JPH053333A - 太陽電池のリペア方法 - Google Patents
太陽電池のリペア方法Info
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- JPH053333A JPH053333A JP3153170A JP15317091A JPH053333A JP H053333 A JPH053333 A JP H053333A JP 3153170 A JP3153170 A JP 3153170A JP 15317091 A JP15317091 A JP 15317091A JP H053333 A JPH053333 A JP H053333A
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 電極2および7のいずれかが導電性ペースト
で形成された太陽電池を前記導電性ペーストのバインダ
ーのガラス転移点Tg以上の温度で、かつ、相対湿度6
0%以上に保ち、太陽電池に逆バイアスを印加してショ
ート及びシャントをリペアする。 【効果】 太陽電池のショート及びシャントがリペアさ
れ、太陽電池特性が向上する。
で形成された太陽電池を前記導電性ペーストのバインダ
ーのガラス転移点Tg以上の温度で、かつ、相対湿度6
0%以上に保ち、太陽電池に逆バイアスを印加してショ
ート及びシャントをリペアする。 【効果】 太陽電池のショート及びシャントがリペアさ
れ、太陽電池特性が向上する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、信頼性の高い太陽電池
の製造方法に関する。より詳しくは、本発明は、太陽電
池の製造工程で発生する、ショートやシャントを簡便に
修復する事により太陽電池の初期特性、及び使用時にお
ける劣化を防ぐための方法に関する。
の製造方法に関する。より詳しくは、本発明は、太陽電
池の製造工程で発生する、ショートやシャントを簡便に
修復する事により太陽電池の初期特性、及び使用時にお
ける劣化を防ぐための方法に関する。
【0002】
【従来の技術】太陽光を電気エネルギーに変換する光電
変換素子である太陽電池は、電卓、腕時計などの民生用
の小電力用電源として広く応用されており、また、将
来、石油、石炭などのいわゆる化石燃料の代替電力用と
して実用化可能な技術として注目されている。太陽電池
は半導体のpn接合の光起電力を利用した技術である。
シリコンなどの半導体が太陽光を吸収すると、電子と正
孔の光キャリヤーが生成する。該光キャリヤーはpn接
合部の内部電界に依りドリフトし、外部に取り出され
る。この様な太陽電池はほぼ半導体プロセスを用いるこ
とにより作製される。具体的には、CZ法などの結晶成
長法によりp型、あるいはn型に価電子制御したシリコ
ンの単結晶を作製し、該単結晶をスライスして約300
μmの厚みのシリコンウエハーを作る。さらに前記ウエ
ハーの導電型と反対の導電型となるように、価電子制御
剤の拡散やイオン打込みなどの適当な手段により、異種
の導電型の層を形成することで前記ウエハー内にpn接
合を作る。
変換素子である太陽電池は、電卓、腕時計などの民生用
の小電力用電源として広く応用されており、また、将
来、石油、石炭などのいわゆる化石燃料の代替電力用と
して実用化可能な技術として注目されている。太陽電池
は半導体のpn接合の光起電力を利用した技術である。
シリコンなどの半導体が太陽光を吸収すると、電子と正
孔の光キャリヤーが生成する。該光キャリヤーはpn接
合部の内部電界に依りドリフトし、外部に取り出され
る。この様な太陽電池はほぼ半導体プロセスを用いるこ
とにより作製される。具体的には、CZ法などの結晶成
長法によりp型、あるいはn型に価電子制御したシリコ
ンの単結晶を作製し、該単結晶をスライスして約300
μmの厚みのシリコンウエハーを作る。さらに前記ウエ
ハーの導電型と反対の導電型となるように、価電子制御
剤の拡散やイオン打込みなどの適当な手段により、異種
の導電型の層を形成することで前記ウエハー内にpn接
合を作る。
【0003】ところで、信頼性や変換効率の観点から、
現在、主に実用化されている太陽電池には、単結晶シリ
コンが使われているが、上述のように太陽電池作製は半
導体プロセスを用いるため、その生産コストは高いもの
となっている。
現在、主に実用化されている太陽電池には、単結晶シリ
コンが使われているが、上述のように太陽電池作製は半
導体プロセスを用いるため、その生産コストは高いもの
となっている。
【0004】また、単結晶シリコン太陽電池には、次の
ような欠点もある。単結晶シリコンは間接遷移であるた
め光吸収係数が小さく、必要光量を得るためには、少な
くとも50μm以上の厚さが必要である。これは軽量化
の点から不利である。
ような欠点もある。単結晶シリコンは間接遷移であるた
め光吸収係数が小さく、必要光量を得るためには、少な
くとも50μm以上の厚さが必要である。これは軽量化
の点から不利である。
【0005】また、太陽電池として好適なバンドギャッ
プは1.5eVであるが、単結晶シリコンの場合は約
1.1eVである。このため太陽光の短波長成分を有効
に利用できない欠点もある。
プは1.5eVであるが、単結晶シリコンの場合は約
1.1eVである。このため太陽光の短波長成分を有効
に利用できない欠点もある。
【0006】ここで、仮に単結晶シリコンの代わりに多
結晶シリコンを用いるとすると、生産コストは低下する
が、多結晶シリコンもやはり間接遷移なので太陽電池の
厚さの問題は残る。さらに多結晶シリコンには粒界その
他の問題がある。
結晶シリコンを用いるとすると、生産コストは低下する
が、多結晶シリコンもやはり間接遷移なので太陽電池の
厚さの問題は残る。さらに多結晶シリコンには粒界その
他の問題がある。
【0007】また、結晶質シリコンを用いた太陽電池
は、大面積のウエハーを製造することが困難であること
から、単体では大電力を取りだすことができない。従っ
て単位素子を直列化あるいは並列化するための配線技術
が必要となる。また屋外で使用する場合、様々な気象条
件によりもたらされる機械的損傷から太陽電池を保護す
るために、高価な実装が必要になる。
は、大面積のウエハーを製造することが困難であること
から、単体では大電力を取りだすことができない。従っ
て単位素子を直列化あるいは並列化するための配線技術
が必要となる。また屋外で使用する場合、様々な気象条
件によりもたらされる機械的損傷から太陽電池を保護す
るために、高価な実装が必要になる。
【0008】以上のように、従来の太陽電池は単位発電
