JPH05314552A - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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- JPH05314552A JPH05314552A JP2762791A JP2762791A JPH05314552A JP H05314552 A JPH05314552 A JP H05314552A JP 2762791 A JP2762791 A JP 2762791A JP 2762791 A JP2762791 A JP 2762791A JP H05314552 A JPH05314552 A JP H05314552A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高い再生信号特性を有する光磁気記録媒体を提
供する。
【構成】基板/磁性層/高熱伝導層の構成を有し、高熱
伝導層は磁性層に隣接しており、高熱伝導層が100W
/m・K以上である物質の単体または合金からなる光磁
気記録媒体。(57) [Summary] [Object] To provide a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics. [Structure] It has a structure of substrate / magnetic layer / high thermal conductive layer, the high thermal conductive layer is adjacent to the magnetic layer, and the high thermal conductive layer is 100 W.
/ M · K or more, a magneto-optical recording medium made of a simple substance or an alloy of the substance.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高い再生信号特性を有
する光磁気記録媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics.
【0002】[0002]
【従来の技術】情報の記録・再生を繰返すこと、すなわ
ち情報の書換えが可能な記録層(磁性層)を備えた記録
媒体として、磁性層の微細な区域を光によってキュリー
点まで加熱し、この区域の保磁力が極端に低下した状態
で外部磁界を印加し磁化方向の反転を生じさせ、情報を
記録する光磁気記録媒体が実用化されている。2. Description of the Related Art As a recording medium having a recording layer (magnetic layer) on which information can be repeatedly recorded and reproduced, that is, information can be rewritten, a fine area of the magnetic layer is heated by light to a Curie point. A magneto-optical recording medium that records information by applying an external magnetic field and reversing the magnetization direction in a state where the coercive force of the area is extremely reduced has been put into practical use.
【0003】このような光磁気記録媒体では、情報は
0,1に対応する磁化方向の反転区域と未反転区域との
繰り返しとして記録される。記録された情報は、例えば
レーザー光が記録層の表面で反射する際に、その偏向面
が磁化の方向によって異なる方向に回転するカー効果を
利用し、この回転角(カー回転角θκ)の変化を読み取
ることにより再生される。In such a magneto-optical recording medium, information is recorded as a repetition of a reversal area and a non-reversal area of the magnetization direction corresponding to 0 and 1. The recorded information uses, for example, the Kerr effect in which the deflection surface rotates in different directions depending on the direction of magnetization when the laser light is reflected on the surface of the recording layer, and the change in this rotation angle (Kerr rotation angle θκ) Is played by reading.
【0004】磁性層のカー回転角θκは、記録された情
報の再生特性に重大な影響をおよぼし、例えば情報の読
取りやすさの指標となるC/N比(再生信号特性)は、
カー回転角θκの増大とともに向上する。C/N比を向
上させることにより、情報再生装置の光学系の精度を下
げても正確な情報再生を行える他、再生速度を上げるこ
とが可能となる。The Kerr rotation angle θκ of the magnetic layer has a great influence on the reproduction characteristic of recorded information. For example, the C / N ratio (reproduction signal characteristic) which is an index of readability of information is:
It increases as the Kerr rotation angle θκ increases. By improving the C / N ratio, accurate information reproduction can be performed and the reproduction speed can be increased even if the accuracy of the optical system of the information reproduction apparatus is lowered.
