JPH05329677A - レーザ光学装置 - Google Patents
レーザ光学装置Info
- Publication number
- JPH05329677A JPH05329677A JP4142482A JP14248292A JPH05329677A JP H05329677 A JPH05329677 A JP H05329677A JP 4142482 A JP4142482 A JP 4142482A JP 14248292 A JP14248292 A JP 14248292A JP H05329677 A JPH05329677 A JP H05329677A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical device
- light
- lens
- light shielding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多点同時加工するレーザ光学装置において、
分岐されたレーザ光の強度ばらつきを解決し、光ファイ
バーに入射されるレーザ光の強度調整を精度良く行うレ
ーザ光学装置を提供することを目的とする。 【構成】 レーザ発振器１と、ビーム分岐光学装置と、
ファイバー入射用レンズ８と、入射用レンズ直前に設け
られた遮光板６と、遮光板６をビーム光路に対して垂直
平面内で平行移動と固定が可能な機構７とを設けること
により、レーザ光の強度調整を精度良く行える。
分岐されたレーザ光の強度ばらつきを解決し、光ファイ
バーに入射されるレーザ光の強度調整を精度良く行うレ
ーザ光学装置を提供することを目的とする。 【構成】 レーザ発振器１と、ビーム分岐光学装置と、
ファイバー入射用レンズ８と、入射用レンズ直前に設け
られた遮光板６と、遮光板６をビーム光路に対して垂直
平面内で平行移動と固定が可能な機構７とを設けること
により、レーザ光の強度調整を精度良く行える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多点同時加工するレーザ
光学装置に関するものである。
光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工技術において、特に多点同時
加工を行う場合は、レーザ光を分岐して光ファイバーに
て伝送し使用することが一般的である。
加工を行う場合は、レーザ光を分岐して光ファイバーに
て伝送し使用することが一般的である。
【０００３】以下図面を参照しながら、上述した従来の
レーザ光学装置の一例について説明する。
レーザ光学装置の一例について説明する。
【０００４】図３は従来のレーザ光学装置のうち光ファ
イバー入射用４分岐レーザ光学装置の構成図を示すもの
である。
イバー入射用４分岐レーザ光学装置の構成図を示すもの
である。
【０００５】図３において、１３はレーザ発振器、１４
はレーザ光、１５，１６と１７はハーフミラー、１８，
１９と２０は全反射ミラー、２１は分岐後のレーザ光、
２２はファイバー入射用レンズ、２３は光ファイバーで
ある。これらのうち光学部品は、固定治具によって保持
されている。レーザ発振器１３から出射されたレーザ光
１４は、光路に対して４５度に設置されたハーフミラー
１５によって分割される。分割されたレーザ光は、それ
ぞれハーフミラー１６，１７と全反射ミラー１９，２０
に誘導される。以下同様にハーフミラー１６と１７，全
反射ミラー１９と２０によってレーザ光１４は最終的に
４分岐される。分岐されたレーザ光２１は入射用レンズ
２２によって光ファイバー２３に入射され、伝送されて
加工に用いられる。
はレーザ光、１５，１６と１７はハーフミラー、１８，
１９と２０は全反射ミラー、２１は分岐後のレーザ光、
２２はファイバー入射用レンズ、２３は光ファイバーで
ある。これらのうち光学部品は、固定治具によって保持
されている。レーザ発振器１３から出射されたレーザ光
１４は、光路に対して４５度に設置されたハーフミラー
１５によって分割される。分割されたレーザ光は、それ
ぞれハーフミラー１６，１７と全反射ミラー１９，２０
に誘導される。以下同様にハーフミラー１６と１７，全
反射ミラー１９と２０によってレーザ光１４は最終的に
４分岐される。分岐されたレーザ光２１は入射用レンズ
２２によって光ファイバー２３に入射され、伝送されて
加工に用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、各ミラーの反射特性に起因して、分岐後
のビーム強度に差が生じる。多層反射膜を有する反射ミ
ラーでは、通常±５％程度の反射率変動範囲を有する。
このため分岐されたビームの強度は、４分岐の場合でも
２０〜３０％程度の差は容易に生じるという課題を有し
ていた。
うな構成では、各ミラーの反射特性に起因して、分岐後
のビーム強度に差が生じる。多層反射膜を有する反射ミ
ラーでは、通常±５％程度の反射率変動範囲を有する。
このため分岐されたビームの強度は、４分岐の場合でも
２０〜３０％程度の差は容易に生じるという課題を有し
ていた。
【０００７】本発明は上記した課題に鑑み、光ファイバ
ーに入射されるレーザ光の強度調整を精度良く行うレー
ザ光学装置を提供することを目的とする。
ーに入射されるレーザ光の強度調整を精度良く行うレー
ザ光学装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のレーザ光学装置は、レーザ発振器と、ビーム
分岐光学装置と、ファイバー入射用れんずと、入射用レ
ンズ直前に設けられた遮光板と、遮光板をビーム光路に
対して垂直平面内で平行移動と固定可能な機構という構
成を備えたものである。
に本発明のレーザ光学装置は、レーザ発振器と、ビーム
分岐光学装置と、ファイバー入射用れんずと、入射用レ
ンズ直前に設けられた遮光板と、遮光板をビーム光路に
対して垂直平面内で平行移動と固定可能な機構という構
成を備えたものである。
【０００９】
【作用】本発明は上記した構成によって、発振器から出
射されたレーザ光は、ビーム分岐光学装置によって所定
の数に分岐される。分岐されたレーザ光のうち、レーザ
強度の高いものに対して、入射用レンズ直前に遮光板を
設け、この遮光板をビーム光路に対して垂直平面内で移
動させレーザ光を遮光することで、光ファイバーに入射
するレーザの光量を所望の大きさに調整する。遮光板を
入射用レンズ直前に設けることで、入射用レンズ通過後
のレーザ光についても十分な集光性が得られ、効率良く
光ファイバーに入射させることができる。
射されたレーザ光は、ビーム分岐光学装置によって所定
の数に分岐される。分岐されたレーザ光のうち、レーザ
強度の高いものに対して、入射用レンズ直前に遮光板を
設け、この遮光板をビーム光路に対して垂直平面内で移
動させレーザ光を遮光することで、光ファイバーに入射
するレーザの光量を所望の大きさに調整する。遮光板を
入射用レンズ直前に設けることで、入射用レンズ通過後
のレーザ光についても十分な集光性が得られ、効率良く
光ファイバーに入射させることができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の第１の実施例におけるレー
ザ光学装置の構成図を示すものである。図１において、
１はレーザ発振器、２はレーザ光、３はハーフミラー、
４は全反射ミラー、５は分岐後のレーザ光、６は遮光
板、７は保持機構、８は光ファイバー入射用レンズ、９
は光ファイバーである。レーザ発振器１から出射された
レーザ光２は、ハーフミラー３と全反射ミラー４によっ
て４分岐され、レーザ光５が得られる。レーザ光５は入
射用レンズ８によって集光され、光ファイバー９に入射
される。このとき、遮光板６の突き出し量を保持機構７
によって調整することで、レーザ光５の光ファイバー９
に入射される光量を調整することができる。図２は、図
１における光ファイバー入射部近傍の拡大図である。ａ
は側面図、ｂは上面図である。図２において、１０は遮
光板６のマスク部、１１は遮光板６の支持部、１２は遮
光板６を保持機構７に固定するためのボルトである。マ
スク部１０はレーザ光５の光路に対して傾けて設置する
ことにより、マスク部１０からの戻り光によって、レー
ザ発振器１内部で出力変動が生じることを防いでいる。
遮光板６は支持部１１をボルト１２で保持機構７に押し
つける方式をとることによって、遮光板６のビーム光路
に対して垂直平面内での平行移動や固定を容易に行うこ
とができる。レーザ光の遮光量の調整によって光ファイ
バー９に入射するレーザ強度を調整することができる。
ザ光学装置の構成図を示すものである。図１において、
１はレーザ発振器、２はレーザ光、３はハーフミラー、
４は全反射ミラー、５は分岐後のレーザ光、６は遮光
板、７は保持機構、８は光ファイバー入射用レンズ、９
は光ファイバーである。レーザ発振器１から出射された
レーザ光２は、ハーフミラー３と全反射ミラー４によっ
て４分岐され、レーザ光５が得られる。レーザ光５は入
射用レンズ８によって集光され、光ファイバー９に入射
される。このとき、遮光板６の突き出し量を保持機構７
によって調整することで、レーザ光５の光ファイバー９
に入射される光量を調整することができる。図２は、図
１における光ファイバー入射部近傍の拡大図である。ａ
は側面図、ｂは上面図である。図２において、１０は遮
光板６のマスク部、１１は遮光板６の支持部、１２は遮
光板６を保持機構７に固定するためのボルトである。マ
スク部１０はレーザ光５の光路に対して傾けて設置する
ことにより、マスク部１０からの戻り光によって、レー
ザ発振器１内部で出力変動が生じることを防いでいる。
遮光板６は支持部１１をボルト１２で保持機構７に押し
つける方式をとることによって、遮光板６のビーム光路
に対して垂直平面内での平行移動や固定を容易に行うこ
とができる。レーザ光の遮光量の調整によって光ファイ
バー９に入射するレーザ強度を調整することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明は、レーザ発振器
と、ビーム分岐光学装置と、ファイバー入射用レンズ
と、入射用レンズ直前に設けられた遮光板と、遮光板を
ビーム光路に対して垂直平面内で平行移動と固定が可能
な機構とを設けることにより、光ファイバーに入射され
るレーザ光の強度調整を精度良くできる優れたレーザ光
