JPH053154B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH053154B2 JPH053154B2 JP56176848A JP17684881A JPH053154B2 JP H053154 B2 JPH053154 B2 JP H053154B2 JP 56176848 A JP56176848 A JP 56176848A JP 17684881 A JP17684881 A JP 17684881A JP H053154 B2 JPH053154 B2 JP H053154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- metal vapor
- cathode
- metal
- vapor laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、金属蒸気レーザーに係り、特に低
ノイズを図るための金属蒸気レーザーに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a metal vapor laser, and more particularly to a metal vapor laser for achieving low noise.
従来、アノード及びカソード間に生じた放電に
よつてレーザ媒体即ち、金属分子を励起して光発
振出力を得ることができる金属蒸気レーザーにお
いては、レーザー出力光にノイズが発生し、実用
上問題があることが指摘されている。特にHe−
Cdレーザーは、そのノイズが大きいことから
種々の実用上の制限を受け、そのノイズの低減が
望まれている。 Conventionally, in metal vapor lasers that can obtain optical oscillation output by exciting the laser medium, that is, metal molecules, by the discharge generated between the anode and cathode, noise occurs in the laser output light, which poses a practical problem. One thing has been pointed out. Especially H e −
C d lasers are subject to various practical limitations due to their high noise, and it is desired to reduce the noise.
従来、He−Cdレーザーのノイズを低減させる
方法としてレーザー研究VoL.8，No.２（1980年）
P407−414に記載されるようにHeガス圧力を小さ
く保つ方法があるが、この方法では、レーザー出
力光のパワーが低下してしまうという問題があ
る。 Laser Research VoL.8, No.2 (1980) as a method to reduce the noise of H e -C d lasers
As described in P407-414, there is a method of keeping the He gas pressure low, but this method has the problem that the power of the laser output light decreases.
この発明は上述したような事情に鑑みなされた
ものであつて、レーザー出力光のパワーの低下を
招くことなくレーザー出力光のノイズを低減させ
ることができる金属蒸気レーザーを提供するにあ
る。 The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it is an object of the present invention to provide a metal vapor laser that can reduce the noise of the laser output light without causing a decrease in the power of the laser output light.
この発明によれば、放電気体が充填され、金属
蒸気が供給されているアノード及びカソード間の
放電路を規定するキヤピラリーの開口端からカソ
ードに至る放電路の空間は、キヤピラリー内の金
属イオン、金属原子と放電気体であるバツフアガ
スとの混合割合に実質的に等しく保持されている
金属蒸気レーザーがで提供される。この混合割合
がキヤピラリー内の混合割合に維持されることに
よつてレーザー出力光中に含まれるノイズは、低
減される。 According to this invention, the space of the discharge path from the open end of the capillary to the cathode, which defines the discharge path between the anode and the cathode filled with a discharge material and supplied with metal vapor, is defined by the space between the metal ions in the capillary and the metal vapor. A metal vapor laser is provided in which the mixing ratio of atoms and buffer gas is maintained substantially equal. By maintaining this mixing ratio at the mixing ratio within the capillary, noise contained in the laser output light is reduced.
また、キヤピラリー開口端とカソード間の金属
イオンと金属原子の密度の混合割合の異なる領域
で金属イオンから金属原子に戻る密度勾配をゆる
やかにすることによつてレーザー出力光中に含ま
れるノイズは低減される。 In addition, the noise contained in the laser output light is reduced by making the density gradient returning from metal ions to metal atoms gentler in the region where the mixing ratio of metal ions and metal atoms differs between the capillary opening end and the cathode. be done.
