JPH05330916A - ガスタービン用耐熱機械部品 - Google Patents
ガスタービン用耐熱機械部品Info
- Publication number
- JPH05330916A JPH05330916A JP4163348A JP16334892A JPH05330916A JP H05330916 A JPH05330916 A JP H05330916A JP 4163348 A JP4163348 A JP 4163348A JP 16334892 A JP16334892 A JP 16334892A JP H05330916 A JPH05330916 A JP H05330916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- weight
- gas turbine
- heat
- strength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 12
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高温強度と高温での耐酸化特性を改善する。
【構成】 炭化珪素質焼結体からなるガスタービン用耐
熱機械部品において、炭化珪素(SiC)70〜92重
量%に対して、90対10ないし60対40の重量組成
比をもって酸化アルミニウム(Al2 O3 )と二酸化珪
素(SiO2 )が合計で8〜30重量%添加されてい
て、相対密度が理論カサ密度に対して95%以上であ
り、開気孔率が1%未満であり、室温での曲げ強度と1
400℃での曲げ強度がいずれも400MPa以上であ
り、静止空気中で1400℃,100時間酸化させた後
の重量増量が0.25mg/cm2 未満であることを特
徴とするガスタービン用耐熱機械部品。
熱機械部品において、炭化珪素(SiC)70〜92重
量%に対して、90対10ないし60対40の重量組成
比をもって酸化アルミニウム(Al2 O3 )と二酸化珪
素(SiO2 )が合計で8〜30重量%添加されてい
て、相対密度が理論カサ密度に対して95%以上であ
り、開気孔率が1%未満であり、室温での曲げ強度と1
400℃での曲げ強度がいずれも400MPa以上であ
り、静止空気中で1400℃,100時間酸化させた後
の重量増量が0.25mg/cm2 未満であることを特
徴とするガスタービン用耐熱機械部品。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、炭化珪素質焼結体か
らなるガスタービン用耐熱機械部品の改良に関する。
らなるガスタービン用耐熱機械部品の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】ムライトセラミックスの強度や破壊靭性
値を向上させるために、ムライトにホイスカを添加した
り(特開昭63−35463号公報)、ムライトに炭化
珪素粉末やジルコニア粉末を添加する試みがなされてき
た(特開平1−100061号公報、特開昭64−30
68号公報)。
値を向上させるために、ムライトにホイスカを添加した
り(特開昭63−35463号公報)、ムライトに炭化
珪素粉末やジルコニア粉末を添加する試みがなされてき
た(特開平1−100061号公報、特開昭64−30
68号公報)。
【0003】また、酸化アルミニウムを焼結助剤とした
従来例も知られている。たとえば特公昭60−3451
5号公報、同63−44713号公報では、炭化珪素粉
末にアルミナを焼結助剤として添加することで、焼結が
促進され、高密度かつ高強度の炭化珪素焼結体が提案さ
れている。
従来例も知られている。たとえば特公昭60−3451
5号公報、同63−44713号公報では、炭化珪素粉
末にアルミナを焼結助剤として添加することで、焼結が
促進され、高密度かつ高強度の炭化珪素焼結体が提案さ
れている。
【0004】このような系にさらにAlNを主として添
加することにより、高温(1400℃)で高強度を得る
ことが、特公昭62−56104号公報に提案されてい
る。
加することにより、高温(1400℃)で高強度を得る
ことが、特公昭62−56104号公報に提案されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ムライトセラミックス
は耐酸化特性と耐熱衝撃特性の点では非常に優れた特性
を有するセラミックスであるが、本質的に強度が低く
(200MPa程度)、ムライト単体では、高温での強
度が要求されるガスタービンの分野では使用が不可能で
ある。
は耐酸化特性と耐熱衝撃特性の点では非常に優れた特性
を有するセラミックスであるが、本質的に強度が低く
(200MPa程度)、ムライト単体では、高温での強
度が要求されるガスタービンの分野では使用が不可能で
ある。
【0006】また、Al2 O3 系炭化珪素は、B/C系
炭化珪素と比べ、高温での耐酸化性が劣るという欠点が
あるので、高温(1300℃以上)で空気にさらされる
ガスタービン部品の材料としては使用が難しい。
炭化珪素と比べ、高温での耐酸化性が劣るという欠点が
あるので、高温(1300℃以上)で空気にさらされる
ガスタービン部品の材料としては使用が難しい。
【0007】さらに、ムライト・炭化珪素系の二組成複
