JPH05318346A - 直交２軸移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ハンドが前後方向に移動した場合でも、装置の
後方への突出量をなるべく小さくした直交２軸移動装置
を提供する。 【構成】第１のガイド部材２０と、第２のガイド部材２
６と、スライド部材３２と、第１及び第２の駆動ローラ
３４，３６と、第１及び第２のモータ３８，４０と、４
つのアイドルローラ４６，４８，５０，５２と、４つの
アイドルローラ５４，５６，５８，６０と、従動ローラ
６２と、スライド部材３２に両端部が固定され、第１及
び第２の駆動ローラ３４，３６と、従動ローラ６２と、
８つのアイドルローラ４６，４８，５０，５２，５４，
５６，５８，６０とに掛け渡された連結ベルト６４とを
具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、産業ロボツ
トのアームの構造に関し、互いに直交する２軸に沿つて
２本のアームを夫々移動させるための直交２軸移動装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、互いに直交する２軸に沿つて
２本のアームを夫々移動させるための直交２軸移動装置
としては、例えば、本願出願と同一出願人により既に出
願された特願平０１ー１８８９１３号（平成１年７月２
４日出願）に記載にされているように、ハンドが取り付
けられた水平アーム全体が水平方向に沿つて進退するよ
うに構成されている。

【０００３】即ち、図７に前記先願に係わる従来の直交
２軸移動装置の構成が示されている。この従来構成につ
いて説明すると、符号１００が垂直方向に沿つて延出す
る一対のガイドシヤフトを示している。これらガイドシ
ヤフト１００の上下両端に、固定ブロツク１０２，１０
１が夫々固定され、下方の固定ブロツク１０１には、モ
ータ１０３により回転駆動される駆動ローラー１０５が
取り付けられ、また、上方の固定ブロツク１０２には、
モータ１０４により回転駆動される駆動ローラー１０６
が取付けられている。また、ガイドシヤフト１００に
は、ボールブツシユ１０９ａ，１０９ｂを介して、スラ
イドブロツク１０７が上下動自在に案内されている。ま
た、スライドブロツク１０７には、ボールブツシユ１１
０ａ，１１０ｂを介して、上述したガイドシヤフト１０
０と直交する方向に沿つて延出する一対のスライドシヤ
フト１０８が、水平方向に沿つてスライド可能に取り付
けられている。

【０００４】このスライドブロツク１０７には、４つの
アイドルローラ１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１
ｄが回転自在に取り付けられ、また、スライドシヤフト
１０８の一端に取り付けられた固定ブロツク１１２に
は、１つのアイドルローラ１１３が回転自在に取り付け
られている。一方、スライドシヤフト１０８の他端に
は、ハンド取り付け部１１４が固定されている。そし
て、このハンド取り付け部１１４に両端を固着され、上
述した駆動ローラ１０５，１０６と、５つのアイドルロ
ーラ１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄ，１１３
とには、図示する様に連結ベルト１１５が掛け渡されて
いる。このようにして、２つのモータ１０３，１０４の
回転により、ハンド取り付け部１１４は、上下方向、水
平方向に夫々沿つて移動可能となる。

【０００５】図８は、図７に示した従来の直交２軸移動
装置を用いて、円筒形のロボツトとしたときの構成を示
している。符号１１６は、固定ブロツク１０１に接続さ
れ、全体構成を垂直軸線回りに回転駆動させる回転機構
を示している。また、ハンド取り付け部１１４には、図
示しない部品をクランプ等して移動・組付作業等を行な
うためのハンド１１７が着脱自在に取り付けられてい
る。

【０００６】図８の様に構成することにより、ハンド１
１７を空間内の任意の位置へ移動させることが可能とな
る。

【０００７】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
のような従来の直交２軸移動装置においては、水平方向
のハンドが取付いているアームとして規定されるスライ
ドシヤフト１０８が水平方向に沿つて進退する様に作動
するため、特にハンドの取付いていない一端側部分がハ
ンドを引込める動作に伴い、後方に大きく突出する事に
なる。特に、スライドブロック１０７に近い位置にハン
ドを移動させる場合には、この一端側の後方への突出量
は極めて大きくなる。この結果、ハンド１１７により部
品を把持する領域の、直交２軸移動機構よりも後方に
は、スライドシヤフト１０８の後方への突出動作を阻害
しない様にするために、物を配置できないという欠点が
あった。

