JPH0534280A - 赤外線吸収式湿度変動計 - Google Patents
赤外線吸収式湿度変動計Info
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- JPH0534280A JPH0534280A JP18765291A JP18765291A JPH0534280A JP H0534280 A JPH0534280 A JP H0534280A JP 18765291 A JP18765291 A JP 18765291A JP 18765291 A JP18765291 A JP 18765291A JP H0534280 A JPH0534280 A JP H0534280A
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 赤外線吸収式湿度変動計の検出器を小型化
し、測定精度を上げ、装置の寿命を伸ばす。 【構成】 赤外線吸収式湿度変動計は検出器Aと装置本
体Bで構成されている。検出器Aは投光ヘッド10と受
光ヘッド20からなっているが、投光ヘッド10にはチ
ョッパーブレードとチョッピングモータは設けられてい
ない。一方、装置本体Bにはチョッピング回路42が設
けられており、このチョッピング回路42は10Hzの
ゲート信号を光電源回路41に出力し、投光ヘッド10
のタングステンランプ12への電流をオン/オフし、タ
ングステンランプ12を点滅させる。
し、測定精度を上げ、装置の寿命を伸ばす。 【構成】 赤外線吸収式湿度変動計は検出器Aと装置本
体Bで構成されている。検出器Aは投光ヘッド10と受
光ヘッド20からなっているが、投光ヘッド10にはチ
ョッパーブレードとチョッピングモータは設けられてい
ない。一方、装置本体Bにはチョッピング回路42が設
けられており、このチョッピング回路42は10Hzの
ゲート信号を光電源回路41に出力し、投光ヘッド10
のタングステンランプ12への電流をオン/オフし、タ
ングステンランプ12を点滅させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は測定光路上の水分による
赤外線吸収量を測定することにより空気中の湿度変動を
測定する赤外線吸収式湿度変動計に関する。
赤外線吸収量を測定することにより空気中の湿度変動を
測定する赤外線吸収式湿度変動計に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の赤外線吸収式湿度変動計の
検出器の構成図、図5はチョッパーブレード64の平面
図、図6は交流電圧信号を示す図である。
検出器の構成図、図5はチョッパーブレード64の平面
図、図6は交流電圧信号を示す図である。
【0003】図4に示す検出器は投光ヘッド60と受光
ヘッド70とから構成され、投光ヘッド60は、発光源
であるタングステンランプ61(12V,40W)と、
集光レンズである赤外レンズ62、63、64と、赤外
レンズ63と64の間におかれ、図5に示すように、長
穴65a、65bを有するチョッパーブレード65と、
チョッパーブレード65を回転させるチョッパーモータ
66と、赤外窓67で構成され、受光ヘッド70は赤外
窓71と、赤外レンズ72と、赤外フィルター73と、
受光素子であるPbS検知器74で構成されている。
ヘッド70とから構成され、投光ヘッド60は、発光源
であるタングステンランプ61(12V,40W)と、
集光レンズである赤外レンズ62、63、64と、赤外
レンズ63と64の間におかれ、図5に示すように、長
穴65a、65bを有するチョッパーブレード65と、
チョッパーブレード65を回転させるチョッパーモータ
66と、赤外窓67で構成され、受光ヘッド70は赤外
窓71と、赤外レンズ72と、赤外フィルター73と、
受光素子であるPbS検知器74で構成されている。
【0004】タングステンランプ61からの光はレンズ
62、63、64を経て赤外窓67から受光ヘッド70
に向けて出射され、赤外窓71から受光ヘッド70に入
射し、赤外レンズ72、赤外フィルター73を経てPb
S検知器74で検知される、その際、チョッパーブレー
ド65を回転させて測定光路上の光をオン/オフするこ
とにより、図6に示す交流電圧信号が得られる。
62、63、64を経て赤外窓67から受光ヘッド70
に向けて出射され、赤外窓71から受光ヘッド70に入
