JPH05344706A - 平面パルスモータ - Google Patents
平面パルスモータInfo
- Publication number
- JPH05344706A JPH05344706A JP17471492A JP17471492A JPH05344706A JP H05344706 A JPH05344706 A JP H05344706A JP 17471492 A JP17471492 A JP 17471492A JP 17471492 A JP17471492 A JP 17471492A JP H05344706 A JPH05344706 A JP H05344706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pitch
- magnetic pole
- axis
- stator
- pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 複数の作業部間に設けた固定子１と、固定子
１に空隙を介して対向する移動子６を設けた平面パルス
モータにおいて、固定子１の凸極を２種類以上の異なる
ピッチで、Ｘ方向のみまたはＸ−Ｙ両方向に設けて１モ
ジュールとし、そのモジュールを複数組み合わせて移動
領域を形成したものである。 【効果】 連続して搬送から作業部の移動動作までを行
う安価な作業システム実現する平面モータを提供するこ
とができる。
１に空隙を介して対向する移動子６を設けた平面パルス
モータにおいて、固定子１の凸極を２種類以上の異なる
ピッチで、Ｘ方向のみまたはＸ−Ｙ両方向に設けて１モ
ジュールとし、そのモジュールを複数組み合わせて移動
領域を形成したものである。 【効果】 連続して搬送から作業部の移動動作までを行
う安価な作業システム実現する平面モータを提供するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２次元方向に移動し得
る平面パルスモータに関し、とくに連続した異なる作業
領域等の比較的広い領域を移動し得る平面パルスモータ
に関する。
る平面パルスモータに関し、とくに連続した異なる作業
領域等の比較的広い領域を移動し得る平面パルスモータ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣ基板や精密機械の組み立て製
造設備において、各種の組立作業を行う複数の作業部間
に組立部品を搬送するコンベアを設けるものがある。そ
の作業部では２次元方向に精密に移動したり回転したり
する組立ロボットが使用され、各作業部の間は２次元方
向に移動し得る平面パルスモータ（例えば、実開昭５６
−１２０７８９号）からなるコンベアによって組立部品
を移動するようにしたものがある。
造設備において、各種の組立作業を行う複数の作業部間
に組立部品を搬送するコンベアを設けるものがある。そ
の作業部では２次元方向に精密に移動したり回転したり
する組立ロボットが使用され、各作業部の間は２次元方
向に移動し得る平面パルスモータ（例えば、実開昭５６
−１２０７８９号）からなるコンベアによって組立部品
を移動するようにしたものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、作業部が必
要とする移動精度とコンベアが必要とする移動精度は異
なるため、コンベアから作業部に組立部品を移動する
時、組立部品を持ち上げるハンドリングロボットを使用
するか、組立部品を押し出すプッシャを用いるなど、他
の搬送設備を使用する必要があり、設備費が高くなると
いう欠点があった。また、コンベアを作業部に必要な移
動精度を持つ平面パルスモータで構成し、コンベアを作
業部まで延長して、コンベアの搬送部から作業部に組立
部品を移動する時、別に他の搬送設備を使用しない方法
もあるが、コンベアは必要以上に精度が高くなるととも