合セラミックスは、以前から知られているが、ムライト
を主成分(50%以上)とし、炭化珪素を副成分にした
ものである。従って強度に問題があった。
合セラミックスは、以前から知られているが、ムライト
を主成分(50%以上)とし、炭化珪素を副成分にした
ものである。従って強度に問題があった。
【0008】本発明は機械的強度を高く維持しつつ高温
における耐酸化特性を改善したガスタービン用耐熱機械
部品を提供することを目的としている。
における耐酸化特性を改善したガスタービン用耐熱機械
部品を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は炭化珪素
質焼結体からなるガスタービン用耐熱機械部品におい
て、炭化珪素(SiC)70〜92重量%に対して、9
0対10ないし60対40の重量組成比をもって酸化ア
ルミニウム(Al2 O3 )と二酸化珪素(SiO2 )が
合計で8〜30重量%添加されていて、相対密度が理論
カサ密度に対して95%以上であり、開気孔率が1%未
満であり、室温での曲げ強度と1400℃での曲げ強度
がいずれも400MPa以上であり、静止空気中で14
00℃,100時間酸化させた後の重量増量が0.25
mg/cm2 未満であることを特徴とするガスタービン
用耐熱機械部品である。
質焼結体からなるガスタービン用耐熱機械部品におい
て、炭化珪素(SiC)70〜92重量%に対して、9
0対10ないし60対40の重量組成比をもって酸化ア
ルミニウム(Al2 O3 )と二酸化珪素(SiO2 )が
合計で8〜30重量%添加されていて、相対密度が理論
カサ密度に対して95%以上であり、開気孔率が1%未
満であり、室温での曲げ強度と1400℃での曲げ強度
がいずれも400MPa以上であり、静止空気中で14
00℃,100時間酸化させた後の重量増量が0.25
mg/cm2 未満であることを特徴とするガスタービン
用耐熱機械部品である。
【0010】
【作用】混合粉末の酸化アルミニウム/二酸化珪素の重
量組成比を90/10ないし60/40にした理由を述
べると、90/10を超すと、SiO2 成分が不足する
ため、ムライト結晶相の発現が不十分で、耐酸化性が劣
る。逆に、60/40未満だと、SiO2 成分が過剰と
なり、ガラス相を形成し、高温での粒界軟化が顕著とな
り、高温強度が極端に低下する。
量組成比を90/10ないし60/40にした理由を述
べると、90/10を超すと、SiO2 成分が不足する
ため、ムライト結晶相の発現が不十分で、耐酸化性が劣
る。逆に、60/40未満だと、SiO2 成分が過剰と
なり、ガラス相を形成し、高温での粒界軟化が顕著とな
り、高温強度が極端に低下する。
【0011】また、炭化珪素/(酸化アルミニウム+二
酸化珪素)の比を92/8ないし70/30とした理由
は、92/8を超すと、助剤成分が不足し、緻密化が進
まず、逆に、70/30未満だと、炭化珪素の特性が発
現せず、強度が極端に低下するからである。
酸化珪素)の比を92/8ないし70/30とした理由
は、92/8を超すと、助剤成分が不足し、緻密化が進
まず、逆に、70/30未満だと、炭化珪素の特性が発
現せず、強度が極端に低下するからである。
【0012】相対密度を95%以上にすることにより材
料強度が高くなり、かつ、強度のばらつきを少なくする
ことができた。
料強度が高くなり、かつ、強度のばらつきを少なくする
ことができた。
【0013】室温での曲げ強度1400℃での曲げ強度
をいずれも400MPa以上にすることによりガスター
ビン部品に必要な強度を有し、かつ、材料破壊が起き難
くなった。
をいずれも400MPa以上にすることによりガスター
ビン部品に必要な強度を有し、かつ、材料破壊が起き難
くなった。
【0014】開気孔率を1%未満にし全体的に金属光沢
を有することにより耐酸化性を向上させ、かつ、材料強
度のばらつきを抑制できる作用がある。
を有することにより耐酸化性を向上させ、かつ、材料強
度のばらつきを抑制できる作用がある。
【0015】酸化による重量増量を0.25mg/cm2
にしたのは0.25mg/cm2 以上だと,酸化による材
料劣化から耐久強度が低下し寿命が短くなるからであ
る。
にしたのは0.25mg/cm2 以上だと,酸化による材
料劣化から耐久強度が低下し寿命が短くなるからであ
る。
【0016】
【実施例】Al2 O3 助剤系炭化珪素にSiO2 を添加
し、焼結体中にムライト結晶相を形成させれば、炭化珪
素の長所(強度)とムライトの長所(耐酸化性)があい
まって、それぞれの材料の欠点を補う材料ができるとい
うことに着目して、本発明を完成した。
し、焼結体中にムライト結晶相を形成させれば、炭化珪
素の長所(強度)とムライトの長所(耐酸化性)があい
まって、それぞれの材料の欠点を補う材料ができるとい
うことに着目して、本発明を完成した。
【0017】SiO2 を添加すると、焼結体中にガラス
相が形成されやすく、高温での強度が低下してしまう場
合が多い。これまでSiO2 を積極的に添加するものが
少ないのはこの理由によるところが大きいと考えられ
る。
相が形成されやすく、高温での強度が低下してしまう場
合が多い。これまでSiO2 を積極的に添加するものが
少ないのはこの理由によるところが大きいと考えられ
る。
【0018】そこで、いろいろな実験の結果、添加する