量に対する生産コストが既存の発電方法に比べて割高に
なってしまうという問題点がある。従って、電力用とし
ての太陽電池の実用化を進めるに当たっては、低コスト
化及び大面積化が重要な技術的課題である。前記課題解
決のため現在、様々な検討がなされており、コストの安
い材料、変換効率の安い材料などの材料の探究が行なわ
れている。このような材料としては、非晶質シリコン、
非晶質シリコンゲルマニウム、非晶質炭化珪素などのテ
トラヘドラル系の非晶質半導体もしくはCdS、Cu2
SなどのII−VI族の化合物半導体及びGaAs、GaA
lAsなどの III−V族の化合物半導体等が挙げられ
る。とりわけ、非晶質半導体を光起電力発生層に用いた
薄膜太陽電池は、単結晶太陽電池に比較して大面積の膜
が作製できること、膜厚が薄くて済むこと、及び任意の
基板材料に堆積できることなどの長所があり有望視され
ている。
量に対する生産コストが既存の発電方法に比べて割高に
なってしまうという問題点がある。従って、電力用とし
ての太陽電池の実用化を進めるに当たっては、低コスト
化及び大面積化が重要な技術的課題である。前記課題解
決のため現在、様々な検討がなされており、コストの安
い材料、変換効率の安い材料などの材料の探究が行なわ
れている。このような材料としては、非晶質シリコン、
非晶質シリコンゲルマニウム、非晶質炭化珪素などのテ
トラヘドラル系の非晶質半導体もしくはCdS、Cu2
SなどのII−VI族の化合物半導体及びGaAs、GaA
lAsなどの III−V族の化合物半導体等が挙げられ
る。とりわけ、非晶質半導体を光起電力発生層に用いた
薄膜太陽電池は、単結晶太陽電池に比較して大面積の膜
が作製できること、膜厚が薄くて済むこと、及び任意の
基板材料に堆積できることなどの長所があり有望視され
ている。
【0009】しかしながら大面積の膜を作製する場合、
製造工程上ピンホールや欠陥が生じ、信頼性の向上の面
で問題が残っている。
製造工程上ピンホールや欠陥が生じ、信頼性の向上の面
で問題が残っている。
【0010】このような問題の解決手段として成膜後に
太陽電池をリペアする方法が用いられている。太陽電池
の欠陥のリペア方法としては、米国特許4,166,9
18に於て太陽電池に逆バイアスをかけることによりシ
ョート部分を焼き切る方法が開示されている。前記開示
された方法によれば電極として金属と絶縁物との混合物
であるサーメットを用いた太陽電池に於てショート部分
に存在するサーメットを逆バイアスによって焼き切ると
いうものである。
太陽電池をリペアする方法が用いられている。太陽電池
の欠陥のリペア方法としては、米国特許4,166,9
18に於て太陽電池に逆バイアスをかけることによりシ
ョート部分を焼き切る方法が開示されている。前記開示
された方法によれば電極として金属と絶縁物との混合物
であるサーメットを用いた太陽電池に於てショート部分
に存在するサーメットを逆バイアスによって焼き切ると
いうものである。
【0011】上記従来例では、電極金属としてサーメッ
トを用いた場合についてのみ開示されているため、他の
構成の太陽電池では同様の効果を得られなかった。例え
ば、基板上に少なくとも1つのpin構造を有する非晶
質シリコン、透明電極、導電性ペーストよりなるグリッ
ド電極を順次設けた後、該グリッド電極の上に樹脂フィ
ルムを積層する太陽電池の製造方法に於ては、従来のリ
ペア方法では、印刷された導電ペーストが、太陽電池使
用時にエンカプシュレーション用の樹脂を通過して侵入
してきた水分と、光で発生した起電力とのためにピンホ
ール内へマイグレーションし、次第にショートが発生す
るという問題があった。
トを用いた場合についてのみ開示されているため、他の
構成の太陽電池では同様の効果を得られなかった。例え
ば、基板上に少なくとも1つのpin構造を有する非晶
質シリコン、透明電極、導電性ペーストよりなるグリッ
ド電極を順次設けた後、該グリッド電極の上に樹脂フィ
ルムを積層する太陽電池の製造方法に於ては、従来のリ
ペア方法では、印刷された導電ペーストが、太陽電池使
用時にエンカプシュレーション用の樹脂を通過して侵入
してきた水分と、光で発生した起電力とのためにピンホ
ール内へマイグレーションし、次第にショートが発生す
るという問題があった。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のごと
き従来の逆バイアス印加リペア方法における諸問題を克
服して、ショート及びシャントに基づく太陽電池の欠陥
をリペアし、製品の歩留まりを向上させる方法を提供す
ることにある。
き従来の逆バイアス印加リペア方法における諸問題を克
服して、ショート及びシャントに基づく太陽電池の欠陥
をリペアし、製品の歩留まりを向上させる方法を提供す
ることにある。
【0013】本発明の更に別の目的は、太陽電池特性の
実使用時における信頼性を高める製造方法を提供するこ
とにある。
実使用時における信頼性を高める製造方法を提供するこ
とにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、電極が導電性ペーストで形成された太陽
電池の逆方向バイアスを印加して欠陥をリペアする方法
に於て、前記導電性ペーストに用いられるバインダーの
ガラス転移点以上の温度で、かつ、相対湿度60%以上
に於て、太陽電池に逆方向バイアスを印加する事であ
る。また、このような方法は、基板上に少なくとも1つ
のpin構造を有する非晶質シリコン、透明電極、導電
性ペーストよりなるグリッド電極、及び樹脂フィルムを
順次形成してなることを特徴とする構造の太陽電池に好
適に用いられる。さらに、前記導電性ペーストはAg、
Pd、Cuの内の少なくともひとつの金属をフィラーと
して含み、バインダーが、ポリエステル、ウレタン、エ
ポキシ、又はポリイミドであり前記樹脂フィルムが少な
くとも、エチレンと酢酸ビニールとの共重合体からなる
フィルム又は、フッソ化エチレンのうちのひとつである
太陽電池に好適に用いられる。
に、本発明は、電極が導電性ペーストで形成された太陽
電池の逆方向バイアスを印加して欠陥をリペアする方法
に於て、前記導電性ペーストに用いられるバインダーの
ガラス転移点以上の温度で、かつ、相対湿度60%以上
に於て、太陽電池に逆方向バイアスを印加する事であ
る。また、このような方法は、基板上に少なくとも1つ
のpin構造を有する非晶質シリコン、透明電極、導電
性ペーストよりなるグリッド電極、及び樹脂フィルムを
順次形成してなることを特徴とする構造の太陽電池に好
適に用いられる。さらに、前記導電性ペーストはAg、
Pd、Cuの内の少なくともひとつの金属をフィラーと