学装置を実現できるものである。
と、ビーム分岐光学装置と、ファイバー入射用レンズ
と、入射用レンズ直前に設けられた遮光板と、遮光板を
ビーム光路に対して垂直平面内で平行移動と固定が可能
な機構とを設けることにより、光ファイバーに入射され
るレーザ光の強度調整を精度良くできる優れたレーザ光
学装置を実現できるものである。
【図１】本発明の第１の実施例におけるレーザ光学装置
の構成図
の構成図
【図２】（ａ）は図１の光ファイバー入射近傍拡大図の
側面図 （ｂ）は上面図
側面図 （ｂ）は上面図
【図３】従来のレーザ光学装置の構成図
【符号の説明】 １ レーザ発振器 ６ 遮光板 ７ 保持機構 ８ 入射用レンズ ９ 光ファイバー １０ マスク部 １１ 支持部
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器と、ビーム分岐光学装置
と、ファイバー入射用レンズと、入射用レンズ直前に設
けられた遮光板と、遮光板をビーム光路に対して垂直平
面内で平行移動と固定が可能な機構とを備えたことを特
徴とするレーザ光学装置。 - 【請求項２】 遮光板の遮光面はビーム光路に対して傾
けて設置されたことを特徴とする請求項１記載のレーザ
光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4142482A JPH05329677A (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | レーザ光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4142482A JPH05329677A (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | レーザ光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329677A true JPH05329677A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15316351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4142482A Pending JPH05329677A (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | レーザ光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05329677A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000214529A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Ldt Gmbh & Co Laser Display Technol Kg | 複数の画像を投射するためのビデオ投射システム |
| JP2008272830A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Eo Technics Co Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2010151878A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム分岐装置および露光装置 |
| CN110773089A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-02-11 | 山东奇谱创能生物科技有限公司 | 一种基于单光束的多通道化学微反应设备 |
-
1992
- 1992-06-03 JP JP4142482A patent/JPH05329677A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000214529A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Ldt Gmbh & Co Laser Display Technol Kg | 複数の画像を投射するためのビデオ投射システム |
| JP2008272830A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Eo Technics Co Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2010151878A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム分岐装置および露光装置 |
| CN110773089A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-02-11 | 山东奇谱创能生物科技有限公司 | 一种基于单光束的多通道化学微反应设备 |
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