JPH05326676A - クランプ機構 - Google Patents
クランプ機構Info
- Publication number
- JPH05326676A JPH05326676A JP12588792A JP12588792A JPH05326676A JP H05326676 A JPH05326676 A JP H05326676A JP 12588792 A JP12588792 A JP 12588792A JP 12588792 A JP12588792 A JP 12588792A JP H05326676 A JPH05326676 A JP H05326676A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- block
- guide rod
- slide block
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 種々の寸法のウエーハをクランプするのに用
いるクランプ機構の改良に関し、ウエーハの寸法が大き
な場合でも小さな場合でも、常に同じ力でクランプする
ことが可能なクランプ機構の提供を目的とする。 【構成】 基板１に設けたブロック２の間に設けたガイ
ド棒３と、このガイド棒３と嵌合し、圧縮ばね４により
このガイド棒３に沿ってスライド可能なスライドブロッ
ク５と、このスライドブロック５をこの圧縮ばね４に抗
してこのガイド棒３に沿ってスライドさせるこの基板１
に設けたエアシリンダ６と、このスライドブロック５と
ピン７により結合されている回転ブロック８と、この回
転ブロック８の一端に設けられており、ウエーハ12をク
ランプするクランパー９と、この回転ブロック８の係止
部8aと係合する係止部11a を備えたストップレール11と
を具備するように構成する。
いるクランプ機構の改良に関し、ウエーハの寸法が大き
な場合でも小さな場合でも、常に同じ力でクランプする
ことが可能なクランプ機構の提供を目的とする。 【構成】 基板１に設けたブロック２の間に設けたガイ
ド棒３と、このガイド棒３と嵌合し、圧縮ばね４により
このガイド棒３に沿ってスライド可能なスライドブロッ
ク５と、このスライドブロック５をこの圧縮ばね４に抗
してこのガイド棒３に沿ってスライドさせるこの基板１
に設けたエアシリンダ６と、このスライドブロック５と
ピン７により結合されている回転ブロック８と、この回
転ブロック８の一端に設けられており、ウエーハ12をク
ランプするクランパー９と、この回転ブロック８の係止
部8aと係合する係止部11a を備えたストップレール11と
を具備するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々の寸法のウエーハ
をクランプするのに用いるクランプ機構の改良に関する
ものである。
をクランプするのに用いるクランプ機構の改良に関する
ものである。
【０００２】従来の一台のクランプ機構により種々の寸
法のウエーハをクランプする場合には、寸法の大きなウ
エーハの場合にはクランプする力が大きくなってウエー
ハに過大な力が加わり、小さなウエーハの場合にはクラ
ンプする力が小さくなってクランプが不安定になる障害
が生じている。
法のウエーハをクランプする場合には、寸法の大きなウ
エーハの場合にはクランプする力が大きくなってウエー
ハに過大な力が加わり、小さなウエーハの場合にはクラ
ンプする力が小さくなってクランプが不安定になる障害
が生じている。
【０００３】以上のような状況から、ウエーハの寸法の
大小にかかわらず常に一定の力でクランプすることが可
能なクランプ機構が要望されている。
大小にかかわらず常に一定の力でクランプすることが可
能なクランプ機構が要望されている。
【０００４】
【従来の技術】従来のクランプ機構を図３により詳細に
説明する。図３は従来のクランプ機構を示す図である。
説明する。図３は従来のクランプ機構を示す図である。
【０００５】図３に示すように、基板21の下面には 120
°間隔で３方向に、ガイド棒23を支持するブロック22と
エアシリンダ26とが設けられており、基板21の上面にも
同様にガイド棒28を支持するブロック27と、ウエーハ12
を支持する支持部21a が設けられている。
°間隔で３方向に、ガイド棒23を支持するブロック22と
エアシリンダ26とが設けられており、基板21の上面にも
同様にガイド棒28を支持するブロック27と、ウエーハ12
を支持する支持部21a が設けられている。
【０００６】このガイド棒23とガイド棒28に嵌合するス
ライドブロック25は、ガイド棒23に装着されている圧縮
ばね24によってガイド棒23とガイド棒28に沿って移動す
ることが可能であり、基板21の下面に 120°間隔で設け
られているエアシリンダ26のロッド26a はこの圧縮ばね
24に抗してスライドブロック25を移動させることが可能
である。
ライドブロック25は、ガイド棒23に装着されている圧縮