に価格も高くなるという問題があった。上記の構成で
は、一旦、コンベアを固定すると、モデルチェンジ等で
組立部品の種類が変わった時、直ちに対応できないとい
う問題もあった。本発明は、搬送から作業部の移動動作
までを連続して行う安価な、フレキシブルに富んだ作業
システムを実現する平面モータを提供することを目的と
するものである。
要とする移動精度とコンベアが必要とする移動精度は異
なるため、コンベアから作業部に組立部品を移動する
時、組立部品を持ち上げるハンドリングロボットを使用
するか、組立部品を押し出すプッシャを用いるなど、他
の搬送設備を使用する必要があり、設備費が高くなると
いう欠点があった。また、コンベアを作業部に必要な移
動精度を持つ平面パルスモータで構成し、コンベアを作
業部まで延長して、コンベアの搬送部から作業部に組立
部品を移動する時、別に他の搬送設備を使用しない方法
もあるが、コンベアは必要以上に精度が高くなるととも
に価格も高くなるという問題があった。上記の構成で
は、一旦、コンベアを固定すると、モデルチェンジ等で
組立部品の種類が変わった時、直ちに対応できないとい
う問題もあった。本発明は、搬送から作業部の移動動作
までを連続して行う安価な、フレキシブルに富んだ作業
システムを実現する平面モータを提供することを目的と
するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の作業部
間に設けた凸極を有する固定子と、前記固定子に空隙を
介して対向し、かつ前記固定子の凸極と所定ピッチずら
した凸極と励磁コイルを有する移動子をＸ−Ｙ平面上を
移動させる平面パルスモータにおいて、前記固定子の凸
極を２種類以上の異なるピッチで、Ｘ方向のみまたはＸ
−Ｙ両方向に設けたモジュールを１単位とし、前記モジ
ュールを複数単位組み合わせて移動領域を形成したもの
である。とくに、前記移動領域を密ピッチの碁盤目状凸
極を有する高精度領域モジュールと、前記高精度領域よ
り粗いピッチの碁盤目状凸極を有する２次元移動領域モ
ジュールと、前記高精度領域より粗いピッチの１軸方向
のみの縞状凸極を有する１次元移動領域モジュールとか
らなる固定子で構成し、前記移動子をＸ軸密ピッチ磁極
と、Ｙ軸密ピッチ磁極と、Ｘ軸粗ピッチ磁極と、Ｙ軸粗
ピッチ磁極とで構成したものである。
間に設けた凸極を有する固定子と、前記固定子に空隙を
介して対向し、かつ前記固定子の凸極と所定ピッチずら
した凸極と励磁コイルを有する移動子をＸ−Ｙ平面上を
移動させる平面パルスモータにおいて、前記固定子の凸
極を２種類以上の異なるピッチで、Ｘ方向のみまたはＸ
−Ｙ両方向に設けたモジュールを１単位とし、前記モジ
ュールを複数単位組み合わせて移動領域を形成したもの
である。とくに、前記移動領域を密ピッチの碁盤目状凸
極を有する高精度領域モジュールと、前記高精度領域よ
り粗いピッチの碁盤目状凸極を有する２次元移動領域モ
ジュールと、前記高精度領域より粗いピッチの１軸方向
のみの縞状凸極を有する１次元移動領域モジュールとか
らなる固定子で構成し、前記移動子をＸ軸密ピッチ磁極
と、Ｙ軸密ピッチ磁極と、Ｘ軸粗ピッチ磁極と、Ｙ軸粗
ピッチ磁極とで構成したものである。
【０００５】
【作用】複数の作業部および各作業部の間を、密ピッチ
の碁盤目状凸極を有する高精度領域と、高精度領域より
粗いピッチの碁盤目状凸極を有する２次元移動領域と、
Ｘ軸方向に並ぶ縞状凸極を有する１次元移動領域と、Ｙ
軸方向に並ぶ縞状凸極を有する１次元移動領域とからな
る固定子で構成し、移動子をＸ軸密ピッチ磁極、Ｙ軸密
ピッチ磁極、Ｘ軸粗ピッチ磁極、Ｙ軸粗ピッチ磁極で構
成してあるので、移動子は各作業部間は粗いピッチで高
速に移動し、作業部上では細かいピッチで高精度の移動
をする。
の碁盤目状凸極を有する高精度領域と、高精度領域より
粗いピッチの碁盤目状凸極を有する２次元移動領域と、
Ｘ軸方向に並ぶ縞状凸極を有する１次元移動領域と、Ｙ
軸方向に並ぶ縞状凸極を有する１次元移動領域とからな