【0005】上記のような光磁気記録媒体は通常、基板
上に順次、第1誘電体層、記録層である磁性層および第
2誘電体層が形成された層構成を有している(特開平1-
263963号公報、特開昭62-209750 号公報および特開昭62
-217444 号公報)。第1誘電体層は、磁性層を保護する
役割を有しており、酸化されやすい磁性層への酸素、水
などの透過を防止する。さらに第1誘電体層は、カー効
果を高めるエンハンス層として働き、多重反射を利用し
て見かけ上のカー回転角を大きくして再生信号特性を向
上させる。また、第2誘電体層は磁性層の保護のために
設けられる。The magneto-optical recording medium as described above usually has a layer structure in which a first dielectric layer, a magnetic layer as a recording layer and a second dielectric layer are sequentially formed on a substrate (special feature). Kaihei 1-
263963, JP-A-62-209750 and JP-A-62
-217444 publication). The first dielectric layer has a role of protecting the magnetic layer, and prevents permeation of oxygen, water, etc. to the magnetic layer which is easily oxidized. Further, the first dielectric layer functions as an enhancement layer that enhances the Kerr effect, and utilizes multiple reflections to increase the apparent Kerr rotation angle and improve the reproduction signal characteristics. The second dielectric layer is provided to protect the magnetic layer.
【0006】さらに最近では、より大きな再生信号特性
を得るために、磁性層に隣接させて、もしくは第2誘電
体層の外側に、反射層を設けた構成の光磁気記録媒体に
ついての研究がなされている(特公昭62-27458号公報、
特開昭60-63747号公報)。これは、カー効果に加えて、
磁性層透過光の反射によるファラデー効果を利用しよう
とするものである。More recently, research has been conducted on a magneto-optical recording medium having a reflective layer adjacent to the magnetic layer or outside the second dielectric layer in order to obtain a larger reproduction signal characteristic. (Japanese Patent Publication No. 62-27458,
JP-A-60-63747). This is in addition to the car effect
It is intended to utilize the Faraday effect due to reflection of light transmitted through the magnetic layer.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する光磁気記録媒体においては、透過光量
を増加させてファラデー効果を十分に得るために磁性層
の厚さを薄くすると、書込みノイズが増し、逆に、書込
みノイズを減少させるために磁性層の厚さを厚くする
と、今度は十分なファラデー効果が得られないので、い
ずれの場合にも高い再生信号特性(C/N)が得られな
いという問題があった。However, in the magneto-optical recording medium having such a structure, if the thickness of the magnetic layer is reduced in order to increase the amount of transmitted light and sufficiently obtain the Faraday effect, write noise will occur. On the contrary, if the thickness of the magnetic layer is increased in order to reduce the write noise, a sufficient Faraday effect cannot be obtained this time, so that a high reproduction signal characteristic (C / N) can be obtained in any case. There was a problem of not having.
【0008】そこで本発明は、高い再生信号特性を有す
る光磁気記録媒体を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
磁性層が設けられた光磁気記録媒体において、該磁性層
の基板と反対側に、該磁性層に隣接して、室温で測定し
た熱伝導度が100W/m・K以上である物質の単体ま
たは合金からなる高熱伝導層が設けられていることを特
徴とする光磁気記録媒体を提供するものである。ここ
で、上記のような熱伝導性の高い物質からなる高熱伝導
層が磁性層に隣接して存在することが必要である。この
ことによって、書込み時のレーザ照射による熱が厚さ方
向に逃げやすくなり、矩形のピットが形成されるため、
高い再生信号特性が得られるものと考えられる。According to the present invention, in a magneto-optical recording medium having a magnetic layer provided on a transparent substrate, the magnetic layer is measured at room temperature on the side opposite to the substrate and adjacent to the magnetic layer. The present invention provides a magneto-optical recording medium characterized in that it is provided with a high thermal conductive layer made of a simple substance or an alloy of a substance having a thermal conductivity of 100 W / m · K or more. Here, it is necessary that the high thermal conductive layer made of a substance having high thermal conductivity as described above be present adjacent to the magnetic layer. This makes it easier for heat generated by laser irradiation during writing to escape in the thickness direction, forming rectangular pits,
It is considered that high reproduction signal characteristics can be obtained.