【０００８】また、ハンド１１７は、スライドブロック
１０７に対して、一方向側（前側）にしか移動すること
ができず、スライドブロックよりも後方側には、ハンド
１１７をアクセスすることができないという問題点もあ
った。この発明は上述した課題に鑑みなされたもので、
その主たる目的は、ハンドが前後方向に移動した場合で
も、装置の後方への突出量をなるべく小さくした直交２
軸移動装置を提供することにある。

【０００９】また、この発明の他の目的は、スライドブ
ロックの前方側だけでなく、後方側にもハンドをアクセ
スすることができる直交２軸移動装置を提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するため、この発明に係わる直交２軸移動装
置は、第１の方向に沿つて延出する第１のガイド部材
と、該第１のガイド部材に前記第１の方向に沿って移動
可能に取り付けられ、前記第１の方向と直交する第２の
方向に沿って延出する第２のガイド部材と、該第２のガ
イド部材に前記第２の方向に沿って移動可能に取り付け
られたスライド部材と、前記第１のガイド部材の両端に
夫々回転自在に取り付けられた第１及び第２の駆動ロー
ラと、該第１及び第２の駆動ローラを夫々回転駆動する
ための第１及び第２のモータと、前記第２のガイド部材
の前記第２の方向に沿う両端に夫々２つずつ配置され、
前記第２のガイド部材に対して回動自在に支持された４
つのアイドルローラと、前記第２のガイド部材の略中央
部に、該第２のガイド部材の幅方向両側に分かれて夫々
２つずつ配置され、該第２のガイド部材に回転自在に支
持された４つのアイドルローラと、前記スライド部材の
前記第２の方向に沿う一端部に、回転自在に支持された
１つの従動ローラと、前記スライド部材の前記第２の方
向に沿う他端部に両端部が固定され、前記第１及び第２
の駆動ローラと、前記従動ローラと、前記８つのアイド
ルローラとに掛け渡された連結ベルトとを具備すること
を特徴としている。

【００１１】また、この発明に係わる直交２軸移動装置
において、前記第２のガイド部材は、前記第２の方向に
沿う略中央部において前記第１のガイド部材に前記第１
の方向に沿って移動可能に取り付けられ、前記スライド
部材は前記第２のガイド部材の前記第２の方向への延出
長さの範囲内で、前記第２の方向に移動することを特徴
としている。

【００１２】また、この発明に係わる直交２軸移動装置
において、前記第１のガイド部材の前記第１の方向は垂
直方向に沿う方向であり、前記第２のガイド部材の前記
第２の方向は、水平方向に沿う方向であることを特徴と
している。また、この発明に係わる直交２軸移動装置に
おいて、前記第１のガイド部材及び第２のガイド部材の
夫々の第１及び第２の方向は、共に水平方向に沿う事を
特徴としている。

【００１３】また、この発明に係わる直交２軸移動装置
において、前記第１及び第２の駆動ローラと、前記第２
のガイド部材の第２の方向に沿う両端部に配置された前
記４つのアイドルローラとは、夫々歯付きローラで構成
され、前記連結ベルトは内側面に歯が形成されたタイミ
ングベルトから構成され、前記第２のガイド部材の略中
央部に配置された４つのアイドルローラと、前記スライ
ド部材に回転自在に支持された１つの従動ローラとは、
タイミングベルトの平坦な外側面をガイドする外周面を
有する円筒状ローラから構成されている事を特徴として
いる。

【００１４】

【作用】以上の様に構成されるこの発明に係わる直交２
軸移動装置によれば、第２のガイド部材を、第１のガイ
ド部材に対して第１の方向に移動可能に取り付け、この
第２のガイド部材の第２の方向への延出長さの範囲内で
ハンドを取り付けたスライド部材を移動させる様にして
いるので、ハンドの移動に伴ってスライド部材が第２の
ガイド部材よりも後方に突出することがなくなる。

【００１５】また、第２のガイド部材は、第２の方向に
沿う略中央部において第１のガイド部材に取り付けられ
ているので、この第２のガイド部材は第１のガイド部材
の両側に略均等に突出することとなり、スライド部材は
この第２のガイド部材に沿って第１のガイド部材の両側
に移動することが可能となる。

【００１６】

【実施例】以下に、この発明に係わる直交２軸移動装置
１８の一実施例の構成を、添付図面の図１乃至図６を参
照して、詳細に説明する。まず、図１及び図２を参照し
て、この発明の特徴となる直交２軸移動装置１８の構成
を説明する。