ばね24によってガイド棒23とガイド棒28に沿って移動す
ることが可能であり、基板21の下面に 120°間隔で設け
られているエアシリンダ26のロッド26a はこの圧縮ばね
24に抗してスライドブロック25を移動させることが可能
である。
【０００７】このようなクランプ機構でウエーハ12をク
ランプさせるには、まずウエーハ12を支持部21a の表面
に載置し、エアシリンダ26のロッド26a を図に示すよう
にエアシリンダ26の中に引っ込ませると、スライドブロ
ック25は圧縮ばね24によりガイド棒23とガイド棒28に沿
って中心方向に移動して先端部25a でウエーハ12をクラ
ンプすることが可能となる。
ランプさせるには、まずウエーハ12を支持部21a の表面
に載置し、エアシリンダ26のロッド26a を図に示すよう
にエアシリンダ26の中に引っ込ませると、スライドブロ
ック25は圧縮ばね24によりガイド棒23とガイド棒28に沿
って中心方向に移動して先端部25a でウエーハ12をクラ
ンプすることが可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のク
ランプ機構においては、圧縮ばねの圧縮力のみによりス
ライドブロックの先端部でウエーハをクランプしている
から、寸法の大きなウエーハの場合には圧縮ばねの圧縮
力が大きくなるので、クランプする力が大きくなってウ
エーハに過大な力が加わり、小さなウエーハの場合には
圧縮ばねの圧縮力が小さくなるので、クランプする力が
小さくなってクランプが不安定になるという問題点があ
った。
ランプ機構においては、圧縮ばねの圧縮力のみによりス
ライドブロックの先端部でウエーハをクランプしている
から、寸法の大きなウエーハの場合には圧縮ばねの圧縮
力が大きくなるので、クランプする力が大きくなってウ
エーハに過大な力が加わり、小さなウエーハの場合には
圧縮ばねの圧縮力が小さくなるので、クランプする力が
小さくなってクランプが不安定になるという問題点があ
った。
【０００９】本発明は以上のような状況から、ウエーハ
の寸法が大きな場合でも小さな場合でも、常に同じ力で
クランプすることが可能なクランプ機構の提供を目的と
したものである。
の寸法が大きな場合でも小さな場合でも、常に同じ力で
クランプすることが可能なクランプ機構の提供を目的と
したものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のクランプ機構
は、基板に設けたブロックの間に設けたガイド棒と、こ
のガイド棒と嵌合し、圧縮ばねによりこのガイド棒に沿
ってスライド可能なスライドブロックと、このスライド
ブロックをこの圧縮ばねに抗してこのガイド棒に沿って
スライドさせるこの基板に設けたエアシリンダと、この
スライドブロックとピンにより結合されている回転ブロ
ックと、この回転ブロックの一端に設けられている、ウ
エーハをクランプするクランパーと、この回転ブロック
の係止部と係合する係止部を備えたストップレールとを
具備するように構成する。
は、基板に設けたブロックの間に設けたガイド棒と、こ
のガイド棒と嵌合し、圧縮ばねによりこのガイド棒に沿
ってスライド可能なスライドブロックと、このスライド
ブロックをこの圧縮ばねに抗してこのガイド棒に沿って
スライドさせるこの基板に設けたエアシリンダと、この
スライドブロックとピンにより結合されている回転ブロ
ックと、この回転ブロックの一端に設けられている、ウ
エーハをクランプするクランパーと、この回転ブロック
の係止部と係合する係止部を備えたストップレールとを
具備するように構成する。
【００１１】
【作用】即ち本発明においては、図１(a) 及び(b) に示
すように二本のガイド棒３の両端を支持するブロック２
を基板１に設け、このガイド棒３に沿って圧縮ばね４に
よりスライド可能なスライドブロック５をこの二本のガ
イド棒３に嵌合し、基板１に設けたエアシリンダ６によ
りこのスライドブロック５をこの圧縮ばね４に抗してこ
のガイド棒３に沿って外方向にスライドさせ、回転ブロ
ック８をピン７によりこのスライドブロック５と結合
し、ウエーハ12をクランプするクランパー９をこの回転
ブロック８の一端に設けており、Ｖ字形状の係止部11a
を備えたストップレール11を基板１と平行して設けてい
るので、図２(a) に示すようにエアシリンダ６のロッド
6aをエアシリンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４に
よってスライドブロック５がガイド棒３に沿って中心方
向に移動してクランパー９がウエーハ12の周辺に接触す
る。
すように二本のガイド棒３の両端を支持するブロック２
を基板１に設け、このガイド棒３に沿って圧縮ばね４に
よりスライド可能なスライドブロック５をこの二本のガ
イド棒３に嵌合し、基板１に設けたエアシリンダ６によ
りこのスライドブロック５をこの圧縮ばね４に抗してこ
のガイド棒３に沿って外方向にスライドさせ、回転ブロ
ック８をピン７によりこのスライドブロック５と結合
