JPH05323265A - 偏波無依存型波長可変フィルタ - Google Patents
偏波無依存型波長可変フィルタInfo
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- JPH05323265A JPH05323265A JP13235692A JP13235692A JPH05323265A JP H05323265 A JPH05323265 A JP H05323265A JP 13235692 A JP13235692 A JP 13235692A JP 13235692 A JP13235692 A JP 13235692A JP H05323265 A JPH05323265 A JP H05323265A
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- polarization
- liquid crystal
- light component
- retardation plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型化が容易で、しかも歩留まりが高い偏波
無依存型波長可変フィルタを実現する。 【構成】 入射光を方解石31で常光成分及び異常光成
分に分離し、該常光成分及び異常光成分を位相差板10
Aを通過させることにより、その偏光方向をファブリペ
ロー共振器型波長可変液晶フィルタ20の液晶分子の配
向方向に一致した方向に揃え、該液晶フィルタ20を通
過させてその波長を変更し又は変更せず、その後、前記
常光成分及び異常光成分を位相差板10Bを通過させる
ことにより、その偏光方向を位相差板10Aの入射前の
状態とし、さらに両成分を方解石32で1つの光ビーム
に合成するようになした。
無依存型波長可変フィルタを実現する。 【構成】 入射光を方解石31で常光成分及び異常光成
分に分離し、該常光成分及び異常光成分を位相差板10
Aを通過させることにより、その偏光方向をファブリペ
ロー共振器型波長可変液晶フィルタ20の液晶分子の配
向方向に一致した方向に揃え、該液晶フィルタ20を通
過させてその波長を変更し又は変更せず、その後、前記
常光成分及び異常光成分を位相差板10Bを通過させる
ことにより、その偏光方向を位相差板10Aの入射前の
状態とし、さらに両成分を方解石32で1つの光ビーム
に合成するようになした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、波長多重を行う光通信
回線の光分波器に用いる偏波無依存型波長可変フィルタ
に関するものである。
回線の光分波器に用いる偏波無依存型波長可変フィルタ
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図2は従来のこの種の偏波無依存型波長
可変フィルタの一例、例えば J.S.Patel and M.W.Maeda
“Tunable Polarization Diversity Liquid-Crystal Wa
velength Filter ”(Photonics Technology Letters,v
ol.3,No.8,1991,pp739-740)に記載されたものを示す。
同図において、光ファイバとレンズから構成されたコリ
メータ1よりの入射光2は方解石3で常光成分4a及び
異常光成分4bに分離され、その各々の偏光方向に合致
した液晶分子配向を有する2つのファブリペロー共振器
型波長可変液晶フィルタ5a及び5b内を通過し、この
際、その波長が変更され又は変更されず、再度、方解石
6で合成されて偏波無依存の出射光7となり、コリメー
タ8より出射される。
可変フィルタの一例、例えば J.S.Patel and M.W.Maeda
“Tunable Polarization Diversity Liquid-Crystal Wa
velength Filter ”(Photonics Technology Letters,v
ol.3,No.8,1991,pp739-740)に記載されたものを示す。
同図において、光ファイバとレンズから構成されたコリ
メータ1よりの入射光2は方解石3で常光成分4a及び
異常光成分4bに分離され、その各々の偏光方向に合致
した液晶分子配向を有する2つのファブリペロー共振器
型波長可変液晶フィルタ5a及び5b内を通過し、この
際、その波長が変更され又は変更されず、再度、方解石
6で合成されて偏波無依存の出射光7となり、コリメー
タ8より出射される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ5a及
び5bを構成する液晶分子の配向膜は、フォトリソグラ
フィー技術を用いてその配向方向を分離しているが、特
に液晶分子の配向方向が異なる領域の境界では高精度な
配向制御は難しく、その配向領域の微細化が困難であっ
た。このため、偏波を空間的に分離するのに必要なサイ
ズが大きくなり、偏波無依存型波長可変フィルタを小型
に構成することが困難であった。また、前記配向膜の作
製プロセスは高精度に作製したフォトレジストパターン
にも拘らず、そのパターン作製後、機械的に摩擦を生ず
るラビング行程を経るため、作製したレジストパターン
に欠陥が生じ易く、安価に素子を作製することが困難で
あった。
たファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ5a及
び5bを構成する液晶分子の配向膜は、フォトリソグラ
フィー技術を用いてその配向方向を分離しているが、特
に液晶分子の配向方向が異なる領域の境界では高精度な
配向制御は難しく、その配向領域の微細化が困難であっ
た。このため、偏波を空間的に分離するのに必要なサイ
ズが大きくなり、偏波無依存型波長可変フィルタを小型
に構成することが困難であった。また、前記配向膜の作
製プロセスは高精度に作製したフォトレジストパターン
にも拘らず、そのパターン作製後、機械的に摩擦を生ず
るラビング行程を経るため、作製したレジストパターン
に欠陥が生じ易く、安価に素子を作製することが困難で
あった。
【0004】本発明は前記従来の問題点に鑑み、小型化
が容易で、しかも歩留まりが高い偏波無依存型波長可変
フィルタを実現することを目的とする。
が容易で、しかも歩留まりが高い偏波無依存型波長可変
フィルタを実現することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明では前記目的を達
成するため、請求項1では、透明電極、半透明ミラー及
び配向膜を設けた2枚の透明基板をある一定の間隔を隔
てて互いに対向させてセルを構成し、該セル中に液晶
を、前記2枚の透明基板界面での分子配向が基板と平行
になり且つ分子全体が同一方向を向くよう処理して封入
し、前記透明電極に電圧を印加することにより液晶分子
の配向状態を変化させてその屈折率を変え、透過光の共
振波長を可変となしたファブリペロー共振器型波長可変