射し、赤外レンズ72、赤外フィルター73を経てPb
S検知器74で検知される、その際、チョッパーブレー
ド65を回転させて測定光路上の光をオン/オフするこ
とにより、図6に示す交流電圧信号が得られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の赤外線
吸収式湿度変動計は、検出器がチョッパーブレードを用
いるためにチョッパーブレードの回転むらがノイズの原
因となること、検出器全体が大きくなり測定空間の気流
の擾乱が大きくなり、その結果測定精度が下がること、
集光レンズが大きく光学系が複雑であること、モータを
使用することにより寿命の問題があることなどの欠点が
あった。
吸収式湿度変動計は、検出器がチョッパーブレードを用
いるためにチョッパーブレードの回転むらがノイズの原
因となること、検出器全体が大きくなり測定空間の気流
の擾乱が大きくなり、その結果測定精度が下がること、
集光レンズが大きく光学系が複雑であること、モータを
使用することにより寿命の問題があることなどの欠点が
あった。
【0006】本発明の目的は、これらの欠点を解消した
赤外線吸収式湿度変動計を提供することである。
赤外線吸収式湿度変動計を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の赤外線吸収式湿
度変動計は、検出器の投光ヘッドが、両端が開口した筒
状の筺体と、該筺体の一端に取付けられた発光源と、該
筺体の他端に取付けられた赤外窓と、前記発光源からの
赤外光を集光し、前記赤外窓から測定部に出射させる赤
外レンズとを含み、検出器の受光ヘッドが、両端が開口
した筒状の筺体と、該筺体の一端に取付けられた受光素
子と、該受光素子の手前に設けられた赤外フィルタと、
該筺体の他端に取付けられた赤外窓と、前記測定部を通
過し、該赤外窓から該筺体内に入射した赤外光を前記赤
外フィルタを通って前記受光素子上に集光させる赤外レ
ンズとを含み、前記発光源の電源回路である光電源回路
を制御し、前記発光源に印加される電流を所定の周波数
でオン/オフするチョッピング回路を有する。
度変動計は、検出器の投光ヘッドが、両端が開口した筒
状の筺体と、該筺体の一端に取付けられた発光源と、該
筺体の他端に取付けられた赤外窓と、前記発光源からの
赤外光を集光し、前記赤外窓から測定部に出射させる赤
外レンズとを含み、検出器の受光ヘッドが、両端が開口
した筒状の筺体と、該筺体の一端に取付けられた受光素
子と、該受光素子の手前に設けられた赤外フィルタと、
該筺体の他端に取付けられた赤外窓と、前記測定部を通
過し、該赤外窓から該筺体内に入射した赤外光を前記赤
外フィルタを通って前記受光素子上に集光させる赤外レ
ンズとを含み、前記発光源の電源回路である光電源回路
を制御し、前記発光源に印加される電流を所定の周波数
でオン/オフするチョッピング回路を有する。
【0008】
【作用】発光源の電流をオン/オフ繰返し制御するの
で、チョッパーブレードおよびチョッパーモータが不要
となり、集光レンズを投・受光部各1枚で構成する小型
で簡易な構造の検出器が得られる。また、測定空間の気
流の擾乱が少なくなるため、測定精度が向上し、モータ
を使用しないことにより装置の寿命も伸びる。
で、チョッパーブレードおよびチョッパーモータが不要
となり、集光レンズを投・受光部各1枚で構成する小型
で簡易な構造の検出器が得られる。また、測定空間の気
流の擾乱が少なくなるため、測定精度が向上し、モータ
を使用しないことにより装置の寿命も伸びる。
【0009】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を説明す
る。
る。
【0010】図1は本発明の一実施例の赤外線吸収式湿
度変動計のブロック図、図2は検出器Aの縦断面図、図
3(1)はタングステンランプ12の点滅の波形図、図
3(2)は光電源回路41の出力電圧の波形図、図3
(3)は図3(2)の出力電圧に対応する出力電流の波
形図である。
度変動計のブロック図、図2は検出器Aの縦断面図、図
3(1)はタングステンランプ12の点滅の波形図、図
3(2)は光電源回路41の出力電圧の波形図、図3
(3)は図3(2)の出力電圧に対応する出力電流の波
形図である。
【0011】検出器Aは、円周上に等間隔に配置された
3本の棒で囲まれた測定部30を介して互いに対向して
