JPH05340843A - フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相 つなぎ方法 - Google Patents
フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相 つなぎ方法Info
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- JPH05340843A JPH05340843A JP4171718A JP17171892A JPH05340843A JP H05340843 A JPH05340843 A JP H05340843A JP 4171718 A JP4171718 A JP 4171718A JP 17171892 A JP17171892 A JP 17171892A JP H05340843 A JPH05340843 A JP H05340843A
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- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 干渉縞パターン中にゴミや欠陥が存在して、
一部の位相データが欠落しても連続的な位相分布を得る
ことのできる位相つなぎ方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 フリンジスキャニング干渉測定方式により、
測定光と参照光とをエリアセンサー上で干渉せしめ、参
照光の位相を段階的に変化させ、その各段階での干渉縞
の強度値を読み取り、そのデータに基づき演算処理を行
って各点での位相を求める方法において、求めた位相デ
ータ領域を一方向でスキャンし、各スキャニングライン
毎に位相データが連続して存在する連続位相領域を検出
し（ステップＳ１）、この中で位相つなぎを行うステッ
プＳ２と、前記方向と直交する方向で前記連続位相領域
同士の位相つなぎを行うステップＳ３とにより、連続的
な位相分布を求める。
一部の位相データが欠落しても連続的な位相分布を得る
ことのできる位相つなぎ方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 フリンジスキャニング干渉測定方式により、
測定光と参照光とをエリアセンサー上で干渉せしめ、参
照光の位相を段階的に変化させ、その各段階での干渉縞
の強度値を読み取り、そのデータに基づき演算処理を行
って各点での位相を求める方法において、求めた位相デ
ータ領域を一方向でスキャンし、各スキャニングライン
毎に位相データが連続して存在する連続位相領域を検出
し（ステップＳ１）、この中で位相つなぎを行うステッ
プＳ２と、前記方向と直交する方向で前記連続位相領域
同士の位相つなぎを行うステップＳ３とにより、連続的
な位相分布を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフリンジスキャニング干
渉測定方式における波面の位相つなぎ方法に関する。
渉測定方式における波面の位相つなぎ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フリンジスキャニング干渉測定方式は、
参照光の位相変化により物体光と参照光との位相差をＮ
段階（但し、Ｎは整数）に変化させ、その各段階での干
渉縞パターンを２次元エリアセンサーで読み取り、光電
変換し、デジタル化して、
参照光の位相変化により物体光と参照光との位相差をＮ
段階（但し、Ｎは整数）に変化させ、その各段階での干
渉縞パターンを２次元エリアセンサーで読み取り、光電
変換し、デジタル化して、
【０００３】
【数１】
【０００４】上記数１により、位相Ｗ（Ｘ，Ｙ）を求め
る方法として知られている。ただし、数１において、Ｉ
j （Ｘ，Ｙ）はｊ段階目の位相変化における干渉縞パタ
ーンの（Ｘ，Ｙ）位置における光強度であり、ｋはλを
光の波長とするときの波数２π／λである。また、ｌj
＝（λ／２π）ｊでｊ段階目の位相変化量である。数１
に従って波面形状を求めるのであるが、ｔａｎ-1演算は
値が主値（−π／２からπ／２）に限られ、実際には連
続的な位相分布もπだけ位相が不連続となる所が生じ
る。従って、位相飛びの方向（−π／２からπ／２か、
またはπ／２から−π／２）を２次元的に判断し、補正
して連続的な位相分布を求める必要がある。
る方法として知られている。ただし、数１において、Ｉ
j （Ｘ，Ｙ）はｊ段階目の位相変化における干渉縞パタ
ーンの（Ｘ，Ｙ）位置における光強度であり、ｋはλを
光の波長とするときの波数２π／λである。また、ｌj
＝（λ／２π）ｊでｊ段階目の位相変化量である。数１
に従って波面形状を求めるのであるが、ｔａｎ-1演算は
値が主値（−π／２からπ／２）に限られ、実際には連
続的な位相分布もπだけ位相が不連続となる所が生じ
る。従って、位相飛びの方向（−π／２からπ／２か、
またはπ／２から−π／２）を２次元的に判断し、補正
して連続的な位相分布を求める必要がある。
【０００５】従来知られている位相分布の求め方として
は、特開平３−２１８４３１号公報に開示された技術が
ある。これは、図８のフローチャートに示すように、前
記数１によって求められた位相データをＸ方向にスキャ
ンして各画素（Ｘi ，Ｙi ）における補正値δ
x （Ｘi ，Ｙi ）をＸ＝Ｘc のライン上での値を基準と
して求める。次に、Ｘ＝Ｘc のライン上でＹ方向の補正
値δy （Ｘi ，Ｙi ）をＹ＝Ｙc での値を基準として求
める。最後に、上記の如く求められた補正値δ
x （Ｘi，Ｙi ）、δy （Ｘi ，Ｙi ）を各画素
（Ｘi ，Ｙi ）での位相データに加え合わせて連続的な
位相分布を得ていた。
は、特開平３−２１８４３１号公報に開示された技術が
ある。これは、図８のフローチャートに示すように、前
記数１によって求められた位相データをＸ方向にスキャ
ンして各画素（Ｘi ，Ｙi ）における補正値δ
x （Ｘi ，Ｙi ）をＸ＝Ｘc のライン上での値を基準と
して求める。次に、Ｘ＝Ｘc のライン上でＹ方向の補正
値δy （Ｘi ，Ｙi ）をＹ＝Ｙc での値を基準として求
める。最後に、上記の如く求められた補正値δ
x （Ｘi，Ｙi ）、δy （Ｘi ，Ｙi ）を各画素
（Ｘi ，Ｙi ）での位相データに加え合わせて連続的な
位相分布を得ていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
技術においては、一方向でのスキャニングライン上の前
後２点間での位相のみから位相飛びを判定していたた
め、前の画素の位相データが欠落している場合には位相
飛びを判定することができず、位相つなぎが不連続にな
るという問題点があった。
技術においては、一方向でのスキャニングライン上の前
後２点間での位相のみから位相飛びを判定していたた
め、前の画素の位相データが欠落している場合には位相
飛びを判定することができず、位相つなぎが不連続にな
るという問題点があった。
【０００７】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、干渉縞パターン中にゴミや欠陥が存在して、一部の
位相データが欠落しても連続的な位相分布を得ることの
できる位相つなぎ方法を提供することを目的とする。
で、干渉縞パターン中にゴミや欠陥が存在して、一部の
位相データが欠落しても連続的な位相分布を得ることの
できる位相つなぎ方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の位相つなぎ方法では、フリンジスキャニング
干渉測定方式により、測定光と参照光とをエリアセンサ
ー上で干渉せしめ、参照光の位相を段階的に変化させ、
その各段階での干渉縞の強度値を読み取り、そのデータ
に基づき演算処理を行って各点での位相を求める方法に
おいて、求めた位相データ領域を一方向でスキャンし、
各スキャニングライン毎に位相データが連続して存在す
る連続位相領域中で位相つなぎを行う第一ステップと、
前記方向と直交する方向で前記連続位相領域同士の位相
つなぎを行う第二ステップとにより、連続的な位相分布
を求めることを特徴としている。
に本発明の位相つなぎ方法では、フリンジスキャニング
干渉測定方式により、測定光と参照光とをエリアセンサ
ー上で干渉せしめ、参照光の位相を段階的に変化させ、
その各段階での干渉縞の強度値を読み取り、そのデータ
に基づき演算処理を行って各点での位相を求める方法に
おいて、求めた位相データ領域を一方向でスキャンし、
各スキャニングライン毎に位相データが連続して存在す
る連続位相領域中で位相つなぎを行う第一ステップと、
前記方向と直交する方向で前記連続位相領域同士の位相
つなぎを行う第二ステップとにより、連続的な位相分布
を求めることを特徴としている。
【０００９】
【作用】次に、本発明の位相つなぎ方法の作用を図１の
フローチャートにより説明する。まず、ステップＳ１で
は、Ｘ方向での連続位相領域Ｌjkを検出する。即ち、前
記数１によって求められた位相データを、図２に示すよ
うに、Ｘ方向に順次スキャンして各スキャニングライン
上で位相データが連続して存在する領域を検出する。こ
こで、ｊ番目のスキャニングライン上でのｋ番目の連続
位相領域をＬjkとする。
フローチャートにより説明する。まず、ステップＳ１で
は、Ｘ方向での連続位相領域Ｌjkを検出する。即ち、前
記数１によって求められた位相データを、図２に示すよ
うに、Ｘ方向に順次スキャンして各スキャニングライン
上で位相データが連続して存在する領域を検出する。こ
こで、ｊ番目のスキャニングライン上でのｋ番目の連続
位相領域をＬjkとする。
【００１０】次に、ステップＳ２では、連続位相領域Ｌ
jk内で位相つなぎを行う。即ち、領域Ｌjk内での位相分
布は、図３に示すように、−π／２からπ／２までの値
をとり、πだけの位相飛びを生じる部分がある。これを
補正する手段として隣合う２点（Ｘi-1 ，Ｙj ），（Ｘ
i ，Ｙj ）間の位相差ΔＷ、すなわち、 ΔＷ＝Ｗ（Ｘi ，Ｙj ）−Ｗ（Ｘi-1 ，Ｙj ） ・・・（２） の絶対値｜ΔＷ｜が、あるしきい値θよりも大きい場合
は位相飛びがあると判定し、そうでなければ連続である
と判定する。そして、位相飛びが生じた場合にはΔＷの
正負に応じて次のような補正値δ（Ｘi ，Ｙj ） （但
し、（Ｘi ，Ｙj ）∈Ｌjk）を与える。 ｜ΔＷ｜＞θ かつ ΔＷ＜０ のとき δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ）＋π ｜ΔＷ｜＞θ かつ ΔＷ＞０ のとき δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ）−π それ以外の場合には、 δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ） とする。ただし、各領域Ｌjkの始点での補正値を０とす
る。以上の如く求められた補正値δ（Ｘi ，Ｙj ）を各
領域Ｌjk中の全ての位相データＷ（Ｘi ，Ｙj ）に加え
合わせたものをＷ’（Ｘi ，Ｙj ）とする。即ち、 Ｗ’（Ｘi ，Ｙj ）＝Ｗ（Ｘi ，Ｙj ）＋δ（Ｘi ，Ｙj ） ・・・（３） である。
jk内で位相つなぎを行う。即ち、領域Ｌjk内での位相分
布は、図３に示すように、−π／２からπ／２までの値
をとり、πだけの位相飛びを生じる部分がある。これを
補正する手段として隣合う２点（Ｘi-1 ，Ｙj ），（Ｘ
i ，Ｙj ）間の位相差ΔＷ、すなわち、 ΔＷ＝Ｗ（Ｘi ，Ｙj ）−Ｗ（Ｘi-1 ，Ｙj ） ・・・（２） の絶対値｜ΔＷ｜が、あるしきい値θよりも大きい場合
は位相飛びがあると判定し、そうでなければ連続である
と判定する。そして、位相飛びが生じた場合にはΔＷの
正負に応じて次のような補正値δ（Ｘi ，Ｙj ） （但
し、（Ｘi ，Ｙj ）∈Ｌjk）を与える。 ｜ΔＷ｜＞θ かつ ΔＷ＜０ のとき δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ）＋π ｜ΔＷ｜＞θ かつ ΔＷ＞０ のとき δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ）−π それ以外の場合には、 δ（Ｘi ，Ｙj ）＝δ（Ｘi-1 ，Ｙj ） とする。ただし、各領域Ｌjkの始点での補正値を０とす
る。以上の如く求められた補正値δ（Ｘi ，Ｙj ）を各
領域Ｌjk中の全ての位相データＷ（Ｘi ，Ｙj ）に加え
合わせたものをＷ’（Ｘi ，Ｙj ）とする。即ち、 Ｗ’（Ｘi ，Ｙj ）＝Ｗ（Ｘi ，Ｙj ）＋δ（Ｘi ，Ｙj ） ・・・（３） である。
【００１１】次に、ステップＳ３では、上記の処理で得
られた連続位相領域Ｌjkでの位相データとＹ方向に隣合
う連続位相領域Ｌ(j-1)1またはＬ(j+1)mでの位相データ
とが連続的につながるように以下の処理を行う。即ち、
図４に示すように、ｊ行目のｋ番目の連続位相領域Ｌjk
中での任意の位相データのうち同じ列でＹ方向に１行だ
け上の画素に位相データＷｐ’（Ｌ(j-1)k）が存在する
ものをＷｐ’（Ｌjk）とする。Ｗｐ’（Ｌjk）とＷｐ’
（Ｌ(j-1)k）との位相差ΔＷｐ’、即ち、 ΔＷｐ’＝Ｗｐ’（Ｌjk）−Ｗｐ’（Ｌ(j-1)k） ・・・（４） の絶対値｜ΔＷｐ’｜があるしきい値θより小さい場合
は、Ｗｐ’（Ｌjk）にπを加減して、 ΔＷｐ’＝（Ｗｐ’（Ｌjk）±ｎπ）−Ｗｐ’（Ｌ(j-1)k） （ｎ：整数）・・・（５） により、｜ΔＷｐ’｜がθより小さくなるまでπの加減
をｎ回繰り返す。そして、｜ΔＷｐ’｜＜θとなったら
領域Ｌjk中の全ての位相データＷ’（Ｘi ，Ｙj）に対
して、 Ｗ”（Ｘi ，Ｙj ）＝Ｗ’（Ｘi ，Ｙj ）±ｎπ （但し、（Ｘi ，Ｙj ）∈Ｌjk）・・・（６） を計算する。ここで、Ｌjk中の全ての位相データＷｐ’
（Ｌjk）に対してＷｐ’（Ｌ(j-1)k）が存在しない場合
は全ての位相領域の処理が終了した後に、領域Ｌjk中の
位相データのうち同じ列でＹ方向に１行だけ下の画素に
位相データＷｑ”（Ｌ(j+1)k）が存在するものをＷｑ’
（Ｌjk）とすると、Ｗｑ’（Ｌjk）とＷ”（Ｌ(j+1)k）
との位相差ΔＷｑ’、即ち、 ΔＷｑ’＝Ｗｑ’（Ｌjk）−Ｗ”（Ｌ(j+1)k） ・・・（７） の絶対値｜ΔＷｑ’｜があるしきい値θより小さくなる
ようにＷｑ’（Ｌjk）にπを加減して、 ΔＷｑ’＝（Ｗｑ’（Ｌjk）±ｎπ）−Ｗｑ”（Ｌ(j-1)k） （ｎ：整数）・・・（８） により、｜ΔＷｑ’｜がθより小さくなるまでπの加減
をｎ回繰り返す。｜ΔＷｑ’｜＜θとなったら、（６）
式に従ってＷ”（Ｘi ，Ｙj ）を計算する。Ｗ”
（Ｘi ，Ｙj ）が求めるべき連続位相分布である。
られた連続位相領域Ｌjkでの位相データとＹ方向に隣合
う連続位相領域Ｌ(j-1)1またはＬ(j+1)mでの位相データ
とが連続的につながるように以下の処理を行う。即ち、
図４に示すように、ｊ行目のｋ番目の連続位相領域Ｌjk
中での任意の位相データのうち同じ列でＹ方向に１行だ
け上の画素に位相データＷｐ’（Ｌ(j-1)k）が存在する
ものをＷｐ’（Ｌjk）とする。Ｗｐ’（Ｌjk）とＷｐ’
（Ｌ(j-1)k）との位相差ΔＷｐ’、即ち、 ΔＷｐ’＝Ｗｐ’（Ｌjk）−Ｗｐ’（Ｌ(j-1)k） ・・・（４） の絶対値｜ΔＷｐ’｜があるしきい値θより小さい場合
は、Ｗｐ’（Ｌjk）にπを加減して、 ΔＷｐ’＝（Ｗｐ’（Ｌjk）±ｎπ）−Ｗｐ’（Ｌ(j-1)k） （ｎ：整数）・・・（５） により、｜ΔＷｐ’｜がθより小さくなるまでπの加減
をｎ回繰り返す。そして、｜ΔＷｐ’｜＜θとなったら
領域Ｌjk中の全ての位相データＷ’（Ｘi ，Ｙj）に対
して、 Ｗ”（Ｘi ，Ｙj ）＝Ｗ’（Ｘi ，Ｙj ）±ｎπ （但し、（Ｘi ，Ｙj ）∈Ｌjk）・・・（６） を計算する。ここで、Ｌjk中の全ての位相データＷｐ’
（Ｌjk）に対してＷｐ’（Ｌ(j-1)k）が存在しない場合
は全ての位相領域の処理が終了した後に、領域Ｌjk中の
位相データのうち同じ列でＹ方向に１行だけ下の画素に
位相データＷｑ”（Ｌ(j+1)k）が存在するものをＷｑ’
（Ｌjk）とすると、Ｗｑ’（Ｌjk）とＷ”（Ｌ(j+1)k）
との位相差ΔＷｑ’、即ち、 ΔＷｑ’＝Ｗｑ’（Ｌjk）−Ｗ”（Ｌ(j+1)k） ・・・（７） の絶対値｜ΔＷｑ’｜があるしきい値θより小さくなる
ようにＷｑ’（Ｌjk）にπを加減して、 ΔＷｑ’＝（Ｗｑ’（Ｌjk）±ｎπ）−Ｗｑ”（Ｌ(j-1)k） （ｎ：整数）・・・（８） により、｜ΔＷｑ’｜がθより小さくなるまでπの加減
をｎ回繰り返す。｜ΔＷｑ’｜＜θとなったら、（６）
式に従ってＷ”（Ｘi ，Ｙj ）を計算する。Ｗ”
（Ｘi ，Ｙj ）が求めるべき連続位相分布である。
【００１２】以上説明した手順に従って処理を行えば、
図５（Ａ）に示したような、位相飛びが生じた位相分布
から、図５（Ｂ）に示すような、連続的な位相分布を得
ることができる。
図５（Ａ）に示したような、位相飛びが生じた位相分布
から、図５（Ｂ）に示すような、連続的な位相分布を得
ることができる。
【００１３】
【実施例１】以下、添付図面を参照して本発明に係る位
相つなぎ方法の実施例を説明する。まず、本発明の実施
例１を説明する。図６は本発明の実施例１を説明する図
である。実施例１では、図１のステップＳ１に対応する
手順、即ち、Ｘ方向で領域Ｌjkを検出する際に、各領域
Ｌjkの始点と終点との座標を記憶しておいて、その座標
から各領域の中点Ｍjkを算出し、その点での位相データ
を用いてＹ方向で各領域Ｌjk同士の位相つなぎ（図１の
ステップＳ３に対応する）を行う。
相つなぎ方法の実施例を説明する。まず、本発明の実施
例１を説明する。図６は本発明の実施例１を説明する図
である。実施例１では、図１のステップＳ１に対応する
手順、即ち、Ｘ方向で領域Ｌjkを検出する際に、各領域
Ｌjkの始点と終点との座標を記憶しておいて、その座標
から各領域の中点Ｍjkを算出し、その点での位相データ
を用いてＹ方向で各領域Ｌjk同士の位相つなぎ（図１の
ステップＳ３に対応する）を行う。
【００１４】各領域Ｌjkの端点付近の位相データはノイ
ズの影響を受けやすく誤差が含まれている可能性がある
が、本実施例では中点での位相データを用いるので、よ
り測定精度が向上する。
ズの影響を受けやすく誤差が含まれている可能性がある
が、本実施例では中点での位相データを用いるので、よ
り測定精度が向上する。
【００１５】
【実施例２】次に、本発明の実施例２を説明する。図７
は本発明の実施例２を説明する図である。実施例２で
は、図１のステップＳ１に対応する手順、即ち、Ｘ方向
で領域Ｌjkを検出する際に、Ｙ方向で上下端での領域
と、それ以外の領域の始点と終点での位相データをカッ
トした後で、図１のステップＳ２以下の処理を行う。
は本発明の実施例２を説明する図である。実施例２で
は、図１のステップＳ１に対応する手順、即ち、Ｘ方向
で領域Ｌjkを検出する際に、Ｙ方向で上下端での領域
と、それ以外の領域の始点と終点での位相データをカッ
トした後で、図１のステップＳ２以下の処理を行う。
【００１６】干渉縞のアパーチャ周辺付近及びゴミや欠
陥等による位相データの欠落領域付近の位相データはノ
イズの影響を受けやすく誤差が含まれている可能性があ
るが、本実施例ではかかる誤差を含むデータを排除する
ので、より測定精度が向上する。
陥等による位相データの欠落領域付近の位相データはノ
イズの影響を受けやすく誤差が含まれている可能性があ
るが、本実施例ではかかる誤差を含むデータを排除する
ので、より測定精度が向上する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の位相つな
ぎ方法によれば、ゴミや欠陥の存在する干渉縞や、形状
的に穴が明いている被検物の干渉縞にも適用が可能であ
り、しかも、測定精度を向上することができる。
ぎ方法によれば、ゴミや欠陥の存在する干渉縞や、形状