液晶フィルタを具備した偏波無依存型波長可変フィルタ
において、前記ファブリペロー共振器型波長可変液晶フ
ィルタを、光を常光成分及び異常光成分に分離又は合成
する2個の偏光ルーティングエレメントと、1/2波長
板として機能する領域及び偏光方向を回転しない領域を
空間的に分離した2枚の位相差板との間に挟み、入射光
を第1の偏光ルーティングエレメントで常光成分及び異
常光成分に分離し、該常光成分又は異常光成分のいずれ
か一方を第1の位相差板の1/2波長板として機能する
領域を通過させ、他方を第1の位相差板の偏光方向を回
転しない領域を通過させてその偏光方向を揃え、前記フ
ァブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタを通過さ
せ、その後、前記常光成分又は異常光成分のいずれか一
方を第2の位相差板の1/2波長板として機能する領域
を通過させ、他方を第2の位相差板の偏光方向を回転し
ない領域を通過させてその偏光方向を第1の位相差板の
入射前の状態もしくはこれよりそれぞれ90度回転した
状態とし、さらに両成分を第2の偏光ルーティングエレ
メントで1つの光ビームに合成するようになした偏波無
依存型波長可変フィルタを提案する。
成するため、請求項1では、透明電極、半透明ミラー及
び配向膜を設けた2枚の透明基板をある一定の間隔を隔
てて互いに対向させてセルを構成し、該セル中に液晶
を、前記2枚の透明基板界面での分子配向が基板と平行
になり且つ分子全体が同一方向を向くよう処理して封入
し、前記透明電極に電圧を印加することにより液晶分子
の配向状態を変化させてその屈折率を変え、透過光の共
振波長を可変となしたファブリペロー共振器型波長可変
液晶フィルタを具備した偏波無依存型波長可変フィルタ
において、前記ファブリペロー共振器型波長可変液晶フ
ィルタを、光を常光成分及び異常光成分に分離又は合成
する2個の偏光ルーティングエレメントと、1/2波長
板として機能する領域及び偏光方向を回転しない領域を
空間的に分離した2枚の位相差板との間に挟み、入射光
を第1の偏光ルーティングエレメントで常光成分及び異
常光成分に分離し、該常光成分又は異常光成分のいずれ
か一方を第1の位相差板の1/2波長板として機能する
領域を通過させ、他方を第1の位相差板の偏光方向を回
転しない領域を通過させてその偏光方向を揃え、前記フ
ァブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタを通過さ
せ、その後、前記常光成分又は異常光成分のいずれか一
方を第2の位相差板の1/2波長板として機能する領域
を通過させ、他方を第2の位相差板の偏光方向を回転し
ない領域を通過させてその偏光方向を第1の位相差板の
入射前の状態もしくはこれよりそれぞれ90度回転した
状態とし、さらに両成分を第2の偏光ルーティングエレ
メントで1つの光ビームに合成するようになした偏波無
依存型波長可変フィルタを提案する。
【0006】また、請求項2では、第1又は第2の偏光
ルーティングエレメントのいずれか一方もしくはその両
方として、方解石を用いた請求項1記載の偏波無依存型
波長可変フィルタ、また、請求項3では、第1又は第2
の偏光ルーティングエレメントのいずれか一方もしくは
その両方として、偏光ビームスプリッタ及びミラーを組
合せたユニットを用いた請求項1又は2記載の偏波無依
存型波長可変フィルタを提案する。
ルーティングエレメントのいずれか一方もしくはその両
方として、方解石を用いた請求項1記載の偏波無依存型
波長可変フィルタ、また、請求項3では、第1又は第2
の偏光ルーティングエレメントのいずれか一方もしくは
その両方として、偏光ビームスプリッタ及びミラーを組
合せたユニットを用いた請求項1又は2記載の偏波無依
存型波長可変フィルタを提案する。
【0007】また、請求項4では、位相差板として、複
数の電極を有するツイストネマチック液晶セルを用いた
請求項1乃至3いずれか記載の偏波無依存型波長可変フ
ィルタ、また、請求項5では、位相差板として、複数の
電極を有する強誘電性液晶セルを用いた請求項1乃至3
いずれか記載の偏波無依存型波長可変フィルタ、また、
請求項6では、位相差板として、複数の電極を有する強
誘電性液晶セルを複数枚重ねて用いた請求項1乃至3い
ずれか記載の偏波無依存型波長可変フィルタ、また、請
求項7では、複数の電極にそれぞれ異なる電圧を印加す
ることにより、その空間的な位相特性を任意に変化可能
とした請求項4乃至6いずれか記載の偏波無依存型波長
可変フィルタを提案する。
数の電極を有するツイストネマチック液晶セルを用いた
請求項1乃至3いずれか記載の偏波無依存型波長可変フ
ィルタ、また、請求項5では、位相差板として、複数の
電極を有する強誘電性液晶セルを用いた請求項1乃至3
いずれか記載の偏波無依存型波長可変フィルタ、また、
請求項6では、位相差板として、複数の電極を有する強
誘電性液晶セルを複数枚重ねて用いた請求項1乃至3い
ずれか記載の偏波無依存型波長可変フィルタ、また、請
求項7では、複数の電極にそれぞれ異なる電圧を印加す
ることにより、その空間的な位相特性を任意に変化可能
とした請求項4乃至6いずれか記載の偏波無依存型波長
可変フィルタを提案する。
【0008】また、請求項8では、位相差板として、水
晶、一軸性結晶又は旋光性結晶のいずれかからなる1/
2波長板及び該1/2波長板に近い屈折率を有する透明
媒質を組合せたユニットを用いた請求項1乃至3いずれ
か記載の偏波無依存型波長可変フィルタを提案する。
晶、一軸性結晶又は旋光性結晶のいずれかからなる1/
2波長板及び該1/2波長板に近い屈折率を有する透明
媒質を組合せたユニットを用いた請求項1乃至3いずれ
か記載の偏波無依存型波長可変フィルタを提案する。
【0009】また、請求項9では、請求項1乃至8いず
れか記載の偏波無依存型波長可変フィルタを複数個、ア
レイ状に配置し、その各々の透過波長を独立に制御可能
となした偏波無依存型波長可変フィルタを提案する。
れか記載の偏波無依存型波長可変フィルタを複数個、ア
レイ状に配置し、その各々の透過波長を独立に制御可能
となした偏波無依存型波長可変フィルタを提案する。
【0010】
【作用】ホメオトロピック配向させたネマチック液晶を
用いたファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタは
原理的に偏光依存性があるため、従来は偏光子を用いて
該液晶フィルタの液晶分子配向方向の偏光成分のみを通
過させて使用し、残りの偏光成分は損失としていた。ま
た、前記液晶フィルタの入射光がある方向に偏った偏光
であり、その偏光方向が時間的に変動するような場合で
は、前記偏光子を通過する光の強度が時間的に変動し、
一定の強度の光フィルタ出力を得ることが困難であっ
た。
用いたファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタは
原理的に偏光依存性があるため、従来は偏光子を用いて
該液晶フィルタの液晶分子配向方向の偏光成分のみを通