して含み、バインダーが、ポリエステル、ウレタン、エ
ポキシ、又はポリイミドであり前記樹脂フィルムが少な
くとも、エチレンと酢酸ビニールとの共重合体からなる
フィルム又は、フッソ化エチレンのうちのひとつである
太陽電池に好適に用いられる。
【0015】本発明者の実験に於て、導電性ペーストで
電極を形成した構造の太陽電池に於ては従来の逆バイア
ス印加法によりショート及びシャントを焼き切ってリペ
アしても太陽電池を長期間使用すると再びシャントが生
じる事がわかった。本発明者による詳細な実験によって
この原因は、高温高湿下でエンカプシュレーション用の
樹脂を通過して侵入してきた水分と光で発生した起電力
のため導電性ペーストの金属がリペアされたショート及
びシャント部分にマイグレーションするという現象が起
こるためである事がわかった。
電極を形成した構造の太陽電池に於ては従来の逆バイア
ス印加法によりショート及びシャントを焼き切ってリペ
アしても太陽電池を長期間使用すると再びシャントが生
じる事がわかった。本発明者による詳細な実験によって
この原因は、高温高湿下でエンカプシュレーション用の
樹脂を通過して侵入してきた水分と光で発生した起電力
のため導電性ペーストの金属がリペアされたショート及
びシャント部分にマイグレーションするという現象が起
こるためである事がわかった。
【0016】本発明者は、更に検討を加え、逆バイアス
印加リペアの方法を改良する事により前述のようなマイ
グレーションを防ぐ事ができ、太陽電池の信頼性を向上
させるという効果を見い出した。
印加リペアの方法を改良する事により前述のようなマイ
グレーションを防ぐ事ができ、太陽電池の信頼性を向上
させるという効果を見い出した。
【0017】本発明は以上のような基礎的な知見を基に
完成したものである。
完成したものである。
【0018】以下に本発明をより詳しく説明するが、本
発明は、以下の具体的説明によって発明の内容が限定さ
れるものではない。
発明は、以下の具体的説明によって発明の内容が限定さ
れるものではない。
【0019】本発明のリペア方法は非晶質シリコンのp
in型太陽電池でグリッド電極や下部電極を導電性ペー
ストでスクリーン印刷する構造のものに適用できる。ま
た、単結晶シリコン、多結晶シリコンなどの従来の太陽
電池に於ても電極をスクリーン印刷で形成した場合に
は、本発明の方法が好適に用いられる。またCdSなど
の化合物半導体の太陽電池では通常電極をスクリーン印
刷で形成するため本発明が用いられる。これらの太陽電
池の構成例を図5(A)乃至(D)に示した。
in型太陽電池でグリッド電極や下部電極を導電性ペー
ストでスクリーン印刷する構造のものに適用できる。ま
た、単結晶シリコン、多結晶シリコンなどの従来の太陽
電池に於ても電極をスクリーン印刷で形成した場合に
は、本発明の方法が好適に用いられる。またCdSなど
の化合物半導体の太陽電池では通常電極をスクリーン印
刷で形成するため本発明が用いられる。これらの太陽電
池の構成例を図5(A)乃至(D)に示した。
【0020】図5(A)は非晶質シリコンのpin型太
陽電池であり、図に於て、51は支持体、52は下部電
極、53はn型半導体層、54はi型半導体層、55は
p型半導体層、56は透明電極、57はグリッド電極で
ありこの順に堆積形成してなる太陽電池である。本太陽
電池では透明電極56の側より光の入射が行なわれるこ
とを前提としている。
陽電池であり、図に於て、51は支持体、52は下部電
極、53はn型半導体層、54はi型半導体層、55は
p型半導体層、56は透明電極、57はグリッド電極で
ありこの順に堆積形成してなる太陽電池である。本太陽
電池では透明電極56の側より光の入射が行なわれるこ
とを前提としている。
【0021】図5(B)は、ガラス基板を用いた太陽電
池で基板51がガラスで形成されていて光は上から照射
される。この場合、下部電極52は導電性ペーストで構
成されている。
池で基板51がガラスで形成されていて光は上から照射
される。この場合、下部電極52は導電性ペーストで構
成されている。
【0022】図5(C)は、薄膜多結晶シリコンを用い
た太陽電池でn型半導体層53が薄膜の多結晶で形成さ
れている。
た太陽電池でn型半導体層53が薄膜の多結晶で形成さ
れている。
【0023】図5(D)は、結晶シリコンあるいは多結
晶シリコンを用いた太陽電池で、この場合、透明電極5
6は、導電性でなくても良く、例えばSiO、SiO
2 、Ta2 O5 、Si3 N4 等が用いられる。
晶シリコンを用いた太陽電池で、この場合、透明電極5
6は、導電性でなくても良く、例えばSiO、SiO
2 、Ta2 O5 、Si3 N4 等が用いられる。
【0024】各太陽電池に於て用いられるグリッド電極
57は、半導体層で発生した電流を外部回路に取り出す
ための集電用として設けられるが、半導体層への光入射
光量が十分に確保されるよう、その形状及び面積が適宜
設計される。
57は、半導体層で発生した電流を外部回路に取り出す
ための集電用として設けられるが、半導体層への光入射
光量が十分に確保されるよう、その形状及び面積が適宜
設計される。
【0025】たとえば、その形状は光起電力素子の受光
面に対して一様に広がり、且つ受光面積に対してその面
積は好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下
であることが望ましい。
面に対して一様に広がり、且つ受光面積に対してその面
積は好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下
であることが望ましい。
【0026】また、シート抵抗値としては、好ましくは
50Ω/□以下、より好ましくは10Ω/□以下である
ことが望ましい。このような特性を有したグリッド電極
を大面積の太陽電池へ配線する方法としては蒸着やスパ
ッタなどの真空プロセスのほか、メッキや導電性ペース
トを用いたスクリーン印刷法が用いられる。大面積のパ
ターンを得るにはスクリーン印刷法が好適に用いられ
る。電極材料としてはAg、Cr、Ni、Al、Au、
Ti、Pt、Cu、Mo、W等の金属またはこれらの合
金が挙げられる。これらの薄膜は積層させて用いること
ができる。導電性ペーストを用いたスクリーン印刷法の
場合、前記導電性ペーストは前記金属の微粒子とポリマ
ーのバインダーとを溶媒に溶かしたものである。ポリマ
ーとしては架橋型でも非架橋型でも所望に応じて使われ
る。また、ポリマーは、エポキシ、ポリエステル、ポリ
ウレタン、ポリイミドなどの樹脂が接着強度、柔軟性な
どの要求される物性に応じて選択される。