【００１７】この一実施例の直交２軸移動装置１８は、
不図示の回転駆動部に直接連結され、垂直軸線回りに回
動駆動される第１のガイド部材２０を備えている。この
第１のガイド部材２０は、第１の方向としての垂直方向
に沿つて延出した略長板状部材から構成されている。こ
の第１のガイド部材２０の表面には、２本のスライドレ
ール２２が、垂直方向に沿つて延出した状態で取り付け
られている。このスライドレール２２には、スライドベ
アリング２４を介して第２のガイド部材２６が垂直方向
に沿つてスライド自在に支持されている。

【００１８】第２のガイド部材２６の表面には、１本の
スライドレール２８が、水平方向に沿って延出した状態
で取り付けられている。このスライドレール２８には、
スライドベアリング３０を介してスライド部材３２が水
平方向に沿ってスライド自在に支持されている。このス
ライド部材３２には、不図示のハンドが取り付けられ
る。。

【００１９】また、第１のガイド部材２０の一端部（上
端部）の表面には、すなわち、不図示の回転駆動部から
遠い側の一端部の表面には、第１の駆動ローラ３４が回
動自在に軸支されている。一方、第１のガイド部材２０
の他端部（下端部）には、第２の駆動ローラ３６が回転
自在に軸支されている。そして、第１のガイド部材２０
の裏面には、これら第１及び第２の駆動ローラ３４，３
６を夫々回転駆動するための第１及び第２のサーボモー
タ３８，４０が取り付けられており、夫々の図示しない
出力軸が対応する第１及び第２の駆動ローラ３４，３６
に連結されている。これら第１及び第２のサーボモータ
３８，４０の夫々の出力軸には、夫々の駆動ローラ３
４，３６の回転駆動量を検出するために、ロータリエン
コーダ４２，４４が接続されている。これらロータリエ
ンコーダ４２，４４は、不図示の制御ユニットに接続さ
れており、公知のフィードバツク制御により、第１及び
第２のサーボモータ３８，４０の各々の速度及び回転角
の制御が実行される。

【００２０】一方、第２のガイド部材２６の表面には、
上下方向に離間した２本の水平線と、水平方向両端部に
離間した２本の垂直線との４つの交点上に夫々の回転軸
を位置させた状態で、第１，第２，第３，第４の４個の
アイドルローラ４６，４８，５０，５２が回転自在に軸
支されている。また、第２のガイド部材の略中央部の表
面には、スライドレール２８を上下から挟む様に、長方
形の各頂点上に夫々の回転軸を位置させた状態で、第
５，第６，第７，第８の４個のアイドルローラ５４，５
６，５８，６０が回転自在に軸支されている。

【００２１】またスライド部材３２の一端部には、従動
ローラ７０が回転自在に取り付けられており、この従動
ローラ７０の回転軸の垂直方向位置は、第１及び第２の
アイドルローラ４６，４８の中間位置（第３及び第４の
アイドルローラ５０，５２の中間位置）となる様に設定
されている。ここで、この一実施例においては、第１及
び第２の駆動ローラ３４，３６と、第１乃至第８のアイ
ドルローラ４６，４８，５０，５２，５４，５６，５
８，６０と、従動ローラ６２とは、同径に形成されてい
るが、別段、同径である事に限定されるものではない。
そして、第１及び第２のアイドルローラ４６，４８間の
距離及び第３及び第４のアイドルローラ５０，５２間の
距離は、従動ローラ６２の直径と丁度同じ長さに設定さ
れている。また、第５及び第６のアイドルローラ５４，
５６間の距離は、第１の駆動ローラ３４の直径と丁度同
じ長さに設定されており、第７及び第８のアイドルロー
ラ５８，６０間の距離は、第２の駆動ローラ３６の直径
と丁度同じ長さに設定されている。

【００２２】また、第１及び第３のアイドルローラ４
６，５０の図中上側で水平方向に沿つて延出する夫々の
接線と夫々の外周下縁が接する様に第５及び第６のアイ
ドルローラ５４，５６が夫々位置決めされており、ま
た、第２及び第４のアイドルローラ４８，５２の図中下
側で水平方向に沿つて延出する夫々の接線と夫々の外周
上縁が接する様に第７及び第８のアイドルローラ５８，
６０が夫々位置決めされている。