酸化アルミニウムおよび二酸化珪素に高純度・微細粉末
を用い、酸化アルミニウム/二酸化珪素の組成比と、こ
の混合粉末の添加量をある範囲内に調製し、さらに焼結
条件を最適化することにより、強度を低下させることな
く、耐酸化性の高い焼結体が得られることを発見した。
添加物として高純度のムライト粉末を用いても同様の効
果が得られる。
酸化アルミニウムおよび二酸化珪素に高純度・微細粉末
を用い、酸化アルミニウム/二酸化珪素の組成比と、こ
の混合粉末の添加量をある範囲内に調製し、さらに焼結
条件を最適化することにより、強度を低下させることな
く、耐酸化性の高い焼結体が得られることを発見した。
添加物として高純度のムライト粉末を用いても同様の効
果が得られる。
【0019】また、常圧焼結のみでも良好な焼結体が得
られるが、熱間静水圧処理(HIP)をすることがさら
なる特性の向上に有効であることを究明した。
られるが、熱間静水圧処理(HIP)をすることがさら
なる特性の向上に有効であることを究明した。
【0020】本発明によるガスタービン用耐熱機械部品
は、炭化珪素が70〜92重量%であり、残部がAl2
O3 とSiO2 質より構成されている。その組成比(重
量比)Al2 O3 /SiO2 は、90/10〜60/4
0の範囲である。相対密度が95%(理論カサ密度に対
し)以上、開気孔率が1%未満であり室温での曲げ強度
と1400℃での曲げ強度がいずれも400MPa以
上、静止空気中1400℃で100時間での酸化後の重
量増量が0.25mg/cm2 未満である。
は、炭化珪素が70〜92重量%であり、残部がAl2
O3 とSiO2 質より構成されている。その組成比(重
量比)Al2 O3 /SiO2 は、90/10〜60/4
0の範囲である。相対密度が95%(理論カサ密度に対
し)以上、開気孔率が1%未満であり室温での曲げ強度
と1400℃での曲げ強度がいずれも400MPa以
上、静止空気中1400℃で100時間での酸化後の重
量増量が0.25mg/cm2 未満である。
【0021】このようなタービン用耐熱機械部品の好適
な製法は、Al2 O3 およびSiO2 の組成においてA
l2 O3 /SiO2 の比(重量)を90/10〜60/
40の範囲に調整した粉末が10〜35重量%で、残部
の90〜65重量%が炭化珪粉末からなる混合粉末を成
形して、ガスタービン用耐熱機械部品の成形体を得る工
程と、不活性ガス雰囲気下、1700℃〜2000℃の
温度範囲で成形体を常圧焼結する工程を含む製造方法で
ある。
な製法は、Al2 O3 およびSiO2 の組成においてA
l2 O3 /SiO2 の比(重量)を90/10〜60/
40の範囲に調整した粉末が10〜35重量%で、残部
の90〜65重量%が炭化珪粉末からなる混合粉末を成
形して、ガスタービン用耐熱機械部品の成形体を得る工
程と、不活性ガス雰囲気下、1700℃〜2000℃の
温度範囲で成形体を常圧焼結する工程を含む製造方法で
ある。
【0022】前述の焼結体をさらに不活性ガス雰囲気3
0〜2000気圧下、1700℃〜2000℃において
HIP処理することが好ましい。それにより、相対密度
が98%(理論カサ密度に対し)以上、室温での曲げ強
度と1400℃での曲げ強度がいずれも500MPa以
上、静止空気中1400℃で100時間での酸化後の重
量増量が0.15mg/cm2 未満になる。
0〜2000気圧下、1700℃〜2000℃において
HIP処理することが好ましい。それにより、相対密度
が98%(理論カサ密度に対し)以上、室温での曲げ強
度と1400℃での曲げ強度がいずれも500MPa以
上、静止空気中1400℃で100時間での酸化後の重
量増量が0.15mg/cm2 未満になる。
【0023】焼結温度を1700℃〜2000℃にする
理由を述べると、1700℃未満では、温度が低いた
め、緻密化が進まず、逆に、2000℃を超えると、炭
化珪素の粒子成長が起こって強度が低下し、添加物の分
解が起こって密度・強度が低下する。
理由を述べると、1700℃未満では、温度が低いた
め、緻密化が進まず、逆に、2000℃を超えると、炭
化珪素の粒子成長が起こって強度が低下し、添加物の分
解が起こって密度・強度が低下する。
【0024】HIPの条件は圧力を30〜2000気圧
にするのが好ましい。30気圧未満だと、HIPの効果
が不十分であり、2000気圧を超すと、実施が困難で
ある。HIPを実施するとき、温度を1700℃〜20
00℃にする理由は、焼結温度の場合と同じである。
にするのが好ましい。30気圧未満だと、HIPの効果
が不十分であり、2000気圧を超すと、実施が困難で
ある。HIPを実施するとき、温度を1700℃〜20
00℃にする理由は、焼結温度の場合と同じである。
【0025】なお、前述のガスタービン用耐熱機械部品
を構成する焼結体の場合と、それを製造する方法の場合
では、全体に占める炭化珪素の割合が異なる。それは、
焼結により、Al2 O3 とSiO2 が若干系外に揮散し
て減少するからである。
を構成する焼結体の場合と、それを製造する方法の場合
では、全体に占める炭化珪素の割合が異なる。それは、
焼結により、Al2 O3 とSiO2 が若干系外に揮散し
て減少するからである。
【0026】実施例1 β−炭化珪素粉末80重量%にAl2 O3 微粉末(平均
粒径が0.02μm、純度が99.6%)14.4重量
%と、同社製炭化珪素粉末(平均粒径が0.01μm,
純度が99.8%)5.6重量%とをエタノール溶媒中
ポットミルにより48時間混合してスラリーを得た。こ
の際、成形用助剤としてポリビニルアセテートを2%加
えた。エバポレータによってこのスラリーを乾燥した
後、100meshの篩で造粒を行い、顆粒を得た。こ
の顆粒を50□形状の金型により1t/cm2 の成形圧
で一軸圧縮成形を行なった。この成形体をArガス中6
00℃で脱脂処理した後、Ar雰囲気中、1850℃で
3時間焼結した。
粒径が0.02μm、純度が99.6%)14.4重量
%と、同社製炭化珪素粉末(平均粒径が0.01μm,
純度が99.8%)5.6重量%とをエタノール溶媒中
ポットミルにより48時間混合してスラリーを得た。こ
の際、成形用助剤としてポリビニルアセテートを2%加
えた。エバポレータによってこのスラリーを乾燥した
後、100meshの篩で造粒を行い、顆粒を得た。こ
の顆粒を50□形状の金型により1t/cm2 の成形圧
で一軸圧縮成形を行なった。この成形体をArガス中6
00℃で脱脂処理した後、Ar雰囲気中、1850℃で
3時間焼結した。
【0027】得られた焼結体の密度を測定した後、3×
4×40mmの寸法を有する曲げ強度試験片に切り出
し、JIS R−1601に従い、常温と1400℃で
3点曲げ試験を行なった。そのとき、それぞれ、n=3
とした。
4×40mmの寸法を有する曲げ強度試験片に切り出
し、JIS R−1601に従い、常温と1400℃で
3点曲げ試験を行なった。そのとき、それぞれ、n=3
とした。
【0028】また、同じ試験片を静止空気中1400℃
で100時間保持し、酸化前後の重量増を調べた。その
際、重量増をサンプルの表面積で割った値を計算した。
これらの実験結果を表1に示す。
で100時間保持し、酸化前後の重量増を調べた。その
際、重量増をサンプルの表面積で割った値を計算した。
これらの実験結果を表1に示す。
【0029】実施例2,3 実施例1の中で、Al2 O3 とSiO2 の添加量のみを
変えて同様の実験を行なった。
変えて同様の実験を行なった。
【0030】実施例4,5 実施例1の中で、Al2 O3 とSiC2 の組成比は変え
ないで、SiC/(Al2 O3 +SiO2 )の比のみを
変えて同様の実験を行なった。ただし焼結温度は異な
る。
ないで、SiC/(Al2 O3 +SiO2 )の比のみを
変えて同様の実験を行なった。ただし焼結温度は異な
る。
【0031】実施例6 実施例1の酸化アルミニウム+二酸化珪素に変え、ムラ
イト(3Al2 O3 ・2SiO2 )粉末を20%添加
し、同様の実験を行なった。
イト(3Al2 O3 ・2SiO2 )粉末を20%添加
し、同様の実験を行なった。
【0032】実施例7,8 実施例1と実施例4で得られた焼結体をそれぞれArガ
ス中、1800℃、1000kg/cm2 の条件で2時
間HIP処理を行なった。
ス中、1800℃、1000kg/cm2 の条件で2時
間HIP処理を行なった。
【0033】比較例1〜4 請求項1の範囲外の組成で同様の実験を行なった。
【0034】比較例5 SiO2 の代わりにAlNを添加した場合の実験を行っ
た。
た。
【0035】
【発明の効果】本発明のガスタービン用耐熱機械部品
は、表3からも明らかなように、従来例や比較例に比較
して、高温強度にすぐれており、高温空気中での耐酸化
性も抜群である。◆
は、表3からも明らかなように、従来例や比較例に比較
して、高温強度にすぐれており、高温空気中での耐酸化
性も抜群である。◆
【表1】
【表2】
【表3】
Claims (1)
- 【請求項1】 炭化珪素質焼結体からなるガスタービン
用耐熱機械部品において、炭化珪素(SiC)70〜9
2重量%に対して、90対10ないし60対40の重量
組成比をもって酸化アルミニウム(Al2 O3 )と二酸
化珪素(SiO2 )が合計で8〜30重量%添加されて
いて、相対密度が理論カサ密度に対して95%以上であ
り、開気孔率が1%未満であり、室温での曲げ強度と1
400℃での曲げ強度がいずれも400MPa以上であ
り、静止空気中で1400℃,100時間酸化させた後
の重量増量が0.25mg/cm2 未満であることを特
徴とするガスタービン用耐熱機械部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163348A JPH05330916A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | ガスタービン用耐熱機械部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163348A JPH05330916A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | ガスタービン用耐熱機械部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330916A true JPH05330916A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15772181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4163348A Pending JPH05330916A (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | ガスタービン用耐熱機械部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05330916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001278685A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 炭化珪素部材およびその製造方法 |
| EP1728774A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Oxide-bonded silicon carbide material |
-
1992
- 1992-06-01 JP JP4163348A patent/JPH05330916A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001278685A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 炭化珪素部材およびその製造方法 |
| EP1728774A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Oxide-bonded silicon carbide material |
| JP2006335594A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 酸化物結合炭化珪素質材料 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2842723B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体およびその製造方法 | |
| JP2577899B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造法 | |
| JP2507480B2 (ja) | SiC−Al▲下2▼O▲下3▼複合焼結体及びその製造法 | |
| JPH05330916A (ja) | ガスタービン用耐熱機械部品 | |
| JP3231944B2 (ja) | 窒化珪素質耐熱部材の製造方法 | |
| JP3208181B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体 | |
| JP2736386B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JP3426823B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3810183B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JP3152790B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH0259471A (ja) | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3290685B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体 | |
| JPH09157028A (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2743666B2 (ja) | タービン用セラミックス材料およびその製造方法 | |
| JP2851721B2 (ja) | 切削工具用窒化珪素質焼結体 | |
| JPH05139840A (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2746761B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体の製造方法 | |
| JP3036207B2 (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JP3271123B2 (ja) | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 | |
| JP2687633B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JP2700786B2 (ja) | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP2597774B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0640770A (ja) | アルミナ基複合焼結体及びその製造方法 | |
| JP3216973B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPS6319473B2 (ja) |