過させて使用し、残りの偏光成分は損失としていた。ま
た、前記液晶フィルタの入射光がある方向に偏った偏光
であり、その偏光方向が時間的に変動するような場合で
は、前記偏光子を通過する光の強度が時間的に変動し、
一定の強度の光フィルタ出力を得ることが困難であっ
た。
【0011】本発明の請求項1によれば、従来、損失と
して作用していた偏光成分も光路を空間的に分離し、位
相差板で偏光方向を揃えてファブリペロー共振器型波長
可変液晶フィルタ内を通過させる構成としたため、損失
とはならず、低損失、偏波無依存の波長可変フィルタを
構成できる。
して作用していた偏光成分も光路を空間的に分離し、位
相差板で偏光方向を揃えてファブリペロー共振器型波長
可変液晶フィルタ内を通過させる構成としたため、損失
とはならず、低損失、偏波無依存の波長可変フィルタを
構成できる。
【0012】また、請求項2の偏光ルーティングエレメ
ントによれば、方解石を用いたことにより小型に構成で
き、また、請求項3の偏光ルーティングエレメントによ
れば、偏光ビームスプリッタを用いたことにより安価に
構成できる。
ントによれば、方解石を用いたことにより小型に構成で
き、また、請求項3の偏光ルーティングエレメントによ
れば、偏光ビームスプリッタを用いたことにより安価に
構成できる。
【0013】また、請求項4乃至7記載の位相差板によ
れば、複数の電極を有し、その電極間隔はあるピッチに
パターニングされているため、そのそれぞれの電極電圧
を制御すれば、少なくともパターニングした電極ピッチ
の倍ピッチの1/2波長板を空間的に配列した位相差板
を容易に実現でき、例えばその位相差板の電極ピッチと
一致したピッチで空間的に分離されて入射した常光成分
及び異常光成分の偏光方向を容易に一方向に揃えること
ができる。従って、ファブリペロー共振器型波長可変液
晶フィルタに対して最適な偏光方向の偏光を入射するこ
とができ、さらにその液晶フィルタから常光成分及び異
常光成分を元の偏光状態に復元することが可能である。
また、前記位相差板の電極ピッチを10μm程度に作製
することは容易に実現できるため、本発明の波長可変フ
ィルタでは、例えば1cmに1000チャネルの空間多
重化が可能となり、そのサイズを大幅に小型化すること
ができる。さらに、前記位相差板は空間的な位相特性
を、パターニングした電極電圧をそれぞれ変えることに
より、任意に変えることができ、広い波長範囲の光に対
して良好な位相特性を実現することができる。さらに、
液晶を用いたため、消費電力も小さく、歩留りも高く、
安価に構成できる特徴がある。
れば、複数の電極を有し、その電極間隔はあるピッチに
パターニングされているため、そのそれぞれの電極電圧
を制御すれば、少なくともパターニングした電極ピッチ
の倍ピッチの1/2波長板を空間的に配列した位相差板
を容易に実現でき、例えばその位相差板の電極ピッチと
一致したピッチで空間的に分離されて入射した常光成分
及び異常光成分の偏光方向を容易に一方向に揃えること
ができる。従って、ファブリペロー共振器型波長可変液
晶フィルタに対して最適な偏光方向の偏光を入射するこ
とができ、さらにその液晶フィルタから常光成分及び異
常光成分を元の偏光状態に復元することが可能である。
また、前記位相差板の電極ピッチを10μm程度に作製
することは容易に実現できるため、本発明の波長可変フ
ィルタでは、例えば1cmに1000チャネルの空間多
重化が可能となり、そのサイズを大幅に小型化すること
ができる。さらに、前記位相差板は空間的な位相特性
を、パターニングした電極電圧をそれぞれ変えることに
より、任意に変えることができ、広い波長範囲の光に対
して良好な位相特性を実現することができる。さらに、
液晶を用いたため、消費電力も小さく、歩留りも高く、
安価に構成できる特徴がある。
【0014】また、請求項8の位相差板によれば、1/
2波長板として天然結晶を含むため、構成を簡単にする
ことができる。
2波長板として天然結晶を含むため、構成を簡単にする
ことができる。
【0015】また、請求項9によれば、偏波無依存型波
長可変フィルタをアレイ化することにより、多数のチャ
ネルを有する光分波器を小型に実現できる。
長可変フィルタをアレイ化することにより、多数のチャ
ネルを有する光分波器を小型に実現できる。
【0016】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例を示すもので、
図中、10A,10Bは位相差板、20はファブリペロ
ー共振器型波長可変液晶フィルタ、31,32は偏光ル
ーティングエレメント、ここでは方解石である。
図中、10A,10Bは位相差板、20はファブリペロ
ー共振器型波長可変液晶フィルタ、31,32は偏光ル
ーティングエレメント、ここでは方解石である。
【0017】入射光33は方解石31により常光成分3
4a及び異常光成分34bに分離される。分離された常
光成分34a及び異常光成分34bは位相差板10Aに
入射し、それぞれ別々の位相変化を受け、ファブリペロ
ー共振器型波長可変液晶フィルタ20に入射する直前
に、その両者の偏光方向を該ファブリペロー共振器型波
長可変液晶フィルタ20の液晶分子の配向方向に一致し
た方向に揃える。
4a及び異常光成分34bに分離される。分離された常
光成分34a及び異常光成分34bは位相差板10Aに
入射し、それぞれ別々の位相変化を受け、ファブリペロ
ー共振器型波長可変液晶フィルタ20に入射する直前
に、その両者の偏光方向を該ファブリペロー共振器型波
長可変液晶フィルタ20の液晶分子の配向方向に一致し
た方向に揃える。
【0018】ここで、前記位相変化を与える位相差板1
0Aはツイストネマチック液晶セルと同一構造であり、
それはガラス基板11上に透明電極で作製した共通電極
12及び配向膜13を堆積した基板と、もう一枚のガラ
ス基板14上に駆動電極となるパターニングした透明電
極15及び配向膜16を堆積した基板とを、基板界面で
の液晶配向方向が直交するように配向処理し、ある一定
間隔を隔てて対向させ、その中にネマチック液晶17
(なお、18はその液晶分子の配向状態を表してい
る。)を封入して構成したものである。また、該位相差
板10Aのセルの両面には無反射コート19が施され、
透過光の反射による損失を低減している。
0Aはツイストネマチック液晶セルと同一構造であり、
それはガラス基板11上に透明電極で作製した共通電極
12及び配向膜13を堆積した基板と、もう一枚のガラ
ス基板14上に駆動電極となるパターニングした透明電
極15及び配向膜16を堆積した基板とを、基板界面で
の液晶配向方向が直交するように配向処理し、ある一定
間隔を隔てて対向させ、その中にネマチック液晶17
(なお、18はその液晶分子の配向状態を表してい
る。)を封入して構成したものである。また、該位相差
板10Aのセルの両面には無反射コート19が施され、
透過光の反射による損失を低減している。
【0019】前記位相差板10Aの駆動電極15及び共
通電極12間に交流あるいは直流電圧を印加することに