以下図面を参照しながら、この発明の実施例に
ついて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は、この発明の一実施例に係る外部ミラ
ー型He−Cdレーザー装置を示し、オプテイカ
ル・キヤビテイを形成する１対の反射鏡２，４間
に所定圧力のHeが充填されているHe−Cdレーザ
ー放電管６が配置されている。このレーザー放電
管６の放電容器８は、図に示すようにHeガス及
びCd蒸気の混合放電が生ずるキヤピラリー１０
及びこのキヤピラリー１０両端にブリユウスタ
ー・ウインド１２，１４を気密に取り付ける為の
ブリユウスター・ウインド取り付け部１６，１８
から構成されている。一方のブリユウスター・ウ
インド取り付け部１６には、アノード２０が固定
された第１の枝管２２が設けられている。キヤピ
ラリー１０には、キヤピラリー１０のアノード側
開口端から略５cm以内にCd蒸気を供給する為の
金属溜２４が取り付けられ、この金属溜２４に
は、金属溜２４中のCd金属２８を加熱する為の
ヒーター２６が設けられている。 FIG. 1 shows an external mirror type H e -C d laser device according to an embodiment of the present invention, in which H e at a predetermined pressure is filled between a pair of reflecting mirrors 2 and 4 forming an optical cavity. A He- Cd laser discharge tube 6 is arranged. The discharge vessel 8 of this laser discharge tube 6 is connected to a capillary 10 in which a mixed discharge of He gas and Cd vapor occurs, as shown in the figure.
and Brium Star Window attachment parts 16 and 18 for airtightly mounting the Brium Star Window 12 and 14 on both ends of this capillary 10.
It consists of A first branch pipe 22 to which an anode 20 is fixed is provided in one of the Brewster Window attachment parts 16. A metal reservoir 24 for supplying C d vapor is attached to the capillary 10 within approximately 5 cm from the anode-side open end of the capillary 10 , and the metal reservoir 24 is provided with a metal reservoir 24 for heating the C d metal 28 in the metal reservoir 24 . A heater 26 is provided for this purpose.
この発明の一実施例においては、他方のブリユ
ウスター・ウインド取り付け部１８は、カソード
３０を収納する為の拡張部３２を介してキヤピラ
リー１０に連結され、この拡張部３２内に配置さ
れたカソード３０は、コイル状に形成され、この
カソード３０は、キヤピラリー１０の開口端から
５cm以内に位置され、キヤピラリー１０の開口端
からカソード３０までの放電距離長が５cm以内に
維持されている。また、この拡張部３２には、他
の部分よりもその内径が拡げられたCd蒸気凝固
部３４が設けられている。 In one embodiment of the invention, the other Breustar window attachment 18 is connected to the capillary 10 via an extension 32 for housing the cathode 30, with the cathode 30 disposed within the extension 32. The cathode 30 is formed in a coil shape and is located within 5 cm from the open end of the capillary 10, and the discharge distance from the open end of the capillary 10 to the cathode 30 is maintained within 5 cm. Further, this expanded portion 32 is provided with a C d vapor coagulation portion 34 whose inner diameter is larger than that of other portions.
上述したこの発明の実施例によれば、He気体
を介してアノード２０及びカソード３０間で放電
が生じ、金属蒸気が金属溜２４から供給される
と、アノード２０先端及び金属溜２４の開口間に
おいては、実質的なHe気体放電が生じ、金属溜
２４の開口及びカソード３０間においては、実質
的なCd蒸気及びHe気体の混合放電が生ずる。従
つて、Cd金属分子が励起されてブリユウスタ
ー・ウインド１２，１４からはレーザー出力光が
発生され、いずれかの反射鏡４，２からレーザー
出力光が導出される。レーザー出力光中に含まれ
るノイズは、第２Ａ図の従来のレーザーに比べて
第２Ｂ図に示すように大幅に低減される。 According to the embodiment of the present invention described above, when a discharge occurs between the anode 20 and the cathode 30 via the H e gas and metal vapor is supplied from the metal reservoir 24, a discharge occurs between the tip of the anode 20 and the opening of the metal reservoir 24. At this point, a substantial He gas discharge occurs, and between the opening of the metal reservoir 24 and the cathode 30, a substantial mixed discharge of C d vapor and He gas occurs. Therefore, the Cd metal molecules are excited, and laser output light is generated from the blue star windows 12 and 14, and the laser output light is led out from either of the reflecting mirrors 4 or 2. The noise contained in the laser output light is significantly reduced as shown in FIG. 2B compared to the conventional laser of FIG. 2A.