し、ウエーハ12をクランプするクランパー９をこの回転
ブロック８の一端に設けており、Ｖ字形状の係止部11a
を備えたストップレール11を基板１と平行して設けてい
るので、図２(a) に示すようにエアシリンダ６のロッド
6aをエアシリンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４に
よってスライドブロック５がガイド棒３に沿って中心方
向に移動してクランパー９がウエーハ12の周辺に接触す
る。
【００１２】更にエアシリンダ６のロッド6aをエアシリ
ンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４によりスライド
ブロック５は更に中心方向に移動するが、クランパー９
がウエーハ12の周辺に当たっているので、図２(b) に示
すように回転ブロック８がピン７を中心として回転し、
回転ブロック８の係止部8aが上方向に移動してストップ
レール11の係止部11a と係合する。
ンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４によりスライド
ブロック５は更に中心方向に移動するが、クランパー９
がウエーハ12の周辺に当たっているので、図２(b) に示
すように回転ブロック８がピン７を中心として回転し、
回転ブロック８の係止部8aが上方向に移動してストップ
レール11の係止部11a と係合する。
【００１３】クランパー９がウエーハ12の周辺に接触し
てから、この係止部8aと係止部11aが係止するまでの
間、クランパー９が撓みながらウエーハ12をクランプす
る。このクランパー９のクランプ力はウエーハ12の直径
の大小にかかわりなく、クランパー９の撓みにより生じ
る一定の値となるので、常に一定のクランプ力でウエー
ハ12をクランプすることが可能となる。
てから、この係止部8aと係止部11aが係止するまでの
間、クランパー９が撓みながらウエーハ12をクランプす
る。このクランパー９のクランプ力はウエーハ12の直径
の大小にかかわりなく、クランパー９の撓みにより生じ
る一定の値となるので、常に一定のクランプ力でウエー
ハ12をクランプすることが可能となる。
【００１４】
【実施例】以下、図１〜図２により本発明の一実施例の
クランプ機構について詳細に説明する。
クランプ機構について詳細に説明する。
【００１５】図１は本発明による一実施例のクランプ機
構の動作を示す図(1) 、図２は本発明による一実施例の
クランプ機構の動作を示す図(2) である。図１(a) 及び
(b) に示すように基板１の下面には二本のガイド棒３の
両端を支持するブロック２とエアシリンダ６が 120°間
隔で３方向に設けられており、上面にはＶ字形状の係止
部11a を備えたストップレール11を基板１と平行して設
け、このストップレール11の上面にウエーハ12を載置す
る支持部1aを設けている。
構の動作を示す図(1) 、図２は本発明による一実施例の
クランプ機構の動作を示す図(2) である。図１(a) 及び
(b) に示すように基板１の下面には二本のガイド棒３の
両端を支持するブロック２とエアシリンダ６が 120°間
隔で３方向に設けられており、上面にはＶ字形状の係止
部11a を備えたストップレール11を基板１と平行して設
け、このストップレール11の上面にウエーハ12を載置す
る支持部1aを設けている。
【００１６】スライドブロック５はこの二本のガイド棒
３に嵌合しており、ガイド棒３に沿って圧縮ばね４によ
りスライドすることが可能である。エアシリンダ６のロ
ッド6aによりこの圧縮ばね４に抗してこのガイド棒３に
沿ってスライドブロック５を外方向にスライドさせてい
る。
３に嵌合しており、ガイド棒３に沿って圧縮ばね４によ
りスライドすることが可能である。エアシリンダ６のロ
ッド6aによりこの圧縮ばね４に抗してこのガイド棒３に
沿ってスライドブロック５を外方向にスライドさせてい
る。
【００１７】回転ブロック８はピン７を介してこのスラ
イドブロック５と結合されており、ウエーハ12をクラン
プするクランパー９がこの回転ブロック８の一端に設け
られており、この回転ブロック８は圧縮ばね10により常
に図１(a) に示すように保持されている。
イドブロック５と結合されており、ウエーハ12をクラン
プするクランパー９がこの回転ブロック８の一端に設け
られており、この回転ブロック８は圧縮ばね10により常
に図１(a) に示すように保持されている。
【００１８】図１(a) に示すようにウエーハ12を支持部
1aの上に載置し、図２(a) に示すようにエアシリンダ６
のロッド6aをエアシリンダ６内に引っ込ませると、圧縮
ばね４によってスライドブロック５がガイド棒３に沿っ
て中心方向に移動してクランパー９がウエーハ12の周辺
に接触する。
1aの上に載置し、図２(a) に示すようにエアシリンダ６
のロッド6aをエアシリンダ６内に引っ込ませると、圧縮
ばね４によってスライドブロック５がガイド棒３に沿っ
て中心方向に移動してクランパー９がウエーハ12の周辺