より、その電極間に挟まれた液晶分子の配向状態を変化
させることができ、一枚の位相差板において、光学異方
性の異なる領域をパターニングした電極数だけ空間的に
分離することができる。本位相差板10Aでは、電圧を
印加しない領域の液晶はツイスト配向状態となり、入射
偏光の偏光方向を90度回転させる1/2波長板として
機能し、また、電圧を印加した領域の液晶はホメオトロ
ピック配向状態となり、入射偏光に対してその光学異方
性が現れず、透明媒質として機能する。さらに、駆動電
極15及び共通電極12間の電圧を制御することによ
り、その電極間に挟まれた液晶の位相特性を容易に且つ
任意に制御することができ、広い波長範囲の入射光に対
して最適な位相差板として機能させることができる。
通電極12間に交流あるいは直流電圧を印加することに
より、その電極間に挟まれた液晶分子の配向状態を変化
させることができ、一枚の位相差板において、光学異方
性の異なる領域をパターニングした電極数だけ空間的に
分離することができる。本位相差板10Aでは、電圧を
印加しない領域の液晶はツイスト配向状態となり、入射
偏光の偏光方向を90度回転させる1/2波長板として
機能し、また、電圧を印加した領域の液晶はホメオトロ
ピック配向状態となり、入射偏光に対してその光学異方
性が現れず、透明媒質として機能する。さらに、駆動電
極15及び共通電極12間の電圧を制御することによ
り、その電極間に挟まれた液晶の位相特性を容易に且つ
任意に制御することができ、広い波長範囲の入射光に対
して最適な位相差板として機能させることができる。
【0020】前記位相差板10Aにより偏光方向が揃え
られた常光成分35a及び異常光成分35bはファブリ
ペロー共振器型波長可変液晶フィルタ20に入射され
る。
られた常光成分35a及び異常光成分35bはファブリ
ペロー共振器型波長可変液晶フィルタ20に入射され
る。
【0021】ここで、ファブリペロー共振器型波長可変
液晶フィルタ20は、ガラス基板21上に透明電極2
2、半透明ミラー23及び配向膜24を堆積した基板を
2枚、それぞれ基板界面での液晶分子が平行になるよう
に配向膜24を配向処理し、ある一定間隔を隔てて互い
に対向させてセルを構成し、その中に屈折率異方性を有
したネマチック液晶25(なお、26はその液晶分子の
配向状態を表している。)を封入して構成したものであ
る。また、該ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィ
ルタ20の両面には無反射コート27が施され、透過光
の反射による損失を低減している。該ファブリペロー共
振器型波長可変液晶フィルタ20では、透明電極22,
22間に電圧を印加することにより、液晶の分子配向を
ホモジニアス配向状態からホメオトロピック配向状態に
変化させ、その液晶媒質の屈折率を変化させて、透過す
る共振波長を可変とする。
液晶フィルタ20は、ガラス基板21上に透明電極2
2、半透明ミラー23及び配向膜24を堆積した基板を
2枚、それぞれ基板界面での液晶分子が平行になるよう
に配向膜24を配向処理し、ある一定間隔を隔てて互い
に対向させてセルを構成し、その中に屈折率異方性を有
したネマチック液晶25(なお、26はその液晶分子の
配向状態を表している。)を封入して構成したものであ
る。また、該ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィ
ルタ20の両面には無反射コート27が施され、透過光
の反射による損失を低減している。該ファブリペロー共
振器型波長可変液晶フィルタ20では、透明電極22,
22間に電圧を印加することにより、液晶の分子配向を
ホモジニアス配向状態からホメオトロピック配向状態に
変化させ、その液晶媒質の屈折率を変化させて、透過す
る共振波長を可変とする。
【0022】ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィ
ルタ20を透過した常光成分36a及び異常光成分36
bは偏光方向が揃っているので、位相差板10Bで位相
差板10Aに入射する前の偏光状態に復元する。該位相
差板10Bは位相差板10Aと同一の構成を有し、その
空間的な位相特性も位相差板10Aと同一である。
ルタ20を透過した常光成分36a及び異常光成分36
bは偏光方向が揃っているので、位相差板10Bで位相
差板10Aに入射する前の偏光状態に復元する。該位相
差板10Bは位相差板10Aと同一の構成を有し、その
空間的な位相特性も位相差板10Aと同一である。
【0023】位相差板10Bで偏光状態を元の状態に復
元された常光成分37a及び異常光成分37bは方解石
32によって合成され、出射光38となる。
元された常光成分37a及び異常光成分37bは方解石
32によって合成され、出射光38となる。
【0024】図3は本発明の第2の実施例を示すもの
で、ここでは第1の実施例において位相差板10Bの代
りに、その空間的な位相特性が該位相差板10Bと逆に
なるように構成された位相差板10Cを配置した例を示
す。即ち、本構成によれば、位相差板10Cを通過した
常光成分37a´及び異常光成分37b´は、その偏光
方向が第1の実施例の場合と90度異なり、これによっ
て方解石32を通過する際の光路が位相差板10Aを通
過する際と逆になり、入射光33及び出射光39間にお
ける常光成分の光路長と異常光成分の光路長とが等しく
なり、常光成分及び異常光成分間の光路差による位相差
を低減でき、高速に変調された入射光に対しても良好な
フィルタ特性を実現できる。
で、ここでは第1の実施例において位相差板10Bの代
りに、その空間的な位相特性が該位相差板10Bと逆に
なるように構成された位相差板10Cを配置した例を示
す。即ち、本構成によれば、位相差板10Cを通過した
常光成分37a´及び異常光成分37b´は、その偏光
方向が第1の実施例の場合と90度異なり、これによっ
て方解石32を通過する際の光路が位相差板10Aを通
過する際と逆になり、入射光33及び出射光39間にお
ける常光成分の光路長と異常光成分の光路長とが等しく
なり、常光成分及び異常光成分間の光路差による位相差
を低減でき、高速に変調された入射光に対しても良好な
フィルタ特性を実現できる。
【0025】図4は本発明の第3の実施例を示すもの
で、ここでは第2の実施例において他の構成の位相差板
を用いた例を示す。即ち、図中、40A,40Bは位相
差板であり、水晶を用いた1/2波長板41と、該1/
2波長板41の屈折率に近い屈折率を有するガラス板4
2とを接着し、さらにその両面に無反射コート43を施
してなっている。この位相差板40A,40Bの空間的
な位相特性は固定であるが、透過する光の波長可変範囲
が小さい領域では良好に動作させることができる。な
お、前記1/2波長板41としては、水晶以外にも雲母
や方解石に代表される一軸性結晶、旋光性結晶等の材料
を用いることができる。
で、ここでは第2の実施例において他の構成の位相差板
を用いた例を示す。即ち、図中、40A,40Bは位相