【００２３】更に、スライド部材３２の一端部には、第
３のアイドルローラ５０の下側で水平方向に沿つて延出
する接線が接する面を上端面として備え、第４のアイド
ルローラ５２の上側で水平方向に沿つて延出する接線が
接する面を下端面として備えたタイミングベルト６４の
固定部６６が固着されている。ここで、上述した駆動ロ
ーラ３４，３６と、第１乃至第８のアイドルローラ４
６，４８，５０，５２，５４，５６，５８，６０と、従
動ローラ６２とには、以下に説明する様にして１本のタ
イミングベルト６４が掛け渡されている。即ち、このタ
イミングベルト６４の一端は、固定部６６の上端面に固
定され、第３のアイドルローラ５０の外周にその内側面
が係合した状態で掛け渡された後、第６のアイドルロー
ラ５６の外周にその外側面が係合した状態で掛け渡さ
れ、その後、第１の駆動ローラ３４の外周にその内側面
が係合した状態で掛け渡され、その後、第５のアイドル
ローラ５４の外周にその外側面が係合した状態で掛け渡
され、その後、第１のアイドルローラ４６の外周にその
内側面が係合した状態で掛け渡され、その後、従動ロー
ラ６２の外周にその外側面が係合した状態で掛け渡さ
れ、その後、第２のアイドルローラ４８の外周にその内
側面が係合した状態で掛け渡され、その後、第７のアイ
ドルローラ５８の外周にその外側面が係合した状態で掛
け渡され、その後、第２の駆動ローラ３６の外周にその
内側面が係合した状態で掛け渡され、その後、第８のア
イドルローラ６０の外周にその外側面が係合した状態で
掛け渡され、その後、第４のアイドルローラ５２の外周
にその内側面が係合した状態で掛け渡され、最後に、固
定部６６の下端面に、その他端が固定されている。

【００２４】尚、このタイミングベルト６４は、その内
側面に多数の歯が形成されており、その外側面は平坦に
形成されている。そして、このタイミングベルト６４の
内側面が係合する第１及び第２の駆動ローラ３４，３６
と、第１乃至第４のアイドルローラ４６，４８，５０，
５２とは、これの歯と噛合する歯を外周に有する歯付ロ
ーラから構成されている。また、このタイミングベルト
６４の外側面が係合する第５乃至第８のアイドルローラ
５４，５６，５８，６０及び従動ローラ６２は、スムー
ズな外周面を有する円筒状ローラから構成されている。

【００２５】次に、図２は図１を矢印Ａ方向から見た平
面図である。図示した様に第１及び第２の駆動モータ３
４，３６を所定の回転方向に回転させることにより、第
２のガイド部材２６を第１のガイド部材２０に対して上
下方向に移動させることができると共に、スライド部材
３２を第２のガイド部材２６に対して左右方向に移動さ
せることができる。これにより、スライド部材３２に取
り付けられたハンド（不図示）を、上下左右方向の所望
の位置に移動させることができる。

【００２６】以下、図３乃至図６を参照して、上述した
ハンドの移動動作について具体的に説明する。まず、図
３に示す様に、第１及び第２のサーボモータ３８，４０
により第１及び第２の駆動ローラ３４，３６を共に同期
した状態で同じ量だけ時計方向に回転させる。この結
果、第１の駆動ローラ３４と第５のアイドルローラ５４
との間に位置するタイミングベルト６４の部分、及び、
第１の駆動ローラ３４と第６のアイドルローラ５６との
間に位置するタイミングベルト６４の部分が、共に、そ
の長さを同じ量だけ長くする様に変化し、且つ、第２の
駆動ローラ３６と第７のアイドルローラ５８との間に位
置するタイミングベルト６４の部分、及び、第２の駆動
ローラ３６と第８のアイドルローラ６０との間に位置す
るタイミングベルト６４の部分が、共にその長さを同じ
量だけ短くする様に変化する事となる。従つて、スライ
ド部材３２は、左右方向に沿つて何ら移動することな
く、第２のガイド部材２６のみが、垂直方向に沿つて、
図中下方に向けて送り出される事となる。

【００２７】次に、図４に示す様に、第１及び第２のサ
ーボモータ３８，４０により第１及び第２の駆動ローラ
３４，３６を共に同期した状態で同じ量だけ反時計方向
に回転させる。この結果、第１の駆動ローラ３４と第５
のアイドルローラ５４との間に位置するタイミングベル
ト６４の部分、及び、第２の駆動ローラ３６と第６のア
イドルローラ５６との間に位置するタイミングベルト６
４の部分が、共に、その長さを同じ量だけ短くする様に
変化し、且つ、第２の駆動ローラ３６と第７のアイドル
ローラ５８との間に位置するタイミングベルト６４の部
分、及び、第２の駆動ローラ３６と第８のアイドルロー
ラ６０との間に位置するタイミングベルト６４の部分
が、共にその長さを同じ量だけ長くする様に変化する事
となる。従つて、スライド部材３２は、左右方向に沿つ
て何ら移動することなく、第２のガイド部材２６のみ
が、垂直方向に沿つて、図中上方に向けて送り出される
事となる。

【００２８】また、図５に示す様に、第１のサーボモー
タ３８により第１の駆動ローラ３４を反時計方向に回転
させると同時に、これと同期して同じ量だけ第２のサー
ボモータ４０により第２の駆動ローラ３６を時計方向に
回転させる。この結果、第１のアイドルローラ４６と従
動ローラ６２との間に位置するタイミングベルト６４の
部分、及び、第２のアイドルローラ４８と従動ローラ６
２との間に位置するタイミングベルト６４の部分が、共
に、その長さを同じ量だけ長くする様に変化し、且つ、
第３のアイドルローラ５０と固定部６６との間に位置す
るタイミングベルト６４の部分、及び、第４のアイドル
ローラ５２と固定部６６との間に位置するタイミングベ
ルト６４の部分が、共にその長さを同じ量だけ短くする
様に変化する事となる。従つて、第２のガイド部材２６
は、上下方向に沿つて何ら移動することなく、スライド
部材３２のみが、図中右方に向けて送り出される事とな
る。

【００２９】そして、図６に示す様に、第１のサーボモ
ータ３８により第１の駆動ローラ３４を時計方向に回転
させると同時に、これと同期して同じ量だけ第２のサー
ボモータ４０により第２の駆動ローラ３６を反時計方向
に回転させる。この結果、第１のアイドルローラ４６と
従動ローラ６２との間に位置するタイミングベルト６４
の部分、及び、第２のアイドルローラ４８と従動ローラ
６２との間に位置するタイミングベルト６４の部分が、
共に、その長さを同じ量だけ短くする様に変化し、且
つ、第３のアイドルローラ５０と固定部６６との間に位
置するタイミングベルト６４の部分、及び、第４のアイ
ドルローラ５２と固定部６６との間に位置するタイミン
グベルト６４の部分が、共にその長さを同じ量だけ長く
する様に変化する事となる。従つて、第２のガイド部材
２６は、上下方向に沿つて何ら移動することなく、スラ
イド部材３２のみが、図中左方に向けて送り出される事
となる。

【００３０】以上説明したように、この一実施例の直交
２軸移動装置１８は、２つのサーボモータ３８，４０を
互いに同期させて同じ回転方向に回転させると、第２の
ガイド部材２６が２つのサーボモータ３８，４０のトル
クを合体させた状態で上下方向に沿つて移動させられる
事となる。また、２つのサーボモータ３８，４０を互い
に同期させて互いに異なる回転方向に回転させると、第
２のガイド部材２６自身は上下方向に停止した状態で、
第２のガイド部材２６に対して、スライド部材３２のみ
が２つのサーボモータ３８，４０のトルクを合体させた
状態で左右方向に沿つて移動させられる事となる。

【００３１】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で上記実施例を修正または変形したものに適用可能で
ある。例えば、上述した一実施例においては、直交２軸
移動装置１８を円筒形ロボツトに用いた例を説明した
が、この発明はこのような適用に限定されることなく、
例えば、第１のガイド部材２０を固定した状態で、２軸
の直交ロボツトとしても用いることができる。この時、
第１のガイド部材２０及び第２のガイド部材２６が共に
水平方向に沿って延出する様に、この直交２軸移動機構
１８を配置してもよい。

【００３２】また、上述した一実施例においては、駆動
力の伝達を歯付のタイミングベルト６４を介して行う様
に説明したが、この発明はこのような構成に限定される
ことなく歯の付いていないタイミングベルトを利用して
も良いし、また、その他チェーン、ワイヤー、ロープ等
で駆動力を伝達させる様にしても、なんら問題はない。

【００３３】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明の直交２軸移
動装置によれば、第２のガイド部材を、第１のガイド部
材に対して第１の方向に移動可能に取り付け、この第２
のガイド部材の第２の方向への延出長さの範囲内でハン
ドを取り付けたスライド部材を移動させる様にしている
ので、ハンドの移動に伴ってスライド部材が第２のガイ
ド部材よりも後方に突出することがなくなる。

【００３４】また、第２のガイド部材は、第２の方向に
沿う略中央部において第１のガイド部材に取り付けられ
ているので、この第２のガイド部材は第１のガイド部材
の両側に略均等に突出することとなり、スライド部材は
この第２のガイド部材に沿って第１のガイド部材の両側
に移動することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係わる直交２軸移動装置の一実施例
の構成を示す斜視図である。

