JPH05322249A - クリーントンネルのメンテナンス機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーントンネル内のクリーン空間を破壊す
ることなく、クリーントンネル内のメンテナンス作業が
できるクリーントンネルのメンテナンス機構を提供する
ことを目的としている。 【構成】 給排気装置５と空気清浄化装置３とによって
構成されるクリーン空間と、このクリーン空間内に配さ
れた製造ライン又は／及び搬送ライン６とを有するクリ
ーントンネルにおいて、クリーントンネルの外壁上に所
定間隔をおいて設けた気密メンテナンスポート９と、こ
の気密メンテナンスポート９に気密に取り付けて前記各
種ライン６のメンテナンス時に使用するメンテナンスグ
ローブとを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造や搬送に
使用するクリーントンネルに関し、特に、クリーントン
ネルのメンテナンスに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】以前から、半導体の製造や搬送には、給
排気装置と空気清浄化装置とによって構成されるクリー
ン空間と、このクリーン空間内に配された製造ライン又
は／及び搬送ラインとを有するクリーントンネルが使用
されている。このクリーントンネルの従来例を図５に基
づいて説明する。

【０００３】図５において、クリーントンネルの上面、
底面、右面、左面、前面、後面の６外壁は、高性能フィ
ルター３を有する複数のクリーンモジュール１と給排気
装置５とを接続して構成される。クリーンモジュール１
は、通気口２を有する給気ゾーンＡと、排気口４を有す
る排気ゾーンＣと、給気ゾーンＡとの接続側に高性能フ
ィルター（ＨＡＰＡフィルター）３が配され、排気ゾー
ンＣとの接続側に空気排出口１３を配してクリーン空間
を構成すると共に、その内部に搬送装置６を有するクリ
ーントンネル部Ｂとを備える。搬送装置６はワーク８を
搬送し、給排気装置５は、その給排気機能によって、給
排気の流れ７を構成し、給排気の流れ７は各クリーンモ
ジュール１に分かれて、高性能フィルター（ＨＡＰＡフ
ィルター）３によって空気中のダストを濾し取られてク
リーンな空気の流れ７′になってクリーントンネル部Ｂ
に入り、搬送装置６上のワーク８を清浄に保つ。ワーク
８と搬送装置６とを通過した空気は搬送装置６で発生し
たダストと共に空気排出口１３を通って排気ゾーンＣに
排出され、給排気の流れ７となって給排気装置５に戻り
循環を繰り返す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の構成では、一部のクリーンモジュール１において、搬
送装置６の故障修理や点検のために、クリーンモジュー
ル１のその部分を開放すると、外部のダストがクリーン
トンネル部Ｂ内全体を汚染し、クリーン空間が破壊され
てしまうという問題点がある。

【０００５】そして、一度、クリーン空間が汚染される
と、ダストは、クリーンモジュール１の内部や内部に設
置された搬送装置等の細部にまで付着し、再度、当初の
クリーン状態にするためには、清掃とダスト除去のため
に、多大な時間と運転費用とが必要であるという問題点
がある。

【０００６】本発明は、上記の問題点を解決し、クリー
ントンネル部Ｂのクリーン空間を破壊することなく、ク
リーントンネル部Ｂ内の装置をメンテナンスできるクリ
ーントンネルのメンテナンス機構を提供することを課題
としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のクリーントンネ
ルのメンテナンス機構は、上記の課題を解決するため
に、給排気装置と空気清浄化装置とによって構成される
クリーン空間と、このクリーン空間内に配された製造ラ
イン又は／及び搬送ラインとを有するクリーントンネル
において、クリーントンネルの外壁上に所定間隔をおい
て設けた気密メンテナンスポートと、この気密メンテナ
ンスポートに気密に取り付けて前記各種ラインのメンテ
ナンス時に使用するメンテナンスグローブとを備えたこ
とを特徴とする。

