JPH05335110A - 厚膜抵抗体組成物 - Google Patents
厚膜抵抗体組成物Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】焼成工程における抵抗値およびＴＣＲのばらつ
きが小さく且つ熱膨張係数も小さい厚膜抵抗体を提供す
ることである。 【構成】ルテニウムパイロクロア酸化物５〜３０wt％お
よびガラス結合剤１０〜９０wt％を含有する厚膜抵抗体
組成物であって、（１）該ルテニウムパイロクロア酸化
物がＰｂＲｕＯ3 であり、（２）該ガラス結合剤がＰｂ
Ｏ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2 １０〜３６wt％および
Ｂ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しかつＰｂＯ、ＳｉＯ2 お
よびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以上を占める第１のガラ
スを含み、かつ該ガラス結合剤全体中にＢ2 Ｏ3 を２〜
２０wt％含有するガラスであり、さらに（３）該第１の
ガラスは該厚膜抵抗体組成物の５〜３０wt％を占め、か
つ該ルテニウムパイロクロア酸化物と第１のガラスとの
重量比が５：３０〜６０：４０であることを特徴とする
厚膜抵抗体組成物。
きが小さく且つ熱膨張係数も小さい厚膜抵抗体を提供す
ることである。 【構成】ルテニウムパイロクロア酸化物５〜３０wt％お
よびガラス結合剤１０〜９０wt％を含有する厚膜抵抗体
組成物であって、（１）該ルテニウムパイロクロア酸化
物がＰｂＲｕＯ3 であり、（２）該ガラス結合剤がＰｂ
Ｏ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2 １０〜３６wt％および
Ｂ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しかつＰｂＯ、ＳｉＯ2 お
よびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以上を占める第１のガラ
スを含み、かつ該ガラス結合剤全体中にＢ2 Ｏ3 を２〜
２０wt％含有するガラスであり、さらに（３）該第１の
ガラスは該厚膜抵抗体組成物の５〜３０wt％を占め、か
つ該ルテニウムパイロクロア酸化物と第１のガラスとの
重量比が５：３０〜６０：４０であることを特徴とする
厚膜抵抗体組成物。
Description
【０００１】
【従来の技術】本発明は厚膜抵抗体を製造するのに有用
な組成物に関し、特に導電成分としてルテニウムパイロ
クロア酸化物を用いる組成物に関するものである。
な組成物に関し、特に導電成分としてルテニウムパイロ
クロア酸化物を用いる組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】厚膜抵抗電子部品や厚膜ハイブリッド等
において広く使用されている厚膜抵抗体組成物は、絶縁
性基体表面に形成された導体パターンまたは電極上に印
刷した後、焼成することによって抵抗体厚膜を生成させ
る組成物である。
において広く使用されている厚膜抵抗体組成物は、絶縁
性基体表面に形成された導体パターンまたは電極上に印
刷した後、焼成することによって抵抗体厚膜を生成させ
る組成物である。
【０００３】厚膜抵抗体組成物は、導電成分およびガラ
ス結合剤を有機媒体（ベヒクル）中に分散させることに
より調製される。導電成分は主に厚膜抵抗体の電気的性
質を決定する役割を有しルテニウムパイロクロア酸化物
等が用いられている。ガラス結合剤はガラスからなるも
ので主に厚膜を一体に保持すると共にそれを基体に結合
させる役割を有する。有機媒体は組成物の適用特性、特
にそのレオロジーに影響を与える分散媒体である。
ス結合剤を有機媒体（ベヒクル）中に分散させることに
より調製される。導電成分は主に厚膜抵抗体の電気的性
質を決定する役割を有しルテニウムパイロクロア酸化物
等が用いられている。ガラス結合剤はガラスからなるも
ので主に厚膜を一体に保持すると共にそれを基体に結合
させる役割を有する。有機媒体は組成物の適用特性、特
にそのレオロジーに影響を与える分散媒体である。
【０００４】ルテン酸鉛（ＰｂＲｕＯ3 ）などルテニウ
ムパイロクロア酸化物を含むルテニウムパイロクロア酸
化物系厚膜抵抗体の焼成は、通常ベルト炉で行われる。
この場合、焼成される抵抗体組成物が印刷された基体ま
たは基板を、ベルト炉のベルト上に敷きつめて加熱焼成
する。一般に、焼成は８５０℃ピーク温度、ピーク時間
５分〜１０分間であり、ベルト炉の入口から出口まで２
５分〜１１０分間程度であるが、年々短時間焼成化が進
んでいる。しかし、ベルトスピードを速くすると、焼成
された抵抗体の抵抗値や抵抗値温度係数（ＴＣＲ）が変
動すると共にそのばらつきが大きくなる。抵抗値につい
てはある程度のばらつきはその後の工程のレーザートリ
ミングによって調整することができるが、ＴＣＲは調整
ができないため、焼成による変動およびそのばらつきを
できるだけ小さくすることが望まれる。
ムパイロクロア酸化物を含むルテニウムパイロクロア酸
化物系厚膜抵抗体の焼成は、通常ベルト炉で行われる。
この場合、焼成される抵抗体組成物が印刷された基体ま
たは基板を、ベルト炉のベルト上に敷きつめて加熱焼成
する。一般に、焼成は８５０℃ピーク温度、ピーク時間
５分〜１０分間であり、ベルト炉の入口から出口まで２
５分〜１１０分間程度であるが、年々短時間焼成化が進
んでいる。しかし、ベルトスピードを速くすると、焼成
された抵抗体の抵抗値や抵抗値温度係数（ＴＣＲ）が変
動すると共にそのばらつきが大きくなる。抵抗値につい
てはある程度のばらつきはその後の工程のレーザートリ
ミングによって調整することができるが、ＴＣＲは調整
ができないため、焼成による変動およびそのばらつきを
できるだけ小さくすることが望まれる。
【０００５】また、ルテニウムパイロクロア酸化物系抵
抗体は、熱膨脹係数（ＴＣＥ）が小さいことも重要であ
る。一般的な基体である９６％アルミナセラミックは７
５×１０-7／℃の熱膨張係数を有しているので、厚膜抵
抗体の熱膨張係数はそれより低いことが好ましい。
抗体は、熱膨脹係数（ＴＣＥ）が小さいことも重要であ
る。一般的な基体である９６％アルミナセラミックは７
５×１０-7／℃の熱膨張係数を有しているので、厚膜抵
抗体の熱膨張係数はそれより低いことが好ましい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、焼成工程における抵抗値およびＴＣＲ特にＴＣ
Ｒの変動およびばらつきを小さくでき且つ熱膨張係数も
小さい厚膜抵抗体を与える厚膜抵抗体組成物を提供する
ことである。
目的は、焼成工程における抵抗値およびＴＣＲ特にＴＣ
Ｒの変動およびばらつきを小さくでき且つ熱膨張係数も
小さい厚膜抵抗体を与える厚膜抵抗体組成物を提供する
ことである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的は、ルテニウム
パイロクロア酸化物５〜３０wt％およびガラス結合剤１
０〜９０wt％を含有する厚膜抵抗体組成物であって、該
ルテニウムパイロクロア酸化物がＰｂＲｕＯ3 であり、
該ガラス結合剤がＰｂＯ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2
１０〜３６wt％およびＢ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しか
つＰｂＯ、ＳｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以
上を占める第１のガラスを含み、かつ該ガラス結合剤全
体中にＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラスであり、
さらに該第１のガラスは該厚膜抵抗体組成物の５〜３０
wt％を占め、かつ該ルテニウムパイロクロア酸化物と第
１のガラスとの重量比が５：３０〜６０：４０であるこ
とを特徴とする厚膜抵抗体組成物によって達成される。
本発明の目的はまたＰｂＲｕＯ3 、ＰｂＯおよびガラス
結合剤を含有する厚膜抵抗体組成物であって、ＰｂＲｕ
Ｏ3 とＰｂＯとの重量比が１：１〜５：１であり、該ガ
ラス結合剤がＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラスで
あることを特徴とする厚膜抵抗体組成物によっても達成
される。以下本発明をさらに詳細に説明する。
パイロクロア酸化物５〜３０wt％およびガラス結合剤１
０〜９０wt％を含有する厚膜抵抗体組成物であって、該
ルテニウムパイロクロア酸化物がＰｂＲｕＯ3 であり、