即ち、従来のレーザーから得られるレーザー出
力光中には、ピーク対ピークで17％ものノイズが
含まれていたのに対して本願のレーザーから得ら
れるレーザー出力光には、ピーク対ピークで２％
〜８％のノイズに留めることができる。このよう
にこの発明の実施例によつてノイズが低減される
理由は、次のような事実に基くと推測される。キ
ヤピラリー１０内をカタフオレシス効果によつて
移送されるCd蒸気は、キヤピラリー１０の開口
端から大きな空間を有する拡張部３２内に流入さ
れ、Cd蒸気凝固部３４に付着される。連続的に
Cd蒸気が流入される拡張部３２は、それ自体が
大きな空間を備えることから、その内のCd蒸気
濃度が大きくならず、またこの空間に流入した
Cd蒸気は、Cd蒸気が凝固しやすいようにその内
径が拡げられてその表面温度が他の表面領域に比
べて低く保れている凝固部３４に凝固されること
から、そのキヤピラリー１０の開口端から略５cm
以内の空間は、略キヤピラリー１０内の金属蒸気
濃度に維持され、キヤピラリー１０内のHe気体
及び金属蒸気の混合割合に保れている。このキヤ
ピラリー１０の開口端から略５cm以内の空間にカ
ソード３０が設けられていることから、キヤピラ
リー１０内に生ずる混合放電がそのままキヤピラ
リー１０の開口端からカソード３０までの放電経
路に生じ、その結果、レーザー出力光中のノイズ
が低減されると推測される。 That is, while the laser output light obtained from conventional lasers contained as much as 17% peak-to-peak noise, the laser output light obtained from the laser of the present invention contained 2% peak-to-peak noise.
The noise can be kept to ~8%. The reason why the noise is reduced by the embodiments of the present invention is presumed to be based on the following facts. The C d vapor transferred within the capillary 10 by the cataphoresis effect flows from the open end of the capillary 10 into the expanded section 32 having a large space, and is deposited on the C d vapor coagulation section 34 . continuously
Since the expansion part 32 into which the C d vapor flows has a large space itself, the concentration of the C d vapor within it does not become large, and the C d vapor that flows into this space does not increase.
The C d vapor is solidified in the coagulation part 34 whose inner diameter is expanded so that the C d vapor can be easily solidified and whose surface temperature is kept low compared to other surface areas. Approximately 5cm from the opening end
The space within is maintained at approximately the metal vapor concentration within the capillary 10, and the mixing ratio of He gas and metal vapor within the capillary 10 is maintained. Since the cathode 30 is provided in a space within approximately 5 cm from the open end of the capillary 10, the mixed discharge generated within the capillary 10 is directly generated in the discharge path from the open end of the capillary 10 to the cathode 30, and as a result, It is assumed that noise in the laser output light is reduced.
上記実施例においては、金属溜２４がキヤピラ
リー１０に直接連結され、金属蒸気が直接キヤピ
ラリー１０の途中から供給されている。しかも、
この金属蒸気供給位置がアノード側のキヤピラリ
ー１０の開口端から略５cm以内に留められてい
る。このように金属溜２４をキヤピラリー１０に
取り付けることによつて金属溜２４のキヤピラリ
ー１０内開口とアノード２０先端間には、実質的
なHe気体放電が生ずるに拘らず実質的にレーザ
ー光出力中のノイズ低減をより図ることができ
る。 In the embodiment described above, the metal reservoir 24 is directly connected to the capillary 10, and metal vapor is directly supplied from the middle of the capillary 10. Moreover,
This metal vapor supply position is kept within approximately 5 cm from the open end of the capillary 10 on the anode side. By attaching the metal reservoir 24 to the capillary 10 in this manner, the laser beam is substantially output between the opening of the metal reservoir 24 in the capillary 10 and the tip of the anode 20, even though substantial He gas discharge occurs. It is possible to further reduce noise.
第３図は、第１図の変形実施例を示し、キヤピ
ラリー１０が長く、１つのカソード３０に対して
２つのアノード２０ａ，２０ｂ及び２つの金属溜
２４ａ，２４ｂが設けられたレーザーを示してい
る。この第３図の実施例においては、拡張部３２
がキヤピラリー１０に取り付けられているが、そ
の開口から５cm以内に同様にカソード３０が位置
されている。従つて、この変形実施例にあつても
同様にレーザー出力光中のノイズを低減させるこ
とができる。尚、図中第１図に示したと同一箇所
については、同一符号及び同一符号に付加記号
ａ，ｂを付してその説明を省略する。 FIG. 3 shows a modified embodiment of FIG. 1, showing a laser in which the capillary 10 is long and two anodes 20a, 20b and two metal reservoirs 24a, 24b are provided for one cathode 30. . In the embodiment of FIG. 3, the extension 32
is attached to the capillary 10, and a cathode 30 is likewise located within 5 cm from its opening. Therefore, noise in the laser output light can be similarly reduced in this modified embodiment. In addition, the same parts in the figure as shown in FIG. 1 are given the same reference numerals and additional symbols a and b, and the explanation thereof will be omitted.