50Ω/□以下、より好ましくは10Ω/□以下である
ことが望ましい。このような特性を有したグリッド電極
を大面積の太陽電池へ配線する方法としては蒸着やスパ
ッタなどの真空プロセスのほか、メッキや導電性ペース
トを用いたスクリーン印刷法が用いられる。大面積のパ
ターンを得るにはスクリーン印刷法が好適に用いられ
る。電極材料としてはAg、Cr、Ni、Al、Au、
Ti、Pt、Cu、Mo、W等の金属またはこれらの合
金が挙げられる。これらの薄膜は積層させて用いること
ができる。導電性ペーストを用いたスクリーン印刷法の
場合、前記導電性ペーストは前記金属の微粒子とポリマ
ーのバインダーとを溶媒に溶かしたものである。ポリマ
ーとしては架橋型でも非架橋型でも所望に応じて使われ
る。また、ポリマーは、エポキシ、ポリエステル、ポリ
ウレタン、ポリイミドなどの樹脂が接着強度、柔軟性な
どの要求される物性に応じて選択される。
【0027】次に、本発明の太陽電池のリペアを行なう
に好適な回路例を図1(A)に示す。図1に於て、太陽
電池は図5(A)の構成のもので、8は回路を結線する
ための導線、9は電圧源、10は電流計、11は電圧計
を示す。電圧源9は太陽電池に逆バイアスを印加するた
めのものであるから直流で安定した電圧を発生できるも
のが好ましい。また発生する電圧の範囲は0Vから太陽
電池のブレークダウンが生じない電圧まで、例えば30
V位の電圧が発生できれば良い。また電圧計11は前記
電圧源9で発生した電圧を読みとるもので、分解能とし
ては0.1V位あれば良い。電流計10は、太陽電池の
リーク電流を読みとるもので、太陽電池の面積に応じた
レンジが必要となる。ここで図1(B)は太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
に好適な回路例を図1(A)に示す。図1に於て、太陽
電池は図5(A)の構成のもので、8は回路を結線する
ための導線、9は電圧源、10は電流計、11は電圧計
を示す。電圧源9は太陽電池に逆バイアスを印加するた
めのものであるから直流で安定した電圧を発生できるも
のが好ましい。また発生する電圧の範囲は0Vから太陽
電池のブレークダウンが生じない電圧まで、例えば30
V位の電圧が発生できれば良い。また電圧計11は前記
電圧源9で発生した電圧を読みとるもので、分解能とし
ては0.1V位あれば良い。電流計10は、太陽電池の
リーク電流を読みとるもので、太陽電池の面積に応じた
レンジが必要となる。ここで図1(B)は太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
【0028】逆バイアス印加の方法としては、太陽電池
のp型半導体層5に電圧を0Vから徐々に印加していき
同時にリーク電流を記録する。1V/min 程度の速度で
電圧を上げていき約10V位で電圧印加を止める。
のp型半導体層5に電圧を0Vから徐々に印加していき
同時にリーク電流を記録する。1V/min 程度の速度で
電圧を上げていき約10V位で電圧印加を止める。
【0029】ところで、これらの条件は、太陽電池の構
成やショートの大きさにもより一概には決定できない。
また、場合によっては以上の逆バイアスを印加しても殆
ど効果が無いこともある。
成やショートの大きさにもより一概には決定できない。
また、場合によっては以上の逆バイアスを印加しても殆
ど効果が無いこともある。
【0030】本発明者らは、逆バイアス印加時の太陽電
池の環境条件に着目し以下の実験を行なった。[実験]
まず、シャント抵抗及び太陽電池特性がほぼ同様の図5
(A)に示す構造の太陽電池を18個用意した。これら
の太陽電池の暗状態での電圧電流特性を測定し、電圧電
流カーブの原点付近の傾きからシャント抵抗を算出した
後、ソーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽
光スペクトルの光を100mW/cm2の強度で照射
し、電圧電流特性を求めることにより太陽電池の初期特
性を測定した。
池の環境条件に着目し以下の実験を行なった。[実験]
まず、シャント抵抗及び太陽電池特性がほぼ同様の図5
(A)に示す構造の太陽電池を18個用意した。これら
の太陽電池の暗状態での電圧電流特性を測定し、電圧電
流カーブの原点付近の傾きからシャント抵抗を算出した
後、ソーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽
光スペクトルの光を100mW/cm2の強度で照射
し、電圧電流特性を求めることにより太陽電池の初期特
性を測定した。
【0031】次に、この太陽電池のひとつをオーブンに
入れて温度40℃、相対湿度50%の条件に保ち逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し室温に戻し前述した方法でシャント抵
抗と太陽電池特性を測定した。次にリペア前のシャント
抵抗とリペア後のシャント抵抗の比を求めこれをRshと
した。次に同様の実験を別の太陽電池で繰り返し行なっ
た。このとき温度および相対湿度をそれぞれ90℃およ
び80%まで変化させた。結果を図2に示した。また、
温度90℃、相対湿度80%でリペアした太陽電池のリ
ペア前後の暗状態での電圧電流特性を図3(A)に示し
た。また、同様にリペア前後の光照射状態での電圧電流
特性を図3(B)に示した。この結果からわかるように
逆バイアス印加時の温度が60℃より高いときに顕著な
効果がありさらに湿度が60%以上で効果が生じること
が判明した。
入れて温度40℃、相対湿度50%の条件に保ち逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し室温に戻し前述した方法でシャント抵
抗と太陽電池特性を測定した。次にリペア前のシャント
抵抗とリペア後のシャント抵抗の比を求めこれをRshと
した。次に同様の実験を別の太陽電池で繰り返し行なっ
た。このとき温度および相対湿度をそれぞれ90℃およ
び80%まで変化させた。結果を図2に示した。また、
温度90℃、相対湿度80%でリペアした太陽電池のリ
ペア前後の暗状態での電圧電流特性を図3(A)に示し
た。また、同様にリペア前後の光照射状態での電圧電流
特性を図3(B)に示した。この結果からわかるように
逆バイアス印加時の温度が60℃より高いときに顕著な
効果がありさらに湿度が60%以上で効果が生じること
が判明した。
【0032】本発明者は、この理由について、以下のよ
うに考えた。すなわち、導電性ペーストのバインダーの
Tg以上に太陽電池を加熱することでバインダー部の透