該ガラス結合剤がＰｂＯ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2
１０〜３６wt％およびＢ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しか
つＰｂＯ、ＳｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以
上を占める第１のガラスを含み、かつ該ガラス結合剤全
体中にＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラスであり、
さらに該第１のガラスは該厚膜抵抗体組成物の５〜３０
wt％を占め、かつ該ルテニウムパイロクロア酸化物と第
１のガラスとの重量比が５：３０〜６０：４０であるこ
とを特徴とする厚膜抵抗体組成物によって達成される。
本発明の目的はまたＰｂＲｕＯ3 、ＰｂＯおよびガラス
結合剤を含有する厚膜抵抗体組成物であって、ＰｂＲｕ
Ｏ3 とＰｂＯとの重量比が１：１〜５：１であり、該ガ
ラス結合剤がＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラスで
あることを特徴とする厚膜抵抗体組成物によっても達成
される。以下本発明をさらに詳細に説明する。
【０００８】本発明者らは、ルテニウムパイロクロア酸
化物系抵抗体組成物の焼成工程における抵抗およびＴＣ
Ｒのばらつきが焼成温度のばらつき特に８００〜９００
℃の温度範囲でのばらつきに起因すること、さらにこれ
ら抵抗およびＴＣＲの変動がルテニウムパイロクロア酸
化物の分解と密接な関係にあることを見出し、８００℃
〜９００℃の温度範囲でＰｂＲｕＯ3 の分解の温度依存
性を小さくする、更にはこの温度範囲でのＰｂＲｕＯ3
の分解をできるかぎり小さくする好ましくは分解が起き
ないようにして焼成温度に鈍感な抵抗体組成物を得よう
とした。すなわち、抵抗体組成物を焼成する炉特にベル
ト炉は短時間焼成のためにベルトスピードを速くすると
そのベルト幅方向で温度分布が広くなる。また、ルテニ
ウムパイロクロア構造のＰｂＲｕＯ3 を含有する抵抗体
組成物は、ＰｂＲｕＯ3 が、無機結合剤であるガラスの
中で、式：ＰｂＲｕＯ3 →ＲｕＯ2 ＋ＰｂＯ のように
酸化ルテニウムと酸化鉛に分解することが知られてい
る。本発明者らは、このＰｂＲｕＯ3 の分解は特に８０
０℃〜９００℃の温度域において温度依存性があり、分
解が進行するに伴って抵抗体の抵抗値が約１／１００ま
で下がりＴＣＲが約２０００ｐｐｍ／℃まで上がること
を見出し、抵抗体組成物のガラス結合剤の組成とＰｂＲ
ｕＯ3 の分解との関係に着目して、ＰｂＲｕＯ3 が分解
しにくいガラス結合剤組成を検討したのである。
化物系抵抗体組成物の焼成工程における抵抗およびＴＣ
Ｒのばらつきが焼成温度のばらつき特に８００〜９００
℃の温度範囲でのばらつきに起因すること、さらにこれ
ら抵抗およびＴＣＲの変動がルテニウムパイロクロア酸
化物の分解と密接な関係にあることを見出し、８００℃
〜９００℃の温度範囲でＰｂＲｕＯ3 の分解の温度依存
性を小さくする、更にはこの温度範囲でのＰｂＲｕＯ3
の分解をできるかぎり小さくする好ましくは分解が起き
ないようにして焼成温度に鈍感な抵抗体組成物を得よう
とした。すなわち、抵抗体組成物を焼成する炉特にベル
ト炉は短時間焼成のためにベルトスピードを速くすると
そのベルト幅方向で温度分布が広くなる。また、ルテニ
ウムパイロクロア構造のＰｂＲｕＯ3 を含有する抵抗体
組成物は、ＰｂＲｕＯ3 が、無機結合剤であるガラスの
中で、式：ＰｂＲｕＯ3 →ＲｕＯ2 ＋ＰｂＯ のように
酸化ルテニウムと酸化鉛に分解することが知られてい
る。本発明者らは、このＰｂＲｕＯ3 の分解は特に８０
０℃〜９００℃の温度域において温度依存性があり、分
解が進行するに伴って抵抗体の抵抗値が約１／１００ま
で下がりＴＣＲが約２０００ｐｐｍ／℃まで上がること
を見出し、抵抗体組成物のガラス結合剤の組成とＰｂＲ
ｕＯ3 の分解との関係に着目して、ＰｂＲｕＯ3 が分解
しにくいガラス結合剤組成を検討したのである。
【０００９】まず、多種のガラスと、比表面積が７〜１
０／ｍ2 、平均粒径が５０〜１００オングストロームの
ルテニウムパイロクロア酸化物（ＰｂＲｕＯ3 ；以下
「鉛パイロクロア」ともいう）粉とを有機溶媒のターピ
ネルと混合した後、ドクターブレードによってアルミナ
基板上に一面に塗り、１５０℃で乾燥し、３５０℃で有
機成分をバーンアウトさせ、その後８５０℃、９００
℃、および９５０℃で焼成し、Ｘ線回折で分析した。そ
のＸ線回折図の鉛パイロクロアとＲｕＯ2 のピーク強度
を計算して、（（ＲｕＯ2 ）／（ＲｕＯ2 ＋鉛パイロク
ロア）で表されるピーク比を計算し、これにより鉛パイ
ロクロアの分解の程度を表した。ここで、鉛パイロクロ
アのピーク強度は２θ＝３０．１８２°付近に現れる鉛
パイロクロアの第１ピーク強度を、ＲｕＯ2 については
２θ＝２８．１３°付近に現れるＲｕＯ2 の第１ピーク
強度を測定した。そして、ガラスの組成と鉛パイロクロ
アの分解との関係を明らかにするために、各ガラスの各
金属酸化物についてその含有量と前記鉛パイロクロアの
分解の関係を考察した。その結果、酸化鉛（ＰｂＯ）と
酸化ホウ素（ＢＯ3 ）の含有量に強い傾向が認められ
た。実験した各種ガラスの組成を表１に、その焼成温度
とＲｕＯ2 の生成割合すなわち（ＲｕＯ2 ）／（ＲｕＯ
2 ＋鉛パイロクロア）のピーク比を図１〜図８に示す。
図１と図２の比較から、ＰｂＯの減少とともにＲｕＯ2
の生成割合が大きくなることが、また、図３と図４の比
較および図５と図６の比較から、ＰｂＯが多くてもＢ2
Ｏ3 が多いとＲｕＯ2 の生成割合が大きくなることがわ
かる。ＰｂＯが少なくＢ2 Ｏ3 が多いガラスを用いる
と、図７に示すように鉛パイロクロアの分解率は非常に
高く、特にＰｂＯ＝０wt％であってＢ2 Ｏ3 が多い（２
６wt％）ガラスを用いた場合には鉛パイロクロアは完全
に分解した。これに対してＰｂＯが多くＢ2 Ｏ3 ＝０wt
％のガラスを用いると図８に示すように鉛パイロクロア
は分解しなかった。これらの結果から、高Ｂ2 Ｏ3 ／Ｐ
ｂＯ比もしくはＰｂＯの少ないガラス組成が、ＰｂＲｕ
Ｏ3 をＲｕＯ2 に分解させることが明らかになった。
０／ｍ2 、平均粒径が５０〜１００オングストロームの
ルテニウムパイロクロア酸化物（ＰｂＲｕＯ3 ；以下
「鉛パイロクロア」ともいう）粉とを有機溶媒のターピ
ネルと混合した後、ドクターブレードによってアルミナ
基板上に一面に塗り、１５０℃で乾燥し、３５０℃で有
機成分をバーンアウトさせ、その後８５０℃、９００
℃、および９５０℃で焼成し、Ｘ線回折で分析した。そ
のＸ線回折図の鉛パイロクロアとＲｕＯ2 のピーク強度
を計算して、（（ＲｕＯ2 ）／（ＲｕＯ2 ＋鉛パイロク
ロア）で表されるピーク比を計算し、これにより鉛パイ
ロクロアの分解の程度を表した。ここで、鉛パイロクロ
アのピーク強度は２θ＝３０．１８２°付近に現れる鉛
パイロクロアの第１ピーク強度を、ＲｕＯ2 については
２θ＝２８．１３°付近に現れるＲｕＯ2 の第１ピーク
強度を測定した。そして、ガラスの組成と鉛パイロクロ
アの分解との関係を明らかにするために、各ガラスの各
金属酸化物についてその含有量と前記鉛パイロクロアの
分解の関係を考察した。その結果、酸化鉛（ＰｂＯ）と
酸化ホウ素（ＢＯ3 ）の含有量に強い傾向が認められ
た。実験した各種ガラスの組成を表１に、その焼成温度
とＲｕＯ2 の生成割合すなわち（ＲｕＯ2 ）／（ＲｕＯ
2 ＋鉛パイロクロア）のピーク比を図１〜図８に示す。
図１と図２の比較から、ＰｂＯの減少とともにＲｕＯ2
の生成割合が大きくなることが、また、図３と図４の比
較および図５と図６の比較から、ＰｂＯが多くてもＢ2
Ｏ3 が多いとＲｕＯ2 の生成割合が大きくなることがわ
かる。ＰｂＯが少なくＢ2 Ｏ3 が多いガラスを用いる
と、図７に示すように鉛パイロクロアの分解率は非常に
高く、特にＰｂＯ＝０wt％であってＢ2 Ｏ3 が多い（２
６wt％）ガラスを用いた場合には鉛パイロクロアは完全
に分解した。これに対してＰｂＯが多くＢ2 Ｏ3 ＝０wt
％のガラスを用いると図８に示すように鉛パイロクロア
は分解しなかった。これらの結果から、高Ｂ2 Ｏ3 ／Ｐ
ｂＯ比もしくはＰｂＯの少ないガラス組成が、ＰｂＲｕ
Ｏ3 をＲｕＯ2 に分解させることが明らかになった。
【００１０】
【表１】
【００１１】一方、抵抗体の熱膨脹係数とガラス結合剤
の組成との関係については、Ｂ2 Ｏ3 含有率の高いガラ
スすなわちＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラス、好
ましくはＢ2 Ｏ3 含有率が高く且つＰｂＯを含まないガ
ラスを用いることによって低い熱膨脹係数（例えば５．
８ ppm／℃）が実現できることが知られている。しかし