的に穴が明いている被検物の干渉縞にも適用が可能であ
り、しかも、測定精度を向上することができる。
【図１】本発明の位相つなぎ方法を示すフローチャート
である。
である。
【図２】図１のステップＳ１の処理を説明する図であ
る。
る。
【図３】図１のステップＳ２の処理を説明する図であ
る。
る。
【図４】図１のステップＳ３の処理を説明する図であ
る。
る。
【図５】本発明により得られる連続位相分布を説明する
図である。
図である。
【図６】本発明の実施例１を説明する図である。
【図７】本発明の実施例２を説明する図である。
【図８】従来の位相つなぎ方法を示すフローチャートで
ある。
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】 フリンジスキャニング干渉測定方式によ
り、測定光と参照光とをエリアセンサー上で干渉せし
め、参照光の位相を段階的に変化させ、その各段階での
干渉縞の強度値を読み取り、そのデータに基づき演算処
理を行って各点での位相を求める方法において、求めた
位相データ領域を一方向でスキャンし、各スキャニング
ライン毎に位相データが連続して存在する連続位相領域
中で位相つなぎを行う第一ステップと、前記方向と直交
する方向で前記連続位相領域同士の位相つなぎを行う第
二ステップとにより、連続的な位相分布を求めることを
特徴とする位相つなぎ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17171892A JP3148001B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17171892A JP3148001B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340843A true JPH05340843A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3148001B2 JP3148001B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=15928386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17171892A Expired - Lifetime JP3148001B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | フリンジスキャニング干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148001B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009236706A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Kobe Steel Ltd | 形状算出装置，形状算出プログラム，形状算出方法，形状測定装置 |
| JP2010121977A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP17171892A patent/JP3148001B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009236706A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Kobe Steel Ltd | 形状算出装置，形状算出プログラム，形状算出方法，形状測定装置 |
| JP2010121977A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3148001B2 (ja) | 2001-03-19 |
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