差板であり、水晶を用いた1/2波長板41と、該1/
2波長板41の屈折率に近い屈折率を有するガラス板4
2とを接着し、さらにその両面に無反射コート43を施
してなっている。この位相差板40A,40Bの空間的
な位相特性は固定であるが、透過する光の波長可変範囲
が小さい領域では良好に動作させることができる。な
お、前記1/2波長板41としては、水晶以外にも雲母
や方解石に代表される一軸性結晶、旋光性結晶等の材料
を用いることができる。
【0026】また、第1、第2及び第3の実施例では、
入射光33の入射位置と、出射光38又は39の出射位
置と、位相差板10Aもしくは40Aと、位相差板10
B又は10Cもしくは40Bとの間で位置合せが必要と
なるが、それぞれに合せマークを設けることにより数μ
mの精度で位置合せが実現できる。さらにまた、第1、
第2及び第3の実施例では、常光成分及び異常光成分は
空間的に分離された光路を通過するが、その光路は近接
させることができるため、位相差板10A,10B,1
0Cのセル厚や液晶分子の配向ムラ等の光学特性のバラ
ツキを最小限に押さえることができ、安定に動作する偏
波無依存型波長可変フィルタを実現することができる。
入射光33の入射位置と、出射光38又は39の出射位
置と、位相差板10Aもしくは40Aと、位相差板10
B又は10Cもしくは40Bとの間で位置合せが必要と
なるが、それぞれに合せマークを設けることにより数μ
mの精度で位置合せが実現できる。さらにまた、第1、
第2及び第3の実施例では、常光成分及び異常光成分は
空間的に分離された光路を通過するが、その光路は近接
させることができるため、位相差板10A,10B,1
0Cのセル厚や液晶分子の配向ムラ等の光学特性のバラ
ツキを最小限に押さえることができ、安定に動作する偏
波無依存型波長可変フィルタを実現することができる。
【0027】図5は位相差板の他の構成例、ここでは表
面配向型強誘電性液晶セルを用いて実現した例を示すも
ので、同図(a) はその正面図、同図(b) はその側面図を
示す。即ち、本位相差板は、ガラス基板51上に透明電
極で作製した共通電極52及び配向膜53を堆積した基
板と、もう一枚のガラス基板54上に駆動電極となるパ
ターニングした透明電極55及び配向膜56を堆積した
基板とを、基板界面での液晶配向方向が平行になるよう
に配向処理し、ある一定間隔を隔てて対向させ、その中
に強誘電性液晶57(なお、58a,58bはその液晶
分子の配向状態を表している。)を封入して構成されて
いる。また、本位相差板のセルの両面には無反射コート
59が施され、透過光の反射による損失を低減してい
る。
面配向型強誘電性液晶セルを用いて実現した例を示すも
ので、同図(a) はその正面図、同図(b) はその側面図を
示す。即ち、本位相差板は、ガラス基板51上に透明電
極で作製した共通電極52及び配向膜53を堆積した基
板と、もう一枚のガラス基板54上に駆動電極となるパ
ターニングした透明電極55及び配向膜56を堆積した
基板とを、基板界面での液晶配向方向が平行になるよう
に配向処理し、ある一定間隔を隔てて対向させ、その中
に強誘電性液晶57(なお、58a,58bはその液晶
分子の配向状態を表している。)を封入して構成されて
いる。また、本位相差板のセルの両面には無反射コート
59が施され、透過光の反射による損失を低減してい
る。
【0028】本位相差板の駆動電極55及び共通電極5
2間に正又は負のパルス電圧を印加することにより、そ
の電極間に挟まれた液晶分子の配向状態を変化させるこ
とができ、一枚の位相差板において、光学異方性の異な
る領域を空間的に分離することができる。本位相差板で
は、正のパルス電圧を印加した領域の液晶は符号58b
に示すような配向状態となり、入射偏光の偏光方向を9
0度回転させる1/2波長板として機能し、また、負の
パルス電圧を印加した領域の液晶は符号58aに示すよ
うな配向状態となり、入射偏光に対してその光学異方性
が出現せず、透明媒質として機能する。
2間に正又は負のパルス電圧を印加することにより、そ
の電極間に挟まれた液晶分子の配向状態を変化させるこ
とができ、一枚の位相差板において、光学異方性の異な
る領域を空間的に分離することができる。本位相差板で
は、正のパルス電圧を印加した領域の液晶は符号58b
に示すような配向状態となり、入射偏光の偏光方向を9
0度回転させる1/2波長板として機能し、また、負の
パルス電圧を印加した領域の液晶は符号58aに示すよ
うな配向状態となり、入射偏光に対してその光学異方性
が出現せず、透明媒質として機能する。
【0029】なお、本実施例では、位相差板としての強
誘電性液晶セルを1枚で構成する例を示したが、光フィ
ルタの透過光の波長に合せて、複数枚重ねて位相差板を
構成することも可能である。
誘電性液晶セルを1枚で構成する例を示したが、光フィ
ルタの透過光の波長に合せて、複数枚重ねて位相差板を
構成することも可能である。
【0030】図6は第1の実施例における方解石31,
32の他の構成例を示すもので、ここでは偏光ビームス
プリッタ61,62及びミラー63,64を用いて構成
した例を示す。入射光65は偏光ビームスプリッタ61
で常光成分66a及び異常光成分66bに分離され、異
常光成分66bはミラー63で反射され、常光成分66
aと平行の光路を通る。さらに、異常光成分66bはミ
ラー64で反射され、偏光ビームスプリッタ62で常光
成分66aと合成され、出射光67となる。
32の他の構成例を示すもので、ここでは偏光ビームス
プリッタ61,62及びミラー63,64を用いて構成
した例を示す。入射光65は偏光ビームスプリッタ61
で常光成分66a及び異常光成分66bに分離され、異
常光成分66bはミラー63で反射され、常光成分66
aと平行の光路を通る。さらに、異常光成分66bはミ
ラー64で反射され、偏光ビームスプリッタ62で常光
成分66aと合成され、出射光67となる。
【0031】図7は第2又は第3の実施例における方解
石31,32の他の構成例を示すもので、ここでは偏光
ビームスプリッタ71,72及びミラー73,74を用
いて構成した例を示す。入射光75は偏光ビームスプリ
ッタ71で常光成分76a及び異常光成分76bに分離
され、異常光成分76bはミラー73で反射され、常光
成分76aと平行の光路を通る。位相差板10C又は4
0B(但し、図7中には図示せず)により偏光方向が9
0度回転された常光成分77aはミラー74で反射さ
れ、偏光ビームスプリッタ72で異常光成分77bと合
成され、出射光78となる。
石31,32の他の構成例を示すもので、ここでは偏光
ビームスプリッタ71,72及びミラー73,74を用
いて構成した例を示す。入射光75は偏光ビームスプリ
ッタ71で常光成分76a及び異常光成分76bに分離
され、異常光成分76bはミラー73で反射され、常光
成分76aと平行の光路を通る。位相差板10C又は4
0B(但し、図7中には図示せず)により偏光方向が9
0度回転された常光成分77aはミラー74で反射さ
れ、偏光ビームスプリッタ72で異常光成分77bと合
成され、出射光78となる。
【0032】図6又は7に示した偏光ルーティングエレ
メントを用いる場合、偏光ビームスプリッタ61,62
又は71,72と、ミラー63,64又は73,74
と、入射光65又は75の入射位置と、出射光67又は
78の出射位置と、位相差板10Aもしくは40A並び
に位相差板10B又は10Cもしくは40B(但し、図
6又は図7中には図示せず)との間で位置合せが必要と
なるが、これらの全てに合せマークを設けることにより
数μm程度の精度で位置合せが実現できる。
メントを用いる場合、偏光ビームスプリッタ61,62
又は71,72と、ミラー63,64又は73,74
と、入射光65又は75の入射位置と、出射光67又は
78の出射位置と、位相差板10Aもしくは40A並び
に位相差板10B又は10Cもしくは40B(但し、図
6又は図7中には図示せず)との間で位置合せが必要と
なるが、これらの全てに合せマークを設けることにより
数μm程度の精度で位置合せが実現できる。
【0033】図8は本発明の第4の実施例を示すもの
で、ここでは第1の実施例に示した偏波無依存型波長可
変フィルタを4(2×2)チャネル並列に構成した例を
示す。即ち、本波長可変フィルタは、方解石81,82
と、液晶を用いた位相差板モジュール83,84と、フ
ァブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタモジュール
85と、光ファイバアレイ及びコリメータレンズより構
成された光ファイバアレイモジュール86,87とから
なっている。
で、ここでは第1の実施例に示した偏波無依存型波長可
変フィルタを4(2×2)チャネル並列に構成した例を
示す。即ち、本波長可変フィルタは、方解石81,82
と、液晶を用いた位相差板モジュール83,84と、フ
ァブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタモジュール
85と、光ファイバアレイ及びコリメータレンズより構
成された光ファイバアレイモジュール86,87とから
なっている。
【0034】光ファイバアレイモジュール86から入射
される光は、方解石81で常光成分88a及び異常光成
分88bに分離される。位相差板モジュール83の位相
特性は、各チャネル毎に設けた駆動電極831 ,832 の印
加電圧を制御することにより制御でき、常光成分88a
及び異常光成分88bの偏光方向をファブリペロー共振
器型波長可変液晶フィルタモジュール85に入射する前
に揃える。ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィル
タモジュール85では、各チャネル毎に設けた波長制御
電極851 の電圧を変えることにより、各チャネル毎に独
立に制御する如くなしている。ファブリペロー共振器型
波長可変液晶フィルタモジュール85から出射された常
光成分89a及び異常光成分89bは、第1の実施例の
場合と同様に位相差板モジュール84で元の偏光に戻さ
れ、方解石82で合成されて光ファイバアレイモジュー
ル87から出射される。
される光は、方解石81で常光成分88a及び異常光成
分88bに分離される。位相差板モジュール83の位相
特性は、各チャネル毎に設けた駆動電極831 ,832 の印
加電圧を制御することにより制御でき、常光成分88a
及び異常光成分88bの偏光方向をファブリペロー共振
器型波長可変液晶フィルタモジュール85に入射する前
に揃える。ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィル
タモジュール85では、各チャネル毎に設けた波長制御
電極851 の電圧を変えることにより、各チャネル毎に独
立に制御する如くなしている。ファブリペロー共振器型
波長可変液晶フィルタモジュール85から出射された常
光成分89a及び異常光成分89bは、第1の実施例の
場合と同様に位相差板モジュール84で元の偏光に戻さ
れ、方解石82で合成されて光ファイバアレイモジュー
ル87から出射される。
【0035】図9は本発明の第5の実施例を示すもの
で、ここでは第2の実施例に示した偏波無依存型波長可
変フィルタを4(2×2)チャネル並列に構成した例を
示す。即ち、図中、90は液晶を用いた位相差板モジュ
ールであり、その位相特性は第4の実施例における位相
差板モジュール84と逆になるように構成されており、
各チャネル毎に設けた駆動電極901 ,902 の印加電圧を
制御することにより制御する如くなっている。本構成に
よれば、位相差板モジュール90を通過した常光成分8
9a´及び異常光成分89b´は、その偏光方向が第4
の実施例の場合と90度異なり、これによって方解石8
2を通過する際の光路が位相差板83を通過する際と逆
になり、入射光及び出射光間における常光成分の光路長
と異常光成分の光路長とが等しくなり、常光成分及び異
常光成分間の光路差による位相差を低減でき、高速に変
調された入射光に対しても良好なフィルタ特性を実現で
きる。なお、その他の構成・作用は第4の実施例と同様
である。
で、ここでは第2の実施例に示した偏波無依存型波長可
変フィルタを4(2×2)チャネル並列に構成した例を
示す。即ち、図中、90は液晶を用いた位相差板モジュ
ールであり、その位相特性は第4の実施例における位相
差板モジュール84と逆になるように構成されており、
各チャネル毎に設けた駆動電極901 ,902 の印加電圧を
制御することにより制御する如くなっている。本構成に
よれば、位相差板モジュール90を通過した常光成分8
9a´及び異常光成分89b´は、その偏光方向が第4
の実施例の場合と90度異なり、これによって方解石8
2を通過する際の光路が位相差板83を通過する際と逆
になり、入射光及び出射光間における常光成分の光路長
と異常光成分の光路長とが等しくなり、常光成分及び異
常光成分間の光路差による位相差を低減でき、高速に変
調された入射光に対しても良好なフィルタ特性を実現で
きる。なお、その他の構成・作用は第4の実施例と同様
である。
【0036】前述した第4及び第5の実施例において、
液晶を用いた位相差板モジュール83,84,90と、
ファブリペロー共振器型波長変換液晶フィルタモジュー
ル85とは、それぞれ制御電極をフォトリソグラフィー
技術を用いて作製できるため、1枚のセル中に多数の電
極を同時に実現でき、多チャネル化に適している。さら
に、これらは数mmの厚さで実現できるため、容易に積
層でき、多チャネルの波長可変フィルタを小型に構成で
きる。
液晶を用いた位相差板モジュール83,84,90と、
ファブリペロー共振器型波長変換液晶フィルタモジュー
ル85とは、それぞれ制御電極をフォトリソグラフィー
技術を用いて作製できるため、1枚のセル中に多数の電
極を同時に実現でき、多チャネル化に適している。さら
に、これらは数mmの厚さで実現できるため、容易に積
層でき、多チャネルの波長可変フィルタを小型に構成で
きる。
【0037】なお、第4及び第5の実施例では2×2チ
ャネルの構成例を示したが、同様な構成でM×Nチャネ
ル(M,Nは自然数)の偏波無依存型波長可変フィルタ
を構成できることはいうまでもない。
ャネルの構成例を示したが、同様な構成でM×Nチャネ
ル(M,Nは自然数)の偏波無依存型波長可変フィルタ
を構成できることはいうまでもない。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1に
よれば、空間的に分離した常光成分及び異常光成分を位
相差板で偏光方向を揃えてファブリペロー共振器型波長
可変液晶フィルタ内を通過させる構成としたため、従来
のようにファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ
を常光成分及び異常光成分に対応させて分離した構造と
する必要がなく、従って、小型化が容易となり、しかも
歩留まりを高めることができる。
よれば、空間的に分離した常光成分及び異常光成分を位
相差板で偏光方向を揃えてファブリペロー共振器型波長
可変液晶フィルタ内を通過させる構成としたため、従来
のようにファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ
を常光成分及び異常光成分に対応させて分離した構造と
する必要がなく、従って、小型化が容易となり、しかも
歩留まりを高めることができる。
【0039】また、本発明の請求項2によれば、方解石
を用いたことにより、偏光ルーティングエレメントを小
型に構成でき、また、請求項3によれば、偏光ビームス
プリッタを用いたことにより安価に構成できる。
を用いたことにより、偏光ルーティングエレメントを小
型に構成でき、また、請求項3によれば、偏光ビームス
プリッタを用いたことにより安価に構成できる。
【0040】また、本発明の請求項4乃至7によれば、
微細加工可能な液晶構成の位相差板を用いたことによ
り、そのサイズを大幅に小型化することができ、また、
消費電力も小さくできる。
微細加工可能な液晶構成の位相差板を用いたことによ
り、そのサイズを大幅に小型化することができ、また、
消費電力も小さくできる。
【0041】また、本発明の請求項8によれば、1/2
波長板として天然結晶を含む位相差板を用いたことによ
り、構成を簡単にすることができる。
波長板として天然結晶を含む位相差板を用いたことによ
り、構成を簡単にすることができる。
【0042】また、本発明の請求項9によれば、偏波無
依存型波長可変フィルタをアレイ化することにより、多
数のチャネルを有する光分波器を小型に実現できる。
依存型波長可変フィルタをアレイ化することにより、多
数のチャネルを有する光分波器を小型に実現できる。
【図1】本発明の偏波無依存型波長可変フィルタの第1
の実施例を示す構成図
の実施例を示す構成図
【図2】従来の偏波無依存型波長可変フィルタの一例を
示す構成図
示す構成図
【図3】本発明の偏波無依存型波長可変フィルタの第2
の実施例を示す構成図
の実施例を示す構成図
【図4】本発明の偏波無依存型波長可変フィルタの第3
の実施例を示す構成図
の実施例を示す構成図
【図5】本発明の位相差板の他の構成例を示す図
【図6】本発明の第1の実施例における方解石の他の構
成例を示す図
成例を示す図
【図7】本発明の第2又は第3の実施例における方解石
の他の構成例を示す図
の他の構成例を示す図
【図8】本発明の偏波無依存型波長可変フィルタの第4
の実施例を示す構成図
の実施例を示す構成図
【図9】本発明の偏波無依存型波長可変フィルタの第5
の実施例を示す構成図
の実施例を示す構成図
10A,10B,10C,40A,40B…位相差板、
20…ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ、
31,32,81,82…方解石、83,84,90…
位相差板モジュール、85…ファブリペロー共振器型波
長可変液晶フィルタモジュール。
20…ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタ、
31,32,81,82…方解石、83,84,90…
位相差板モジュール、85…ファブリペロー共振器型波
長可変液晶フィルタモジュール。
Claims (9)
- 【請求項1】 透明電極、半透明ミラー及び配向膜を設
けた2枚の透明基板をある一定の間隔を隔てて互いに対
向させてセルを構成し、該セル中に液晶を、前記2枚の
透明基板界面での分子配向が基板と平行になり且つ分子
全体が同一方向を向くよう処理して封入し、前記透明電
極に電圧を印加することにより液晶分子の配向状態を変
化させてその屈折率を変え、透過光の共振波長を可変と
なしたファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタを
具備した偏波無依存型波長可変フィルタにおいて、 前記ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタを、
光を常光成分及び異常光成分に分離又は合成する2個の
偏光ルーティングエレメントと、1/2波長板として機
能する領域及び偏光方向を回転しない領域を空間的に分
離した2枚の位相差板との間に挟み、 入射光を第1の偏光ルーティングエレメントで常光成分
及び異常光成分に分離し、該常光成分又は異常光成分の
いずれか一方を第1の位相差板の1/2波長板として機
能する領域を通過させ、他方を第1の位相差板の偏光方
向を回転しない領域を通過させてその偏光方向を揃え、
前記ファブリペロー共振器型波長可変液晶フィルタを通
過させ、 その後、前記常光成分又は異常光成分のいずれか一方を
第2の位相差板の1/2波長板として機能する領域を通
過させ、他方を第2の位相差板の偏光方向を回転しない
領域を通過させてその偏光方向を第1の位相差板の入射
前の状態もしくはこれよりそれぞれ90度回転した状態
とし、さらに両成分を第2の偏光ルーティングエレメン
トで1つの光ビームに合成するようになしたことを特徴
とする偏波無依存型波長可変フィルタ。 - 【請求項2】 第1又は第2の偏光ルーティングエレメ
ントのいずれか一方もしくはその両方として、方解石を
用いたことを特徴とする請求項1記載の偏波無依存型波
長可変フィルタ。 - 【請求項3】 第1又は第2の偏光ルーティングエレメ
ントのいずれか一方もしくはその両方として、偏光ビー
ムスプリッタ及びミラーを組合せたユニットを用いたこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の偏波無依存型波長
可変フィルタ。 - 【請求項4】 位相差板として、複数の電極を有するツ
イストネマチック液晶セルを用いたことを特徴とする請
求項1乃至3いずれか記載の偏波無依存型波長可変フィ
ルタ。 - 【請求項5】 位相差板として、複数の電極を有する強
誘電性液晶セルを用いたことを特徴とする請求項1乃至
3いずれか記載の偏波無依存型波長可変フィルタ。 - 【請求項6】 位相差板として、複数の電極を有する強
誘電性液晶セルを複数枚重ねて用いたことを特徴とする