ながら、前述したように、Ｂ2 Ｏ3 含有率の高いガラス
は鉛パイロクロアの分解を起こすガラスである。
の組成との関係については、Ｂ2 Ｏ3 含有率の高いガラ
スすなわちＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラス、好
ましくはＢ2 Ｏ3 含有率が高く且つＰｂＯを含まないガ
ラスを用いることによって低い熱膨脹係数（例えば５．
８ ppm／℃）が実現できることが知られている。しかし
ながら、前述したように、Ｂ2 Ｏ3 含有率の高いガラス
は鉛パイロクロアの分解を起こすガラスである。
【００１２】そこで、低い熱膨脹係数を維持しながら鉛
パイロクロアの分解を抑える方法を研究した。そして、
特定のＰｂＯ含有率およびＢ2 Ｏ3 含有率のガラス（第
１のガラス）を、ＰｂＲｕＯ3 と特定の割合で組合わ
せ、さらに、これらを特定のＢ2 Ｏ3 含有率のガラスマ
トリックス（第１のガラスを一成分として含むガラス結
合剤）中に分散させることで、熱膨脹係数が低く且つ鉛
パイロクロアの分解が抑制され焼成工程におけるＴＣＲ
の変動が小さくそのばらつきも小さい厚膜抵抗体が得ら
れることを見出し本発明をするに至った。また、同様の
効果は前記特定のＰｂＯ含有率およびＢ2 Ｏ3 含有率を
有する第１のガラスに代えてＰｂＯをＰｂＲｕＯ3 と特
定の割合で組合わせることによっても得られることを見
出し本発明をするに至った。鉛パイロクロアの分解が起
こった抵抗体はそのノイズ及び静電負荷変化率（ＥＳ
Ｄ）も悪化することが見出され、本発明による抵抗体は
鉛パイロクロアの分解を抑制することにより、ノイズ及
びＥＳＤの点でも優れた効果を奏するものである。次に
本発明の厚膜抵抗体組成物の構成成分についてさらに詳
細に説明する。
パイロクロアの分解を抑える方法を研究した。そして、
特定のＰｂＯ含有率およびＢ2 Ｏ3 含有率のガラス（第
１のガラス）を、ＰｂＲｕＯ3 と特定の割合で組合わ
せ、さらに、これらを特定のＢ2 Ｏ3 含有率のガラスマ
トリックス（第１のガラスを一成分として含むガラス結
合剤）中に分散させることで、熱膨脹係数が低く且つ鉛
パイロクロアの分解が抑制され焼成工程におけるＴＣＲ
の変動が小さくそのばらつきも小さい厚膜抵抗体が得ら
れることを見出し本発明をするに至った。また、同様の
効果は前記特定のＰｂＯ含有率およびＢ2 Ｏ3 含有率を
有する第１のガラスに代えてＰｂＯをＰｂＲｕＯ3 と特
定の割合で組合わせることによっても得られることを見
出し本発明をするに至った。鉛パイロクロアの分解が起
こった抵抗体はそのノイズ及び静電負荷変化率（ＥＳ
Ｄ）も悪化することが見出され、本発明による抵抗体は
鉛パイロクロアの分解を抑制することにより、ノイズ及
びＥＳＤの点でも優れた効果を奏するものである。次に
本発明の厚膜抵抗体組成物の構成成分についてさらに詳
細に説明する。
【００１３】Ａ．導電成分 本発明の厚膜抵抗体組成物は、導電成分として、ルテニ
ウムパイロクロア酸化物を含有する。ルテニウムパイロ
クロア酸化物は、次の一般式で表わされるＲｕ+4、Ｉｒ
+4またはその混合物（Ｍ″）の多成分化合物であるパイ
ロクロア酸化物の一種である。 （Ｍx Ｂｉ2-x ）（Ｍ′y Ｍ″2-y ）Ｏ7-z 式中、Ｍはイットリウム、タリウム、インジウム、カド
ミウム、鉛、銅および希土類金属より成る群から選ば
れ、Ｍ′は白金、チタン、クロム、ロジウムおよびアン
チモンより成る群から選ばれ、Ｍ″はルテニウム、イリ
ジウムまたはその混合物であり、ｘは０〜２であるがた
だし１価の銅に対してはｘ≦１であり、
ウムパイロクロア酸化物を含有する。ルテニウムパイロ
クロア酸化物は、次の一般式で表わされるＲｕ+4、Ｉｒ
+4またはその混合物（Ｍ″）の多成分化合物であるパイ
ロクロア酸化物の一種である。 （Ｍx Ｂｉ2-x ）（Ｍ′y Ｍ″2-y ）Ｏ7-z 式中、Ｍはイットリウム、タリウム、インジウム、カド
ミウム、鉛、銅および希土類金属より成る群から選ば
れ、Ｍ′は白金、チタン、クロム、ロジウムおよびアン
チモンより成る群から選ばれ、Ｍ″はルテニウム、イリ
ジウムまたはその混合物であり、ｘは０〜２であるがた
だし１価の銅に対してはｘ≦１であり、
【００１４】ｙは０〜０．５であるがただしＭ′がロジ
ウムであるかまたは白金、チタン、クロム、ロジウムお
よびアンチモンのうちの１種より多い場合にはｙは０〜
１であり、そしてｚは０〜１であるがただしＭが２価の
鉛またはカドミウムの場合にはこれは少なくとも約ｘ／
２に等しい。これらルテニウムパイロクロア酸化物は、
米国特許第３５８３９３１号明細書に詳細に記載されて
いる。
ウムであるかまたは白金、チタン、クロム、ロジウムお
よびアンチモンのうちの１種より多い場合にはｙは０〜
１であり、そしてｚは０〜１であるがただしＭが２価の
鉛またはカドミウムの場合にはこれは少なくとも約ｘ／
２に等しい。これらルテニウムパイロクロア酸化物は、
米国特許第３５８３９３１号明細書に詳細に記載されて
いる。
【００１５】本発明においては、これらルテニウムパイ
ロクロア酸化物のうち鉛パイロクロアすなわちルテン酸
鉛（ＰｂＲｕＯ3 またはＰｂ2 Ｒｕ2 Ｏ6 ）を用いる。
ＰｂＲｕＯ3 は、容易に純粋の形で得られ、ガラス結合
剤により悪影響を受けず、比較的小さいＴＣＲを有して
おり、空気中で約１０００℃まで加熱した場合でも安定
であり、そして還元性雰囲気中でも比較的安定な化合物
である。
ロクロア酸化物のうち鉛パイロクロアすなわちルテン酸
鉛（ＰｂＲｕＯ3 またはＰｂ2 Ｒｕ2 Ｏ6 ）を用いる。
ＰｂＲｕＯ3 は、容易に純粋の形で得られ、ガラス結合
剤により悪影響を受けず、比較的小さいＴＣＲを有して
おり、空気中で約１０００℃まで加熱した場合でも安定
であり、そして還元性雰囲気中でも比較的安定な化合物
である。
【００１６】ＰｂＲｕＯ3 は、有機媒体を含む組成物全
体重量を基準として５〜３０wt％、好ましくは１０〜２
５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準とする
と、７．１〜４２．９wt％，好ましくは１４．２〜３
５．８wt％である。合計無機固体分とは、導電成分とガ
ラス結合剤との合計をいう。本発明の組成物が導電成分
と無機結合剤以外に無機添加剤を含有するときは、合計
無機固体分とは該無機添加剤をも含めたものである。
体重量を基準として５〜３０wt％、好ましくは１０〜２
５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準とする
と、７．１〜４２．９wt％，好ましくは１４．２〜３
５．８wt％である。合計無機固体分とは、導電成分とガ
ラス結合剤との合計をいう。本発明の組成物が導電成分
と無機結合剤以外に無機添加剤を含有するときは、合計
無機固体分とは該無機添加剤をも含めたものである。
【００１７】本発明の組成物は、導電成分として、Ｐｂ
ＲｕＯ3 以外のルテニウム系パイロクロア例えばルテン
酸ビスマスＢｉ2 Ｒｕ2 Ｏ7 、Ｐｂ1.5 Ｂｉ0.5 Ｒｕ2
Ｏ6.20およびＣｄＢｉＲｕ2 Ｏ6.5 を含有しても良い。
これら全てについてｙ＝０である。ルテン酸ビスマス
は、容易に純粋の形で得られ、ガラス結合剤により悪影
響を受けず、比較的小さいＴＣＲを有しており、空気中
で約１０００℃まで加熱した場合でも安定であり、そし
て還元性雰囲気中でも比較的安定な化合物である。導電
成分としては、この他、酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）ま
たは銀を含有しても良い。
ＲｕＯ3 以外のルテニウム系パイロクロア例えばルテン
酸ビスマスＢｉ2 Ｒｕ2 Ｏ7 、Ｐｂ1.5 Ｂｉ0.5 Ｒｕ2
Ｏ6.20およびＣｄＢｉＲｕ2 Ｏ6.5 を含有しても良い。
これら全てについてｙ＝０である。ルテン酸ビスマス
は、容易に純粋の形で得られ、ガラス結合剤により悪影
響を受けず、比較的小さいＴＣＲを有しており、空気中
で約１０００℃まで加熱した場合でも安定であり、そし
て還元性雰囲気中でも比較的安定な化合物である。導電
成分としては、この他、酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）ま
たは銀を含有しても良い。
【００１８】これらＰｂＲｕＯ3 以外の導電成分は、有
機媒体を含む組成物全体重量を基準として０〜５０wt
％、好ましくは０〜２０wt％の割合で用いる。合計無機
固体分を基準とすると、０〜７１．５wt％，好ましくは
０〜２８．６wt％である。
機媒体を含む組成物全体重量を基準として０〜５０wt
％、好ましくは０〜２０wt％の割合で用いる。合計無機
固体分を基準とすると、０〜７１．５wt％，好ましくは
０〜２８．６wt％である。
【００１９】Ｂ．ガラス結合剤 本発明の厚膜抵抗体組成物においてガラス結合剤として