【０００８】

【作用】本発明のクリーントンネルのメンテナンス機構
は、クリーントンネルの外壁上に所定間隔をおいて設け
た気密メンテナンスポートと、この気密メンテナンスポ
ートに気密に取り付けて前記各種ラインのメンテナンス
時に使用するメンテナンスグローブとを備えているの
で、クリーントンネル内の搬送ライン６の故障修理や点
検や異常の生じたワークの処理等のために、このメンテ
ナンスグローブ１０を使用し、クリーントンネルと外気
間の気密を保持したままで、必要な部品は製造ラインや
搬送ラインを使用してメンテナンス位置に搬送し、異常
を発生したワークや取り外した部品は製造ラインや搬送
ラインを使用して搬出することによって、メンテナンス
作業を行うことができる。このようにすると、従来例の
ように、クリーントンネル内を外気に開放してメンテナ
ンスを行う場合に比較して、当初のクリーン状態に復帰
させるに要する時間と運転費用を極めて大幅に削減する
ことができる。

【０００９】

【実施例】本発明のクリーントンネルのメンテナンス機
構の一実施例を図１〜図４に基づいて説明する。

【００１０】図１は、本実施例を使用したクリーントン
ネルの断面図、図２は図１の外観の斜視図である。

【００１１】図１、図２において、クリーントンネルの
上面、底面、右面、左面、前面、後面の６外壁は、高性
能フィルター（ＨＡＰＡフィルター等）３を有する複数
のクリーンモジュール１と給排気装置５とを接続して構
成される。クリーンモジュール１は、通気口２を有する
給気ゾーンＡと、排気口４を有する排気ゾーンＣと、給
気ゾーンＡとの接続側に高性能フィルター（ＨＡＰＡフ
ィルター等）３が配され、排気ゾーンＣとの接続側に空
気排出口１３を配してクリーン空間を構成すると共に、
その内部に搬送ライン６を有するクリーントンネル部Ｂ
とを備える。搬送ライン６はワーク８を搬送し、給排気
装置５は、その給排気機能によって、給排気の流れ７
（クリーン度クラス１００万程度）を構成し、給排気の
流れ７は各クリーンモジュール１に分かれて、高性能フ
ィルター（ＨＡＰＡフィルター等）３によって空気中の
ダストを濾し取られてクリーンな空気の流れ７′（クリ
ーン度クラス１程度）になってクリーントンネル部Ｂに
入り、搬送ライン６上のワーク８を清浄に保つ。ワーク
８と搬送ライン６とを通過した空気は搬送装置６で発生
したダスト（クリーン度クラス１０万〜１００万程度）
と共に空気排出口１３を通って排気ゾーンＣに排出さ
れ、給排気の流れ７となって給排気装置５に戻り循環を
繰り返す。このようにして、各クリーンモジュール１の
クリーントンネル部Ｂは連続したクリーン空間（クリー
ン度クラス１程度）を形成する。

【００１２】上記までは、通常のクリーントンネルの構
成の説明で、以下に、本実施例の構成を図１〜図４に基
づいて説明する。

【００１３】図１〜図４において、本実施例のクリーン
トンネルのメンテナンス機構は、クリーントンネルの各
クリーンモジュール１の外壁上に所定間隔をおいて設け
た気密メンテナンスポート９と、この気密メンテナンス
ポート９に気密に取り付けて前記各種ライン６のメンテ
ナンス時に使用する気密メンテナンスグローブ１０（例
えば、フランジ付のゴム製グローブ等）とを備えてい
る。気密メンテナンスポート９には、メンテナンスグロ
ーブ１０を取り付ける穴と一対のカバーガイド１２とが
あり、常時はカバー１１で気密に閉じられて、クリーン
モジュール１内部の与圧の低下を防止し、ダストの侵入
を防止している。

