JPH053232Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案は、圧力流体の吐出口に対する蓋の開閉
装置に関する。

（従来の技術） 半導体パツケージの開封をおこなうために硫酸
あるいは硝酸の溶解液を吹付ける場合、半導体パ
ツケージが搬送され、設置されるのに対応して硫
酸あるいは硝酸の溶解液を間欠的に吹付ける必要
があり、溶解液吹付けが終り、半導体パツケージ
を取り外した後も溶解液の吐出口が解放状態にな
つている。

（考案が解決しようとする問題点） しかるに上記従来の技術では、半導体パツケー
ジが開放処理部に搬送、設置されていない場合に
は、溶解液の吐出口が開放状態となつており、硫
酸あるいは硝酸の溶解液から発生するガスが吐出
口から流出したり、あるいは誤動作等により溶解
液そのものが吐出口から流出することも考えら
れ、溶解液の性状上、安全性に対しても問題があ
つた。

本考案はこれに鑑み、基台の吐出口に設けた蓋
を半導体パツケージの搬送設置に応じて自動的に
開閉させて、蓋が開いたときに溶解液が吐出する
機構とすることにより安全に、かつ正確な開封の
できる吐出口インナー蓋開閉装置を提供すること
を目的とする。

〔考案の構成〕

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため本考案は、圧力流体の
吐出口を形成した基台と穴を形成した蓋を有し、
該蓋を前記基台の下部に当接した状態を保持して
摺動させる機構により、吐出口の開閉をおこなう
とともに、前記基台に前記蓋を弾性部材により押
圧する構造としたことを特徴とした吐出口インナ
ー蓋開閉装置を特徴とするものである。

（作用） 本考案によれば、吐出口に設けた蓋を半導体パ
ツケージの搬送、設置に応じて自動的に開閉し蓋
が開いたときに溶解液が吐出する機構としたの
で、これにより一定量の溶解液を安全に、かつ確
実に半導体パツケージへ吹付けることができる。

（実施例） 以下、本考案を図面に示す実施例を参照して説
明する。

第１図は本考案の一実施例における吐出口イン
ナー蓋開閉装置の平面を示し、第２図は第１図の
Ａ−Ａ線断面で吐出口が“閉”の状態、第３図は
第１図のＡ−Ａ線断面で吐出口が“開”の状態を
示す。上記各図に示す実施例において、基台１は
円板状の耐酸性部材よりなつていて機台（図示せ
ず）に固定され、中心部に円形の吐出口２が形成
されるとともに吐出口２の上部周辺には半導体パ
ツケージ３を嵌入するための凹部４が形成されて
いる。また基台１の吐出口２の下部にはインナー
蓋５を吐出口２に当接し開閉させるための摺動面
６が基台１の下部内面側を削り込んで形成されて
おり、また、インナー蓋５を開閉するに要する軸
７を挿入するための穴８が基台１の側面から貫設
されている。

インナー蓋５は長方形の耐酸性部材よりなりそ
のほぼ中央部に基台１に形成された円形の吐出口
２と同じ大きさの開孔１１が形成され、その一端
は連結具１２により前記軸７と結合されている。

また、インナー蓋５の下面はインナー蓋５に開
孔１１が形成されていない面で基台１の吐出口２
を閉じたときに、硫酸あるいは硝酸の溶解液がイ
ンナー蓋５と基台１との間からもれた吐出口２か
ら外部へ流出することを防ぐために、押えキヤツ
プ９を設けこれをスプリング１０でインナー蓋５
の方へ押し付けることによりインナー蓋５と基台
１との間をシールする構造となつている。

軸７は一端を連結具１２を介してインナー蓋５
に結合され、他端部は固定具１３とＥリング１４
により長板状のアーム１５に挟着されるとともに
スプリング１６を介して筐体１７に保持されてお
り、基台１の側面の穴８とはＯリング１８，１８
によりシールされている。

またアーム１５はそのほぼ中央部を支点２２と
し一端は前記軸７に挟着され他端部はソレノイド
１９のプランジヤー２０に結合されているアーム
２１にピン２３により回動自在に連結されてい
る。

次にこの実施例の動作を説明する。半導体パツ
ケージ３が基台１の上にマニプレーター等（図示
せず）により搬送されてきて基台１上の凹部４に
嵌入されると、図示されていない位置検出器が半
導体パツケージ３を検出し、ソレノイド１９が励
磁されてプランジヤー２０が引き込まれ、アーム
２１がソレノイド１９の方へ動くことによりアー
ム１５が支点２２を中心として基台１から離れる
方向へ動き、したがつて、アーム１５に連結され
ている軸７および軸７と連結されている連結具１
２を介してインナー蓋５が図において左方へ動
き、基台１に形成されている吐出口２にインナー
蓋５の開孔１１が一致し、硫酸あるいは硝酸の溶
解液がインナー蓋５の開孔１１から基台１の吐出
口２を通つて吹出し、半導体パツケージ３に硫酸
あるいは硝酸の溶解液を吹付けることにより開封
がおこなわれる。

一方開封をおこなわない場合は、ソレノイド１
９が作動しないのでインナー蓋５に連結されてい
る軸７が軸７に固定されている固定具１３、Ｅリ
ング１４と筐体１７との間に設けられているスプ
リング１６によつて筐体１７から離れる方向へ動
くこととなり、基台１の吐出口２とインナー蓋５
に形成されている開孔１１とが一致しなくなり、
溶解液が吹出すことはなくなる。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案は、基台の吐出口に
設けた蓋を半導体パツケージの搬送、設置に応じ
て自動的に開閉し、蓋が開いたときに溶解液が吐
出する機構としたことにより、作業者の熟練を必
要とせず、また、溶解液の取扱いに対しても安全
で正確な開封ができる。また吐出口の開閉は蓋の
穴の合致、非合致により行なうようにしているの
で、厚み方向のスペースが少なくてすみ、狭小な
基台への組込みが容易にでき、さらに蓋は弾性部
材で基台側へ偏倚されているので、閉止時に漏れ
を生じることがない等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例における吐出口イン
ナー蓋開閉装置の平面図、第２図および第３図は
第１図のＡ−Ａ線断面図で第２図は“閉”の状態
を示し、第３図は“開”の状態を示す。 １……基台、２……吐出口、３……半導体パツ
ケージ、５……インナー蓋、７……軸、９……押
えキヤツプ、１０……スプリング、１２……連結
具、１３……固定具、１４……Ｅリング、１５…
…アーム、１６……スプリング、１７……筐体、
１８……Ｏリング、１９……ソレノイド、２０…
…プランジヤー、２１……アーム、２３……ピ
ン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 圧力流体の吐出口を形成した基台と、穴を形成
   した蓋を有し、該蓋を前記基台の下部に当接した
   状態を保持して摺動させる機構により、吐出口の
   開閉をおこなうとともに、前記基台に前記蓋を弾
   性部材により押圧する構造としたことを特徴とす
   る吐出口インナー蓋開閉装置。