第４図は、この発明の他の実施例を示し、拡張
部３２には、枝管３６を介してカソード３０を収
納するカソード収納部３８が連結されている。キ
ヤピラリー１０の拡張部３２内開口端は、枝管３
６の拡張部３２内の開口部の中心線４０上或は、
その開口部の中心線４０とブリユウスター・ウイ
ンド取り付け部１８間の空間にまで延び出してい
る。 FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which a cathode accommodating section 38 for accommodating a cathode 30 is connected to the expanded section 32 via a branch pipe 36. The open end inside the expanded portion 32 of the capillary 10 is connected to the branch pipe 3
on the center line 40 of the opening in the expanded portion 32 of No. 6, or
It extends into the space between the center line 40 of the opening and the Brewster Window attachment part 18.
この実施例においては、キヤピラリー１０の開
口端からカソード３０に至る放電路は、屈曲さ
れ、しかも、キヤピラリー１０の開口端から枝管
３６の開口部に至る放電経路は、キヤピラリー１
０の開口端からブリユウスター・ウインド取り付
け部１８に向い、その後折り曲つて枝管３６の開
口部に向つて戻るような経路を描くこととなる。
また、キヤピラリー１０内をカタフオレシス効果
によつて移送された金属蒸気は、キヤピラリー１
０の開口端から拡張部３２内に流入して停滞する
ことなく拡張部３２内の凝固部３４及び枝管３６
から突出して設けられた凝固部４２に向つて流
れ、この表面に凝固される。従つて、放電路中の
金属イオンが放電による自己加熱の熱の作用によ
り金属原子に戻るときの密度勾配をゆるやかにす
るためレーザー出力光中のノイズが低減される。 In this embodiment, the discharge path from the open end of the capillary 10 to the cathode 30 is bent, and the discharge path from the open end of the capillary 10 to the opening of the branch pipe 36 is bent.
A path will be drawn from the open end of the pipe 0 to the Brew Star Window attachment part 18, and then bend and return to the opening of the branch pipe 36.
Further, the metal vapor transferred inside the capillary 10 by the cataphoresis effect is transferred to the capillary 10.
The coagulation part 34 and branch pipe 36 within the expansion part 32 flow into the expansion part 32 from the open end of the expansion part 32 without stagnation.
The water flows toward the coagulation section 42 provided protruding from the surface and is coagulated on this surface. Therefore, the noise in the laser output light is reduced because the density gradient when the metal ions in the discharge path return to metal atoms due to the action of self-heating heat due to the discharge is made gentler.
更に、第５図に示されるように拡張部３２のキ
ヤピラリー外周部分４４は、他の部分に比べて挾
小に形成され、その断面W2が他の部分の断面W1
に比べて面積が小さいことが好ましい。外周部分
４４が挾小であることから、この外周部分４４内
の温度が他の部分に比べて高く、従つて、Cdの
イオンがゆるやかに凝固部３４に付着し、イオン
とCd原子の密度勾配をゆるやかにすることがで
きる。また、上述した外周部分４４の端部とキヤ
ピラリー１０の開口端との間の距離t1は、３mm以
内か、キヤピラリー先端を越えてW2の幅の部分
が形成され、また、キヤピラリー１０の開口端と
中心線４０との間の距離t2は５mm以上に保れるこ
とが、好ましい効果を得る上で望ましいことが実
験的に確認されている。 Further, as shown in FIG. 5, the capillary outer peripheral portion 44 of the extended portion 32 is formed to be smaller than the other portions, and its cross section W 2 is the cross section W 1 of the other portions.
It is preferable that the area is smaller than that of . Since the outer circumferential portion 44 is small, the temperature within the outer circumferential portion 44 is higher than other portions, and therefore, C d ions adhere to the solidified portion 34 gently, and the ions and C d atoms are separated. The density gradient can be made gentler. Further, the distance t 1 between the end of the outer circumferential portion 44 and the open end of the capillary 10 is within 3 mm, or a portion with a width of W 2 is formed beyond the tip of the capillary, and the opening of the capillary 10 is It has been experimentally confirmed that it is desirable to maintain the distance t 2 between the edge and the center line 40 at 5 mm or more in order to obtain the desired effect.
以上のようにこの発明のレーザーによれば、金
属蒸気のむらが生じないようにしている為レーザ
ー光中のノイズを低減させることができる。 As described above, according to the laser of the present invention, noise in the laser light can be reduced because unevenness of metal vapor is prevented from occurring.
尚、上述した実施例においては、He−Cdレー
ザーを一例として説明したが、この発明は、He
−Cdレーザーに限らず、He−Seレーザー及びHe
−Cuレーザー等の他の金属レーザーにも適用で
きることは、明らかである。更にバツフアガスを
コントロールする金属蒸気レーザー等を組合せて
用いるレーザーにも適用できることは明らかであ
る。 In the above-mentioned embodiment, the H e -C d laser was explained as an example, but the present invention is applicable to the H e -C d laser.
-C d laser, H e -S e laser and H e
It is clear that it can also be applied to other metal lasers such as -C u lasers. Furthermore, it is clear that the present invention can also be applied to a laser that is used in combination with a metal vapor laser or the like that controls buffer gas.
第１図は、この発明の金属蒸気レーザーの一実
施例を概略的に示す断面図、第２Ａ図及び第２Ｂ
図は、夫々この発明及び従来の金属蒸気レーザー
からのレーザー出力光の特性を示すグラフ、第３
図、第４図及び第５図は、夫々他の実施例を示す
断面図である。
２，４……反射鏡、６……レーザー放電管、８
……放電容器、１０……キヤピラリー、１２，１
４……ブリユウスター・ウインド、２０……アノ
ード、２２，３６……枝管、２４……金属溜、３
０……カソード、３２……拡張部、３４，４２…
…凝固部、３８……カソード収納部。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing an embodiment of a metal vapor laser of the present invention, FIG. 2A and FIG. 2B are
Figure 3 is a graph showing the characteristics of laser output light from the present invention and a conventional metal vapor laser, respectively.
4 and 5 are sectional views showing other embodiments, respectively. 2, 4...Reflector, 6...Laser discharge tube, 8
...Discharge vessel, 10...Capillary, 12,1
4...Bryu Star Wind, 20...Anode, 22,36...Branch pipe, 24...Metal reservoir, 3
0...Cathode, 32...Extension part, 34, 42...
...Coagulation section, 38... Cathode storage section.
Claims (1)
ド収納部並びにカソード収納部とを連結し、放電
路を規定するキヤピラリーとから成る放電容器
と、前記アノード収納部内に設けられたアノード
と、前記カソード収納部内に設けられたカソード
と、前記放電容器内に充填された気体と、及び前
記放電容器内に金属蒸気を供給する手段とから成
る金属蒸気レーザーにおいて、前記アノード及び
カソード間に放電が生じた際キヤピラリー端から
カソードに至る放電路中の金属イオンと金属原子
との密度とが略一定に維持されていることを特徴
とする金属蒸気レーザー。 ２ 前記カソードは、前記キヤピラリー端から放
電路長で５cm以内に設けられていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の金属蒸気レー
ザー。 ３ 前記カソード収納部には、金属蒸気が主に凝
固する領域を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第２項に記載の金属蒸気レーザー。 ４ 前記カソード収納部は、キヤピラリーに取り
付けられた拡張部に枝管を介して連結されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
金属蒸気レーザー。 ５ 前記拡張部には、金属蒸気が主に凝固する領
域を含むことを特徴とする特許請求の範囲第４項
に記載の金属蒸気レーザー。 ６ 前記キヤピラリーは、前記拡張部内に延び出
し、前記枝管の連結開口上を横切ることを特徴と
する特許請求の範囲第５項に記載の金属蒸気レー
ザー。 ７ 前記キヤピラリーの先端と前記枝官の連結開
口の中心軸との間は、５mm以上に設定されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第６項に記載の
金属蒸気レーザー。 ８ 前記拡張部は、キヤピラリーが取り付けられ
た基部内の断面が他の部分に比べて小さいことを
特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の金属蒸
気レーザー。[Scope of Claims] 1. A discharge vessel comprising an anode storage part, a cathode storage part, an anode storage part, and a capillary that connects the cathode storage part and defines a discharge path, and an anode provided in the anode storage part. , a metal vapor laser comprising a cathode provided in the cathode housing, a gas filled in the discharge vessel, and a means for supplying metal vapor into the discharge vessel, in which a discharge is generated between the anode and the cathode. A metal vapor laser characterized in that the density of metal ions and metal atoms in the discharge path from the end of the capillary to the cathode is maintained substantially constant when this occurs. 2. The metal vapor laser according to claim 1, wherein the cathode is provided within 5 cm in discharge path length from the end of the capillary. 3. The metal vapor laser according to claim 2, wherein the cathode storage portion includes a region where metal vapor mainly solidifies. 4. The metal vapor laser according to claim 1, wherein the cathode housing section is connected to an extension section attached to a capillary via a branch pipe. 5. The metal vapor laser according to claim 4, wherein the expanded portion includes a region where metal vapor mainly solidifies. 6. The metal vapor laser according to claim 5, wherein the capillary extends into the expanded portion and crosses over the connecting opening of the branch pipe. 7. The metal vapor laser according to claim 6, wherein the distance between the tip of the capillary and the central axis of the connecting opening of the branch is set to 5 mm or more. 8. The metal vapor laser according to claim 7, wherein the expanded portion has a smaller cross section within the base to which the capillary is attached than other portions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17684881A JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17684881A JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878481A JPS5878481A (en) | 1983-05-12 |
| JPH053154B2 true JPH053154B2 (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=16020883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17684881A Granted JPS5878481A (en) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | Metal vapor laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878481A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0178810B1 (en) * | 1984-10-12 | 1991-02-20 | Hiromi Kawase | A hollow-cathode type metal ion laser |
| JP3985346B2 (en) | 1998-06-12 | 2007-10-03 | 株式会社ニコン | Projection exposure apparatus, projection exposure apparatus adjustment method, and projection exposure method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130930B2 (en) * | 1971-08-09 | 1976-09-03 | ||
| JPS5915087Y2 (en) * | 1975-10-31 | 1984-05-04 | 日本電気株式会社 | High power gas laser tube |
-
1981
- 1981-11-04 JP JP17684881A patent/JPS5878481A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5878481A (en) | 1983-05-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20020027937A1 (en) | Gain module for diode-pumped solid state laser and amplifier | |
| EP0078540A1 (en) | Laser discharge tube | |
| US5130999A (en) | Laser device | |
| JPS5878481A (en) | Metal vapor laser | |
| JP2725493B2 (en) | Air-cooled argon ion laser tube | |
| JP2000315833A (en) | Single longitudinal mode solid state laser | |
| JP2672099B2 (en) | Metal vapor laser | |
| US4696011A (en) | Laser device employing a porous material in the discharge chamber | |
| CA1281402C (en) | Continuous wave, frequency-doubled solid state laser systems with stabilized output | |
| JPS5878483A (en) | Laser | |
| JPH09321379A (en) | Semiconductor laser | |
| JPH0539643Y2 (en) | ||
| JPH066521Y2 (en) | Metal vapor laser equipment | |
| KR910002042B1 (en) | Metal vapor laser | |
| US4866722A (en) | Metal vapor laser device stabilizing system | |
| JPH0546292Y2 (en) | ||
| JPH10242546A (en) | Temperature control device for optical element and laser oscillator | |
| JPH0610713Y2 (en) | Metal vapor laser equipment | |
| JPS6021584A (en) | Laser device | |
| JPH0480551B2 (en) | ||
| JPH10281883A (en) | Optical frequency reference cell device | |
| JPH0144027B2 (en) | ||
| SU1455374A1 (en) | Gas laser | |
| JPH10107346A (en) | Excitation method in solid-state laser | |
| JPS63114284A (en) | Metal-vapor laser tube |