配置された投光ヘッド10と受光ヘッド20とから構成
されている。投光ヘッド10は、筒状の筺体11と、発
光源であるタングステンランプ12と、集光レンズであ
る赤外レンズ13と、赤外窓14で構成され、受光ヘッ
ド20は、筒状の筺体21と、赤外窓22と、集光レン
ズである赤外レンズ23と、赤外フィルター24と、受
光素子25と、プリアンプ26で構成されている。
3本の棒で囲まれた測定部30を介して互いに対向して
配置された投光ヘッド10と受光ヘッド20とから構成
されている。投光ヘッド10は、筒状の筺体11と、発
光源であるタングステンランプ12と、集光レンズであ
る赤外レンズ13と、赤外窓14で構成され、受光ヘッ
ド20は、筒状の筺体21と、赤外窓22と、集光レン
ズである赤外レンズ23と、赤外フィルター24と、受
光素子25と、プリアンプ26で構成されている。
【0012】装置本体Bは光電源回路41、チョッピン
グ回路42、増幅器43、差動増幅器44、マルチプレ
クサ45、サンプル・ホールド回路46、A/D変換器
47、D/A変換器48、ディジタル入出力回路49、
同期入力回路50、ROM51、RAM52、D/A変
換器53、CPU54、バス55からなっている。
グ回路42、増幅器43、差動増幅器44、マルチプレ
クサ45、サンプル・ホールド回路46、A/D変換器
47、D/A変換器48、ディジタル入出力回路49、
同期入力回路50、ROM51、RAM52、D/A変
換器53、CPU54、バス55からなっている。
【0013】増幅器43は検出器Aの受光ヘッド20の
出力を増幅する。差動増幅器44は利得が100倍程度
で増幅器43の出力と後述するD/A変換器48の出力
を差動増幅し、増幅器43の出力の変動分を出力する。
マルチプレクサ45はCPU54に制御されて、増幅器
43の出力と差動増幅器44の出力を交互に出力する。
サンプル・ホールド回路46はディジタル入出力回路4
9から出力されるサンプリング・タイミング信号により
マルチプレクサ45の出力をサンプル・ホールドする。
A/D変換器47はサンプル・ホールド回路46の出力
をアナログ/ディジタル変換する。チョッピング回路4
2は1OHzのゲート信号を発生する。光電源回路41
はチョッピング回路42に制御されて投光ヘッド10の
タングステンランプ12への電源を、1秒間に10回オ
ン/オフする。CPU54は、マルチプレクサ45が増
幅器43の出力を選択したときのA/D変換器47の出
力をRAM52に一旦記憶した後、該出力の直流成分を
取り出し、これをRAM52に記憶し、該直流成分を読
出しD/A変換器48に出力し、A/D変換器47が入
力した差動増幅器44の出力が入力電圧レンジの中心付
近で振れるようにD/A変換器48の出力を調整し、差
動増幅器44の出力を入力したA/D変換器47の出力
を多点サンプルする。また、CPU54は、ディジタル
入出力回路49を通してチョッピング回路42を制御す
るとともに差動増幅器44の出力を監視・制御し、出力
レベルの異常を検出するとアラーム信号をディジタル入
出力回路49より出力する。さらに、CPU54は、差
動増幅器44の利得が大きいため、測定開始時にD/A
変換器48の1ビット当りの差動増幅器44の出力の変
化量を測定してRAM52に記憶しておき、この変化量
を用いてD/A変換器48の出力誤差を補償する。RO
M51にはCPU54の以上述べた動作のプログラムが
書込まれている。D/A変換器53はバス55上に出力
された増幅器43の出力またはI’/I(I’は出力I
の変動分)がディジタル/アナログ変換され、外部(メ
ータ)に出力される。
出力を増幅する。差動増幅器44は利得が100倍程度
で増幅器43の出力と後述するD/A変換器48の出力
を差動増幅し、増幅器43の出力の変動分を出力する。
マルチプレクサ45はCPU54に制御されて、増幅器
43の出力と差動増幅器44の出力を交互に出力する。
サンプル・ホールド回路46はディジタル入出力回路4
9から出力されるサンプリング・タイミング信号により
マルチプレクサ45の出力をサンプル・ホールドする。
A/D変換器47はサンプル・ホールド回路46の出力
をアナログ/ディジタル変換する。チョッピング回路4
2は1OHzのゲート信号を発生する。光電源回路41
はチョッピング回路42に制御されて投光ヘッド10の
タングステンランプ12への電源を、1秒間に10回オ
ン/オフする。CPU54は、マルチプレクサ45が増
幅器43の出力を選択したときのA/D変換器47の出
力をRAM52に一旦記憶した後、該出力の直流成分を
取り出し、これをRAM52に記憶し、該直流成分を読
出しD/A変換器48に出力し、A/D変換器47が入
力した差動増幅器44の出力が入力電圧レンジの中心付
近で振れるようにD/A変換器48の出力を調整し、差
動増幅器44の出力を入力したA/D変換器47の出力
を多点サンプルする。また、CPU54は、ディジタル
入出力回路49を通してチョッピング回路42を制御す
るとともに差動増幅器44の出力を監視・制御し、出力
レベルの異常を検出するとアラーム信号をディジタル入
出力回路49より出力する。さらに、CPU54は、差
動増幅器44の利得が大きいため、測定開始時にD/A
変換器48の1ビット当りの差動増幅器44の出力の変
化量を測定してRAM52に記憶しておき、この変化量
を用いてD/A変換器48の出力誤差を補償する。RO
M51にはCPU54の以上述べた動作のプログラムが
書込まれている。D/A変換器53はバス55上に出力
された増幅器43の出力またはI’/I(I’は出力I
の変動分)がディジタル/アナログ変換され、外部(メ
ータ)に出力される。
【0014】次に、本実施例の動作を説明する。まず、
チョッピング回路42から10Hzのゲート信号を光電
源回路41に出力し、投光ヘッド10のタングステンラ
ンプ12への電流をオン/オフし、タングステンランプ
12を点滅させる。タングステンランプ12の光は赤外
レンズ13、赤外窓14を経て、測定部30を通過した
後、赤外窓22より受光ヘッド20に入射し、赤外レン
ズ23、赤外フィルター24を経て受光素子25にて検
知され、図3(1)のような受光信号が得られる。タン
グステンランプ12の点滅は電子回路のオン/オフのタ
イミングよりも応答が遅いため、図3(1)のような立
上がり波形となっている。応答を良くするためにフィラ
メントの熱容量が小さなランプを選定する必要がある。
本実施例においては光電源回路41を、図3(2)のよ
うに、定電圧駆動とした。これはタングステンランプ1
2のフィラメントがオフ(低温)時に低抵抗でオン(高
温)時に高抵抗となる特性があるため、定電圧駆動すれ
ば電流変化は図3(3)のようにオン突入時に大きくな
って応答が良くなるからである。オン突入時に同期させ
て電圧を高くするか、もしくは電流を大きくする制御回
路を使用することによりさらに応答は良くなる。ランプ
フィラメントにオフ時にも微弱電流を流しておくことも
応答を改善する手段として有効である。
チョッピング回路42から10Hzのゲート信号を光電
源回路41に出力し、投光ヘッド10のタングステンラ
ンプ12への電流をオン/オフし、タングステンランプ
12を点滅させる。タングステンランプ12の光は赤外
レンズ13、赤外窓14を経て、測定部30を通過した
後、赤外窓22より受光ヘッド20に入射し、赤外レン
ズ23、赤外フィルター24を経て受光素子25にて検
知され、図3(1)のような受光信号が得られる。タン
グステンランプ12の点滅は電子回路のオン/オフのタ
イミングよりも応答が遅いため、図3(1)のような立
上がり波形となっている。応答を良くするためにフィラ
メントの熱容量が小さなランプを選定する必要がある。
本実施例においては光電源回路41を、図3(2)のよ
うに、定電圧駆動とした。これはタングステンランプ1
2のフィラメントがオフ(低温)時に低抵抗でオン(高
温)時に高抵抗となる特性があるため、定電圧駆動すれ
ば電流変化は図3(3)のようにオン突入時に大きくな
って応答が良くなるからである。オン突入時に同期させ
て電圧を高くするか、もしくは電流を大きくする制御回
路を使用することによりさらに応答は良くなる。ランプ
フィラメントにオフ時にも微弱電流を流しておくことも
応答を改善する手段として有効である。
【0015】次に、マルチプレクサ45が増幅器43側
に切り換えられ、増幅器43の出力(検知器出力)がサ
ンプル・ホールド回路46でサンプル・ホールドされた
後、A/D変換器47でアナログ/ディジタル変換さ
れ、CPU54によりRAM52に書込まれる。CPU
54はRAM52に書込まれた検出器出力から直流分を
求め、これを一旦RAM52に書込んだ後、D/A変換
器48に出力するとともにマルチプレクサ45を差動増
幅器44側に切り換える。このとき、差動増幅器44か
らは変動分I’が出力され、マルチプレクサ45、サン
プル・ホールド回路46を経てA/D変換器47に入力
される、A/D変換器47の出力はCPU54の制御に
より例えば16点サンプリングされ、その平均値が求め
られる。これによって、ランダムノイズに体して1/1
61/2 =1/4だけS/N比が改善される。A/D変換
器47から出力された検出器出力Iおよび変動分I’は
RAM52に書込まれた後、CPU54によりI’/I
が演算されてD/A変換器53に出力される。D/A変
換器53はI’/Iをディジタル/アナログ変換した
後、メータ等の表示器(不図示)に表示する。以上の動
作が繰返し行われる。
に切り換えられ、増幅器43の出力(検知器出力)がサ
ンプル・ホールド回路46でサンプル・ホールドされた
後、A/D変換器47でアナログ/ディジタル変換さ
れ、CPU54によりRAM52に書込まれる。CPU
54はRAM52に書込まれた検出器出力から直流分を
求め、これを一旦RAM52に書込んだ後、D/A変換
器48に出力するとともにマルチプレクサ45を差動増
幅器44側に切り換える。このとき、差動増幅器44か
らは変動分I’が出力され、マルチプレクサ45、サン
プル・ホールド回路46を経てA/D変換器47に入力
される、A/D変換器47の出力はCPU54の制御に
より例えば16点サンプリングされ、その平均値が求め
られる。これによって、ランダムノイズに体して1/1
61/2 =1/4だけS/N比が改善される。A/D変換
器47から出力された検出器出力Iおよび変動分I’は
RAM52に書込まれた後、CPU54によりI’/I
が演算されてD/A変換器53に出力される。D/A変
換器53はI’/Iをディジタル/アナログ変換した
後、メータ等の表示器(不図示)に表示する。以上の動
作が繰返し行われる。
【0016】このように、変動成分増幅回路を、D/A
変換器48と、検出器出力とD/A変換器出力を差動入
力とする差動増幅器44で構成し、CPU制御により前
回にサンプリングした検出器出力から直流成分を取り出
し、該直流成分をD/A変換器48の入力とすることに
より、電圧ドリフトがなくなるとともに演算処理に統計
的手法を利用することができ、またサンプル・ホールド
回路46の後段に設けたA/D変換器47の出力を多点
サンプルすることにより、湿度変動出力のS/N比が改
善される。
変換器48と、検出器出力とD/A変換器出力を差動入
力とする差動増幅器44で構成し、CPU制御により前
回にサンプリングした検出器出力から直流成分を取り出
し、該直流成分をD/A変換器48の入力とすることに
より、電圧ドリフトがなくなるとともに演算処理に統計
的手法を利用することができ、またサンプル・ホールド
回路46の後段に設けたA/D変換器47の出力を多点
サンプルすることにより、湿度変動出力のS/N比が改
善される。
【0017】また、チョッパーブレードおよびチョッパ
ーモータがなく、集光レンズが投光ヘッド10、受光ヘ
ッド20各1枚で構成されているため、検出器A全体が
小型され、測定空間の気流の擾乱が少なくなり、精度の
高い測定が可能となり、光学系が、簡素され、寿命も従
来よりも長い。
ーモータがなく、集光レンズが投光ヘッド10、受光ヘ
ッド20各1枚で構成されているため、検出器A全体が
小型され、測定空間の気流の擾乱が少なくなり、精度の
高い測定が可能となり、光学系が、簡素され、寿命も従
来よりも長い。
【0018】本発明は同様の測定原理を利用した他の気
体の濃度変動計への応用が可能である。
体の濃度変動計への応用が可能である。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、検出器の
発光源の電源回路である光電源回路を制御し、前記発光
源に印加される電流を所定の周波数でオン/オフするチ
ョッピング回路を有することにより、チョッパーブレー
ドおよびチョッパーモータが不要となり、集光レンズを
発光部、受光部各1枚で構成できるために、光学系が簡
素化され、小型で簡易な構造の検出器を提供できると共
に、測定空間の気流の擾乱が少なくなるため測定精度が
向上し、装置の寿命も伸びる効果がある。
発光源の電源回路である光電源回路を制御し、前記発光
源に印加される電流を所定の周波数でオン/オフするチ
ョッピング回路を有することにより、チョッパーブレー
ドおよびチョッパーモータが不要となり、集光レンズを
発光部、受光部各1枚で構成できるために、光学系が簡
素化され、小型で簡易な構造の検出器を提供できると共
に、測定空間の気流の擾乱が少なくなるため測定精度が
向上し、装置の寿命も伸びる効果がある。
【図1】本発明の一実施例の赤外線吸収式湿度変動計の
ブロック図である。
ブロック図である。
【図2】図1の赤外線吸収式湿度変動計の検出器Aの縦
断面図である。
断面図である。
【図3】同図(1)はタングステンランプ12の点滅の
波形図、同図(2)は光電源回路41の出力電圧の波形
図、同図(3)は同図(2)の出力電圧に対応する出力
電流の波形図である。
波形図、同図(2)は光電源回路41の出力電圧の波形
図、同図(3)は同図(2)の出力電圧に対応する出力
電流の波形図である。
【図4】従来の赤外線吸収式湿度変動計の検出器の構成
図である。
図である。
【図5】チョッパーブレード65の平面図である。
【図6】交流電圧信号を示す図である。
A 検出器 B 装置本体 10 投光ヘッド 11 筺体 12 タングステンランプ 13 赤外レンズ 14 赤外窓 20 受光ヘッド 21 筺体 22 赤外窓 23 赤外レンズ 24 赤外フィルタ 25 受光素子 26 プリアンプ 30 測定部 41 光電源回路 42 チョッピング回路 43 増幅器 44 差動増幅器 45 マルチプレクサ 46 サンプル・ホールド回路 47 A/D変換器 48 D/A変換器 49 ディジタル入出力回路 50 同期入力回路 51 ROM 52 RAM 53 D/A変換器 54 CPU 55 バス
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 測定光路上の水分による赤外線吸収量を
測定することにより空気中の湿度変動を測定する赤外線
吸収式湿度変動計において、 検出器の投光ヘッドが、両端が開口した筒状の筺体と、
該筺体の一端に取付けられた発光源と、該筺体の他端に
取付けられた赤外窓と、前記発光源からの赤外光を集光
し、前記赤外窓から測定部に出射させる赤外レンズとを
含み、検出器の受光ヘッドが、両端が開口した筒状の筺
体と、該筺体の一端に取付けられた受光素子と、該受光
素子の手前に設けられた赤外フィルタと、該筺体の他端
に取付けられた赤外窓と、前記測定部を通過し、該赤外
窓から該筺体内に入射した赤外光を前記赤外フィルタを
通って前記受光素子上に集光させる赤外レンズとを含
み、 前記発光源の電源回路である光電源回路を制御し、前記
発光源に印加される電流を所定の周波数でオン/オフす
るチョッピング回路を有することを特徴とする赤外線吸
収式湿度変動計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18765291A JPH0534280A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 赤外線吸収式湿度変動計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18765291A JPH0534280A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 赤外線吸収式湿度変動計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534280A true JPH0534280A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16209846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18765291A Pending JPH0534280A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 赤外線吸収式湿度変動計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534280A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1991
- 1991-07-26 JP JP18765291A patent/JPH0534280A/ja active Pending
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