All the first inspection switches connected to the sample terminals other than the sample terminals, which have the same circuit attributes as the selected sample terminal, are turned off, while the selected sample terminal and the selected sample terminal Turns on all the first inspection switches connected to the sample terminals that have circuit attributes different from those of the test terminals
And turn on the second inspection switch connected to the selected sample terminal, while turning off all other second inspection switches.
The method for inspecting an aging board is characterized in that the voltage detector measures the output voltage between the output terminal of the second inspection switch and the ground.
【請求項3】 各試料用端子の回路属性及び各試料用端
子に対応する1つの電源スイッチを記憶装置に記憶さ
せ、1つの試料用端子を検査対象として選択したとき
に、この記憶装置の記憶に基づいて、制御器によって、
電源スイッチ、第1検査用スイッチ及び第2検査用スイ
ッチのON・OFFを自動的に行うことを特徴とする請
求項2のエージング基板の検査方法。
3. The circuit attribute of each sample terminal and one power switch corresponding to each sample terminal are stored in a memory device, and when one sample terminal is selected as an inspection target, the memory of this memory device is stored. Based on the controller,
The aging board inspection method according to claim 2, wherein the power switch, the first inspection switch, and the second inspection switch are automatically turned on and off.
JP3089326A 1991-03-29 1991-03-29 Aging board inspection device and inspection method using the same Expired - Lifetime JPH0769377B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3089326A JPH0769377B2 (en) 1991-03-29 1991-03-29 Aging board inspection device and inspection method using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3089326A JPH0769377B2 (en) 1991-03-29 1991-03-29 Aging board inspection device and inspection method using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05312877A true JPH05312877A (en) 1993-11-26
JPH0769377B2 JPH0769377B2 (en) 1995-07-31

Family

ID=13967549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3089326A Expired - Lifetime JPH0769377B2 (en) 1991-03-29 1991-03-29 Aging board inspection device and inspection method using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0769377B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011114514A (en) * 2009-11-26 2011-06-09 Yuhshin Co Ltd Digital/analog conversion circuit
KR20210041659A (en) * 2019-10-07 2021-04-16 삼성디스플레이 주식회사 Aging apparatus and panel inspection system including the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011114514A (en) * 2009-11-26 2011-06-09 Yuhshin Co Ltd Digital/analog conversion circuit
KR20210041659A (en) * 2019-10-07 2021-04-16 삼성디스플레이 주식회사 Aging apparatus and panel inspection system including the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0769377B2 (en) 1995-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6356086B1 (en) Method and apparatus for the in-circuit testing of a capacitor
KR101499851B1 (en) System for testing integrity of burn-in boards for various burn-in tests
US8275568B2 (en) Semiconductor test system with self-inspection of electrical channel
US10139454B2 (en) Test device and alternating current power detection method of the same
US9632133B2 (en) Circuit board testing system
US7847571B2 (en) Semiconductor test system with self-inspection of electrical channel for Pogo tower
JP2014106220A (en) Inspection device and inspection method
US20010028256A1 (en) Diagnostic apparatus for electronics circuit and diagnostic method using same
KR20140146535A (en) Circuit board inspection apparatus
JPH0769377B2 (en) Aging board inspection device and inspection method using the same
KR102185209B1 (en) Operation state inspection device of battery controller
KR20240058551A (en) Apparatus for controlling hipot test and operating method thereof
JP4314096B2 (en) Semiconductor integrated circuit inspection apparatus and semiconductor integrated circuit inspection method
JP3241777B2 (en) Open test equipment for in-circuit tester
KR20040042616A (en) High speed measuring system of resistance
KR100355716B1 (en) Test method of low resistor for in-circuit tester
KR20150131007A (en) Insulation inspection method and insulation inspection apparatus
US20170205449A1 (en) Test device and alternating current power detection method of the same
JP4911598B2 (en) Insulation inspection device and insulation inspection method
JPH11183529A (en) Method and instrument for measuring microcurrent
JP2002122632A (en) Semiconductor inspection equipment
JP6798834B2 (en) Inspection equipment, inspection system, inspection method, and inspection program
TW202424673A (en) Signal switching and verification device and signal verification system wherein the signal switching and verification device is designed to be connected between a workstation, automatic test equipment, and a signal measurement device
KR20000042722A (en) Apparatus for testing resistor characteristic of multi-function tester
JP2002299460A (en) Semiconductor integrated circuit

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960213