に接触する。
【００１９】更にエアシリンダ６のロッド6aをエアシリ
ンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４によりスライド
ブロック５は更に中心方向に移動するが、クランパー９
がウエーハ12の周辺に当たっているので、図２(b) に示
すように回転ブロック８がピン７を中心として回転し、
回転ブロック８の係止部8aが上方向に移動してストップ
レール11の係止部11a と係合する。
ンダ６内に引っ込ませると、圧縮ばね４によりスライド
ブロック５は更に中心方向に移動するが、クランパー９
がウエーハ12の周辺に当たっているので、図２(b) に示
すように回転ブロック８がピン７を中心として回転し、
回転ブロック８の係止部8aが上方向に移動してストップ
レール11の係止部11a と係合する。
【００２０】クランパー９がウエーハ12の周辺に接触し
てから、この係止部8aと係止部11aが係止するまでの
間、クランパー９が撓みながらウエーハ12をクランプす
る。このクランパー９のクランプ力はウエーハ12の直径
の大小にかかわりなく、クランパー９の撓みにより生じ
る一定の値となるので、常に一定のクランプ力でウエー
ハ12をクランプすることが可能となる。
てから、この係止部8aと係止部11aが係止するまでの
間、クランパー９が撓みながらウエーハ12をクランプす
る。このクランパー９のクランプ力はウエーハ12の直径
の大小にかかわりなく、クランパー９の撓みにより生じ
る一定の値となるので、常に一定のクランプ力でウエー
ハ12をクランプすることが可能となる。
【００２１】このようにクランパー９の撓みにより生じ
るクランプ力でウエーハ12をクランプするので、クラン
パー９の材料としてはウエーハ12を汚染せず、このクラ
ンプ力によってウエーハ12に過大な力を加えない、ばね
性を有するステンレススチール或いはプラスチックを用
いることが可能である。
るクランプ力でウエーハ12をクランプするので、クラン
パー９の材料としてはウエーハ12を汚染せず、このクラ
ンプ力によってウエーハ12に過大な力を加えない、ばね
性を有するステンレススチール或いはプラスチックを用
いることが可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によればクランプ機構の構造の変更により、ウエーハの
大きさにかかわらず常に同じ力でクランプすることが可
能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の
効果が期待できるクランプ機構の提供が可能である。
によればクランプ機構の構造の変更により、ウエーハの
大きさにかかわらず常に同じ力でクランプすることが可
能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の
効果が期待できるクランプ機構の提供が可能である。
【図１】 本発明による一実施例のクランプ機構の動作
を説明する図(1) 、
を説明する図(1) 、
【図２】 本発明による一実施例のクランプ機構の動作
を説明する図(2) 、
を説明する図(2) 、
【図３】 従来のクランプ機構を示す図、
１は基板、 1aは支持部、 ２はブロック、 ３はガイド棒、 ４は圧縮ばね、 ５はスライドブロック、 ６はエアシリンダ、 6aはロッド、 ７はピン、 ８は回転ブロック、 8aは係止部、 ９はクランパー、 10は圧縮ばね、 11はストップレール、 11aは係止部、 12はウエーハ、
Claims (1)
- 【請求項１】 スライドブロック(5)をスライドさせる
スライド手段(6)と、 前記スライドブロック(5) と、ピン(7) により回転可能
に結合されている回転ブロック(8) と、 該回転ブロック(8) の一端に設けられ、ウエーハ(12)を
クランプするクランパー(9) と、 前記回転ブロック(8) の他端に設けられた係止部(8a)
と、該クランプ時に該係止部(8a)と係合する係止部(11
a) を備えたストップレール(11)と、 を具備することを特徴とするクランプ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12588792A JPH05326676A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | クランプ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12588792A JPH05326676A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | クランプ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05326676A true