【００１４】クリーントンネル内の搬送ライン６の故障
やワーク８の異常が発生した場合には、これらの異常が
発生したクリーンモジュール１の気密メンテナンスポー
ト９のカバー１１をカバーガイド１２から取り外し、代
わりに、メンテナンスグローブ１０をカバーガイド１２
の溝部に挿入する。この場合、メンテナンスグローブ１
０のフランジ部とカバー１１とを密接させ、且つ、これ
らを気密メンテナンスポート９に密着させて両方を一緒
に横方向に移動させ、気密メンテナンスポート９からク
リーンな空気が流出するのを防止しながら、メンテナン
スグローブ１０を所定の位置に設置する。勿論、カバー
ガイド１２の溝部と、カバー１１及びメンテナンスグロ
ーブ１０とは、挿入作業中及び挿入後に気密を維持でき
るように製作されている。メンテナンスグローブ１０の
設置が終わると、このメンテナンスグローブ１０を使用
し、クリーントンネルと外気間の気密を保持したまま
で、必要な部品は製造ラインや搬送ラインを使用してメ
ンテナンス位置に搬送し、異常が発生したワークや取り
外した部品は製造ラインや搬送ラインを使用して搬出す
ることによって、メンテナンス作業を行う。メンテナン
スが終了すると、メンテナンスグローブ１０のフランジ
部とカバー１１とを密接させ、且つ、これらを気密メン
テナンスポート９に密着させて両方を一緒に横方向に移
動させ、気密メンテナンスポート９からクリーンな空気
が流出するのを防止しながら、気密メンテナンスポート
９からメンテナンスグローブ１０を取り外して、カバー
１１を元の位置に戻す。このようにすると、従来例のよ
うに、クリーントンネル内を外気に開放してメンテナン
スを行う場合に比較して、当初のクリーン状態に復帰さ
せるに要する時間と運転費用を極めて大幅に削減するこ
とができる。例えば、１０個のクリーンモジュール１を
接続したクリーントンネルの場合には、当初のクリーン
状態に復帰させるに要する時間は１／１００程度、運転
費用も１／１００程度になる。

【００１５】尚、本発明のクリーントンネルのメンテナ
ンス機構は、上記の実施例に限らず種々の態様が可能で
ある。例えば、本実施例ではメンテナンスグローブ１０
をフランジ付のゴム製グローブとしたが、空気漏れが無
く発塵の少ない材料であればこれに限らない。又、気密
メンテナンスポート９の位置や気密構造は本実施例に限
らず自由に設計できる。又、メンテナンスグローブ１０
を気密メンテナンスポート９に取り付けたままの常時取
り付け型とし、不使用時には、メンテナンスグローブ１
０を裏返しにして外部に引き出しておくこともできる。

【００１６】

【発明の効果】本発明のクリーントンネルのメンテナン
ス機構は、クリーントンネルの外壁上に所定間隔をおい
て設けた気密メンテナンスポートと、この気密メンテナ
ンスポートに気密に取り付けてクリーントンネル内の各
種ラインのメンテナンス時に使用するメンテナンスグロ
ーブとを備えることによって、クリーントンネル内の搬
送ライン６の故障修理や点検や異常が生じたワークの除
去等が必要な場合に、このメンテナンスグローブ１０を
使用し、クリーントンネルと外気間の気密を保持したま
まで、必要な部品を製造ラインや搬送ラインを使用して
メンテナンス位置に搬送し、異常を発生したワークや取
り外した部品を製造ラインや搬送ラインを使用して搬出
することによって、メンテナンス作業を行うことができ
る。このようにすると、従来例のように、クリーントン
ネル内を外気に開放してメンテナンスを行う場合に比較
して、当初のクリーン状態に復帰させるに要する時間と
運転費用を極めて大幅に削減することができる。例え
ば、１０個のクリーンモジュール１を接続したクリーン
トンネルの場合には、当初のクリーン状態に復帰させる
に要する時間は１／１００程度、運転費用も１／１００
程度になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーントンネルのメンテナンス機構
の一実施例を使用したクリーントンネルの断面図であ
る。

【図２】図１の外観の斜視図である。

【図３】図２の一部拡大図である。

【図４】図２の一部拡大図である。

【図５】従来例のクリーントンネルの断面図である。

【符号の説明】

Ａ 給気ゾーン Ｂ クリーントンネル部 Ｃ 排気ゾーン １ クリーンモジュール ２ 通気口 ３ 高性能フィルター（空気清浄化装置） ４ 排気口 ５ 給排気装置 ６ 搬送ライン ７ 給排気の流れ ７′ クリーンな空気の流れ ８ ワーク ９ 気密メンテナンスポート １０ メンテナンスグローブ １１ カバー １２ カバーガイド １３ 空気排出口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 給排気装置と空気清浄化装置とによって
   構成されるクリーン空間と、このクリーン空間内に配さ
   れた製造ライン又は／及び搬送ラインとを有するクリー
   ントンネルにおいて、クリーントンネルの外壁上に所定
   間隔をおいて設けた気密メンテナンスポートと、この気
   密メンテナンスポートに気密に取り付けて前記各種ライ
   ンのメンテナンス時に使用するメンテナンスグローブと
   を備えたことを特徴とするクリーントンネルのメンテナ
   ンス機構。