【0010】本発明の光磁気記録媒体は、基板/磁性層
/高熱伝導層の層構成を有する。任意的に、基板と磁性
層の間に第1誘電体層を、そして高熱伝導層の外側(基
板と反対側)に第2誘電体層を有することができる。The magneto-optical recording medium of the present invention has a layer structure of substrate / magnetic layer / high heat conduction layer. Optionally, there can be a first dielectric layer between the substrate and the magnetic layer and a second dielectric layer outside the high thermal conductivity layer (opposite the substrate).
【0011】基板の材料としては、具体的にはガラスな
どの無機材料、ポリカーボネート、ポリメチルメタアク
リレート、エポキシ樹脂などの樹脂材料を挙げることが
できる。基板の厚さは特に限定されず、必要に応じて変
えることができる。Specific examples of the material of the substrate include inorganic materials such as glass, resin materials such as polycarbonate, polymethylmethacrylate, and epoxy resin. The thickness of the substrate is not particularly limited and can be changed as needed.
【0012】磁性層は記録層であり、通常希土類金属と
遷移金属との合金が使用できる。例えば、TbFeCo
系、GdFeCo系、DyFeCo系、PrFeCo系
等の非晶質合金が挙げられる。好ましくは、次式:[T
bX (Fe1-Y CoY )1-X]100-Z MZ (式中、M
はCr、Ti、Zr、Pt、Pd、Rh、Nb、Vおよ
びInから選ばれ、X、YおよびZはそれぞれ、0.19≦
X≦0.26、0≦Y≦0.20、0≦Z≦6を満たす有理数で
ある)で示される組成を有する。層厚は、好ましくは20
0 〜600 オングストロームである。磁性層は公知の薄膜
形成法のいずれで形成しても良く、例えばスパッタ法、
真空蒸着法、イオンプレーティング法、気相成長法など
を使用できる。なかでもスパッタ法が特に好ましく、直
流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波スパッ
タ法などが好ましく用いられる。The magnetic layer is a recording layer, and usually an alloy of a rare earth metal and a transition metal can be used. For example, TbFeCo
Examples thereof include amorphous alloys such as those based on GdFeCo, GdFeCo, DyFeCo, and PrFeCo. Preferably, the following formula: [T
b X (Fe 1-Y Co Y ) 1-X ] 100-Z M Z (in the formula, M
Is selected from Cr, Ti, Zr, Pt, Pd, Rh, Nb, V and In, and X, Y and Z are each 0.19 ≦.
X ≦ 0.26, 0 ≦ Y ≦ 0.20, 0 ≦ Z ≦ 6, which is a rational number). The layer thickness is preferably 20
0 to 600 Angstroms. The magnetic layer may be formed by any known thin film forming method, for example, a sputtering method,
A vacuum deposition method, an ion plating method, a vapor phase growth method or the like can be used. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the DC sputtering method, the high frequency sputtering method, the reactive high frequency sputtering method and the like are preferably used.
【0013】本発明においては、上記した磁性層の基板
と反対側に、磁性層に隣接して、高熱伝導層が設けられ
ることを特徴としている。高熱伝導層の材料は、室温で
測定した熱伝導度が100W/m・K以上、好ましくは
110W/m・K以上である物質の単体または合金を使
用する。その具体例としては、Ir、Mo、Rh、R
u、W、Zn等の金属の単体もしくはこれらの金属間の
合金;これらの金属と他の金属、例えばAl、Au、A
g、Cu等との合金;またはダイヤモンド状カーボン
(ダイヤモンド構造が部分的に含まれるカーボン)、B
N等の無機物質が挙げられる。高熱伝導層の層厚は、20
0 〜600 オングストロームであるのが好ましい。このよ
うな高熱伝導層は、公知の薄膜形成法のいずれで形成し
ても良い。なかでもスパッタ法が特に好ましく、直流ス
パッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波スパッタ法
などが好ましく用いられる。The present invention is characterized in that a high thermal conductive layer is provided on the opposite side of the magnetic layer from the substrate and adjacent to the magnetic layer. As the material of the high thermal conductive layer, a simple substance or an alloy of a substance having a thermal conductivity measured at room temperature of 100 W / m · K or more, preferably 110 W / m · K or more is used. Specific examples thereof include Ir, Mo, Rh, R
u, W, Zn and other metals alone or alloys of these metals; these metals and other metals such as Al, Au, A
g, alloy with Cu, etc .; or diamond-like carbon (carbon partially containing diamond structure), B
Inorganic substances such as N may be used. The layer thickness of the high thermal conductive layer is 20
It is preferably from 0 to 600 angstroms. Such a high thermal conductive layer may be formed by any known thin film forming method. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the DC sputtering method, the high frequency sputtering method, the reactive high frequency sputtering method and the like are preferably used.