JPH05326676A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=14921385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12588792A Withdrawn JPH05326676A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | クランプ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05326676A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003197718A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| US6614190B2 (en) | 2001-01-31 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Ion implanter |
| JP2012033938A (ja) * | 2007-10-05 | 2012-02-16 | Semes Co Ltd | スピンヘッド |
| KR20240081838A (ko) * | 2022-12-01 | 2024-06-10 | 세메스 주식회사 | 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치 |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP12588792A patent/JPH05326676A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6614190B2 (en) | 2001-01-31 | 2003-09-02 | Hitachi, Ltd. | Ion implanter |
| JP2003197718A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP2012033938A (ja) * | 2007-10-05 | 2012-02-16 | Semes Co Ltd | スピンヘッド |
| KR20240081838A (ko) * | 2022-12-01 | 2024-06-10 | 세메스 주식회사 | 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4149708A (en) | Clamping arrangement for supporting raw castings during processing | |
| JP2001212730A (ja) | ワークの支持固定治具及び加工方法 | |
| CN215640438U (zh) | 一种混凝土芯样补平辅助装置 | |
| CN110293170A (zh) | 一种用于人防门框闭锁孔快速打孔设备及其工作方法 | |
| JPH07302831A (ja) | 共用試料ホールダ | |
| JPS6138888A (ja) | ロボットのハンド装置 | |
| CN216144634U (zh) | 冲击试验用设备 | |
| CN111341546B (zh) | 一种磁敏传感器用一体式磁芯的整形夹具 | |
| CN215114294U (zh) | 用于检测硬质合金轴套外径对平面跳动的检测工装 | |
| CN212191546U (zh) | 一种切割机刻度盘夹具 | |
| CN207971767U (zh) | 一种大直径管坯内孔修磨机专用夹持装置 | |
| CN218905132U (zh) | 一种操纵杆产品的加工定位夹具 | |
| CN206840071U (zh) | 铝型材自动夹取器 | |
| CN222791263U (zh) | 一种磁性材料切割夹具 | |
| CN214373435U (zh) | 一种工程质量检测钢筋取样固定装置 | |
| CN219902818U (zh) | 一种宝石切割用夹具 | |
| CN222493734U (zh) | 一种磁瓦加工用夹持设备 | |
| CN208271738U (zh) | 电感线圈辅助绕卷装置 | |
| JP2005118913A (ja) | 薄円盤の保持装置 | |
| CN218427317U (zh) | 一种平面磨床用打磨环固件 | |
| CN217371810U (zh) | 一种密码箱门把手打磨夹具与打磨设备 | |
| CN220074469U (zh) | 一种金属包装桶加工的夹紧装置 | |
| CN211249571U (zh) | 一种陶瓷抛光装置 | |
| CN213946147U (zh) | 一种用于井下不规则页岩的小型取样器夹具 | |
| CN213411733U (zh) | 一种注塑模具镶件加工用夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |