JPH05337774A - 二次元位置決め装置 - Google Patents
二次元位置決め装置Info
- Publication number
- JPH05337774A JPH05337774A JP17759392A JP17759392A JPH05337774A JP H05337774 A JPH05337774 A JP H05337774A JP 17759392 A JP17759392 A JP 17759392A JP 17759392 A JP17759392 A JP 17759392A JP H05337774 A JPH05337774 A JP H05337774A
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- JP
- Japan
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- dimensional positioning
- positioning device
- fixed
- memory alloy
- shape memory
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 1
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- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 4
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ノイズやダストが発生しない二次元位置決め
機構を提供する。 【構成】 固定された移動規制手段に薄板状の基板を押
し当てることによって二次元的な位置決めを行う二次元
位置決め装置において、基板を押圧するために所定の方
向に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形を動
作力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手段
と、前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、通
電手段の通電を制御する制御手段を有することを特徴と
する。
機構を提供する。 【構成】 固定された移動規制手段に薄板状の基板を押
し当てることによって二次元的な位置決めを行う二次元
位置決め装置において、基板を押圧するために所定の方
向に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形を動
作力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手段
と、前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、通
電手段の通電を制御する制御手段を有することを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平板や円盤上物体等の
二次元位置決め装置に係わり、殊にクリ−ンな環境での
が要求されるウェ−ハやＬＣＤ等の位置決め装置に好適
な装置に関する。
二次元位置決め装置に係わり、殊にクリ−ンな環境での
が要求されるウェ−ハやＬＣＤ等の位置決め装置に好適
な装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度及び高精度の加工が施されるウェ
−ハやＬＣＤの基板は、加工や検査を行うに当たって高
精度の位置決めが要求される。この位置決め機構は、Ｘ
方向及びＹ方向の押し付け基準面を設け、この押し付け
基準面に向けてウェ−ハやＬＣＤの基板を押し付けるこ
とによって位置決めするものである。この押し付けのた
めのアクチュエ−タとしては、エアシリンダやモ−タ等
が用いられていた。
−ハやＬＣＤの基板は、加工や検査を行うに当たって高
精度の位置決めが要求される。この位置決め機構は、Ｘ
方向及びＹ方向の押し付け基準面を設け、この押し付け
基準面に向けてウェ−ハやＬＣＤの基板を押し付けるこ
とによって位置決めするものである。この押し付けのた
めのアクチュエ−タとしては、エアシリンダやモ−タ等
が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来装置
においても、ダストが発生しないような材質の選択や構
造の改良が提案されているが、エアシリンダやモ−タ自
体の構造からしてその改良にも限界があり、一層の高密
度・高精度加工が要求されるに従って十分対応できない
という問題がある。さらに、これらの駆動機構は構造上
相当程度の空間が必要となるので、位置決め装置自体の
小形化や構造の簡素化にとっての大きな障害であった。
においても、ダストが発生しないような材質の選択や構
造の改良が提案されているが、エアシリンダやモ−タ自
体の構造からしてその改良にも限界があり、一層の高密
度・高精度加工が要求されるに従って十分対応できない
という問題がある。さらに、これらの駆動機構は構造上
相当程度の空間が必要となるので、位置決め装置自体の
小形化や構造の簡素化にとっての大きな障害であった。
【０００４】本発明の目的は、上記従来技術の問題点に
鑑み、ノイズやダストが発生しない二次元位置決め機構
を提供することにある。さらなる目的は、小形化され、
部品点数が少ない位置決め装置を提供することにある。
鑑み、ノイズやダストが発生しない二次元位置決め機構
を提供することにある。さらなる目的は、小形化され、
部品点数が少ない位置決め装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の二次元位置決め
装置は、上記目的を達成するために、次のような構成を
有する。 （１） 固定された移動規制手段に薄板状の基板を押し
当てることによって二次元的な位置決めを行う二次元位
置決め装置において、基板を押圧するために所定の方向
に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形を動作
力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手段と、
前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、通電手
段の通電を制御する制御手段を有することを特徴とす
る。
装置は、上記目的を達成するために、次のような構成を
有する。 （１） 固定された移動規制手段に薄板状の基板を押し
当てることによって二次元的な位置決めを行う二次元位
置決め装置において、基板を押圧するために所定の方向
に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形を動作
力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手段と、
前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、通電手
段の通電を制御する制御手段を有することを特徴とす
る。
【０００６】（２） （１）の移動部材押圧手段は形状
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の両端は給
電端子に固定されていることを特徴とする。
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の両端は給
電端子に固定されていることを特徴とする。
【０００７】（３） （１）の移動部材押圧手段は形状
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の一端は給
電端子を介して装置に固定され、また伸縮する調整部材
を介して装置に接続された給電端子に線材の他端が固定
されていることを特徴とする。
記憶合金からなる線材から構成され、該線材の一端は給
電端子を介して装置に固定され、また伸縮する調整部材
を介して装置に接続された給電端子に線材の他端が固定
されていることを特徴とする。
【０００８】（４） （１）又は（３）の二次元位置決
め装置において、前記移動部材の両翼に固定ロ−ラを設
け、該固定ロ−ラを介して前記移動部材を押圧するよう
に構成したことを特徴とする。
め装置において、前記移動部材の両翼に固定ロ−ラを設
け、該固定ロ−ラを介して前記移動部材を押圧するよう
に構成したことを特徴とする。
【０００９】
【実施例１】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて
説明する。図１は実施例１の装置の平面図である。１は
液晶基板であり、液晶基板１は図示しない搬送装置によ
り位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板１は
位置決め装置により点線部の位置に位置決めされる。２
はＸ方向の押し付けブロックであり、３はＹ方向の押し
付けブロックであり、中心に対向するブロックの面が位
置決めの基準面となっている。
説明する。図１は実施例１の装置の平面図である。１は
液晶基板であり、液晶基板１は図示しない搬送装置によ
り位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板１は
位置決め装置により点線部の位置に位置決めされる。２
はＸ方向の押し付けブロックであり、３はＹ方向の押し
付けブロックであり、中心に対向するブロックの面が位
置決めの基準面となっている。
【００１０】４は形状記憶合金でできた線材であり、こ
の線材の固有の抵抗力により通電するとジュ−ル熱を発
生し、この熱作用により線材は収縮する。線材４の両端
は給電端子５，６に繋がれている。線材４は給電端子
５，６を介して通電可能であり、スイッチ７のオン・オ
フにより通電したり遮電したりする。また、８，９は押
し付けプ−リであり、プ−リ８，９はプ−リと接する線
材の接線方向と直交する方向に直動機構（図示せず）に
より移動可能に構成されている。また、プ−リ８，９に
は外方向（図上の矢印と反対方向）に向うバネ力が働い
ている。１０は固定プ−リであり、固定プ−リ１０を介
して線材４は押し付けプ−リ８，９に接しているので、
線材４の収縮により液晶基盤１をＸ−Ｙ方向にほぼ均等
に押圧することができる。
の線材の固有の抵抗力により通電するとジュ−ル熱を発
生し、この熱作用により線材は収縮する。線材４の両端
は給電端子５，６に繋がれている。線材４は給電端子
５，６を介して通電可能であり、スイッチ７のオン・オ
フにより通電したり遮電したりする。また、８，９は押
し付けプ−リであり、プ−リ８，９はプ−リと接する線
材の接線方向と直交する方向に直動機構（図示せず）に
より移動可能に構成されている。また、プ−リ８，９に
は外方向（図上の矢印と反対方向）に向うバネ力が働い
ている。１０は固定プ−リであり、固定プ−リ１０を介
して線材４は押し付けプ−リ８，９に接しているので、
線材４の収縮により液晶基盤１をＸ−Ｙ方向にほぼ均等
に押圧することができる。
【００１１】以上のような構成の装置において、次にそ
の動作を説明する。液晶基板１は搬送装置により収納位
置から位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板
１は押し付けブロック２，３の内側のほぼ一定の位置に
置かれるが、正確には位置出しされてはいない。スイッ
チ７がオフの時は、プ−リ８，９は外方向（図上の矢印
と反対方向）にバネ力により引っ張られているので、液
晶基板１を押圧しない。液晶基板１の位置決め装置への
搬送完了信号に基づいて、図示しない装置の制御装置に
よりスイッチ７をオンして線材４に通電させると、線材
４の固有の抵抗力によりジュ−ル熱が発生する。この熱
作用により線材４は収縮し、バネ力に抗してプ−リ８，
９を矢印方向に移動する。プ−リ８，９は押圧して液晶
基板１をブロック２，３に押し付けることによって二次
元的な位置決めをする。位置決めが完了したら吸着機構
により液晶基板１を吸着固定し、検査または加工工程に
進む。
の動作を説明する。液晶基板１は搬送装置により収納位
置から位置決め装置に搬送される。搬送された液晶基板
１は押し付けブロック２，３の内側のほぼ一定の位置に
置かれるが、正確には位置出しされてはいない。スイッ
チ７がオフの時は、プ−リ８，９は外方向（図上の矢印
と反対方向）にバネ力により引っ張られているので、液
晶基板１を押圧しない。液晶基板１の位置決め装置への
搬送完了信号に基づいて、図示しない装置の制御装置に
よりスイッチ７をオンして線材４に通電させると、線材
４の固有の抵抗力によりジュ−ル熱が発生する。この熱
作用により線材４は収縮し、バネ力に抗してプ−リ８，
９を矢印方向に移動する。プ−リ８，９は押圧して液晶
基板１をブロック２，３に押し付けることによって二次
元的な位置決めをする。位置決めが完了したら吸着機構
により液晶基板１を吸着固定し、検査または加工工程に
進む。
【００１２】
【実施例２】実施例２は実施例１をさらに改良したもの
である。図２において、１１は装置のフレ−ムである。
給電端子１２はフレ−ム１１に固着され、給電端子１３
はスプリング１４を介してフレ−ム１１に固定されてい
る。１５は０．２mm径の形状記憶合金からなる線材であ
り、その両端は給電端子１２と１３に接続されている。
１６は固定ロ−ラであり、フレ−ム１１に固定配置され
る。１７はＸ軸用，１８はＹ軸用の押し付けロ−ラであ
り、それぞれＸ軸またはＹ軸方向に直動する。１９はＸ
軸方向の位置規定用ピンであり、２０はＹ軸方向の位置
規定用ピンである。実施例１に対する実施例２の装置の
特徴は、線材の伸縮による押し付けロ−ラの移動量が大
きくなるように構成にしたことと、基板に対する押圧力
をスプリング１４により調整可能にした点である。
である。図２において、１１は装置のフレ−ムである。
給電端子１２はフレ−ム１１に固着され、給電端子１３
はスプリング１４を介してフレ−ム１１に固定されてい
る。１５は０．２mm径の形状記憶合金からなる線材であ
り、その両端は給電端子１２と１３に接続されている。
１６は固定ロ−ラであり、フレ−ム１１に固定配置され
る。１７はＸ軸用，１８はＹ軸用の押し付けロ−ラであ
り、それぞれＸ軸またはＹ軸方向に直動する。１９はＸ
軸方向の位置規定用ピンであり、２０はＹ軸方向の位置
規定用ピンである。実施例１に対する実施例２の装置の
特徴は、線材の伸縮による押し付けロ−ラの移動量が大
きくなるように構成にしたことと、基板に対する押圧力
をスプリング１４により調整可能にした点である。
【００１３】以上の実施例は種々の変容が可能であり、
これらの変容も技術思想を同一にする限りで、本発明に
含まれるものである。。
これらの変容も技術思想を同一にする限りで、本発明に
含まれるものである。。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、ノイズやダストが発生
しない二次元位置決め機構を提供でき、さらには、小形
化され、部品点数が少ない位置決め装置を提供すること
ができる。
しない二次元位置決め機構を提供でき、さらには、小形
化され、部品点数が少ない位置決め装置を提供すること
ができる。
【図１】実施例１の二次元位置決め装置を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】実施例２の二次元位置決め装置を示す説明図で
ある。
ある。
１ 液晶基板 ２，３ 押し付けブロック ４ 線材 ５，６ 給電端子 ７ スイッチ ８，９ プ−リ １０ 固定プ−リ
Claims (4)
- 【請求項１】 固定された移動規制手段に薄板状の基板
を押し当てることによって二次元的な位置決めを行う二
次元位置決め装置において、基板を押圧するために所定
の方向に移動可能な移動部材と、形状記憶合金の熱変形
を動作力として前記移動部材を押圧する移動部材押圧手
段と、前記形状記憶合金に通電するための通電手段と、
通電手段の通電を制御する制御手段を有することを特徴
とする二次元位置決め装置。 - 【請求項２】 請求項１の移動部材押圧手段は形状記憶
合金からなる線材から構成され、該線材の両端は給電端
子に固定されていることを特徴とする二次元位置決め装
置。 - 【請求項３】 請求項１の移動部材押圧手段は形状記憶
合金からなる線材から構成され、該線材の一端は給電端
子を介して装置に固定され、また伸縮する調整部材を介
して装置に接続された給電端子に線材の他端が固定され
ていることを特徴とする二次元位置決め装置。 - 【請求項４】 請求項２又は３の二次元位置決め装置に
おいて、前記移動部材の両翼に固定ロ−ラを設け、該固
定ロ−ラを介して前記移動部材を押圧するように構成し
たことを特徴とする二次元位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17759392A JPH05337774A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 二次元位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17759392A JPH05337774A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 二次元位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337774A true JPH05337774A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=16033709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17759392A Pending JPH05337774A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 二次元位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05337774A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015139855A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | ファナック株式会社 | 二つの基準面にワークを位置決めするワーク位置決め装置 |
| GB2641783A (en) * | 2024-06-12 | 2025-12-17 | Asmpt Smt Singapore Pte Ltd | Workpiece support assembly |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP17759392A patent/JPH05337774A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015139855A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | ファナック株式会社 | 二つの基準面にワークを位置決めするワーク位置決め装置 |
| US9333610B2 (en) | 2014-01-29 | 2016-05-10 | Fanuc Corporation | Workpiece positioning device positioning workpiece at two reference surfaces |
| GB2641783A (en) * | 2024-06-12 | 2025-12-17 | Asmpt Smt Singapore Pte Ltd | Workpiece support assembly |
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