る固定子で構成し、移動子をＸ軸密ピッチ磁極、Ｙ軸密
ピッチ磁極、Ｘ軸粗ピッチ磁極、Ｙ軸粗ピッチ磁極で構
成してあるので、移動子は各作業部間は粗いピッチで高
速に移動し、作業部上では細かいピッチで高精度の移動
をする。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す平面図で、平面パルスモー
タの固定子１は、Ｘ，Ｙ軸の２次元方向に密ピッチの溝
２１と、密ピッチの碁盤目状凸極２２を有するモジュー
ル化した高精度領域２と、高精度領域２の溝ピッチより
粗いピッチのＸ，Ｙ軸の２次元方向に設けた溝３１と、
碁盤目状凸極３２を有するモジュール化した２次元移動
領域３と、Ｙ軸方向にのみ伸びる前記２次元移動領域３
に設けた溝３１と同じピッチの溝４１と、Ｘ軸方向には
しご状に並ぶ縞状凸極４２を有するモジュール化した１
次元移動領域４と、Ｘ軸方向にのみ伸びる前記２次元移
動領域３に設けた溝３１と同じピッチの溝５１と、Ｙ軸
方向に並ぶ縞状凸極５２を有するモジュール化した１次
元移動領域５とから構成されている。移動子６は、図２
に示すように、磁極ピッチの密なＸ軸密ピッチ磁極６１
と磁極ピッチの粗いＸ軸粗ピッチ磁極６２とを並設して
Ｘ軸方向電機子６Ｘを構成し、Ｙ軸密ピッチ磁極６３と
Ｙ軸粗ピッチ磁極６４とを並設してＹ軸方向電機子６Ｙ
を構成する。各Ｘ軸、Ｙ軸方向の電機子６Ｘ，６Ｙは２
個１対として磁極面６Ａの中心点Ｏに対して点対称の位
置に配置する。なお、実用試験機では、走行安定性を増
すため、前記磁極面６Ａを４組電機子６の磁極面に配置
してある。移動子６のＸ軸密ピッチ磁極６１、Ｙ軸密ピ
ッチ磁極６３には、図３（ａ）に示すように、励磁コイ
ル６５を巻回した磁極片６６と、励磁コイル６７を巻回
した磁極片６８を設け、磁極片６６と磁極片６８の間に
は永久磁石６９を配置してある。磁極片６６の両端の凸
極６６ａと６６ｂ、および磁極片６８の両端の凸極６８
ａと６８ｂとは、固定子１の碁盤目状凸極２２のピッチ
で１／２ピッチずらし、磁極片６６の凸極６６ｂと磁極
片６８の凸極６８ａとは１／４ピッチずらしてあり、励
磁コイル６５と６７を交互に励磁することにより、移動
子６を固定子１に対して相対的に密ピッチで移動するよ
うにしてある。移動子６のＸ軸粗ピッチ磁極６２、Ｙ軸
粗ピッチ磁極６４についても同様に、図３（ｂ）に示す
ように、励磁コイル６５’を巻回した磁極片６６’と、
励磁コイル６７’を巻回した磁極片６８’を設け、磁極
片６６’と磁極片６８’の間には永久磁石６９’を配置
し、励磁コイル６５’と６７’を交互に励磁することに
より、移動子６を固定子１に対して相対的に粗いピッチ
で移動するようにしてある。ここで、図１に示すよう
に、３か所の作業部Ａ，Ｂ，Ｃに高精度領域２を配置
し、作業部Ａの高精度領域２に隣接してＹ軸方向に移動
する１次元移動領域５を配置し、更に２次元移動領域３
を隣接して配置し、２次元移動領域３には、作業部Ｂの
高精度領域２と１次元移動領域５を隣接して配置し、続
いて１次元移動領域５に隣接して２次元移動領域３を配
置し、更にＸ軸方向に移動する１次元移動領域４を隣接
して配置し、更に作業部Ｃの高精度領域２を１次元移動
領域４に隣接して配置した例について説明する。組立部
品を載置した移動子６は、作業部Ａの高精度領域２にお
いて、Ｘ軸密ピッチ磁極６１、Ｙ軸密ピッチ磁極６３の
励磁コイル６５、６７を励磁することにより所定の位置
に移動し、Ｘ軸方向移動、Ｙ軸方向移動の組み合わせの
移動動作をしながら組立作業を終わる。その後、Ｙ軸密
ピッチ磁極６３の励磁により、高精度領域２と１次元移
動領域５に跨がる所まで、移動子６を高精度領域２から
隣接する１次元移動領域５の方向に移動させる。次に、
１次元移動領域５に跨がった移動子６は、Ｙ軸密ピッチ
磁極６３の励磁を切り、Ｙ軸粗ピッチ磁極６４を励磁す
ることにより、高速の粗いピッチで完全に高精度領域２
から１次元移動領域５上に移動する。次に、Ｙ軸粗ピッ
チ磁極６４を励磁することにより、１次元移動領域５と
隣接する２次元移動領域３に跨がる所まで移動させ、さ
らに継続してＹ軸粗ピッチ磁極６４を励磁し、移動子６
を２次元移動領域３上に移動する。２次元移動領域３上
に移動した移動子６はＸ軸粗ピッチ磁極６２を励磁する
ことにより、２次元移動領域３と作業部Ｂの高精度領域
２に跨がる所まで高速で移動し、Ｘ軸粗ピッチ磁極６２
の励磁を切り、Ｘ軸密ピッチ磁極６１を励磁して作業部
Ｂに完全に移動する。作業部Ｂ，Ｃにおける動作は作業
部Ａと同じで、以下作業部Ｃまで搬送する動作も同様に
高速移動ができる。また、組立部品の変更があった時や
作業部の配置が変更になった時などは、搬送部分を受け
持つ１次元移動領域、２次元移動領域のモジュールの配
列方向や組み合わせを変更することにより対応する。
図１は本発明の実施例を示す平面図で、平面パルスモー
タの固定子１は、Ｘ，Ｙ軸の２次元方向に密ピッチの溝
２１と、密ピッチの碁盤目状凸極２２を有するモジュー
ル化した高精度領域２と、高精度領域２の溝ピッチより
粗いピッチのＸ，Ｙ軸の２次元方向に設けた溝３１と、
碁盤目状凸極３２を有するモジュール化した２次元移動
領域３と、Ｙ軸方向にのみ伸びる前記２次元移動領域３
に設けた溝３１と同じピッチの溝４１と、Ｘ軸方向には
しご状に並ぶ縞状凸極４２を有するモジュール化した１
次元移動領域４と、Ｘ軸方向にのみ伸びる前記２次元移
動領域３に設けた溝３１と同じピッチの溝５１と、Ｙ軸
方向に並ぶ縞状凸極５２を有するモジュール化した１次
元移動領域５とから構成されている。移動子６は、図２
に示すように、磁極ピッチの密なＸ軸密ピッチ磁極６１
と磁極ピッチの粗いＸ軸粗ピッチ磁極６２とを並設して
Ｘ軸方向電機子６Ｘを構成し、Ｙ軸密ピッチ磁極６３と
Ｙ軸粗ピッチ磁極６４とを並設してＹ軸方向電機子６Ｙ
を構成する。各Ｘ軸、Ｙ軸方向の電機子６Ｘ，６Ｙは２
個１対として磁極面６Ａの中心点Ｏに対して点対称の位
置に配置する。なお、実用試験機では、走行安定性を増
すため、前記磁極面６Ａを４組電機子６の磁極面に配置
してある。移動子６のＸ軸密ピッチ磁極６１、Ｙ軸密ピ
ッチ磁極６３には、図３（ａ）に示すように、励磁コイ
ル６５を巻回した磁極片６６と、励磁コイル６７を巻回
した磁極片６８を設け、磁極片６６と磁極片６８の間に
は永久磁石６９を配置してある。磁極片６６の両端の凸
極６６ａと６６ｂ、および磁極片６８の両端の凸極６８
ａと６８ｂとは、固定子１の碁盤目状凸極２２のピッチ
で１／２ピッチずらし、磁極片６６の凸極６６ｂと磁極
片６８の凸極６８ａとは１／４ピッチずらしてあり、励
磁コイル６５と６７を交互に励磁することにより、移動
子６を固定子１に対して相対的に密ピッチで移動するよ
うにしてある。移動子６のＸ軸粗ピッチ磁極６２、Ｙ軸
粗ピッチ磁極６４についても同様に、図３（ｂ）に示す
ように、励磁コイル６５’を巻回した磁極片６６’と、
励磁コイル６７’を巻回した磁極片６８’を設け、磁極
片６６’と磁極片６８’の間には永久磁石６９’を配置
し、励磁コイル６５’と６７’を交互に励磁することに
より、移動子６を固定子１に対して相対的に粗いピッチ
で移動するようにしてある。ここで、図１に示すよう
に、３か所の作業部Ａ，Ｂ，Ｃに高精度領域２を配置
し、作業部Ａの高精度領域２に隣接してＹ軸方向に移動
する１次元移動領域５を配置し、更に２次元移動領域３
を隣接して配置し、２次元移動領域３には、作業部Ｂの
高精度領域２と１次元移動領域５を隣接して配置し、続
いて１次元移動領域５に隣接して２次元移動領域３を配
置し、更にＸ軸方向に移動する１次元移動領域４を隣接
して配置し、更に作業部Ｃの高精度領域２を１次元移動
領域４に隣接して配置した例について説明する。組立部
品を載置した移動子６は、作業部Ａの高精度領域２にお
いて、Ｘ軸密ピッチ磁極６１、Ｙ軸密ピッチ磁極６３の
励磁コイル６５、６７を励磁することにより所定の位置