請求項1乃至3いずれか記載の偏波無依存型波長可変フ
ィルタ。 - 【請求項7】 複数の電極にそれぞれ異なる電圧を印加
することにより、その空間的な位相特性を任意に変化可
能としたことを特徴とする請求項4乃至6いずれか記載
の偏波無依存型波長可変フィルタ。 - 【請求項8】 位相差板として、水晶、一軸性結晶又は
旋光性結晶のいずれかからなる1/2波長板及び該1/
2波長板に近い屈折率を有する透明媒質を組合せたユニ
ットを用いたことを特徴とする請求項1乃至3いずれか
記載の偏波無依存型波長可変フィルタ。 - 【請求項9】 請求項1乃至8いずれか記載の偏波無依
存型波長可変フィルタを複数個、アレイ状に配置し、そ
の各々の透過波長を独立に制御可能となしたことを特徴
とする偏波無依存型波長可変フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13235692A JPH05323265A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 偏波無依存型波長可変フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13235692A JPH05323265A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 偏波無依存型波長可変フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05323265A true JPH05323265A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15079452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13235692A Pending JPH05323265A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 偏波無依存型波長可変フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05323265A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001013471A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-19 | Agilent Technol Inc | 光導素子 |
| JP2005018056A (ja) * | 2003-06-04 | 2005-01-20 | Arisawa Mfg Co Ltd | 三次元画像表示装置 |
| WO2005047965A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Optical Comb Institute, Inc. | 光周波数コム発生器並びに光変調器 |
| KR100502318B1 (ko) * | 1998-11-23 | 2005-10-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 위상차 보상필름과 그를 이용한 슈퍼 트위스티드 네마틱 액정표시소자 |
| JP2008170850A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Nikon Corp | チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置 |
| US8351033B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-01-08 | Nikon Corporation | Tunable filter, light source apparatus, and spectral distribution measuring apparatus |
| JP2018036570A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | Kddi株式会社 | 空間的な位相及び振幅分布を有する光ビームの生成装置 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP13235692A patent/JPH05323265A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100502318B1 (ko) * | 1998-11-23 | 2005-10-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 위상차 보상필름과 그를 이용한 슈퍼 트위스티드 네마틱 액정표시소자 |
| JP2001013471A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-19 | Agilent Technol Inc | 光導素子 |
| JP2005018056A (ja) * | 2003-06-04 | 2005-01-20 | Arisawa Mfg Co Ltd | 三次元画像表示装置 |
| WO2005047965A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | Optical Comb Institute, Inc. | 光周波数コム発生器並びに光変調器 |
| US7551342B2 (en) | 2003-11-14 | 2009-06-23 | Optical Comb Institute, Inc. | Optical frequency comb generator and optical modulator |
| JP2008170850A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Nikon Corp | チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置 |
| US8351033B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-01-08 | Nikon Corporation | Tunable filter, light source apparatus, and spectral distribution measuring apparatus |
| JP2018036570A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | Kddi株式会社 | 空間的な位相及び振幅分布を有する光ビームの生成装置 |
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