は、ＰｂＯ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2 １０〜３６wt
％およびＢ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しかつＰｂＯ、Ｓ
ｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以上を占める第
１のガラスを含み、かつ該ガラス結合剤全体にＢ2 Ｏ3
を２〜２０wt％含有するガラスを用いる。
は、ＰｂＯ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2 １０〜３６wt
％およびＢ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しかつＰｂＯ、Ｓ
ｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以上を占める第
１のガラスを含み、かつ該ガラス結合剤全体にＢ2 Ｏ3
を２〜２０wt％含有するガラスを用いる。
【００２０】本発明において、ガラス結合剤のＢ2 Ｏ3
含有率は２〜２０wt％としなければならない。Ｂ2 Ｏ3
含有率は、使用する導電成分の種類および量、および厚
膜抵抗体の目標抵抗値等によって決定され、所望のＢ2
Ｏ3 含有率となるように第１のガラスおよび後述の第２
のガラスの組成および使用割合を選択する。
含有率は２〜２０wt％としなければならない。Ｂ2 Ｏ3
含有率は、使用する導電成分の種類および量、および厚
膜抵抗体の目標抵抗値等によって決定され、所望のＢ2
Ｏ3 含有率となるように第１のガラスおよび後述の第２
のガラスの組成および使用割合を選択する。
【００２１】第１のガラスのＰｂＯ含有率は６１〜８５
wt％であり、好ましくは６３〜７８wt％、より好ましく
は６３〜７０wt％である。ＳｉＯ2 含有率は、１０〜３
６ｗｔ％であり、好ましくは１５〜３６ｗｔ％、より好
ましくは２５〜３６wt％である。Ｂ2 Ｏ3 含有率は、０
〜２wt％であり、好ましくは０wt％である。第１のガラ
スのＰｂＯ、ＳｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計は９５wt％
以上とする。
wt％であり、好ましくは６３〜７８wt％、より好ましく
は６３〜７０wt％である。ＳｉＯ2 含有率は、１０〜３
６ｗｔ％であり、好ましくは１５〜３６ｗｔ％、より好
ましくは２５〜３６wt％である。Ｂ2 Ｏ3 含有率は、０
〜２wt％であり、好ましくは０wt％である。第１のガラ
スのＰｂＯ、ＳｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計は９５wt％
以上とする。
【００２２】第１のガラスは、有機媒体を含む組成物全
体重量を基準として５〜３０wt％、好ましくは１０〜２
５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準とする
と、７．１〜４２．９wt％，好ましくは１４．２〜３
５．８wt％である。
体重量を基準として５〜３０wt％、好ましくは１０〜２
５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準とする
と、７．１〜４２．９wt％，好ましくは１４．２〜３
５．８wt％である。
【００２３】第１のガラスはＰｂＲｕＯ3 と該第１のガ
ラスとの比が５：３０〜６０：４０の割合になるような
範囲で用いなければならない。好ましくは５：３０〜
１：１の範囲である。本発明において、ガラス結合剤
は、上記第１のガラスの他に１種以上のガラスを含む。
この第１のガラス以外のガラス成分を第２のガラスと称
する。
ラスとの比が５：３０〜６０：４０の割合になるような
範囲で用いなければならない。好ましくは５：３０〜
１：１の範囲である。本発明において、ガラス結合剤
は、上記第１のガラスの他に１種以上のガラスを含む。
この第１のガラス以外のガラス成分を第２のガラスと称
する。
【００２４】第２のガラスは、一般に、有機媒体を含む
組成物全体重量を基準として５〜６０wt％、好ましくは
１０〜４０wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準
とすると、７．１〜８５．７wt％，好ましくは１４．２
〜５７．２wt％である。
組成物全体重量を基準として５〜６０wt％、好ましくは
１０〜４０wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準
とすると、７．１〜８５．７wt％，好ましくは１４．２
〜５７．２wt％である。
【００２５】第２のガラスとしては、先の表１に示した
ガラス１〜７を使用することができるが、第２のガラス
として好ましいのはＳｉＯ2 ３０〜６０wt％、ＣａＯ
５〜３０wt％、Ｂ2 Ｏ3 １〜４０wt％、ＰｂＯ ０
〜５０wt％、およびＡｌ2 Ｏ3 ０〜２０wt％を含有し
且つこれらＳｉＯ2 、ＣａＯ、Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯおよび
Ａｌ2 Ｏ3 の合計がその９５wt％以上を占めるガラス
（以下「第２のガラス（Ａ）」と称する）である。
ガラス１〜７を使用することができるが、第２のガラス
として好ましいのはＳｉＯ2 ３０〜６０wt％、ＣａＯ
５〜３０wt％、Ｂ2 Ｏ3 １〜４０wt％、ＰｂＯ ０
〜５０wt％、およびＡｌ2 Ｏ3 ０〜２０wt％を含有し
且つこれらＳｉＯ2 、ＣａＯ、Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯおよび
Ａｌ2 Ｏ3 の合計がその９５wt％以上を占めるガラス
（以下「第２のガラス（Ａ）」と称する）である。
【００２６】第２のガラス（Ａ）を用いると、熱膨脹係
数（ＴＣＥ）をある程度低くコントロールすることがで
き、また、焼結（sintering ）をコントロールすること
もできる。
数（ＴＣＥ）をある程度低くコントロールすることがで
き、また、焼結（sintering ）をコントロールすること
もできる。
【００２７】さらに好ましくは本発明において第２のガ
ラスとしては、第２のガラス（Ａ）と、ＰｂＯが少なく
とも５０wt％を占めるＰｂＯ−ＳｉＯ2 系ガラスからな
るガラス（以下「第２のガラス（Ｂ）」と称する）との
混合物を用いる。ガラス結合剤中にこのような酸化鉛含
有率または軟化点の異なる２種のガラスを用いると、抵
抗値およびＴＣＲの形状効果が小さく且つオーバーコー
トガラスの焼成による抵抗値およびＴＣＲの変動も小さ
い厚膜抵抗体が得られる。抵抗値およびＴＣＲの形状効
果が小さいとは、抵抗体のパッド長さ（幅）の変化、例
えば０．８ｍｍ×０．８ｍｍから０．５ｍｍ×０．５ｍ
ｍの変化に対して抵抗値およびＴＣＲの変動が小さいこ
とをいう。
ラスとしては、第２のガラス（Ａ）と、ＰｂＯが少なく
とも５０wt％を占めるＰｂＯ−ＳｉＯ2 系ガラスからな
るガラス（以下「第２のガラス（Ｂ）」と称する）との
混合物を用いる。ガラス結合剤中にこのような酸化鉛含
有率または軟化点の異なる２種のガラスを用いると、抵
抗値およびＴＣＲの形状効果が小さく且つオーバーコー
トガラスの焼成による抵抗値およびＴＣＲの変動も小さ
い厚膜抵抗体が得られる。抵抗値およびＴＣＲの形状効
果が小さいとは、抵抗体のパッド長さ（幅）の変化、例
えば０．８ｍｍ×０．８ｍｍから０．５ｍｍ×０．５ｍ
ｍの変化に対して抵抗値およびＴＣＲの変動が小さいこ
とをいう。
【００２８】第２のガラス（Ａ）は酸化鉛を最大５０wt
% しか含まないので一般的に高軟化点ガラスである。第
２のガラス（Ｂ）は酸化鉛を最低５０wt% 含むので一般
的に低軟化点ガラスである。第２のガラス（Ａ）および
（Ｂ）はそれぞれ単独では厚膜抵抗体組成物のガラス結
合剤として使用することはできない。前者は焼結しない
し、後者はガラスがやわらかすぎて抵抗体形状がくずれ
てしまうからである。そうした単独では使用不可能とさ
れていたガラスを混合して使用することで、抵抗値およ
びＴＣＲの形状効果が小さく且つオーバーコートガラス
の焼成による抵抗値およびＴＣＲの変動も小さい厚膜抵
抗体が得られたことは予期し得ないことであった。
% しか含まないので一般的に高軟化点ガラスである。第
２のガラス（Ｂ）は酸化鉛を最低５０wt% 含むので一般
的に低軟化点ガラスである。第２のガラス（Ａ）および
（Ｂ）はそれぞれ単独では厚膜抵抗体組成物のガラス結
合剤として使用することはできない。前者は焼結しない
し、後者はガラスがやわらかすぎて抵抗体形状がくずれ
てしまうからである。そうした単独では使用不可能とさ
れていたガラスを混合して使用することで、抵抗値およ
びＴＣＲの形状効果が小さく且つオーバーコートガラス
の焼成による抵抗値およびＴＣＲの変動も小さい厚膜抵
抗体が得られたことは予期し得ないことであった。
【００２９】第２のガラス（Ａ）は、ＳｉＯ2 、Ｃａ
Ｏ、Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯおよびＡｌ2 Ｏ3 の合計がその９
５wt％以上を占めるガラスである。ＳｉＯ2 は少なくと
も３０wt% 必要である。それ未満では十分な高軟化点が
得られにくいからである。ただし６０wt％以下とする。
それより多いとＳｉが結晶化するおそれがあるからであ
る。ＣａＯは少なくとも５wt% 必要である。ただし３０
wt％以下とする。３０wt％を越えるとＣａが他の元素と
結晶化をおこすおそれがあるからである。Ｂ2 Ｏ3 は少
なくとも１wt% 必要である。ただし４０wt％以下とす
る。それより多いとガラス化しないおそれがあるからで
ある。ＰｂＯは５０wt％以下でなければならない。５０
wt％を越えると十分な高軟化点が得られにくいからであ
る。好ましくは０〜３０wt％、より好ましくは０〜２０
wt％である。Ａｌ2 Ｏ3 は２０wt％以下でなければなら
ない。２０wt％を越えるとガラス化しないからである。
好ましくは０〜５wt％である。
Ｏ、Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯおよびＡｌ2 Ｏ3 の合計がその９
５wt％以上を占めるガラスである。ＳｉＯ2 は少なくと
も３０wt% 必要である。それ未満では十分な高軟化点が
得られにくいからである。ただし６０wt％以下とする。
それより多いとＳｉが結晶化するおそれがあるからであ
る。ＣａＯは少なくとも５wt% 必要である。ただし３０
wt％以下とする。３０wt％を越えるとＣａが他の元素と
結晶化をおこすおそれがあるからである。Ｂ2 Ｏ3 は少
なくとも１wt% 必要である。ただし４０wt％以下とす
る。それより多いとガラス化しないおそれがあるからで
ある。ＰｂＯは５０wt％以下でなければならない。５０
wt％を越えると十分な高軟化点が得られにくいからであ
る。好ましくは０〜３０wt％、より好ましくは０〜２０
wt％である。Ａｌ2 Ｏ3 は２０wt％以下でなければなら
ない。２０wt％を越えるとガラス化しないからである。
好ましくは０〜５wt％である。
【００３０】第２のガラス（Ａ）は、有機媒体を含む組
成物全体重量を基準として５〜３５wt％、好ましくは１
０〜２５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準と
すると、７〜５０wt％好ましくは１４〜３６wt％であ
る。
成物全体重量を基準として５〜３５wt％、好ましくは１
０〜２５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準と
すると、７〜５０wt％好ましくは１４〜３６wt％であ
る。
【００３１】第２のガラス（Ｂ）は、ＰｂＯが少なくと
も５０wt％を占めるＰｂＯ−ＳｉＯ2 系ガラスである。
前記第２のガラス（Ａ）はこの第２のガラス（Ｂ）と組
み合わせて用いることによって初めて抵抗体のＴＣＲの
形状効果の低減およびオーバーコートガラスの焼成によ
る抵抗値およびＴＣＲの変動の低減を達成することがで
きる。
も５０wt％を占めるＰｂＯ−ＳｉＯ2 系ガラスである。
前記第２のガラス（Ａ）はこの第２のガラス（Ｂ）と組
み合わせて用いることによって初めて抵抗体のＴＣＲの
形状効果の低減およびオーバーコートガラスの焼成によ
る抵抗値およびＴＣＲの変動の低減を達成することがで
きる。
【００３２】第２のガラス（Ｂ）は、ＰｂＯ ５０〜８
０wt％、ＳｉＯ2 １０〜３５wt％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜
１０wt％、Ｂ2 Ｏ3 １〜１０wt％、ＣｕＯ １〜１０
wt％およびＺｎＯ １〜１０wt％を含有し且つこれらＰ
ｂＯ、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3、Ｂ2 Ｏ3 、ＣｕＯおよび
ＺｎＯがその９５wt％以上を占めるガラスであることが
好ましい。この範囲の組成の第２のガラス（Ｂ）と前記
第２のガラス（Ａ）とを混合することにより、ＴＣＲの
形状効果およびオーバーコートガラスの焼成による抵抗
値およびＴＣＲの変動が小さいことに加えてさらに焼結
性も向上するからである。
０wt％、ＳｉＯ2 １０〜３５wt％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜
１０wt％、Ｂ2 Ｏ3 １〜１０wt％、ＣｕＯ １〜１０
wt％およびＺｎＯ １〜１０wt％を含有し且つこれらＰ
ｂＯ、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3、Ｂ2 Ｏ3 、ＣｕＯおよび
ＺｎＯがその９５wt％以上を占めるガラスであることが
好ましい。この範囲の組成の第２のガラス（Ｂ）と前記
第２のガラス（Ａ）とを混合することにより、ＴＣＲの
形状効果およびオーバーコートガラスの焼成による抵抗
値およびＴＣＲの変動が小さいことに加えてさらに焼結
性も向上するからである。
【００３３】第２のガラス（Ｂ）は、有機媒体を含む組
成物全体重量を基準として５〜４０wt％、好ましくは１
０〜３５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準と
すると、７〜５７wt％好ましくは１４〜５０wt％であ
る。
成物全体重量を基準として５〜４０wt％、好ましくは１
０〜３５wt％の割合で用いる。合計無機固体分を基準と
すると、７〜５７wt％好ましくは１４〜５０wt％であ
る。
【００３４】本発明の厚膜抵抗体組成物において、ガラ
ス結合剤のガラス組成は、前記第１のガラスの軟化点が
第２のガラス（Ａ）より低く第２のガラス（Ｂ）より高
くなるように選択することが好ましい。
ス結合剤のガラス組成は、前記第１のガラスの軟化点が
第２のガラス（Ａ）より低く第２のガラス（Ｂ）より高
くなるように選択することが好ましい。
【００３５】本発明においてガラス結合剤として使用す
る第１のガラスおよび第２のガラスには、それぞれ、前
述した成分の他に、厚膜抵抗体の熱膨脹係数およびガラ
ス結合剤の熟成温度を調整するための成分を１５wt％未
満含有させることができる。前述したように一般的な基
体である９６％アルミナセラミックは７５×１０-7／℃
の熱膨張係数を有しているので、厚膜抵抗体の熱膨張係
数はそれより低いことが好ましい。シリカ、酸化鉛及び
酸化硼素の含有量を調節することによって熱膨張係数を
調整できることができる。少量のリチウム、カリウムま
たはナトリウムの酸化物の導入によっても熱膨張係数を
調整できることがある。酸化リチウムは約３重量％の程
度までガラス結合剤成分に包含させるのが有利である。
約４％までのＺｒＯ2 はアルカリ溶液中への溶解に対す
るガラスの抵抗性を強化させ、ＴｉＯ2 はガラスの酸に
よる攻撃に対する抵抗性を強化させるのである。ガラス
がＰｂＯを含まない亜鉛アルミノ硼硅酸塩ガラスである
場合には、Ｎａ2 Ｏを含有させることにより好ましい熱
膨張係数範囲を得ることができる。
る第１のガラスおよび第２のガラスには、それぞれ、前
述した成分の他に、厚膜抵抗体の熱膨脹係数およびガラ
ス結合剤の熟成温度を調整するための成分を１５wt％未
満含有させることができる。前述したように一般的な基
体である９６％アルミナセラミックは７５×１０-7／℃
の熱膨張係数を有しているので、厚膜抵抗体の熱膨張係
数はそれより低いことが好ましい。シリカ、酸化鉛及び
酸化硼素の含有量を調節することによって熱膨張係数を
調整できることができる。少量のリチウム、カリウムま
たはナトリウムの酸化物の導入によっても熱膨張係数を
調整できることがある。酸化リチウムは約３重量％の程
度までガラス結合剤成分に包含させるのが有利である。
約４％までのＺｒＯ2 はアルカリ溶液中への溶解に対す
るガラスの抵抗性を強化させ、ＴｉＯ2 はガラスの酸に
よる攻撃に対する抵抗性を強化させるのである。ガラス
がＰｂＯを含まない亜鉛アルミノ硼硅酸塩ガラスである
場合には、Ｎａ2 Ｏを含有させることにより好ましい熱
膨張係数範囲を得ることができる。
【００３６】ガラス結合剤としての上述のガラスは、そ
れぞれ、通常のガラス製造技術により製造することがで
きる。すなわち、所望の比率で所望の成分またはその前
駆体例えばＢ2 Ｏ3 に対するＨ3 ＢＯ3 を混合し、そし
てこの混合物を加熱して溶融物を生成させることにより
製造することができる。当技術分野において周知のよう
に、加熱は、ピーク温度まで、そして溶融物が完全に液
体となりしかも気体発生が停止するような時間実施され
る。本発明においてはピーク温度は１１００〜１５００
℃、通常１２００〜１４００℃の範囲である。次いで、
溶融物を典型的には冷ベルト上かまたは冷流水中に注い
で冷却させることによって、急冷する。その後、所望に
よりミル処理によって粒子サイズを低減することができ
る。
れぞれ、通常のガラス製造技術により製造することがで
きる。すなわち、所望の比率で所望の成分またはその前
駆体例えばＢ2 Ｏ3 に対するＨ3 ＢＯ3 を混合し、そし
てこの混合物を加熱して溶融物を生成させることにより
製造することができる。当技術分野において周知のよう
に、加熱は、ピーク温度まで、そして溶融物が完全に液
体となりしかも気体発生が停止するような時間実施され
る。本発明においてはピーク温度は１１００〜１５００
℃、通常１２００〜１４００℃の範囲である。次いで、
溶融物を典型的には冷ベルト上かまたは冷流水中に注い
で冷却させることによって、急冷する。その後、所望に
よりミル処理によって粒子サイズを低減することができ
る。
【００３７】更に詳しくは、これらのガラスは、白金る
つぼ中で電気加熱された炭化珪素炉で約１２００〜１４
００℃において２０分〜１時間溶融させることにより製
造することができる。回転または振動ミル処理により最
終粒子サイズを１〜１０ｍ2 ／ｇとすることができる。
振動ミル処理は、容器中に無機粉末とアルミナ等のシリ
ンダを入れ、次いでこの容器を特定時間振動させること
により水性媒体中で実施される。
つぼ中で電気加熱された炭化珪素炉で約１２００〜１４
００℃において２０分〜１時間溶融させることにより製
造することができる。回転または振動ミル処理により最
終粒子サイズを１〜１０ｍ2 ／ｇとすることができる。
振動ミル処理は、容器中に無機粉末とアルミナ等のシリ
ンダを入れ、次いでこの容器を特定時間振動させること
により水性媒体中で実施される。
【００３８】Ｃ．無機添加剤 本発明の厚膜抵抗体組成物は、無機添加剤を含有するこ
とができる。ＴＣＲの調整剤として例えばＮｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯおよびＣｕ2 Ｏなどの無機酸化物、ＴＣＥフィラ
ーとして例えばＺｒＳｉＯ4 などのＴＣＥの低い酸化物
を含有することができる。ＺｒＳｉＯ4 は厚膜抵抗体の
レーザートリミング性の向上にも寄与する。
とができる。ＴＣＲの調整剤として例えばＮｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯおよびＣｕ2 Ｏなどの無機酸化物、ＴＣＥフィラ
ーとして例えばＺｒＳｉＯ4 などのＴＣＥの低い酸化物
を含有することができる。ＺｒＳｉＯ4 は厚膜抵抗体の
レーザートリミング性の向上にも寄与する。
【００３９】これら無機添加剤は、有機媒体を含む組成
物全体重量を基準として０．０５〜１５wt％、合計無機
固体分を基準とすると、７．１〜２１．４wt％の割合で
用いる。
物全体重量を基準として０．０５〜１５wt％、合計無機
固体分を基準とすると、７．１〜２１．４wt％の割合で
用いる。
【００４０】本発明においては第１のガラスに代えて酸
化鉛（ＰｂＯ）を用いることもできる。この場合ＰｂＲ
ｕＯ3 とＰｂＯの割合は、重量で１：１〜５：１の範囲
とする。好ましい割合は１：０．８〜４：１である。Ｐ
ｂＯは、ＰｂＲｕＯ3 粒子の表面にコーティングさせて
用いることもできる。ＰｂＯによるコーティングは、例
えば、Ｐｂリッチな雰囲気中でＰｂＲｕＯ3 粉を低温
（例えば４００℃〜６００℃）で加熱することによって
行うことができる。これは、大小２個のるつぼを重ね、
大きい方のるつぼにＰｂＯ粉を入れ、小さい方のるつぼ
にＰｂＲｕＯ3 粉を入れこれら全体に蓋をかぶせて加熱
することによって行うことができる。また、ＰｂＯによ
るコーティングは、ＰｂＯを分子レベルでＰｂＲｕＯ3
粉表面にコーティングすることによっても行うことがで
きる。
化鉛（ＰｂＯ）を用いることもできる。この場合ＰｂＲ
ｕＯ3 とＰｂＯの割合は、重量で１：１〜５：１の範囲
とする。好ましい割合は１：０．８〜４：１である。Ｐ
ｂＯは、ＰｂＲｕＯ3 粒子の表面にコーティングさせて
用いることもできる。ＰｂＯによるコーティングは、例
えば、Ｐｂリッチな雰囲気中でＰｂＲｕＯ3 粉を低温
（例えば４００℃〜６００℃）で加熱することによって
行うことができる。これは、大小２個のるつぼを重ね、
大きい方のるつぼにＰｂＯ粉を入れ、小さい方のるつぼ
にＰｂＲｕＯ3 粉を入れこれら全体に蓋をかぶせて加熱
することによって行うことができる。また、ＰｂＯによ
るコーティングは、ＰｂＯを分子レベルでＰｂＲｕＯ3
粉表面にコーティングすることによっても行うことがで
きる。
【００４１】Ｄ．有機媒体 以上の本発明の無機固体分は、有機媒体中に分散させ
て、印刷可能な組成物ペーストとする。有機媒体は、組
成物全体重量を基準として２０〜４０wt％、好ましくは
２５〜３５wt％の割合で用いる。
て、印刷可能な組成物ペーストとする。有機媒体は、組
成物全体重量を基準として２０〜４０wt％、好ましくは
２５〜３５wt％の割合で用いる。
【００４２】すべての不活性液体をベヒクルとして使用
することができる。濃厚化剤および／または安定剤およ
び／またはその他の一般的添加剤を加えたかまたはこれ
らを加えていない水または種々の有機液体のいずれか一
つをベヒクルとして使用することができる。使用しうる
有機液体の例は，脂肪族アルコール、そのようなアルコ
ールのエステル例えばアセテートおよびプロピオネー
ト、テルペン例えば松根油、テルピネオールその他、溶
媒例えば松根油およびエチレングリコールモノアセテー
トのモノブチルエーテル中の樹脂例えば低級アルコール
のポリメタクリレートの溶液またはエチルセルロースの
溶液である。ベヒクルには基体への適用後の迅速な固化
を促進させるための揮発性液体を含有させることができ
るしまたはベヒクルはこれにより構成されていることも
できる。好ましいベヒクルはエチルセルロースおよびベ
ータテルピネオールをベースとするものである。 Ｅ．調製、適用および試験方法 本発明の厚抗体組成物は、例えば３本ロールミルで製造
することができる。
することができる。濃厚化剤および／または安定剤およ
び／またはその他の一般的添加剤を加えたかまたはこれ
らを加えていない水または種々の有機液体のいずれか一
つをベヒクルとして使用することができる。使用しうる
有機液体の例は，脂肪族アルコール、そのようなアルコ
ールのエステル例えばアセテートおよびプロピオネー
ト、テルペン例えば松根油、テルピネオールその他、溶
媒例えば松根油およびエチレングリコールモノアセテー
トのモノブチルエーテル中の樹脂例えば低級アルコール
のポリメタクリレートの溶液またはエチルセルロースの
溶液である。ベヒクルには基体への適用後の迅速な固化
を促進させるための揮発性液体を含有させることができ
るしまたはベヒクルはこれにより構成されていることも
できる。好ましいベヒクルはエチルセルロースおよびベ
ータテルピネオールをベースとするものである。 Ｅ．調製、適用および試験方法 本発明の厚抗体組成物は、例えば３本ロールミルで製造
することができる。
【００４３】本発明においては、第１のガラスとＰｂＲ
ｕＯ3 とを予め仮焼成しておき、これをベヒクルに添加
するようにしても良い。この仮焼成は、例えば、約６０
０〜１０００℃で、約０．２〜４時間、空気雰囲気で加
熱する。このように第１のガラスとＰｂＲｕＯ3 とを予
め仮焼成しておくことによって、後に行なう本焼成にお
けるＴＣＲ等の安定性をさらに向上させることができ
る。
ｕＯ3 とを予め仮焼成しておき、これをベヒクルに添加
するようにしても良い。この仮焼成は、例えば、約６０
０〜１０００℃で、約０．２〜４時間、空気雰囲気で加
熱する。このように第１のガラスとＰｂＲｕＯ3 とを予
め仮焼成しておくことによって、後に行なう本焼成にお
けるＴＣＲ等の安定性をさらに向上させることができ
る。
【００４４】本発明の抵抗体組成物は、セラミック、ア
ルミナまたはその他の誘電体基体上に、通常の方法でフ
ィルムとして印刷することができる。有利には、アルミ
ナ基体を使用し、抵抗体組成物を前焼成したパラジウム
−銀端子上に印刷する。
ルミナまたはその他の誘電体基体上に、通常の方法でフ
ィルムとして印刷することができる。有利には、アルミ
ナ基体を使用し、抵抗体組成物を前焼成したパラジウム
−銀端子上に印刷する。
【００４５】一般にスクリーンステンンシル技術を好ま
しく使用することができる。得られる印刷パターンは、
一般には放置して水平化し、約１０分間高温例えば１５
０℃で乾燥し、そして空気中ベルト炉中で約８５０℃の
ピーク温度で焼成（本焼成）する。次に、本発明におけ
る厚膜抵抗体組成物の各種特性の試験方法を説明する。
しく使用することができる。得られる印刷パターンは、
一般には放置して水平化し、約１０分間高温例えば１５
０℃で乾燥し、そして空気中ベルト炉中で約８５０℃の
ピーク温度で焼成（本焼成）する。次に、本発明におけ
る厚膜抵抗体組成物の各種特性の試験方法を説明する。
【００４６】(1) 厚膜抵抗体組成物ペーストの製造方法 所定の無機固体分とベヒクルを混合後、ロールミルによ
ってペーストを練る。 (2) 印刷および焼成 １インチ×１インチ（25mm角）の９６％アルミナ基板
に、Ｐｄ／Ａｇ系厚膜導体を乾燥膜厚を１８±２μｍに
なるように印刷し、１５０℃で１０分間乾燥する。この
Ｐｄ／Ａｇ系厚膜導体は、ペースト中にＰｄを０．５wt
％含有するものである。
ってペーストを練る。 (2) 印刷および焼成 １インチ×１インチ（25mm角）の９６％アルミナ基板
に、Ｐｄ／Ａｇ系厚膜導体を乾燥膜厚を１８±２μｍに
なるように印刷し、１５０℃で１０分間乾燥する。この
Ｐｄ／Ａｇ系厚膜導体は、ペースト中にＰｄを０．５wt
％含有するものである。
【００４７】次いで、厚膜抵抗体組成物ペーストを、
０．８ｍｍ×０．８ｍｍ、乾燥膜厚が１８±２μｍにな
るように印刷する。これを１５０℃で１０分間乾燥した
後、ボックス炉中で昇温し焼成する。ボックス炉の温度
プロファイルは、３５０℃で１０分間加熱して有機媒体
を燃焼した後、ピーク温度８００℃１０分間または８５
０℃１０分間または９００℃に１０分間それぞれ別個に
焼成した後冷却するものとし、焼成時間は昇温中１００
℃を越えたときから冷却中１００℃を下回ったときまで
を３０分間とする。
０．８ｍｍ×０．８ｍｍ、乾燥膜厚が１８±２μｍにな
るように印刷する。これを１５０℃で１０分間乾燥した
後、ボックス炉中で昇温し焼成する。ボックス炉の温度
プロファイルは、３５０℃で１０分間加熱して有機媒体
を燃焼した後、ピーク温度８００℃１０分間または８５
０℃１０分間または９００℃に１０分間それぞれ別個に
焼成した後冷却するものとし、焼成時間は昇温中１００
℃を越えたときから冷却中１００℃を下回ったときまで
を３０分間とする。
【００４８】(3) 抵抗値およびＴＣＲの測定 抵抗値（Ｒ）の測定は、０．０１％の精度のオートレン
ジ・オートバランス・デイジタル・オームメーターを使
用して端子パターンのプローブにより実施する。具体的
には、試料をチャンバー中の端子ポストに載置し、そし
てデジタルオームメーターに電気的に接続する。チャン
バー内の温度を２５℃に調整し平衡化した後各試料の抵
抗を測定しそして記録する。次いでチャンバーの温度を
１２５℃に上昇させ平衡化した後、その試料の抵抗を再
び測定しそして記録する。
ジ・オートバランス・デイジタル・オームメーターを使
用して端子パターンのプローブにより実施する。具体的
には、試料をチャンバー中の端子ポストに載置し、そし
てデジタルオームメーターに電気的に接続する。チャン
バー内の温度を２５℃に調整し平衡化した後各試料の抵
抗を測定しそして記録する。次いでチャンバーの温度を
１２５℃に上昇させ平衡化した後、その試料の抵抗を再
び測定しそして記録する。
【００４９】ＴＣＲとしてここでは高温抵抗値温度係数
（ＨＴＣＲ）を次式により計算する。 ＨＴＣＲ＝（（Ｒ125 C −Ｒ25C ）／Ｒ25C ）× １００００ ppm／℃
（ＨＴＣＲ）を次式により計算する。 ＨＴＣＲ＝（（Ｒ125 C −Ｒ25C ）／Ｒ25C ）× １００００ ppm／℃
【００５０】抵抗値およびＴＣＲの焼成温度依存性は、
異なるピーク温度（ａ℃およびｂ℃）で焼成した抵抗体
の間の抵抗値の差（ΔＲ(a-b) ）およびＴＣＲの差（Δ
ＨＴＣＲ(a-b) ）で評価する。 ΔＲ（ａ−ｂ）＝（（Ｒ（ａ℃）−Ｒ（ｂ℃）／Ｒ（ｂ℃）) ）×１００ （％ ）ΔＨＴＣＲ（ａ−ｂ）＝ＨＴＣＲ（ａ℃）−ＨＴＣＲ（ｂ℃）（ｐｐｍ／℃）
異なるピーク温度（ａ℃およびｂ℃）で焼成した抵抗体
の間の抵抗値の差（ΔＲ(a-b) ）およびＴＣＲの差（Δ
ＨＴＣＲ(a-b) ）で評価する。 ΔＲ（ａ−ｂ）＝（（Ｒ（ａ℃）−Ｒ（ｂ℃）／Ｒ（ｂ℃）) ）×１００ （％ ）ΔＨＴＣＲ（ａ−ｂ）＝ＨＴＣＲ（ａ℃）−ＨＴＣＲ（ｂ℃）（ｐｐｍ／℃）
【００５１】
【実施例】ＰｂＯおよびＲｕＯ2 を空気中８００〜１０
００℃で仮焼し、続いて約３〜６０ｍ2 ／ｇの表面積ま
で微細化することにより、実施例および比較例において
導電成分として用いるＰｂＲｕＯ3 を製造した。また、
ＲｕＯ2 は、表面積約２５ｍ2 ／ｇのものを用いた。
００℃で仮焼し、続いて約３〜６０ｍ2 ／ｇの表面積ま
で微細化することにより、実施例および比較例において
導電成分として用いるＰｂＲｕＯ3 を製造した。また、
ＲｕＯ2 は、表面積約２５ｍ2 ／ｇのものを用いた。
【００５２】ガラス結合剤として用いる４種のガラス
（ガラスａ，ガラスｂ、ガラスｃおよびガラスｄ）を、
所定の原料を気体の発生が完全に停止するまでガラスの
組成に応じて約３０分間〜５時間、１０００℃〜１７０
０℃の範囲で加熱して溶融させ、水中で急冷しそして約
２〜５ｍ2 ／ｇの表面積までミル処理することによって
製造した。これらのガラスの組成を表２に示す。なお、
ガラスａは比較例のガラスであり、ガラスｂは本発明の
第１のガラスに該当し、ガラスｃは第２のガラス（Ａ）
に、ガラスｄは第２のガラス（Ｂ）に該当する。
（ガラスａ，ガラスｂ、ガラスｃおよびガラスｄ）を、
所定の原料を気体の発生が完全に停止するまでガラスの
組成に応じて約３０分間〜５時間、１０００℃〜１７０
０℃の範囲で加熱して溶融させ、水中で急冷しそして約
２〜５ｍ2 ／ｇの表面積までミル処理することによって
製造した。これらのガラスの組成を表２に示す。なお、
ガラスａは比較例のガラスであり、ガラスｂは本発明の
第１のガラスに該当し、ガラスｃは第２のガラス（Ａ）
に、ガラスｄは第２のガラス（Ｂ）に該当する。
【００５３】
【表２】 実施例および比較例において用いた有機媒体は、エチル
セルロース１０〜３０部とβ−テルピネオール９０〜７
０部との混合物である。
セルロース１０〜３０部とβ−テルピネオール９０〜７
０部との混合物である。
【００５４】表３に示す原料を用いて３種の組成物（比
較例１、実施例１および実施例２）を調製した。比較例
１の組成物の調製においては各固体成分はそれぞれ別個
に有機媒体に混合させた。実施例１および実施例２の組
成物ノ調製においては、ＰｂＲｕＯ3 とガラスｂを予め
８５０℃で１時間仮焼し、次いで粉砕して粉末としたも
のを原料として用いた。これら３種の組成物について、
前記の試験方法に従い抵抗値およびＨＴＣＲを測定し
て、表３に示す結果を得た。
較例１、実施例１および実施例２）を調製した。比較例
１の組成物の調製においては各固体成分はそれぞれ別個
に有機媒体に混合させた。実施例１および実施例２の組
成物ノ調製においては、ＰｂＲｕＯ3 とガラスｂを予め
８５０℃で１時間仮焼し、次いで粉砕して粉末としたも
のを原料として用いた。これら３種の組成物について、
前記の試験方法に従い抵抗値およびＨＴＣＲを測定し
て、表３に示す結果を得た。
【００５５】表３に見られるように、本発明の組成物で
ある実施例１および実施例２は、比較例１に比べて、８
００℃〜９００℃の温度域における抵抗値およびＴＣＲ
の焼成温度温度依存性、特にＴＣＲの焼成温度依存性が
小さい。 表 ３ 比較例１ 実施例１ 実施例２ ＰｂＲｕＯ3 １１．５wt％ １６．８wt％ １６．８wt％ ＲｕＯ2 １１．５wt％ ３．０wt％ ３．０wt％ ガラスａ ４７．０wt％ −−− −−− ガラスｂ −−− ２８．９Wt％ １６．８wt％ ガラスｃ −−− ２０．１wt％ １２．０wt％ ガラスｄ −−− −−− ２０．０wt％ Ｎｂ2 Ｏ5 −−− １．２Wt％ １．２wt％ 有機媒体 ３０．０Wt％ ３０．０wt％ ３０．２wt％ Ｒ（800 ℃） 11.68 kΩ 17.22 kΩ 36.42 kΩ Ｒ（850 ℃） 11.08 kΩ 17.93 kΩ 31.52 kΩ Ｒ（900 ℃） 6.62 kΩ 15.39 kΩ 22.13 kΩ ＨＴＣＲ（800 ℃） ＋４８ ＋２５ ＋１２３ ＨＴＣＲ（850 ℃） ＋１２６ −１６ ＋６３ ＨＴＣＲ（900 ℃） ＋３４５ −１４ ＋６９ ΔＲ (850-800) − 5.1％ ＋ 4.1％ −13.5％ ΔＲ (900-850) −40.3％ −14.2％ −29.8％ ΔＨＴＣＲ (850-800) ＋７８ −４１ −６０ ΔＨＴＣＲ (900-850) ＋２１９ ＋２ ＋６ 熱膨脹係数については、比較例１、実施例１および実施
例２のいずれも良好であった。これらの結果から、本発
明は、良好な熱膨脹係数を維持しながら同時にＴＣＲも
改善された厚膜抵抗体を与えるものであることがわか
る。
ある実施例１および実施例２は、比較例１に比べて、８
００℃〜９００℃の温度域における抵抗値およびＴＣＲ
の焼成温度温度依存性、特にＴＣＲの焼成温度依存性が