に移動し、Ｘ軸方向移動、Ｙ軸方向移動の組み合わせの
移動動作をしながら組立作業を終わる。その後、Ｙ軸密
ピッチ磁極６３の励磁により、高精度領域２と１次元移
動領域５に跨がる所まで、移動子６を高精度領域２から
隣接する１次元移動領域５の方向に移動させる。次に、
１次元移動領域５に跨がった移動子６は、Ｙ軸密ピッチ
磁極６３の励磁を切り、Ｙ軸粗ピッチ磁極６４を励磁す
ることにより、高速の粗いピッチで完全に高精度領域２
から１次元移動領域５上に移動する。次に、Ｙ軸粗ピッ
チ磁極６４を励磁することにより、１次元移動領域５と
隣接する２次元移動領域３に跨がる所まで移動させ、さ
らに継続してＹ軸粗ピッチ磁極６４を励磁し、移動子６
を２次元移動領域３上に移動する。２次元移動領域３上
に移動した移動子６はＸ軸粗ピッチ磁極６２を励磁する
ことにより、２次元移動領域３と作業部Ｂの高精度領域
２に跨がる所まで高速で移動し、Ｘ軸粗ピッチ磁極６２
の励磁を切り、Ｘ軸密ピッチ磁極６１を励磁して作業部
Ｂに完全に移動する。作業部Ｂ，Ｃにおける動作は作業
部Ａと同じで、以下作業部Ｃまで搬送する動作も同様に
高速移動ができる。また、組立部品の変更があった時や
作業部の配置が変更になった時などは、搬送部分を受け
持つ１次元移動領域、２次元移動領域のモジュールの配
列方向や組み合わせを変更することにより対応する。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、移
動子にＸ軸密ピッチ磁極、Ｙ軸密ピッチ磁極、Ｘ軸粗ピ
ッチ磁極、Ｙ軸粗ピッチ磁極を設け、精度の高い移動動
作をする高精度領域と粗いピッチで高速の移動動作をす
る１次元、および２次元移動領域で複数の作業部を結ぶ
平面パルスモータの固定子を構成し、作業部間は粗いピ
ッチで高速に移動し、作業部上では細かいピッチで高精
度の移動をするようにしてあるので、他の搬送設備を使
用する必要がなく、連続して搬送から作業部の移動動作
までを行う安価な作業システムを実現する平面モータを
提供することができる。また、組立部品や作業部の配置
が変更になった時でも、各モジュールを組み替えること
により簡単に対応できるなどの効果がある。
動子にＸ軸密ピッチ磁極、Ｙ軸密ピッチ磁極、Ｘ軸粗ピ
ッチ磁極、Ｙ軸粗ピッチ磁極を設け、精度の高い移動動
作をする高精度領域と粗いピッチで高速の移動動作をす
る１次元、および２次元移動領域で複数の作業部を結ぶ
平面パルスモータの固定子を構成し、作業部間は粗いピ
ッチで高速に移動し、作業部上では細かいピッチで高精
度の移動をするようにしてあるので、他の搬送設備を使
用する必要がなく、連続して搬送から作業部の移動動作
までを行う安価な作業システムを実現する平面モータを
提供することができる。また、組立部品や作業部の配置
が変更になった時でも、各モジュールを組み替えること
により簡単に対応できるなどの効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の移動子の平面図である。
【図３】本発明の実施例を示す要部側断面図である。
１ 固定子 ２ 高精度移動領域 ２１、３１、４１、５１ 溝 ２２、３２ 碁盤目状凸極 ４２、５２ 縞状凸極 ３ ２次元移動領域 ４、５ １次元移動領域 ６ 移動子 ６１ Ｘ軸密ピッチ磁極 ６２ Ｘ軸粗ピッチ磁極 ６３ Ｙ軸密ピッチ磁極 ６４ Ｙ軸粗ピッチ磁極 ６５、６５’、６７、６７’ 励磁コイル ６６、６６’、６８、６８’ 磁極片 ６９、６９’ 永久磁石
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の作業部間に設けた凸極を有する固
定子と、前記固定子に空隙を介して対向し、かつ前記固
定子の凸極と所定ピッチずらした凸極と励磁コイルを有
する移動子をＸ−Ｙ平面上を移動させる平面パルスモー
タにおいて、前記固定子の凸極を２種類以上の異なるピ
ッチで、Ｘ方向のみまたはＸ−Ｙ両方向に設けたものを