【0014】第1および第2誘電体層にはそれぞれ、Z
nS等の硫化物、SiO、SiO2、In2 O3 、Sn
O2 等の酸化物、AlN、窒化ケイ素等の窒化物が使用
できる。好ましくは窒化ケイ素であり、例えばSiN、
Si2 N3 、Si3 N4 等が挙げられる。各誘電体層の
層厚は300 〜1000オングストロームが好ましい。このよ
うな誘電体層は、上記した磁性層と同様に、公知の薄膜
形成法のいずれで形成しても良い。なかでもスパッタ法
が特に好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、
反応性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる。The first and second dielectric layers each have Z
Sulfides such as nS, SiO, SiO 2 , In 2 O 3 , Sn
Oxides such as O 2 and nitrides such as AlN and silicon nitride can be used. Preferred is silicon nitride, for example SiN,
Si 2 N 3, Si 3 N 4 and the like. The layer thickness of each dielectric layer is preferably 300 to 1000 angstroms. Such a dielectric layer may be formed by any known thin film forming method, like the magnetic layer described above. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the direct current sputtering method, the high frequency sputtering method,
A reactive high frequency sputtering method or the like is preferably used.
【0015】[0015]
【作用】本発明の光磁気記録媒体においては、高熱伝導
層が磁性層に隣接して存在するために、書込み時のレー
ザ照射による熱が厚さ方向に逃げやすくなり、矩形のピ
ットが形成されるため、高い再生信号特性が得られるも
のと考えられる。In the magneto-optical recording medium of the present invention, since the high thermal conductive layer is adjacent to the magnetic layer, the heat generated by the laser irradiation during writing easily escapes in the thickness direction, and a rectangular pit is formed. Therefore, it is considered that high reproduction signal characteristics can be obtained.
【0016】[0016]
【実施例】以下の実施例により、本発明をさらに詳しく
説明する。実施例1〜9および比較例1〜3 ポリカーボネート(以下、PCということがある)基板
上に、順次、SiN(第1誘電体層)、Tb21Fe71Co8 の
組成を有する磁性層、表に示した材質および熱伝導度
(室温にて測定)の高熱伝導層、およびSiN(第2誘
電体層)の各層を形成した。各層の形成は、プレーナー
マグネトロンスパッタ装置(基板自公転型、ULVAC
社製)を使用して、同一バッチ内で、以下の条件にて行
った。初期真空度 第1誘電体層および第2誘電体層形成時:2×10-6Torr
以下、 磁性層形成時:5×10-7Torr以下、 高熱伝導層形成時:2×10-6Torr以下スパッタガスおよびガス圧 第1誘電体層および第2誘電体層形成時:Ar+N2 、
10×10-3Torr、 磁性層形成時:Ar、5×10-3Torr、 高熱伝導層層形成時:Ar、1×10-3Torr かくして、基板/第1誘電体層/磁性層/高熱伝導層/
第2誘電体層の層構成を有する光磁気記録媒体を作製し
た。各層の層厚は、第1および第2誘電体層が800オ
ングストローム、磁性層が400オングストローム、お
よび高熱伝導層が300オングストロームであった。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
explain.Examples 1-9 and Comparative Examples 1-3 Polycarbonate (hereinafter sometimes referred to as PC) substrate
On top, in order, SiN (first dielectric layer), Tbtwenty oneFe71Co8of
Magnetic layer with composition, material and thermal conductivity shown in the table
High thermal conductivity layer (measured at room temperature), and SiN (second invitation)
Each layer of (electrical layer) was formed. The formation of each layer is a planar
Magnetron sputtering equipment (Substrate rotation type, ULVAC
(Manufactured by the same company) in the same batch under the following conditions:
It was.Initial vacuum degree When forming the first dielectric layer and the second dielectric layer: 2 × 10-6Torr
Below, when forming magnetic layer: 5 x 10-7Torr or less, when forming high thermal conductivity layer: 2 × 10-6Below TorrSputter gas and gas pressure When forming the first dielectric layer and the second dielectric layer: Ar + N2,
10 x 10-3Torr, when forming magnetic layer: Ar, 5 × 10-3Torr, when forming high thermal conductivity layer: Ar, 1 × 10-3Torr thus substrate / first dielectric layer / magnetic layer / high thermal conductivity layer /
A magneto-optical recording medium having the layer structure of the second dielectric layer was prepared.