湿性が良くなり、太陽電池周囲の相対湿度を高めておく
ことでバインダーを介して水分が侵入する。このような
状態で逆バイアスをかけるとショート部分の銀がグリッ
ド電極側へマイグレーションすることにより除去される
という機構である。なおかつこのように除去された部分
には、Tg以上の温度で軟化溶融したバインダーポリマ
ーが進入し、封止剤の役目を果たす等、2次的な効果が
期待できるので、本発明はきわめて安定したリペア方法
である。また、通常考えられているように逆バイアス印
加によりショート部が、ジュール熱で焼き切れる現象も
同時に起きていることは言うまでもない。
うに考えた。すなわち、導電性ペーストのバインダーの
Tg以上に太陽電池を加熱することでバインダー部の透
湿性が良くなり、太陽電池周囲の相対湿度を高めておく
ことでバインダーを介して水分が侵入する。このような
状態で逆バイアスをかけるとショート部分の銀がグリッ
ド電極側へマイグレーションすることにより除去される
という機構である。なおかつこのように除去された部分
には、Tg以上の温度で軟化溶融したバインダーポリマ
ーが進入し、封止剤の役目を果たす等、2次的な効果が
期待できるので、本発明はきわめて安定したリペア方法
である。また、通常考えられているように逆バイアス印
加によりショート部が、ジュール熱で焼き切れる現象も
同時に起きていることは言うまでもない。
【0033】次にこの太陽電池の長期使用特性を以下の
ようにして評価した。
ようにして評価した。
【0034】前述の方法で温度70℃、相対湿度80%
に於て逆バイアス印加してリペアを施した太陽電池及び
比較例として未処理の太陽電池を用意した。
に於て逆バイアス印加してリペアを施した太陽電池及び
比較例として未処理の太陽電池を用意した。
【0035】初期の太陽電池特性を測定し、電圧電流特
性から得られる開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適
負荷を算出し、負荷抵抗をこれらの太陽電池に接続し
た。
性から得られる開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適
負荷を算出し、負荷抵抗をこれらの太陽電池に接続し
た。
【0036】次に負荷抵抗を接続した太陽電池を50
℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置し、
前述と同じAM 1.5光(100mW/cm2 )を連
続照射し一定時間後、再びシャント抵抗を求め、初期の
シャント抵抗で規格化しRshを求めた。この操作を10
0時間の連続照射中に繰り返した。得られた結果を図4
に示した。図4から分かるように、比較試料に対し本発
明を用いて作成した太陽電池の方が光に対し安定である
ことが判明した。
℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置し、
前述と同じAM 1.5光(100mW/cm2 )を連
続照射し一定時間後、再びシャント抵抗を求め、初期の
シャント抵抗で規格化しRshを求めた。この操作を10
0時間の連続照射中に繰り返した。得られた結果を図4
に示した。図4から分かるように、比較試料に対し本発
明を用いて作成した太陽電池の方が光に対し安定である
ことが判明した。
【0037】
【実施例】実施例1図5(A)に示す層構成の太陽電池
を以下のように作成し、続いて逆バイアス印加リペアを
行なった。
を以下のように作成し、続いて逆バイアス印加リペアを
行なった。
【0038】まず、十分に脱脂、洗浄を行なったSUS
430BA製基板(10cm角、厚み1mm)51を不
図示のDCスパッタ装置に入れCrを2000Å堆積し
下部電極52を形成した。基板51を取り出し、不図示
のRFプラズマCVD成膜装置に入れ成膜室内のベース
プレッシャーを10-6Torrの真空度に排気した後、
SiH4 20sccm、PH3 (1%H2 希釈)2sc
cm、H2 200sccmを導入し、内圧を1Torr
に保持し、RF電力を100Wとしてn型半導体層53
の堆積を行なった。その後、成膜室内のベースプレッシ
ャーを10-6Torrの真空度に排気した後、SiH4
50sccm、H2100sccmを導入し、圧力を
1.5Torrに保持した。さらに、RFパワー50W
を投入しi型半導体層54の堆積を行なった。成膜室内
のベースプレッシャーを10-6Torrの真空度に排気
して、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2 希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。
430BA製基板(10cm角、厚み1mm)51を不
図示のDCスパッタ装置に入れCrを2000Å堆積し
下部電極52を形成した。基板51を取り出し、不図示
のRFプラズマCVD成膜装置に入れ成膜室内のベース
プレッシャーを10-6Torrの真空度に排気した後、
SiH4 20sccm、PH3 (1%H2 希釈)2sc
cm、H2 200sccmを導入し、内圧を1Torr
に保持し、RF電力を100Wとしてn型半導体層53
の堆積を行なった。その後、成膜室内のベースプレッシ
ャーを10-6Torrの真空度に排気した後、SiH4
50sccm、H2100sccmを導入し、圧力を
1.5Torrに保持した。さらに、RFパワー50W
を投入しi型半導体層54の堆積を行なった。成膜室内
のベースプレッシャーを10-6Torrの真空度に排気
して、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2 希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。
【0039】次に、基板1を冷却後、成膜室から取り出
し、不図示の抵抗加熱の蒸着装置に入れて、該装置内を
10-7Torr以下に真空排気した後、酸素ガスを導入
し、内圧を0.5mTorrとした後InとSnとの合
金を抵抗加熱により蒸着し、反射防止効果を兼ねた機能
を有する透明導電膜(ITO膜)を700Å堆積し上部
電極56とした。蒸着終了後試料を取り出し不図示のス
クリーン印刷機により幅300μm、長さ7cmのグリ
ッドを間隔1cmで印刷した。このとき導電性ペースト
は、Agフィラー40部、ポリエステルバインダー60
部(体積比)の組成のものを用いた。バインダーのTg
は60℃であった。
し、不図示の抵抗加熱の蒸着装置に入れて、該装置内を
10-7Torr以下に真空排気した後、酸素ガスを導入