１モジュールとし、前記モジュールを複数組み合わせて
移動領域を形成したことを特徴とする平面パルスモー
タ。 - 【請求項２】 前記移動領域を密ピッチの碁盤目状凸極
を有する高精度領域モジュールと、前記高精度領域より
粗いピッチの碁盤目状凸極を有する２次元移動領域モジ
ュールと、前記高精度領域より粗いピッチの１軸方向の
みの縞状凸極を有する１次元移動領域モジュールとから
なる固定子で構成した請求項１記載の平面パルスモー
タ。 - 【請求項３】 前記移動子をＸ軸密ピッチ磁極と、Ｙ軸
密ピッチ磁極と、Ｘ軸粗ピッチ磁極と、Ｙ軸粗ピッチ磁
極とで構成した請求項１または２記載の平面パルスモー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17471492A JPH05344706A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 平面パルスモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17471492A JPH05344706A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 平面パルスモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05344706A true JPH05344706A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15983369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17471492A Pending JPH05344706A (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 平面パルスモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05344706A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004085440A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yaskawa Electric Corp | Ｄｎａ自動増幅解析装置 |
| JP2006149050A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP2023507712A (ja) * | 2019-11-27 | 2023-02-27 | ベーウントエル・インダストリアル・オートメイション・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 運搬機器 |
-
1992
- 1992-06-08 JP JP17471492A patent/JPH05344706A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004085440A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yaskawa Electric Corp | Ｄｎａ自動増幅解析装置 |
| JP2006149050A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP2023507712A (ja) * | 2019-11-27 | 2023-02-27 | ベーウントエル・インダストリアル・オートメイション・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 運搬機器 |
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