小さい。 表 ３ 比較例１ 実施例１ 実施例２ ＰｂＲｕＯ3 １１．５wt％ １６．８wt％ １６．８wt％ ＲｕＯ2 １１．５wt％ ３．０wt％ ３．０wt％ ガラスａ ４７．０wt％ −−− −−− ガラスｂ −−− ２８．９Wt％ １６．８wt％ ガラスｃ −−− ２０．１wt％ １２．０wt％ ガラスｄ −−− −−− ２０．０wt％ Ｎｂ2 Ｏ5 −−− １．２Wt％ １．２wt％ 有機媒体 ３０．０Wt％ ３０．０wt％ ３０．２wt％ Ｒ（800 ℃） 11.68 kΩ 17.22 kΩ 36.42 kΩ Ｒ（850 ℃） 11.08 kΩ 17.93 kΩ 31.52 kΩ Ｒ（900 ℃） 6.62 kΩ 15.39 kΩ 22.13 kΩ ＨＴＣＲ（800 ℃） ＋４８ ＋２５ ＋１２３ ＨＴＣＲ（850 ℃） ＋１２６ −１６ ＋６３ ＨＴＣＲ（900 ℃） ＋３４５ −１４ ＋６９ ΔＲ (850-800) − 5.1％ ＋ 4.1％ −13.5％ ΔＲ (900-850) −40.3％ −14.2％ −29.8％ ΔＨＴＣＲ (850-800) ＋７８ −４１ −６０ ΔＨＴＣＲ (900-850) ＋２１９ ＋２ ＋６ 熱膨脹係数については、比較例１、実施例１および実施
例２のいずれも良好であった。これらの結果から、本発
明は、良好な熱膨脹係数を維持しながら同時にＴＣＲも
改善された厚膜抵抗体を与えるものであることがわか
る。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の厚膜抵抗
体組成物は、鉛パイロクロア（ＰｂＲｕＯ3 ）の分解が
抑制され抵抗値およびＴＣＲの焼成温度依存性が小さい
ため焼成工程におけるＴＣＲのばらつきが小さく且つ熱
膨張係数も小さい厚膜抵抗体を与える。
体組成物は、鉛パイロクロア（ＰｂＲｕＯ3 ）の分解が
抑制され抵抗値およびＴＣＲの焼成温度依存性が小さい
ため焼成工程におけるＴＣＲのばらつきが小さく且つ熱
膨張係数も小さい厚膜抵抗体を与える。
【図１】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸は焼成温度を、縦軸はＲｕＯ2 の割合（ＲｕＯ2 ／
（鉛パイロクロア＋ＲｕＯ2 ））を、それぞれ表わす。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸は焼成温度を、縦軸はＲｕＯ2 の割合（ＲｕＯ2 ／
（鉛パイロクロア＋ＲｕＯ2 ））を、それぞれ表わす。
【図２】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図３】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図４】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図５】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図６】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図７】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
【図８】抵抗体組成物の焼成温度と鉛パイロクロア（Ｐ
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
ｂＲｕＯ3 ）の分解の関係を説明するための図である。
横軸と縦軸は第１図と同様である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェイ・ディ・スミス 神奈川県横浜市港北区新吉田町4997 デュ ポン ジャパン 中央技術研究所内 (72)発明者 ウイリアム・ボーランド 神奈川県横浜市港北区新吉田町4997 デュ ポン ジャパン 中央技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】ルテニウムパイロクロア酸化物５〜３０wt
％およびガラス結合剤１０〜９０wt％を含有する厚膜抵
抗体組成物であって、 該ルテニウムパイロクロア酸化物がＰｂＲｕＯ3 であ
り、 該ガラス結合剤がＰｂＯ ６１〜８５wt％、ＳｉＯ2
１０〜３６wt％およびＢ2 Ｏ3 ０〜２wt％を含有しか
つＰｂＯ、ＳｉＯ2 およびＢ2 Ｏ3 の合計が９５wt％以
上を占める第１のガラスを含み、かつ該ガラス結合剤全
体中にＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラスであり、
さらに該第１のガラスは該厚膜抵抗体組成物の５〜３０
wt％を占め、かつ該ルテニウムパイロクロア酸化物と第
１のガラスとの重量比が５：３０〜６０：４０であるこ
とを特徴とする厚膜抵抗体組成物。 - 【請求項２】ＰｂＲｕＯ3 、ＰｂＯおよびガラス結合剤
を含有する厚膜抵抗体組成物であって、 ＰｂＲｕＯ3 とＰｂＯとの重量比が１：１〜５：１であ
り、 該ガラス結合剤がＢ2 Ｏ3 を２〜２０wt％含有するガラ
スであることを特徴とする厚膜抵抗体組成物。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117701A JPH05335110A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 厚膜抵抗体組成物 |
| PCT/US1993/004187 WO1993023855A1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | Thick film resistor composition |
| EP93911027A EP0594827B1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | Thick film resistor composition |
| DE69325871T DE69325871T2 (de) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | Zusammensetzung fuer einen dickschichtwiderstand |
| KR1019940700060A KR0130831B1 (ko) | 1992-05-11 | 1993-05-10 | 후막 레지스터 조성물(thick film resistor composition) |
| CN93106557A CN1033410C (zh) | 1992-05-11 | 1993-05-11 | 用于制造厚膜电阻器的浆料组合物 |
| TW082103746A TW215965B (en) | 1992-05-11 | 1993-05-11 | Thick film resistor composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117701A JPH05335110A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 厚膜抵抗体組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05335110A true JPH05335110A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=14718171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4117701A Pending JPH05335110A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 厚膜抵抗体組成物 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0594827B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05335110A (ja) |
| KR (1) | KR0130831B1 (ja) |
| CN (1) | CN1033410C (ja) |
| DE (1) | DE69325871T2 (ja) |
| TW (1) | TW215965B (ja) |
| WO (1) | WO1993023855A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100365692B1 (ko) | 2000-02-24 | 2002-12-26 | 삼성전자 주식회사 | 토너 화상 정착을 위한 직접 가열 롤러 및 그 제조 방법 |
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