し、内圧を0.5mTorrとした後InとSnとの合
金を抵抗加熱により蒸着し、反射防止効果を兼ねた機能
を有する透明導電膜(ITO膜)を700Å堆積し上部
電極56とした。蒸着終了後試料を取り出し不図示のス
クリーン印刷機により幅300μm、長さ7cmのグリ
ッドを間隔1cmで印刷した。このとき導電性ペースト
は、Agフィラー40部、ポリエステルバインダー60
部(体積比)の組成のものを用いた。バインダーのTg
は60℃であった。
【0040】次に、得られた太陽電池の暗状態での電圧
電流特性を測定しシャント抵抗を測定したところ約50
0Ωcm2 であり、大きなショートあるいはシャントが
あることがわかった。この太陽電池をソーラーシュミレ
ータを用いてAM 1.5の太陽光スペクトルの光を1
00mW/cm2 の強度で照射し、電圧電流特性を求め
ることにより太陽電池の初期特性を測定した。この太陽
電池の初期のフィルファクター(以下FFと書く)は
0.45であった。
電流特性を測定しシャント抵抗を測定したところ約50
0Ωcm2 であり、大きなショートあるいはシャントが
あることがわかった。この太陽電池をソーラーシュミレ
ータを用いてAM 1.5の太陽光スペクトルの光を1
00mW/cm2 の強度で照射し、電圧電流特性を求め
ることにより太陽電池の初期特性を測定した。この太陽
電池の初期のフィルファクター(以下FFと書く)は
0.45であった。
【0041】次に、この太陽電池を温度65℃、相対湿
度70%のオーブンに入れて平衡に達した後逆バイアス
を印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/min の
速度で印加していった。その後この太陽電池をオーブン
から取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント抵抗
と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は約2kΩc
m2 に増加していた。また、太陽電池特性の内FFは
0.60に向上した。
度70%のオーブンに入れて平衡に達した後逆バイアス
を印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/min の
速度で印加していった。その後この太陽電池をオーブン
から取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント抵抗
と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は約2kΩc
m2 に増加していた。また、太陽電池特性の内FFは
0.60に向上した。
【0042】この太陽電池の長期使用特性としての光劣
化特性を以下のようにして評価した。
化特性を以下のようにして評価した。
【0043】前述の電圧電流特性を求めた際に得られる
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
【0044】次に負荷抵抗を接続された太陽電池を温度
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再びシャント抵抗を求め
た。この様にして得られた500時間後のシャント抵抗
は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定であることが
分かった。 実施例2 次に、図5(B)に示す層構成の太陽電池を以下のよう
に作製し、続いて逆バイアス印加リペアを行なった。
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再びシャント抵抗を求め
た。この様にして得られた500時間後のシャント抵抗
は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定であることが
分かった。 実施例2 次に、図5(B)に示す層構成の太陽電池を以下のよう
に作製し、続いて逆バイアス印加リペアを行なった。
【0045】太陽電池は実施例1とほぼ同様の方法で作
製した。
製した。
【0046】まず、十分に脱脂、洗浄を行なった705
9ガラス基板(10cm角)51を不図示の抵抗加熱の
蒸着装置に入れて、該装置内を10-7Torr以下に真
空排気した後、酸素ガスを導入し、内圧を0.5mTo
rrとした後Snを抵抗加熱により蒸着し、透明導電膜
(SnO2 膜)を8000Å堆積し上部電極56とし
た。基板51を取り出し、不図示のRFプラズマCVD
成膜装置に入れ成膜室内を10-6Torrの真空度に排
気し、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。その後、成膜室内
を10-6Torrの真空度に排気し、SiH4 50sc
cm、H2 100sccmを導入し、圧力を1.5To
rrに保持した。さらに、RFパワー50Wを投入しi
型半導体層54の堆積を行なった。再び成膜室内を10
-6Torrの真空度に排気し、SiH4 20sccm、
PH3 (1%H2 希釈)2sccm、H2 200scc
mを導入し、内圧を1Torrに保持し、RF電力を1
00Wとしてn型半導体層53の堆積を行なった。
9ガラス基板(10cm角)51を不図示の抵抗加熱の
蒸着装置に入れて、該装置内を10-7Torr以下に真
空排気した後、酸素ガスを導入し、内圧を0.5mTo
rrとした後Snを抵抗加熱により蒸着し、透明導電膜
(SnO2 膜)を8000Å堆積し上部電極56とし
た。基板51を取り出し、不図示のRFプラズマCVD
成膜装置に入れ成膜室内を10-6Torrの真空度に排
気し、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。その後、成膜室内
を10-6Torrの真空度に排気し、SiH4 50sc
cm、H2 100sccmを導入し、圧力を1.5To
rrに保持した。さらに、RFパワー50Wを投入しi
型半導体層54の堆積を行なった。再び成膜室内を10
-6Torrの真空度に排気し、SiH4 20sccm、
PH3 (1%H2 希釈)2sccm、H2 200scc
mを導入し、内圧を1Torrに保持し、RF電力を1
00Wとしてn型半導体層53の堆積を行なった。
【0047】次に、基板51を冷却後、成膜室から取り
出し、不図示のスクリーン印刷装置により下部電極52
を形成した。このとき導電性ペーストは、Cuフィラー
70部、エポキシバインダー30部(体積比)の組成の
ものを用いた。バインダーのTgは90℃であった。
出し、不図示のスクリーン印刷装置により下部電極52
を形成した。このとき導電性ペーストは、Cuフィラー
70部、エポキシバインダー30部(体積比)の組成の
ものを用いた。バインダーのTgは90℃であった。
【0048】次に、実施例1と同様の手順で太陽電池の
暗状態での電圧電流特性を測定しシャント抵抗を測定し
たところ約800Ωcm2 であった。この太陽電池をソ
ーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽光スペ
クトルの光を100mW/cm2 の強度で照射し、電圧
電流特性を求めることにより太陽電池の初期特性を測定
した。この太陽電池の初期のフィルファクター(以下F
Fと書く)は0.55であった。次に、この太陽電池を
オーブンに入れて温度90℃、相対湿度90%の条件で
逆バイアスを印加した。電圧は、0Vから10Vまで
0.5V/min の速度で印加していった。その後この太
陽電池をオーブンから取り出し、室温に戻し前述した方
法でシャント抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント
抵抗は約2.5kΩcm2 に増加していた。また、太陽
電池特性の内FFは0.65に向上した。
暗状態での電圧電流特性を測定しシャント抵抗を測定し
たところ約800Ωcm2 であった。この太陽電池をソ
ーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽光スペ
クトルの光を100mW/cm2 の強度で照射し、電圧
電流特性を求めることにより太陽電池の初期特性を測定
した。この太陽電池の初期のフィルファクター(以下F
Fと書く)は0.55であった。次に、この太陽電池を
オーブンに入れて温度90℃、相対湿度90%の条件で
逆バイアスを印加した。電圧は、0Vから10Vまで
0.5V/min の速度で印加していった。その後この太
陽電池をオーブンから取り出し、室温に戻し前述した方
法でシャント抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント
抵抗は約2.5kΩcm2 に増加していた。また、太陽
電池特性の内FFは0.65に向上した。
【0049】この太陽電池の光劣化特性を実施例1と同
様に評価した。
様に評価した。
【0050】500時間後のシャント抵抗は1.9kΩ
cm2 であり光に対し安定であることが分かった。 実施例3 次に、実施例1に示した方法で逆バイアス印加リペアを
行なった太陽電池を用い図6に示す構成の太陽電池モジ
ュールを作製し、長期使用時の安定性を評価した。
cm2 であり光に対し安定であることが分かった。 実施例3 次に、実施例1に示した方法で逆バイアス印加リペアを
行なった太陽電池を用い図6に示す構成の太陽電池モジ
ュールを作製し、長期使用時の安定性を評価した。
【0051】太陽電池は実施例1とほぼ同様の方法で作
製した。
製した。
【0052】まず、実施例1と同様に図5(A)の構造
の10cm角の太陽電池を30枚作製した。このときグ
リッド電極57を形成する導電性ペーストは、Agフィ
ラー70部、ウレタン樹脂バインダー30部(体積比)
の組成のものを用いた。バインダーのTgは70℃であ
った。
の10cm角の太陽電池を30枚作製した。このときグ
リッド電極57を形成する導電性ペーストは、Agフィ
ラー70部、ウレタン樹脂バインダー30部(体積比)
の組成のものを用いた。バインダーのTgは70℃であ
った。
【0053】次に、これらの太陽電池をオーブンに入れ
て温度75℃、相対湿度80%の条件でそれぞれ逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント
抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は30枚
の平均が約1.5kΩcm2 であった。また、太陽電池
特性の内FFは30枚の平均が0.62であった。
て温度75℃、相対湿度80%の条件でそれぞれ逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント
抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は30枚
の平均が約1.5kΩcm2 であった。また、太陽電池
特性の内FFは30枚の平均が0.62であった。
【0054】次に、これらの太陽電池のグリッド67と
基板61とを錫メッキした銅のテープで接続して直列化
を施した。その後、エチレンビニルアセテート樹脂から
なる封止剤68を耐候性を向上させるためのテフロン樹
脂69によりエンカプシュレーションを施した。
基板61とを錫メッキした銅のテープで接続して直列化
を施した。その後、エチレンビニルアセテート樹脂から
なる封止剤68を耐候性を向上させるためのテフロン樹
脂69によりエンカプシュレーションを施した。
【0055】この太陽電池の光劣化特性を以下のように
して評価した。
して評価した。
【0056】前述の電圧電流特性を求めた際に得られる
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
【0057】次に負荷抵抗を接続された太陽電池を温度
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再び前述と同様にシャント
抵抗を求めた。この様にして得られた500時間後のシ
ャント抵抗は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定で
あることが分かった。
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再び前述と同様にシャント
抵抗を求めた。この様にして得られた500時間後のシ
ャント抵抗は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定で
あることが分かった。
【0058】
【発明の効果】本発明により、太陽電池特性が向上し、
さらに長期使用時に於ても光劣化が少なく信頼性の高い
太陽電池が得られる。
さらに長期使用時に於ても光劣化が少なく信頼性の高い
太陽電池が得られる。
【図1】(A)本発明の太陽電池のリペア方法を模式的
に示す結線図である。(B)同図(A)の太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
に示す結線図である。(B)同図(A)の太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
【図2】本発明の各種条件におけるシャント抵抗と温度
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
【図3】(A)本発明のリペア前後の太陽電池の暗時に
おける電圧電流特性を示すグラフである。(B)本発明
のリペア前後の太陽電池の光照射時における電圧電流特
性を示すグラフである。
おける電圧電流特性を示すグラフである。(B)本発明
のリペア前後の太陽電池の光照射時における電圧電流特
性を示すグラフである。
【図4】本発明のリペア前後の太陽電池の実使用状態に
おける経時変化を示すグラフである。
おける経時変化を示すグラフである。
【図5】本発明の太陽電池のリペア方法を適用する各種
太陽電池の構成を示す模式図である。 (A)非晶質シリコン太陽電池 (B)ガラス基板太陽電池 (C)薄膜多結晶シリコン太陽電池 (D)単結晶又は多結晶シリコン太陽電池
太陽電池の構成を示す模式図である。 (A)非晶質シリコン太陽電池 (B)ガラス基板太陽電池 (C)薄膜多結晶シリコン太陽電池 (D)単結晶又は多結晶シリコン太陽電池
【図6】本発明の太陽電池のリペア方法を適用する太陽
電池のモジュール構成を模式的に示す断面図である。
電池のモジュール構成を模式的に示す断面図である。
1,51,61 基板
2,52,62 下部電極
3,53,63 n型半導体層
4,54,64 i型半導体層
5,55,65 p型半導体層
6,56,66 透明電極
7,67 グリッド電極
8 導線
9 電圧源
10 電流計
11 電圧計
12 ショート部分
68,69 樹脂フィルム
Claims (5)
- 【請求項1】 電極が導電性ペーストで形成された太陽
電池に逆方向バイアスを印加して欠陥をリペアする方法
に於て、前記導電性ペーストに用いられるバインダーの
ガラス転移点以上の温度で、かつ、相対湿度60%以上
に於て、太陽電池に逆方向バイアスを印加する事を特徴
とする太陽電池のリペア方法。 - 【請求項2】 太陽電池が基板上に少なくとも1つのp
in構造を有する非晶質シリコン、透明電極、導電性ペ
ーストよりなるグリッド電極及び樹脂フィルムを順次形
成してなることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池
のリペア方法。 - 【請求項3】 導電性ペーストがAg、Pd、Cuの内
の少なくともひとつの金属をフィラーとして含むことを
特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池のリペア方
法。 - 【請求項4】 前記導電性ペーストのバインダーが、ポ
リエステル、ウレタン、エポキシ、又はポリイミドであ
ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の
太陽電池のリペア方法。 - 【請求項5】 前記樹脂フィルムが少なくとも、エチレ
ンと酢酸ビニールとの共重合体からなるフィルム又は、
フッソ化エチレンのうちのひとつであることを特徴とす
る請求項1乃至4のいずれかに記載の太陽電池のリペア
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153170A JPH053333A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 太陽電池のリペア方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153170A JPH053333A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 太陽電池のリペア方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH053333A true JPH053333A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=15556587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3153170A Pending JPH053333A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 太陽電池のリペア方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH053333A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009141056A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Sharp Corp | 太陽電池モジュールの製造方法および太陽電池モジュールの製造装置 |
| CN101931028A (zh) * | 2009-06-23 | 2010-12-29 | 株式会社小村技术 | 薄膜太阳能电池用背面电极的形成方法 |
| KR101025802B1 (ko) * | 2008-10-20 | 2011-04-04 | 주식회사 밀레니엄투자 | 태양 전지 및 이의 제조 방법 |
| KR20110068219A (ko) * | 2009-12-15 | 2011-06-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 태양전지의 리페어장치 및 리페어방법 |
| WO2013072988A1 (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-23 | 株式会社日本マイクロニクス | シート状電池のリペア装置 |
| US10121982B2 (en) | 2013-07-01 | 2018-11-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solar cell, solar cell module, and method for manufacturing solar cell |
-
1991
- 1991-06-25 JP JP3153170A patent/JPH053333A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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