【図２】図１を矢印Ａ方向から見た平面図である。

【図３】第２のガイド部材のみを図中下方に移動させる
状態を示す正面図である。

【図４】第２のガイド部材のみを図中上方に移動させる
状態を示す正面図である。

【図５】スライド部材のみを図中右方に移動させる状態
を示す正面図である。

【図６】スライド部材のみを図中左方に移動させる状態
を示す正面図である。

【図７】従来の直交２軸移動装置の構成を示す斜視図で
ある。

【図８】従来の直交２軸移動装置を円筒形ロボツトに適
用した場合を示す正面図である。

【符号の説明】

１８ 直交２軸移動装置 ２０ 第１のガイド部材 ２２ スライドレール ２４ スライドベアリング ２６ 第２のガイド部材 ２８ スライドレール ３０ スライドベアリング ３２ スライド部材 ３４ 第１の駆動ローラ ３６ 第２の駆動ローラ ３８ 第１のサーボモータ ４０ 第２のサーボモータ ４２ ロータリエンコーダ ４４ ロータリエンコーダ ４６ 第１のアイドルローラ ４８ 第２のアイドルローラ ５０ 第３のアイドルローラ ５２ 第４のアイドルローラ ５４ 第５のアイドルローラ ５６ 第６のアイドルローラ ５８ 第７のアイドルローラ ６０ 第８のアイドルローラ ６２ 従動ローラ ６４ タイミングベルト ６６ 固定部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の方向に沿つて延出する第１のガイ
   ド部材と、 該第１のガイド部材に前記第１の方向に沿って移動可能
   に取り付けられ、前記第１の方向と直交する第２の方向
   に沿って延出する第２のガイド部材と、 該第２のガイド部材に前記第２の方向に沿って移動可能
   に取り付けられたスライド部材と、 前記第１のガイド部材の両端に夫々回転自在に取り付け
   られた第１及び第２の駆動ローラと、 該第１及び第２の駆動ローラを夫々回転駆動するための
   第１及び第２のモータと、 前記第２のガイド部材の前記第２の方向に沿う両端に夫
   々２つずつ配置され、前記第２のガイド部材に対して回
   動自在に支持された４つのアイドルローラと、 前記第２のガイド部材の略中央部に、該第２のガイド部
   材の幅方向両側に分かれて夫々２つずつ配置され、該第
   ２のガイド部材に回転自在に支持された４つのアイドル
   ローラと、 前記スライド部材の前記第２の方向に沿う一端部に、回
   転自在に支持された１つの従動ローラと、 前記スライド部材の前記第２の方向に沿う他端部に両端
   部が固定され、前記第１及び第２の駆動ローラと、前記
   従動ローラと、前記８つのアイドルローラとに掛け渡さ
   れた連結ベルトとを具備することを特徴とする直交２軸
   移動装置。
2. 【請求項２】 前記第２のガイド部材は、前記第２の方
   向に沿う略中央部において前記第１のガイド部材に前記
   第１の方向に沿って移動可能に取り付けられ、前記スラ
   イド部材は前記第２のガイド部材の前記第２の方向への
   延出長さの範囲内で、前記第２の方向に移動することを
   特徴とする請求項１に記載の直交２軸移動装置。
3. 【請求項３】 前記第１のガイド部材の前記第１の方向
   は垂直方向に沿う方向であり、前記第２のガイド部材の
   前記第２の方向は、水平方向に沿う方向であることを特
   徴とする請求項１に記載の直交２軸移動装置。
4. 【請求項４】 前記第１のガイド部材及び第２のガイド
   部材の夫々の第１及び第２の方向は、共に水平方向に沿
   う事を特徴とする請求項１に記載の直交２軸移動装置。
5. 【請求項５】 前記第１及び第２の駆動ローラと、前記
   第２のガイド部材の第２の方向に沿う両端部に配置され
   た前記４つのアイドルローラとは、夫々歯付きローラで
   構成され、 前記連結ベルトは内側面に歯が形成されたタイミングベ
   ルトから構成され、 前記第２のガイド部材の略中央部に配置された４つのア
   イドルローラと、前記スライド部材に回転自在に支持さ
   れた１つの従動ローラとは、タイミングベルトの平坦な
   外側面をガイドする外周面を有する円筒状ローラから構
   成されている事を特徴とする請求項１に記載の直交２軸
   移動装置。