It was The layer thickness of each layer is 800 Å for the first and second dielectric layers.
Ngstrom, magnetic layer 400 angstrom,
And the high thermal conductivity layer was 300 Å.
【0017】得られた光磁気記録媒体の再生信号特性C
/N比を、半径30 mm の測定位置にて、ディスク回転数
1800rpm 、記録周波数 3.7 MHz 、分解能帯域幅 30
KHz、レーザー波長 830nm にて、ディスク内周部にお
いて測定した。結果を次表に示す。Reproduction signal characteristic C of the obtained magneto-optical recording medium
/ N ratio, disk rotation speed at the measurement position of radius 30 mm
1800 rpm, recording frequency 3.7 MHz, resolution bandwidth 30
The measurement was performed at the inner circumference of the disk at KHz and a laser wavelength of 830 nm. The results are shown in the table below.
【0018】[0018]
【表】 【table】
【0019】[0019]
【発明の効果】本発明により、高い再生信号特性を有す
る光磁気記録媒体を提供することができる。したがっ
て、本発明の光磁気記録媒体は工業的に有用である。According to the present invention, it is possible to provide a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics. Therefore, the magneto-optical recording medium of the present invention is industrially useful.
Claims (2)
記録媒体において、該磁性層の基板と反対側に、該磁性
層に隣接して、室温で測定した熱伝導度が100W/m
・K以上である物質の単体または合金からなる高熱伝導
層が設けられていることを特徴とする光磁気記録媒体。1. In a magneto-optical recording medium having a magnetic layer provided on a transparent substrate, the thermal conductivity measured at room temperature is 100 W / m on the side of the magnetic layer opposite to the substrate and adjacent to the magnetic layer.
A magneto-optical recording medium provided with a high thermal conductive layer made of a simple substance or an alloy of a substance of K or more.
u、WおよびZnから選ばれる金属の単体もしくはこれ
らの金属間の合金、これらの金属とAl、Au、Agも
しくはCuとの合金、ダイヤモンド状カーボン、または
BNからなる請求項1記載の光磁気記録媒体。2. The high thermal conductive layer is made of Ir, Mo, Rh, R.
The magneto-optical recording according to claim 1, comprising a simple substance of a metal selected from u, W and Zn, an alloy of these metals, an alloy of these metals and Al, Au, Ag or Cu, diamond-like carbon, or BN. Medium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762791A JPH05314552A (en) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762791A JPH05314552A (en) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | Magneto-optical recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314552A true JPH05314552A (en) | 1993-11-26 |
Family
ID=12226198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2762791A Pending JPH05314552A (en) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | Magneto-optical recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05314552A (en) |
-
1991
- 1991-01-30 JP JP2762791A patent/JPH05314552A/en active Pending
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